【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動で高ダイナミックレンジの検出を高速で実現する近接検出装置および方法の提供。
【解決手段】検出領域２における２つの次元のうち一方の次元に対応する複数の送信電極３と、他方の次元に対応する受信電極４と、送信電極３の少なくとも二つ以上の電極に周期的な交流電圧を同時に印加するマルチライン駆動手段５と、電流測定手段６と、演算手段と、制御手段９ａとにより構成され、演算手段は、電流測定手段６で測定した電流値あるいは蓄積された電荷量を線形演算し送信電極３と受信電極４の各交点の静電容量に対応した値に変換する線形演算手段７と、線形演算手段７の出力から検出領域２への物体の接近判定或いは接近位置を求める近接演算手段８とにより構成され、線形演算手段７は、検算の途中結果を記憶する記憶手段１５を備える。 （もっと読む）

本発明は、接触センサ装置を提供する。
接触センサ装置は、接触物が接触する位置を示す複数個の接触キーを備えたパネル、パネルの複数個の接触キーに対応する位置に付着し、接触物の接触情報を第１電気信号として発生する複数個の第１接触パッド、複数個の第１接触パッド間に付着して接触される接触物に付いている伝導性物質の接触情報を第２電気信号として発生する複数個の第２接触パッド、第１電気信号を印加して接触された接触キーに設定された動作を行うようにする複数個の検知信号を出力し、第１及び第２電気信号を用いて接触物に正常に接触されているか否かを検知する接触センシング部を備えることを特徴とする。本発明によれば、接触物の不正常な接触を正確に判断して本来意図した作動ではない誤動作の誘発を防止し、不正常な接触を低減して不必要な電力消耗を節減して接触センサ装置動作の信頼性を向上させることができる。
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【課題】比較的簡素な回路構成で、高速な走査を実行できる、静電式の位置検出装置及び位置検出方法を提供する。
【解決手段】２００ｋＨｚのワンショットパルスを、２００ｋＨｚの整数倍の周波数の周期で、複数の電極子に順番に与える。このワンショットパルスの立ち上がりと立ち下がりによって生じる電流変化を、直交する電極子で捉える。 （もっと読む）

【課題】タッチセンサーの検出精度を向上させ得る容量センサーを提供する。
【解決手段】電極１１ａと接地端ＧＮＤとの間の第一の容量Ｃｓ２の充電電圧の変化を検出する第一の充電電圧検出部１２ａと、複数の電極１１ａ，１１ｂ間の第二の容量Ｃｓ１の充電電圧の変化を検出する第二の充電電圧検出部１２ｂと、第一の充電電圧検出部１２ａと第二の充電電圧検出部１２ｂからそれぞれ出力される検出信号Ｆ１，Ｆ２に基づいて判定信号ＯＵＴを生成する判定部１３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 人の指などの物体の接近及び位置を電極の静電容量により検出する近接検出装置において、物体の接近していない時の検出電極の静電容量が大きく、接近による変化の比率が小さい場合でも、高速で高精度の安定した検出を行うことの出来る近接検出装置を提供する。
【解決手段】 検出電極の静電容量により発振周波数を変化させる発振手段からの発信信号の３から５０サイクル程度の時間を、時間デジタル変換を用いて高分解能で検出して、その検出値を用いて接近や位置を近接演算で検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】ピストンロッドが回転したとしても誤差のないストローク位置検出を行うこと。
【解決手段】ピストンロッドの表面において、該ピストンロッドの直線的ストローク変位の方向に沿って面積が漸増又は漸減する区間を有する所定のパターンで配置された少なくとも１つの磁気応答部と、シリンダ本体の側に固定され、前記磁気応答部のパターンの夫々に対応して設けられたコイルとを具備する。ピストンロッドの直線的ストローク変位に応じて、該コイルに対する磁気応答部の対応面積が変化し、この対応面積の変化に応じて該コイルに生じる電気的インピーダンスが変化する。コイルは、ピストンロッドの回転によって磁気応答部のコイルに対する対応位置が相対的に円周方向に変位することを許容すべく、該磁気応答部に対向する該コイル端部の幅員を、該磁気応答部のパターンの円周方向についての最大幅よりも所定角度範囲だけ幅広に構成される。 （もっと読む）

【課題】 対象物のサイズや形状等に関わらず、簡素な構成でより高精度に鋼材の減肉を検出することの可能な電磁波パルスによる減肉検出方法及び減肉検出装置を提供すること。
【解決手段】 電磁波パルスの送信子及び受信子から隔たった位置に存在する鋼材に送信子から電磁波パルスを送信すると共に前記受信子で受信し、受信パルスの時間と振幅との相関により前記鋼材の減肉を検出する。送信子と受信子を各々有する一対の第一、第二センサ２，３を設ける。これら第一、第二センサ２，３は互いに逆極性となるように配置される。第一センサ２及び第二センサ３双方の近傍に位置する鋼材１０１の減肉を検出する。 （もっと読む）

【課題】ＭＲＩ像の理解を一層深めることのできる磁気共鳴力顕微鏡を提供する。
【解決手段】高周波磁場発生装置３１が試料２１の全体に均一に発生した高周波磁場中で、カンチレバー自己励振ループ部が前記カンチレバー２３を自己励振した状態で、試料２１（検体）のスピンを制御して磁気共鳴力を発生させ、周波数復調器２６が磁気共鳴力に基づいた前記カンチレバー変位計測器２９の検出信号から前記カンチレバーの共振周波数を計測し、かつカンチレバーの共振周波数シフトを計測し、カンチレバーの共振周波数のシフト量の直流成分Δνが一定となるようにスキャナー２２を制御して試料２１表面から探針２４先端までの距離Zを調整して、試料２１の原子間力像（ＡＦＭ）をスキャナー駆動電源２５が生成し、周波数復調器２６での前記カンチレバーの共振周波数シフト量の交流成分δνに応じて磁気共鳴力像（ＭＲＦＭ）を位相検波器３４が生成する。 （もっと読む）

【課題】 検出された位置信号の交流リップル分を低減できると共に、位相遅れの少ない位置センサ、及びこの位置センサを適用することで安定し、かつ振動のより少ない磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 搬送波発信器２０１及びセンサ１０７とで構成された位置信号検出部と、該位置信号検出部から抽出された信号と前記搬送波発信器２０１の信号とを乗算する乗算器２３１と、該乗算器２３１の出力信号を分岐し、該分岐された一方の信号を遅延させる遅延器２３７と、該遅延器２３７の出力信号と前記分岐された他方の信号とを加算する加算器２３５とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】 高精度に静電容量を検出できる静電容量検出装置を提供する。
【解決手段】 本発明の静電容量検出装置１０は、容量値一定の基準コンデンサＣ_Rと、対象物表面ＨＢとの間に静電容量Ｃ_Fを形成するセンサ電極ＳＥと、基準コンデンサＣ_Rと静電容量Ｃ_Fとの容量比で定まるゲート電位に基づいてドレイン電流を変調する信号増幅素子Ｔｒ１と、信号増幅素子Ｔｒ１のゲート電位を接地電位にリセットするリセット素子Ｔｒ２を備える。対象物表面形状を読み取る際に、非選択列に属する信号増幅素子Ｔｒ１のゲート電位を接地電位にリセットすることで、高精度な検出精度を確保する。 （もっと読む）