【課題】測定位置および方向を変える場合でも、検出器の取り付けを変更せずに検出器ホルダの取り付け方向のみを変更すればよく、測定点が測定平面からずれない真円度測定装置の実現。
【解決手段】ベース21と、載置されたワーク32を回転する回転台22と、回転台の回転軸に対して平行に伸び、回転台の回転軸とワークの測定点を含む測定平面に平行に移動可能なコラム24と、コラムに沿って移動可能に支持されたキャリッジ25と、キャリッジに取り付けられた検出器ホルダ29と、測定子31が測定平面で変位可能なように、検出器ホルダに取り付けられた検出器30と、を有し、検出器ホルダは、測定平面に垂直な回転軸を中心とした異なる回転位置でキャリッジに取り付け可能で、異なる回転位置に取り付けても測定子が測定平面で変位可能な状態が維持される真円度測定装置。 （もっと読む）

【目的】電動機のエアギャップ測定装置において、電動機の種類に関係なくエアギャップの偏心量および方向を精度よく計測することができるとともに、エアギャップの偏心状態のデータを基にエアギャップを調整することができる電動機のエアギャップ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】あらかじめモータ主軸とロータ外径の位置関係を測定しておき、ステータ内径測定装置によりステータの内径を測定し、また、ロータ組み込み後の主軸軸心測定装置により主軸の軸心を測定することで、測定したステータ内径と軸心の位置関係よりエアギャップを算出する電動機のエアギャップ測定装置。 （もっと読む）

【課題】被測定物を取り付けるための回転テーブルの中心位置に測定子の中心が届かなくても、その被測定物の形状を測定する測定子を、高精度に校正することができる形状測定用測定子の校正方法を提供する。
【解決手段】回転テーブル１１上のワークの形状を測定する測定子２２の校正方法において、校正用の基準円筒３０を、軸間距離Ｌに位置するテーブル回転軸Ｃ周りに旋回可能に設け、測定子２２の半径ｒ、基準円筒３０の半径Ｒ及び旋回角度α_tに基づいて、測定子２２の理論中心位置Ｏ_L，Ｏ_Rを設定し、この理論中心位置Ｏ_L，Ｏ_Rに位置決めした測定子２２と、旋回角度α_tに旋回させた基準円筒３０とが接触する理論接触位置及び実接触位置を求め、これらの間の旋回角度誤差、軸間距離Ｌ、測定子２２の半径ｒ、基準円筒３０の半径Ｒに基づいて求めた位置誤差に応じて、測定子２２を校正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数枚のウエハの表面粗さの測定を連続で自動的に行うことができ、測定効率を向上させることができる表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のウエハ７０を載置できる回転駆動可能なステージ１０と、
該ステージ上で前記複数のウエハを同心円状に位置決め固定する位置決め手段５０と、
上下方向及び水平方向に直線的に移動可能に支持された接触子２１を、所定の測定位置にあるウエハの表面に接触させて水平方向に直線移動させることにより、該ウエハの表面粗さを測定する表面粗さ測定手段２０と、
測定対象となる測定対象ウエハを前記所定の測定位置に前記ステージを回転させて移動させ、前記表面粗さ測定手段により該測定対象ウエハの表面粗さを測定する一連の動作を前記複数のウエハに対して順次行うように前記ステージ及び前記表面粗さ測定手段を制御する制御手段４０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出する。
【解決手段】測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、直径値既知の基準測定物と前記検出器を前記基準測定物の母線と平行に相対的に移動して前記基準測定物の対向する２つの検出点でそれぞれ測定を行い、その測定差を検出する手段と、前記測定差に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段と、を備えたことを特徴とする真円度測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】補助試料の形状誤差や取り付け誤差による影響を低減可能で、芯出し誤差を定量的に算出しつつ、高精度かつ短時間で芯出しを行うことができるプローブの芯出し方法を提供する。
【解決手段】球体から成る補助試料３０の中心が回転手段１０の回転軸１０ａ上に位置するよう、補助試料３０を回転手段１０に設置し、補助試料３０の表面の座標をプローブ２０で測定する。測定後、補助試料３０をその半径以内の距離だけ、回転軸１０ａに対して垂直な方向に移動させる。回転手段１０を回転させて９０度間隔の４つの回転角度の位置で、移動させた補助試料３０の表面の座標をプローブ２０により測定する。その測定した座標と補助試料３０の移動前に測定した座標とに基づいて、回転手段１０の回転軸１０ａとプローブ２０の先端の位置とのずれをベクトルとして求める。求めたベクトルに応じて、プローブ２０の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】被測定物を比較的高い精度で簡易に測定でき、製造コストの低減も期し得る測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物７を載置するテーブル９が、その中心Ａを通る軸線回りに回転できる。テーブル９の前方側に、左右方向で移動する測定器１７を有する。測定器１７は、前後方向で進退する測定子１９を具え、後退状態にある測定子１９の先端の接触点２０とテーブルの中心Ａを通る左右方向の直線との間の距離が所要値に設定されている。測定器１７は、左右方向で見た一端側位置２２と他端側位置２５で、被測定物７の前面１２に向けて進行し、後退状態の接触点と被測定物の前面１２との間の第１距離Ｄ１、第２距離Ｄ２を測定する。第１距離Ｄ１と第２距離Ｄ２が相違する場合は、一端側位置２２と他端側位置２５における、接触点２０と前面１２との間の距離が等しくなるようにテーブル９が回転する。 （もっと読む）

【課題】対象物のチャッキングとチャッキング解除動作が不要となって、作業性の向上を図ることが可能な外径測定装置及びころ軸受の製造方法を提供する。
【解決手段】被測定物１０を横倒し状として下方から受体１１にて受けられ、軸心方向の移動及び軸心廻りの回転を許容する。駆動手段１２にて、受体１１にて受けられている被測定物１０をその軸心廻りに回転させてその軸心方向の一方に移動させる。被測定物１０は、軸方向の移動が受部材１３にて規制される。外径寸法測定手段１４にて、受部材１３にて軸心方向の移動が規制されている被測定物１０がその軸心廻りに回転している状態で被測定物１０の外径寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の解決すべき課題は、真円度測定機の機構を用い、被検球体の真球度、形状を効率よく測定することにある。
【解決手段】
回転テーブル１４と、
該回転テーブル１４と平行な赤道面上での被検球体輪郭を、回転テーブル１４の回転に伴い測定するプローブ２２と、
前記回転テーブル１４上に載置され、被検球体３０を保持する被検球体保持手段２４と、を備え、
前記被検球体保持手段２４は、被検球体３０の中心を前記回転テーブル１４の回転軸上に位置させ、かつ該被検球体３０を前記回転テーブル面に対して、正弦が１／√３となる角度を中心として±５度の範囲で傾けた傾斜軸線上で回転可能に保持することを特徴とする球体形状測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】より高精度、より簡便に構成可能な三次元座標測定機ゲージを提供するとともに、当該三次元座標測定機ゲージを用いた精度評価方法を提供する。
【解決手段】 基板３の表面に固定された第１の球体４及び第２の球体５と、前記基板３の表面から突出して設けられた第１の柱７上に固定された第３の球体６と、を備えることにより三次元座標測定機を精度評価するための三次元座標測定機ゲージ１を構成する。 （もっと読む）

【課題】短時間で簡易にレンズ計上を測定することのできる測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 レンズ基板を載置固定するステージと、レンズ基板の表面を検出する変位センサを備え、同一直線上に並んで配列された複数のプローブと、を含むレンズ形状測定装置とする。 （もっと読む）

【課題】軸方向バックラッシを安定して正確に測定できるスプライン嵌合部品の軸方向バックラッシ測定装置を提供する。
【解決手段】内筒部材２１の外周部に外筒部材２２の内周部を軸方向に移動可能にスプライン嵌合させてなるスプライン嵌合部品２０を一端を下方に向けて載置するワーク受け装置２と、ワーク受け装置２に内筒部材２１を押し付けるワーク押さえ装置３と、外筒部材２２の周方向の一部を持ち上げるべくワーク受け装置２と外筒部材２２の間に挿入される楔４を有すると共に楔４を挿抜方向に駆動する楔用アクチュエータ５を有する持上装置６と、持上装置６で持ち上げられた外筒部材２２の移動量を測定する測定部７とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】作業能率の一層の向上が図れる真円度測定機を提供する。
【解決手段】真円度測定機において、被測定物Ｗの測定部位に対応して用意された複数種のスタイラス３１を取出可能かつ格納可能に収容したスタイラスストッカ５０と、制御装置６０とを備える。制御装置は、測定指令が与えられた際、回転テーブル２０の回転駆動機構２３および検出器駆動機構４０の動作を制御しながら、被測定物の真円度測定を実行する測定実行手段と、スタイラス自動交換指令が与えられた際、検出器駆動機構を制御しながら、検出器３０とスタイラスストッカとの間でスタイラス交換動作を実行するスタイラス交換実行手段と、検出器自動ゲイン校正指令が与えられた際、スタイラスに予め設定された設定変位量を付与し、検出器によって検出されるスタイラスの変位と設定変位量とから検出器のゲインを校正するゲイン調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】微小表面形状測定プローブは、被測定物１と接触する接触子を２先端に有するプローブシャフトと、プローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するようにプローブ本体に組み込まれた圧電センサと、圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部と、荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部と、接触子２を通して被測定物１との接触点へレーザ光を照射し、接触点で反射されたレーザ光を検出することで、接触子２と被測定物１との接触を感知する接触感知装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】リール部材のフランジ間隔を検査する場合において、ばらつきのない検査を迅速に行うことができるフランジ間隔検査装置を安価に提供する。
【解決手段】本発明のフランジ間隔検査装置は、長尺の接着テープを巻取可能な巻芯軸部を挟んで一対のフランジを有するリール部材のフランジ間隔を検査するリール部材検査装置１であって、リール部材を回転可能な状態で支持するリール回転支持軸７と、リール回転支持軸７と平行に設けられ、リール部材に対応するピン状の検査冶具２０を保持する検査冶具保持部１０を回転可能な状態で支持するシャフト９０とを有する。シャフト９０に支持された検査冶具保持部１０の検査冶具２０の先端部の軌跡が、リール回転支持軸７に支持されるリール部材の一対のフランジの間に位置するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、かつ回転台の回転軸心を基準とした任意の径位置でのコラムの移動軸心の平行度あるいはアームの移動軸心の直角度を検定する。
【解決手段】コラム３１の傾斜量ａ0、真直マスタの第１の傾斜量ａ1及び真直マスタ６１の第２の傾斜量ａ2を測定した後、検査者は、コラムの真直度軸心の平行度誤差ａ3により算出する。 （もっと読む）

【課題】
構造が簡単で安価に製造でき、持ち運びが便利であると共に被測定物の任意の位置に接触子を接触させて任意の部分の寸法を容易に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】
測定装置１０１は、被測定物Ａの寸法を測定するもので、取付台１０３と、取付台１０３に回動可能に取り付けられた旋回枠体１１０とを備えている。旋回枠体１１０には、長手方向に摺動可能となるアーム部材１７０と、アーム部材１７０を長手方向に送る移送手段１５０が設けられている。アーム部材１７０の先部には、接触子２０１が取り付けられている。旋回枠体１１０には、アーム部材１７０の回動角度Ｐを検出する第１の検出手段１２１と、アーム部材１７０の長手方向の移動距離Ｎを検出する第２の検出手段１３６が設けられている。アーム部材１７０には、接触子２０１の移動距離Ｍを検出する第３の検出手段２２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】被検物を高精度に測定する。
【解決手段】測定装置１１の傾斜回転テーブル１４は、被検物が載置され、回転軸Ｌ１を中心に回転駆動する回転テーブル２１と、回転テーブル２１が回転可能に装着され、水平方向に延びる傾斜軸Ｌ２を中心に傾斜駆動する傾斜テーブル２２を備える。また、傾斜回転テーブル１４は、傾斜テーブル２２に対する回転テーブル２１の変位を測定する変位センサ３１乃至３３と、傾斜テーブルの鉛直方向の変位を測定する変位センサ３４を備える。本発明は、例えば、傾斜回転テーブルを有する測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】測定プログラムを停止させることなく検出器の測定力を変更することにより、連続測定を可能とし、かつ、小型で安価な検出器を備えた真円度測定装置を提供すること。
【解決手段】真円度測定装置は、接触部４２を先端に有するスタイラス４０と、被測定物との接触に伴ってスタイラス４０を移動させて接触部を変位させる保持部材５０と、弾性力により接触部４２を被測定物に向けて押す線ばね６０と、接触部の変位方向を回転させるために保持部材５０を回転自在に支持する検出器ホルダ２８と、保持部材５０の回転用モータ８０とを備える。弾性力調整部材９０は、保持部材５０と同軸に回転支持され、保持部材５０との位置関係によって弾性変形量を増減させる。回転用モータ８０は、保持部材５０の第一の回転範囲にて接触部の変位方向を回転させるとともに、第二の回転範囲にて保持部材５０に対して弾性力調整部材９０の相対的な回転動作をおこなう。 （もっと読む）

【課題】本発明の解決すべき課題は、切り欠きを有する被測定物、あるいは小径穴の内面測定を行う際にも測定プログラムを停止することなく連続測定を行うことのできる真円度測定装置を提供することにある。
【解決手段】被測定物を載置する回転テーブル１４と、
前記被測定物２４の略円形測定面に傾斜接触する接触式スタイラス２６と、
前記スタイラス２６を所定ストローク範囲内で傾斜角変更可能に保持する保持手段４０と、
前記スタイラス２６と前記測定面との接触に伴う、前記スタイラス２６の傾斜角変位を検出する変位検出手段４２と、
前記変位検出手段４２の出力に基づき、前記スタイラス２６先端位置を推測し、該スタイラス位置における最適ストローク範囲を保持手段に指示する制御手段３２と、
を備えたことを特徴とする真円度測定装置。 （もっと読む）