【課題】 サイクルタイムの増加を抑えてラジアルすきまの測定精度を向上させることができる転がり軸受のすきま測定方法を提供する。
【解決手段】 外輪を軸方向に対して直角の両方向に移動可能とするとともに、内輪を１ピッチ＝３６０°／（２ｍ＋１）ずつ（例えばｍ＝１）回転可能とする。一方向に荷重を負荷して外輪移動量を測定した後は、内輪を１ピッチだけ回転させるとともに、逆方向に荷重を負荷して外輪移動量を測定し、次いで、内輪を１ピッチだけ回転させるとともに、正方向に荷重を負荷して外輪移動量を測定し、これを繰り返すことで第１から第ｎまでの位置における外輪移動量を得る。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、一般の工具とワークとの高精度な相対位置決めを可能とする工具位置決め方法および工具位置決め装置を提供する。
【解決手段】 工具１およびワーク２に接続するための電極３ａ，３ｂと、該電極３ａ，３ｂの間に直列に接続される電源４および制限抵抗５と、該制限抵抗５の両端の電位差を増幅する差動増幅器６と、該差動増幅器６から出力される電圧を判定基準電圧と比較するコンパレータ７と、を備える工具位置決め装置を用いて、電極３ａ，３ｂを工具１およびワーク２に接続し、電源４により工具１およびワーク２の間に電圧を印加し、工具１をワーク２に接近させ、工具１とワーク２との間に流れるトンネル電流が検出された位置を基準位置として、位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】ステージの目的位置で停止させた後に生じる位置変動（ドリフト）を正確に検出可能なステージの位置変動検出装置を提供する。
【解決手段】固定体に設けられた第１の固定電極と、前記ステージに設けられた第１移動電極とで構成された第１コンデンサ部、前記固定体に設けられた第２の固定電極と、前記ステージに設けられた第２移動電極とで構成された第２コンデンサ部、および、前記第１コンデンサ部および前記第２コンデンサ部の双方に電圧を印加する電源、を備え、前記第１コンデンサ部の電気容量と前記第２コンデンサ部の電気容量とのうち、いずれか一方の電気容量に基づいて、前記ステージの位置変動を検出する装置であって、前記固定体に対して前記ステージを移動させたとき、前記第１コンデンサ部の出力波形と前記第２コンデンサ部の電出力波形の位相がずれるように構成される。 （もっと読む）

【課題】送信コイルと受信コイルとの距離が近くとも、従来に比して少ない計測値、校正用の磁界データによって受信コイルの位置や向きを高い精度にて推定することができる磁気式３次元位置検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の磁気式３次元位置検出装置は、複数の送信コイルから相互に異なる周波数の交流磁界を生成し、受信コイルに誘導される受信信号を用い、受信コイルの３次元的な位置を計測する装置であり、送信コイルから生成される交流磁界に、送信コイルの大きさを考慮した磁気双極子モデルを用いた、磁界強度の空間パタンを表す磁界強度関数にて、受信コイルに誘導される磁界強度を求め、磁界強度関数から予測される信号強度と、受信コイルにて実際に計測される信号強度との誤差が最小となるように、受信コイルの３次元的な位置および向きを計算する手段とにより受信コイルの位置及び向きを計測する。 （もっと読む）

【課題】回転角度の検出精度が高い回転角度検出装置及び回転機を提供する。
【解決手段】2極磁石を有する磁石回転子と、前記磁石回転子からの磁束の向きを検知するセンサデバイスとを備えた回転角度検出装置であって、前記センサデバイスは、複数のスピンバルブ型巨大磁気抵抗効果素子(固定層と自由層を有し、固定層磁化方向が固定されており、自由層磁化方向が磁場の向きに応じて回転する磁気抵抗素子)で構成された感磁面を有し、磁束を前記感磁面と交差させて、前記感磁面内で直交する磁束密度成分同士の振幅の大きさが等しくなるように、前記磁石回転子に対して前記センサデバイスが設けられていることを特徴とする回転角度検出装置。 （もっと読む）

コントローラと、可動部と搬送経路とを有し前記コントローラと連通するワークピース搬送機と、前記可動部に固着した少なくとも１つの界生成プラテンと、搬送経路に沿って配置されコントローラと連通する少なくとも１つのセンサ群とを含み、前記界生成プラテンが位置計測とともに可動部を推進させるように構成される多次元測位装置とを備える装置であって、前記の少なくとも１つのセンサ群の各センサは、少なくとも１つの界生成プラテンで発生させる検知界内の単軸に沿ったばらつきに対応する１つのみの出力信号を提供するように構成され、前記コントローラは、前記の少なくとも１つのセンサ群の各センサに隣接した前記可動部の多次元位置を、前記の少なくとも１つのセンサ群内の少なくとも１つのセンサの前記１つのみの出力信号に基づいて、多次元位置には、少なくとも平面位置と、ワークピース搬送機と少なくとも１つの前記センサ群との間のギャップとを含めて算出するよう構成されている装置。
（もっと読む）

【課題】渦電流によるジュール熱損を極小に抑えるとともに、研磨終了時点を精度よく予測・検出し、また除去すべき残膜量及び研磨レート等をその場で精度よく算出して、所定の導電性膜が適正に除去されているかを正確に評価しうる研磨終了時点の予測・検出方法とその装置並びにリアルタイム膜厚モニタ方法とその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、所定の導電性膜２８に高周波インダクタ型センサにおけるインダクタ３６を近接させ、該インダクタ３６で形成される磁束により所定の導電性膜２８に誘起される磁束変化をモニタし、研磨中の膜厚が所定の導電性膜２８の材質を一因子として決まる表皮深さに対応する膜厚になった場合の磁束変化を基に膜厚基準点を検出し、該膜厚基準点から研磨終了時点を予測し、またその場で研磨レート及び除去すべき残りの膜厚量を算出する方法を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰにおいて、渦電流によるジュール熱損を極小に抑えるとともに、所定の導電性膜が適正に除去されているかを正確に評価する。
【解決手段】導電性膜を研磨し、前記所定の導電性膜に高周波インダクタ型センサにおけるインダクタを近接させ、該インダクタで形成される磁束により前記所定の導電性膜に誘起される渦電流の変化をモニタする方法であって、前記所定の導電性膜の材質を一因子として決まる表皮効果により、研磨除去による前記導電性膜の膜厚減少に伴って前記導電性膜を貫通する磁束が増大して導電性膜に誘起される渦電流が増加するステップと、その後の更なる研磨による膜厚減少に伴って、渦電流を生じうる実質的な導電性膜厚の減少により、前記誘起される渦電流が減少へ転じるステップとを有し、該転じるステップの変化点を検出することを特徴とする、研磨途中時点の検出方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】自動二輪車の車輪用の回転支持装置に適用した場合でも、この回転支持装置を構成する軸部材３とハブ４との間に作用する外力を精度良く測定できる構造を実現する。
【解決手段】１対の転がり軸受５、５の外輪７、７に、それぞれエンコーダ１３、１３を支持固定する。これら各エンコーダ１３、１３の被検出面にそれぞれの検出部を対向させた各センサ１９Ａ₁ 、１９Ｂ₁ を、それぞれ上記軸部材３と共に回転する間座９に外嵌固定する。上記各センサ１９Ａ₁ 、１９Ｂ₁ の出力信号同士の間に存在する位相差に基づいて、上記軸部材３と上記ハブ４との間に作用する外力を求める。この様な構成を採用する事により、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】一対の磁気抵抗素子の薄膜ヨークが近接しても外部磁界の検出方向のずれの発生が抑制される磁気式角度センサを提供する。
【解決手段】磁気式角度センサ１０によれば、基板１４上に配置された一対の第１磁気抵抗素子１６および第２磁気抵抗素子１８が、それらの一対の薄膜ヨークの磁化容易方向が９０°よりも所定角度２θだけ小さい角度Ａとなるように予め配置されていることから、一対の第１磁気抵抗素子１６および第２磁気抵抗素子１８の薄膜ヨーク４０、４２が相互に近接させられてそれら薄膜ヨーク４０、４２に誘導される磁束が相互に影響するときに、一方の第１磁気抵抗素子１６の一対の薄膜ヨーク４０、４２の磁化容易方向と他方の第２磁気抵抗素子１８の一対の薄膜ヨーク４０、４２の磁化容易方向とが相互に略直角を形成するようになるので、外部磁界Ｈの検出方向のずれの発生が好適に抑制される。 （もっと読む）

【課題】静電容量の変化を誤検出なく高精度に検出できる静電容量検出装置を提供する。
【解決手段】被測定対象と対向し、被測定対象との間の距離に応じた静電容量を示すコンデンサを構成するセンサ電極Ｅ１とノードＮ２との間に、ローパスフィルタ（ＬＰＦ）２５が接続されている。ＬＰＦ２５は、外乱のためにセンサ電極Ｅ１の電位が変動しても、その外乱の高周波成分を遮断する。これにより、開閉スイッチ２４が開状態のときに、ダイオード２６を介して電源電位Ｖ２からセンサ電極Ｅ１に電荷が流れ込むことがなくなり、開閉スイッチ２２〜２４の開閉を制御してノードＮ１の電位の変化から静電容量の変化を検出する際の誤検出を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】ゼーベック効果による熱起電力の発生を抑制することができる歪ゲージを提供する。
【解決手段】歪ゲージ１には、２つの接続端１１Ａ，１１Ｂを有し第１の種類の金属で形成された歪ゲージ本体１１が備えられている。２つの接続端１１Ａ，１１Ｂそれぞれには第１の種類の金属と同一種類の金属で形成された２本の第１のリード線１２Ａ，１２Ｂの一方の接続端が接続されてそれぞれ延在している。その２本の第１のリード線１２Ａ，１２Ｂの２つの他方の端どうしを中継端子１００上で接続する。この中継端子１００には、２つの他方の端どうしでは１２Ａ１，１２Ｂ１を伝熱させつつ２つの他方の端１２Ａ１，１２Ｂ１を除く周囲からは熱的に隔離する機能を持たせてあるのでゼーベック効果による熱起電力の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】センサ電極を用いて検出される静電容量の検出精度を向上させることができる異物検出センサを提供する。
【解決手段】異物検出センサ４１は、センサ本体４２が所定量だけ変形すると電圧検出信号を出力する圧力検出部４４を備える。発振回路８１は、外側電極５２と外側電極５２に近接する異物Ｘ１との間の静電容量Ｃ１に応じて定まる発振周波数で発振し、この発振周波数の発振信号を出力する。静電容量検出部４３は、２万周期分の発振信号が出力されるのに要する時間を、ドアパネルが最大速度で作動された場合にセンサ本体４２に異物Ｘ１が当接してから接触検出信号が出力されるまでにかかる反応時間よりも短い計測時間内で計測し、計測時間が経過する毎に計測結果を出力する。判定部４５は、計測結果に基づきドアパネルと乗降口との間の異物Ｘ１の有無を判定するとともに、接触検出信号に基づき同異物Ｘ１が存在すると判定する。 （もっと読む）

【課題】 個体ばらつきと磁界変化検出素子の温度特性による位置検出の誤差の影響を容易に抑制でき、検出精度を向上させた位置検出回路及びその応用装置を提供する。
【解決手段】 離散して配置される一対のホール素子２ａ，２ｂと、前記一対のホール素子からの各出力に、ゲインを掛けて出力する２つのＶＣＡ（ゲイン調節器）３ａ，３ｂと、前記ＶＣＡからの各出力の差を求め、位置信号ΔＶとして出力する減算増幅器４と、前記ＶＣＡからの各出力の加算値を求める加算増幅器５と、前記加算増幅器の出力が一定になるように、前記ＶＣＡのゲインを調節する設定回路６とを備えて位置検出回路を構成する。 （もっと読む）

【課題】 磁界変化検出素子の温度特性が補正され、高い精度で位置検出を行うことができる位置検出回路、及びそれを用いた撮像装置を提供する。
【解決手段】 所定の間隔をもって配列された複数のホール素子101a，101bと、入力電流に応じた磁界を発生する磁界発生手段106 と、前記複数のホール素子からの各出力を減算する減算増幅手段102 とを有し、前記減算増幅手段の減算結果に基づき前記複数のホール素子と前記磁界発生手段との相対的な位置関係を検出する位置検出回路において、前記複数のホール素子からの各出力を加算する加算増幅手段103 と、基準電圧104bと前記加算増幅手段の加算結果との差分を抑える制御値を生成する制御値生成手段104 と、前記制御値生成手段の制御値を電流に変換し、前記磁界発生手段の入力電流として出力するＶ−Ｉ変換手段105 とを備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】
検出感度が高く、測定レンジの広い傾斜計を得ることを目的とする。
【解決手段】
傾斜計２は、ハウジング部１０から吊り下げられた内側振子部２４を備えている。内側振子部２４には、内側磁石３２が固定されており、ハウジング部１０には外側磁石３０が設置されている。また、内側振子部２４には、発磁体３６が固定され、ハウジング部１０にはコイル部３８が固定され、内側振子部２４が初期位置から変位した場合は、発磁体３６とコイル部３８の間に吸引力が発生される。 （もっと読む）

【課題】プローブを接触させて摺擦することにより被測定物表面の表面性を識別する際の耐久性を改善した表面性識別装置、シート材識別装置及び画像形成装置の提供。
【解決手段】Ｓ字型プローブ１５ａの先端当接部でシート材７を走査し、シート材表面の凹凸及び摩擦係数に応じた振動及び衝撃による歪を誘起することにより圧電素子１５ｂが電気信号を発生し、電気信号の強度差を基にシート材表面の表面性を識別するＳ字型表面性検知センサ１５であって、Ｓ字型プローブ１５ａは、先端当接部に板状セラミックチップであるジルコニアチップ１６を有し、ジルコニアチップ１６は、シート材７表面にジルコニアチップ１６の先端部を当接することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明により、容量性タッチデジタイザシステムの較正のための方法が提供される。この方法は、デジタイザシステムとのユーザインタラクションの経過中にシステムのデジタイザセンサから出力される信号パターンを複数の異なる事象から検出するステップと、信号パターンが異なる事象で繰り返される回数を決定するステップと、所定の繰返し閾値を超えて繰り返される信号パターンとしてオフセット値のマップを画定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ステアリングホイールの１回転で１周期の絶対舵角を検出して分解能及びリニアリティを保ちながら速やかに絶対舵角を検出する。
【解決手段】車両の操舵装置の絶対舵角を検出する絶対舵角検出装置であって、前記操舵装置の回転に連動して回転するセンサホイール１８ｃと、ＧＭＲ素子で構成されるブリッジ回路を有する磁気検出器１８ｇと、該磁気検出器１８ｇの回りに配設された着磁部１８ｄ，１８ｅと、前記磁気検出器１８ｇから出力される検出信号に基づいて絶対舵角を演算する舵角演算部２６とを備え、前記センサホイール１８ｃに前記磁気検出器１８ｇ及び着磁部１８ｄ，１８ｅの何れか一方を装着すると共に、他方を固定部に装着し、前記磁気検出器１８ｇは前記操舵装置の１回転を１周期とする検出信号を出力するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】近接を検出することが可能な検出可能距離を伸ばすと同時に、近接座標の位置分解能を高めることができる近接検出装置を得ることを目的とする。
【解決手段】遠い位置に存在する検知対象物を検知する場合、複数の検知電極を電気的に結合し、近い位置に存在する検知対象物を検知する場合、電気的に結合されている複数の検知電極を分離する検出電極結合回路５を設け、静電容量検出回路６が検出電極結合回路５により電気的に結合されている検知電極の静電容量を検出するとともに、検出電極結合回路５により分離された検知電極の静電容量を検出する。 （もっと読む）