【課題】ワークがひずんでいる場合でもワークの被露光領域に応じてマスクのパターンを精度良く露光転写することができる露光装置及び露光方法を提供する。
【解決手段】ワーク１２とマスク２１の両アライメントマークをアライメント検出系５２で検出する工程と、両アライメントマークのずれ量に基づいて、マスク２１とワーク１２の位置ずれ量とワーク１２のひずみ量とを算出し、算出された位置ずれ量に基づいて、アライメントを調整する工程と、算出されたひずみ量に基づいて、光源６１からの露光光の光束を反射する平面ミラー６６の曲率を補正する工程と、を備える。曲率補正工程は、露光光束の光路ＥＬにおいて平面ミラー６６より露光面側からレーザー光Ｌを照射し、カメラ９３によって撮像する工程と、平面ミラー６６の曲率を補正した際に撮像されるレーザー光Ｌ、Ｌ´の変位量Ｓ１，Ｓ２を検出する工程によりひずみ量α、βと対応するように曲率補正する。 （もっと読む）

【課題】位置ずれによる測定精度の劣化を抑制する。
【解決手段】測定子３が被計測物に当接された状態で、シャフト２がフレーム１に対して前後に移動すると、シャフト２にホルダ４を介して固定された第１スリット５が前後に移動する（ａ1-ａ３）。シャフト２、ホルダ４、第１スリット５の移動範囲は、前方向については、ホルダ４の前方端部とフレーム１の当接により制限され（ａ１）、後方向については、ホルダ４の後方端部とストッパ８との当接により制限される（ａ３）。ストッパ８は、くの字状に折れ曲がった部材であり、ホルダ４の後方端部との当接面より前方に距離ｄオフセットした位置においてフレーム１にネジ８１によってネジ止め固定されている（ａ１）。 （もっと読む）

【課題】対象物体が透光部材を押し込んだときの沈み込み深さを光学的に正確に検出することのできる光学式位置検出装置、並びに当該光学式位置装置を備えたハンド装置およびタッチパネルを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、光源装置１１が透光部材４０において対象物体Ｏｂが位置する第１面４１側とは反対側の第２面４２側から検出光Ｌ２を出射し、対象物体Ｏｂで反射して透光部材４０の第２面４２側に透過してきた反射光Ｌ３を光検出器３０で検出する。透光部材４０の第１面４１は、弾性および対象物体Ｏｂに対する吸着性を備えている。このため、位置検出装置１０では、対象物体Ｏｂと透光部材４０とが接触した瞬間、および対象物体Ｏｂが透光部材４０を押圧した際の沈み込み深さを正確に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】物体の振動振幅を精度良く求める。
【解決手段】振動振幅計測装置は、物体１２にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、発振波長が増加する期間と発振波長が減少する期間とが交互に存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１２からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形を数える計数部７と、計数結果に基づいて物体１２の振動の最大速度を算出する振動最大速度算出部８と、計数結果に基づいて物体１２の振動周波数を算出する振動周波数算出部９と、振動最大速度と振動周波数とから物体１２の振動振幅を算出する振動振幅算出部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】光源部から出射された検査光の一部を対象物体の有無にかかわらず強度が一定のブランク光としてモニターして光源部での駆動条件の設定等に利用するとともに、かかるブランク光が対象物体の位置検出を妨げることのない光学式位置検出装置、並びに当該光学式位置検出装置を備えたハンド装置および位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、光源部１１は、検査光Ｌ２を出射して検出領域１０Ｒに光強度分布を形成し、対象物体Ｏｂで反射した位置検出用反射光Ｌ３を第１光検出器３０で検出する。また、対象物体Ｏｂにより反射した位置検出用反射光Ｌ３が入射しない第２光検出器６０が設けられており、かかる第２光検出器６０には、検出領域１０Ｒを経由しないブランク光Ｌ０が入射する。第１光検出器３０については、位置検出用反射光Ｌ３が入射し、ブランク光Ｌ０が入射しない構成とする。 （もっと読む）

【課題】背景の変化や走行体から発せられる光等の外乱による誤検知を可能な限り少なくした走行体の先頭位置検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明の走行体３の先頭位置検出方法は、走行体３の先頭部及び背景を画像センサ５により連続的に撮像し、撮像された画像を基に、連続する２つの画像間の差分画像を算出し、算出された差分画像に関し、走行体３の走行方向に垂直な方向に沿った輝度積算を行うことで差分投影輝度分布を算出し、算出された差分投影輝度分布に対し、所定の輝度閾値を超え始める位置を検出し、検出された位置を走行体３の先頭部の位置と認識する。 （もっと読む）

【課題】位置検出の分解能及び安定性を広い変位検出範囲に渡って高いレベルで維持しつつ且つスケール上の欠陥等の影響による信頼度をもチェックできる光学式信号出力装置の信号処理装置及びそのような信号処理装置を備えた光学式変位検出装置を提供すること。
【解決手段】スケール５０上に形成され、変位検出対象物の変位方向Ｘに沿って実効反射率が漸増する光学特性を有するグレートラック５１に光ビーム６１を照射して得られる第１の信号群の振幅成分と変位検出対象物の変位方向Ｘに沿って実効反射率が漸減する光学特性を有するグレートラック５２に光ビーム６２を照射して得られる第２の信号群の振幅成分との和と第１の信号群の振幅成分と第２の信号群の振幅成分の差との比から変位検出対象物の絶対変位を求める。また、第１の信号群の振幅成分と第２の信号群の振幅成分の和から光学式信号出力装置が正常であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】搬送中の貨物の寸法及び重量を高精度に測定できる寸法重量測定装置を提供する。
【解決手段】搬送路上を移動する貨物Ａの寸法と重量とを測定する装置であり、搬送方向と直交する方向に複数の受光センサを配列し、貨物Ａに投影した平行光束を受光センサで受光して、貨物Ａに遮光されて受光できない遮光受光センサの位置を検出する光学ゲート５０と、貨物Ａの搬送距離を検出する搬送距離検出手段１２と、搬送距離が所定量増加するごとに、光学ゲート５０の遮光受光センサの位置を記憶し、この動作を貨物Ａが光学ゲート５０を通過するまで繰り返すメモリと、貨物Ａが光学ゲート５０を通過した後、メモリに記憶されたデータに基づいて貨物Ａの寸法を算出する寸法測定手段と、搬送路上を移動する前記貨物の重量を測定する重量測定手段とを備える。この装置は、貨物Ａの搬送速度の影響を受けずに、貨物Ａの寸法及び重量を高精度に測定できる。 （もっと読む）

【課題】 溝底に照射するレーザビームを利用して切削ブレードの消耗量を正確に管理可能な切削ブレードの消耗量管理方法を提供することである。
【解決手段】 切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法であって、レーザポインタの出射ビームが撮像手段の焦点を通過するように設定し、切削ブレードで被加工物を切削した切削溝中にレーザビームを照射してレーザビームのビームスポットが切削溝の溝底で撮像手段の焦点に一致するように撮像手段を高さ方向（Ｚ軸方向）に移動させる基準位置合致工程を遂行する。被加工物を切削ブレードで適宜切削加工した後に、ビームスポット形成工程及び基準位置合致工程を遂行し、前回実施した基準位置合致工程後の撮像手段のＺ軸方向の位置と、今回実施した基準位置合致工程後の撮像手段のＺ軸方向の位置の差から、切削ブレードの消耗量を割り出す。 （もっと読む）

【課題】代替のエンコーダタイプの位置測定システムを提供する。
【解決手段】他のオブジェクトに対する可動オブジェクトの位置を測定する位置測定システムが、可動オブジェクト及び他のオブジェクトのうちの一方に取り付けられ、それぞれが測定方向に沿って測定ビームを放出することができる２つ以上の一次元（１Ｄ）エンコーダヘッドと、可動オブジェクト及び他のオブジェクトのうちの他方に取り付けられ、それぞれの基準ターゲットが２つ以上の一次元（１Ｄ）エンコーダヘッドと協働するグリッド又は回折格子を有する平面を含む１つ又は複数の基準ターゲットと、２つ以上の１Ｄエンコーダヘッドの出力に基づいてオブジェクトの位置を計算するプロセッサとを含み、２つ以上の１Ｄエンコーダヘッドそれぞれの測定方向は、それぞれの基準ターゲットの平面に対して非垂直である。 （もっと読む）

【課題】レンズの球欠高さ測定方法および装置において、被検レンズのレンズ面を傷つけることなく球欠形状を測定することができるようにする。
【解決手段】レンズの球欠高さ測定方法であって、干渉計に対して、被検レンズ面を光軸に沿う方向に相対移動させて、干渉縞画像を観察することにより集光点が被検レンズ面の球心位置および面頂位置に一致する際の光軸に沿う方向における被検レンズ面の相対移動位置を取得し、この相対移動位置の間の距離を計測して被検レンズ面の曲率半径を測定する曲率半径測定工程Ｓ０と、集光点が被検レンズ面の球心位置に一致されたときの被検レンズ面の画像から被検レンズ面の球欠径を測定する球欠径測定工程Ｓ４と、曲率半径測定工程Ｓ０で測定された曲率半径と球欠径測定工程Ｓ４で測定された球欠径とを用いて被検レンズ面の球欠高さを算出する球欠高さ算出工程Ｓ５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ロール状記録媒体中の記録用紙の終端をその記録用紙に押し付け跡を残すことなく非接触で、かつ簡単な装置で検知することができるロール状記録媒体の終端検知方法を提供すること。前記終端検知方法に用いるロール形状の記録媒体を提供すること。
【解決手段】巻き芯と前記巻き芯表面に連結した記録媒体部分とを含むロール状記録媒体であって、前記記録媒体部分の巻き始め部から離れた位置の記録媒体部分に貫通孔を有することを特徴とするロール状記録媒体。巻き芯と前記巻き芯表面に連結した記録媒体部分とを含み前記記録媒体部分の巻き始め部から離れた位置の記録媒体部分に貫通孔を有するロール状記録媒体の終端検知方法であって、前記記録媒体部分の片面側に光源および反対面側に受光部を設けて前記貫通孔を透過光量の変化で検知することを特徴とするロール状記録媒体の終端検知方法。 （もっと読む）

【課題】端部に「ダレ」を有している鋼板においても、正確にかつ安定して突き合わせ開先位置を検出する。
【解決手段】２枚の鋼板の突き合わせ部を、突き合わせ線が前記撮像装置の撮像面の水平軸方向となるようにして撮像する撮像工程と、撮像工程で取得された撮像画像から得た部分画像を、予め設定した閾値Ｔを用いて２値化画像を出力する２値化工程と、２値化画像において水平軸方向をｘ軸方向、垂直軸方向をｙ軸方向として、各画素座標（ｉ、ｊ）の２値化輝度値Ｕ´について、ｙ軸方向の輝度差分値Ｖを、各ｉについて演算する工程イと、工程イで演算した輝度差分値Ｖをｉについて積算して輝度差分射影値Ｗを演算する工程ロと、工程ロで演算した輝度差分射影値Ｗにおいてピークの画素位置を求めて、前記２枚の鋼板それぞれの突き合わせ開先位置として検出するピーク位置検出工程とを有する検出方法。 （もっと読む）

【課題】磁石の位置、すなわち、埋め立て地盤の地層の位置を検知する。
【解決手段】埋め立て地層に磁石１２を埋め込み、その磁場の位置を検知することで、地層の沈下を検知する地盤沈下計において、磁場の位置を検知する手段として、光ファイバ１１中を伝搬する光に対する磁場の偏光回転の効果（ファラデー効果）を利用し、かつ、ＯＴＤＲの技術に偏光感知能力をもたせたＰＯＴＤＲ１３により、偏光が回転した位置を、すなわち埋め立て地盤の地層の位置を正確に検知する。 （もっと読む）

【課題】位置感知光検出器を使用する線形変位センサを提供する。
【解決手段】位置感知装置は、ソース拡散光を光軸方向に沿って検出器に放射する光源と、光源と検出器のとの間に位置決めされ、光軸方向に垂直に移動する移動アパーチャ機構とを備える。移動アパーチャ機構は、ソース拡散光を角度的にフィルタリングして透過し、検出器上に測定スポットを形成する第１および第２の制限アパーチャを備える。検出器により出力される少なくとも１つの信号は、測定軸に沿った可動部材の位置を示す。測定スポットを形成する角度フィルタリング済みの光線の角度強度分布は、ソース光の角度強度分布よりも、測定軸に沿った位置に応じてより均一化している。結果として生成される、測定スポット内の測定範囲全体を通して均一な強度分布は、測定の線形性および精度を高める。 （もっと読む）

【課題】ノイズの影響を抑えて、安定した精度の高い測定結果を得る。
【解決手段】広帯域スペクトルを有する光源１から被測定対象４までの第１光路長と光源４から参照面５までの第２光路長との光路長差によって変化する被測定対象の測定面内の各測定位置に対応した干渉光強度を示す干渉光強度分布画像を、光路長差を変化させながら、画像記憶手段９に順次記憶する。干渉光強度分布画像の各測定位置における光路長差の変化に伴う干渉光強度の変化を示す干渉光強度列に対し、その強度の中心から強度軸の正負方向に所定のスレッショルドレベルを設定する。スレッショルドレベルを超える干渉光強度のデータをピーク位置候補として求め、最もピーク位置候補が密集している領域の重心を干渉光強度列のピーク値として求める。 （もっと読む）

【課題】測定精度が可動物体の動作によって実質的にほとんど影響されない、可動物体の位置依存信号を測定するように構成された好ましくはエンコーダ型高精度測定システムを提供する。
【解決手段】エンコーダ型測定システムは可動物体の位置依存信号を測定するように構成され、可動物体の上に取付け可能な少なくとも１つのセンサと、実質的に静止したフレームの上に取付け可能なセンサターゲットと、実質的に静止したフレームの上にセンサターゲットを取付けるように構成された取付けデバイスとを含む。実質的に静止したフレームに対するセンサターゲット物体の移動および／または変形を補償するように構成された補償デバイスをさらに含む。補償デバイスは受動型または能動型制振デバイスおよび／またはフィードバック位置制御システムを含むことができる。代替の実施形態において、補償デバイスは、センサターゲット物体の位置を固定する把持デバイスを含む。 （もっと読む）

【課題】同期信号等の出力インタフェースを有しないカメラを使用し、撮像と被測定物またはカメラの位置情報を、制御回路を使用せずに同期して撮像を行う非接触計測装置および非接触計測方法を提供することを課題としている。
【解決手段】非接触計測装置は、アクチュエーター１０、レーザー１２、カメラ１３、信号処理・制御ユニット２０、画像表示装置３０から構成されている。信号処理・制御ユニット２０は、制御部１０１と、画像データ取り込み部１０２と、グレースケール変換部１０３と、画像データ記憶部１０４と、相関比較部１０５と、停止判定部１０６と、輝度抽出部１０７と、重心算出部１０８と、高さ算出部１０９と、計測結果出力部１１０とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】 画像読取装置（スキャナ）のキャリッジ変動や光学歪み、記録媒体の変形などの影響を低減して、高精度のドット位置の測定が可能で、ロバストネス性が高いドット位置測定方法及びドット位置測定装置を提供する。
【解決手段】 各ノズル０，５，１０，１５，…により形成された共通ラインブロックＬＣＢ及びＬＣＢｂを平均化して得られたラインブロックをLCBAveとし、ラインブロックLCBAveのラインLc0_ave, Lc5_ave, Lc10_ave, …のＸ座標をそれぞれx0@LCB_ave, x5@LCB_ave, x10@LCB_ave, …とする。共通ラインブロックを複数形成して平均化することにより、上記誤差が小さくなっている。即ち、dx5_ave < dx5, dx5b, dx10_ave < dx10, dx10bとなっている。これにより、共通ラインブロックの位置変動（誤差）が各ラインブロックの測定位置の補正結果に与える影響を低減することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】検出部のエンコーダ信号である２相正弦波信号が、リサージュ波形の表示時において２重になるときも、位置を正確に検出、補正することができるデジタルスケールの検出信号補正方法及び検出信号装置を提供すること。
【解決手段】デジタルスケールの検出信号補正方法及び検出信号補正装置は、２相正弦波信号の周波数の整数分の１の周波数を有する信号により補正を行い、また、２相正弦波信号を組とし、２つの補正区間ごとに各相正弦波信号のオフセット、大きさの比、位相差を補正することにより、高精度の位置検出を可能とするものである。 （もっと読む）