【課題】複数の突起部を有する検査対象物を迅速に検査する。
【解決手段】検査装置は、検査対象物Ａ載せる透明なテーブル１２と、テーブル１２の下面から光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、光パターンが照射された検査対象物Ａを、テーブル１２の下面から撮影する撮像部２２と、検査対象物Ａの画像を処理して、検査対象物Ａの表面の３次元形状を表す表面形状データを生成する画像処理部１０３と、表面形状データにより表される検査対象物Ａにおける複数の突起部それぞれにおいて、テーブル１２の上面に対する位置を示す値の代表値を決定する代表値決定部１０２と、複数の突起部それぞれにおける代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部１０１と備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は被検出物の厚さを測量することができる厚さ検出装置を提供する。
【解決手段】厚さ検出装置２０は、検出アーム２０１及び光学移動センサモジュール２０２を含む。検出アームは、被検出物Ｔ’が通過する時に当接して移動し、且つ、検出アームは、表面を有している。厚さ検出装置は、第一位置に位置する検出アームの表面と第二位置に位置する検出アームの表面をそれぞれ感知し、検出アームが第一位置から第二位置に移動した時の移動量ΔＰ’を計算し、被検出物の厚さを測量する。 （もっと読む）

【課題】従来技術に比べて欠陥位置へのマーキング精度を飛躍的に向上することで歩留りを下げることなく、かつ、微小欠陥そのものにマーキングすることで目視検査の工数を削減できるフィルム用欠陥マーキング装置及び欠陥マーキング方法を提供すること。
【解決手段】本発明のフィルム用欠陥マーキング装置は、検査エリア３７で欠陥が検出されてからマーキングエリア３８でマーキングが施されるまでの欠陥部分の幅方向のズレである蛇行量を検出する第１の検出手段１６，２８と、検査エリア３７で欠陥が検出されてからマーキングエリア３８でマーキングが施されるまでの前記欠陥部分の搬送距離を検出する第２の検出手段１７，２１，２３，２９と、第１及び第２の検出手段に基づいてマーキングエリア３８における欠陥部分の座標を補正してマーキング位置を決定する手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置本体に出し入れ可能に設けられた巻尺により測定した測定値を精度よく読み取ることが可能な巻尺読取装置を提供する。
【解決手段】本発明の巻尺読取装置１００は、巻尺２００の測尺２２０に付された目盛りおよび目盛り文字を撮像する撮像部１６０と、撮像画像から目盛り文字および目盛り文字に対応する目盛り線を認識する目盛認識部１７２と、撮像画像に基づいて、撮像画像内における基準位置から目盛り文字に対応する目盛り線までの画像内距離を算出する画像内距離算出部１７４と、撮像画像中から認識された目盛り文字、画像内距離、および撮像画像と読み取り位置との位置関係に基づいて、巻尺の測定値を算出する測定値算出部１７６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光ビームにより基板を走査して、新たなパターンを下地パターンに合わせて精度良く露光する。
【解決手段】チャック１０に位置検出用マークを設け、チャック１０の位置を検出しながら、ステージによりチャック１０を移動して、各画像取得装置５１によりチャック１０の位置検出用マークの画像を取得し、検出したチャック１０の位置及び画像処理装置５０が検出したチャック１０の位置検出用マークの位置から、各画像取得装置５１の位置ずれを検出して、各移動機構により各画像取得装置５１の位置ずれを修正する。各画像取得装置５１により基板１の下地パターンの位置検出用マークの画像を取得し、画像処理装置５０が検出した基板１の下地パターンの位置検出用マークの位置に応じて、ステージによりチャック１０を移動して、光ビーム照射装置２０からの光ビームにより基板１を走査する前の基板１の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】ウエハテーブルの位置計測を高精度に行う。
【解決手段】エンコーダ本体（１６Ｙａ，１６Ｙｂ等）から射出されるレーザ光（Ｌｙ１，Ｌｙ２等）は、ウエハテーブルＷＴＢにＰＢＳ１８を介して外部から入射し、露光領域ＩＡの直下に位置する点ＩＡａにて、グレーティング２４に到達し、該グレーティングで回折される。そして、グレーティングから戻ってきた第１の偏光成分と、ＰＢＳで反射された第２の偏光成分との干渉光を受光することにより、ウエハテーブルＷＴＢの位置情報を計測する。従って、ＰＢＳを透過した第１の偏光成分が、第２の偏光成分と再度合成されるまでの間は、ウエハテーブル内を通過し、外部雰囲気中を進行することが無いので、測長ビームがウエハテーブルの周辺雰囲気の揺らぎの影響を受けることなく、高精度なウエハテーブルの位置計測を行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動系により、アーム部材７１から移動体ＷＦＳのＸＹ平面に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対して計測ビームを照射して移動体のＸＹ平面内の位置を計測する第１計測系の計測結果に基づいて移動体が駆動される。この場合、アーム部材からグレーティングＲＧに計測ビームを照射する構成が採用されているので、ステージ定盤にエンコーダシステムを設ける場合とは異なり、移動体の駆動に起因する悪影響はない。従って、移動体を精度良く駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、安定して像担持体のホームポジションを検出可能な画像形成装置を提供すること。
【解決手段】最表面薄膜層３ｂが、厚みが比較的厚い厚膜領域３１および厚みが比較的薄い薄膜領域３２を有し、厚膜領域の厚みｄ_１（ｎｍ）および薄膜領域の厚みｄ_２（ｎｍ）が関係式；５０ｎｍ≦ｄ_１−ｄ_２≦９５０ｎｍ；２０ｎｍ≦ｄ_２＜ｄ_１≦１０００ｎｍ；を満たす像担持体３、および光センサ２０を備えた画像形成装置であって、像担持体のｄ_１およびｄ_２が、発光センサからの光に対する像担持体外周面の反射率Ｒと像担持体の最表面薄膜層の厚みｄ（ｎｍ）との関係を表す反射率関数Ｒ（ｄ）について、関係式；｜Ｒ（ｄ_１）−Ｒ（ｄ_２）｜≧０．５×｛Ｒ_ｍａｘ（ｄ）−Ｒ_ｍｉｎ（ｄ）｝をさらに満たす画像形成装置。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を高精度で計測する。
【解決手段】 露光ステーション２００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ１の位置情報は、計測アーム７１Ａを含む第１の微動ステージ位置計測系により計測され、計測ステーション３００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ２の位置情報は、計測アーム７１Ｂを含む第２の微動ステージ位置計測系により計測される。露光装置１００は、ステージＷＦＳ２が計測ステーション３００から露光ステーション２００へ搬送される際、このステージＷＦＳ２の位置情報を計測可能な第３の微動ステージ計測系を有する。第３の微動ステージ計測系は、複数のＹヘッド９６，９７を含むエンコーダシステムとレーザ干渉計７６ａ〜７６ｄを含むレーザ干渉計システムとを含む。 （もっと読む）

【課題】マスクと基板との位置合わせを安定して処理可能な露光技術を提供する。
【解決手段】 アライメントマークを使用してマスクに対し処理基板を移動させて当該マスクと処理基板との位置合わせをして露光を行う技術である。画像でのマスク側のアライメントマークＭ２の画素数が、予め設定した基準閾値と一致若しくは当該基準閾値以上となるように撮像装置１６の焦点を調整してマスク側の基準位置を演算する。同様にして、基板側の基準位置を演算する。上記演算したマスク側の基準位置を基準として、マスク側の基準位置と処理基板側の基準位置とが一致若しくは予め設定した許容誤差内となるまで、上記処理基板側のアライメントマークＭ１の画像を取得して当該処理基板側の基準位置を演算する処理を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】ピストン往復動燃焼エンジンのシリンダのシリンダカバーを取り外すことなく、シリンダの内径および表面状態を検査するようにして、当該シリンダライナの検査の時間を短縮する。
【解決手段】燃焼機関のシリンダライナ２５の摺動面３５を検査する方法および検査装置が提供され、検査装置は、検査工具、制御装置、電力供給と測定データおよび制御信号の伝達のための接続手段６０を有する。検査工具は、ベアリングレール７０を有し、このベアリングレール７０には、ロータリテーブル８０、シリンダライナ２５の内径と摺動面３５とを測定するためと、表面状態を目視検査するための工具９０，９６とが装架される。検査工具は、被検査シリンダライナ２５の開口を通してシリンダライナ２５に導入しうるサイズとする。本発明は、特にピストン往復動燃焼機関のシリンダライナ２５の検査に適している。 （もっと読む）

【課題】車両の走行位置と通過時刻との関係を高精度に特定することを可能とした電気鉄道保守用車両位置測定装置を提供する。
【解決手段】車両の屋根上に設置されてハンガを撮影するラインセンサカメラ２と、ラインセンサカメラ２によって取得した画像の解析を行う画像処理部とを備える電気鉄道保守用車両位置測定装置において、画像処理部を、ラインセンサカメラ２によって撮影された画像信号を時系列的に並べてなるラインセンサ画像を作成するラインセンサ画像作成部３１ａと、ラインセンサ画像上の点列から直線を検出するハフ変換部３１ｂと、ハフ変換部３１ｂによって検出された直線のうち予め設定する基準方向に対する角度が所定の範囲内にある直線をハンガとして抽出するハンガ認識部３１ｃと、ハンガ認識部３１ｃにおいて検出されたハンガが撮影された時刻を記録する時刻記録部３１ｄとから構成した。 （もっと読む）

【課題】 干渉光の強度のピーク及びコントラストを最適化し、高速かつ高精度に被測定物の表面位置を測定できる測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、光源から出射され分岐された光のうちの、参照面で反射された参照光と被測定物の表面で反射された測定光とによる干渉光の強度に基づいて前記被測定物の表面位置を測定する測定装置であって、測定光の光量を検出する検出部と、参照光の光量と前記検出部により検出された測定光の光量とに基づいて算出される干渉光の強度が目標範囲に入るように前記光源の光量を制御する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】パタンマッチング処理の精度を向上させることを可能とするパンタグラフ変位測定装置及びトロリ線硬点検出方法を提供する。
【解決手段】ラインセンサカメラ２によってマーカを撮影した画像を処理することによりパンタグラフの加速度を求める画像処理部５Ａが、入力画像を作成する入力画像作成部５ａと、テンプレートを設定するテンプレート設定部５ｂと、入力画像を分割する画像分割処理部５ｃと、テンプレートの拡縮を行うテンプレート拡大・縮小処理部５ｄと、入力画像上のマーカのピクセル位置を検出するパタンマッチング処理部５ｅと、マーカのピクセル位置をパンタグラフの実際の変位に変換するパンタグラフ変位計算部５ｆと、パンタグラフの変位に対して平滑化処理を行うフィルタリング処理部５ｇと、パンタグラフの加速度を出力する加速度出力部５ｈとを有する構成とした。 （もっと読む）

レーザベースの変位検出器(26)を使用して、透明な物品(20)の一つの面に塗布された化粧コーティング(22)を検出し、それによって、レーザ加工システムの中に装填されているときにどの面が最も上になっているかを判定する。具体的には、可視光に対して透明で、レーザ加工システムの中で適切な向きにすることが特に困難である物品(20)が、レーザベースの変位検出器(26)を物品(20)上の部分コーティング(22)と共に使用することによって、向きを定められる。 （もっと読む）

【課題】高精度なフォーカス制御を実現する。
【解決手段】第１基板が載置されたステージを所定方向に走査し、該所定方向に沿って設けられた第１及び第２投影光学ユニットを介して第１基板のパターンを第２基板に露光する。ステージに第３基板を載置してステージを所定方向に走査する第１ステップと、第３基板上に所定方向に沿って配置された複数のマークを第１投影光学ユニットを介して検出し、複数のマークに対応する第１投影光学ユニットの第１フォーカス位置情報を計測する第２ステップと、複数のマークを第２投影光学ユニットを介して検出し、複数のマークに対応する第２投影光学ユニットの第２フォーカス位置情報を計測する第３ステップと、第１及び第２フォーカス位置情報に基づいて、前記パターンに対応する第１及び第２投影光学ユニットの各フォーカス位置と第２基板との相対位置を調整する第４ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】測定線に沿う物体３４の正反射面の相対位置を測定する方法において、正反射面の傾斜角の許容範囲を広くする。
【解決手段】 （ａ）少なくとも１本の集束光ビーム３８を測定線上の公称位置４０に集束させ、正反射面からの反射ビーム４４を形成する。（ｂ）検出器平面５０における反射ビーム４４の像を記録する。（ｃ）検出器平面５０内の反射ビーム４４の像の位置を決定する。（ｄ）その反射ビームの像の位置を測定線に沿う公称位置４０からの正反射面の変位に変換する。工程（ａ）において、複数本の集束光ビーム３８を公称位置４０に集束させることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状の測定精度をより一層向上させることができる三次元測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の表面に沿ってプローブを走査して、ＸＹ座標データを取得するとともに、光干渉計によりＸＹ座標データに対応するＡ相正弦波信号値とＢ相正弦波信号値とを取得し、それらの信号値の位相差と２乗和平方根とを算出し、位相差に基づいてＺ座標データを取得するとともに、２乗和平方根によりプローブのＺ軸方向に対する傾き角度を求め、当該傾き角度からプローブと被測定物との接点の位置ズレ量を算出し、ＸＹ座標データとＺ座標データと位置ズレ量とを合成して、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸における各座標データを取得し、被測定物の三次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】交換可能なクロマティックポイントセンサ構成要素の強度補償を提供する。
【解決手段】クロマティックポイントセンサ（ＣＰＳ）の光源および波長検出器サブシステムの非均一応答に補償を提供する方法が提供される。光源からの光は、ＣＰＳ光学ペンを通る測定路を迂回し、迂回光を波長検出器に提供して、検出器のピクセルにわたって分布した未処理強度プロファイルを提供する光路に入力される。結果として生成される未処理強度プロファイル信号のセットが解析されて、未処理強度プロファイル信号内に発生する波長依存強度変動の誤差補償係数のセットが決定される。後に、誤差補償係数を適用して、本発明を使用しない場合にはＣＰＳ距離測定プロファイル信号データのピーク領域内の信号の形状に発生する歪みおよび非対称性を低減することができる。開示される方法は、様々な実施形態において、ＣＰＳ構成要素に強化された精度、ロバスト性、現場でのテスト、および交換可能性を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】所定の経路に沿った２点間の変位を再現性良く検出可能な光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサ１は、ヘテロコア部ＨＰが第１点と第２点との間に位置するよう、第１点と第２点とに固定された光ファイバ３と、光ファイバ３のヘテロコア部ＨＰと第２点との間の一部が固定され、摺動可能な光ファイバ固定部材４ｂと、光ファイバ固定部材４ｂを第１点に向けて付勢する付勢手段５と、光ファイバ固定部材４ｂに固定された部分と第１点との間における光ファイバの変形３を、所定の薄厚空間Ｓ内に規制する規制部材６とを備える。光ファイバセンサ１は、所定の経路に沿った第１点と第２点との間の変位が検出可能である。 （もっと読む）