【課題】高精度な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】本発明のエンコーダは、移動可能な格子スケールと、前記格子スケールに照射した光束の反射光または透過光を光電変換して、互いに位相差が異なるＮ相（Ｎは６以上の整数）の周期信号を生成する複数の受光素子と、前記受光素子で生成された各相の前記周期信号に対してＭ組（Ｍは２以上の整数）の係数群を乗算し、該係数群を乗算して得られた値の総和からＭ相の正弦波状周期信号を生成する増幅器とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で設置及び調整が容易であり、且つ、主ロープのテンション測定を自動で行うことができるエレベーターのロープテンション測定装置を提供する。
【解決手段】エレベーター昇降路２内を昇降するかご１と、かご１を昇降路２内で懸架する複数本の主ロープ４とを備えたエレベーター装置に、主ロープ４を側方から撮像するための撮像装置７を設置する。そして、この撮像装置７によって撮像された画像情報に基づいて、各主ロープ４の振動周波数を演算する。 （もっと読む）

【課題】エッジ検出動作（装置の稼動）を中断することなく、貼り合わせウエハの製造プロセス全体にわたって必要とされるエッジ検出精度を確保することが可能なウエハアライメント装置を提供する。
【解決手段】このウエハアライメント装置１００は、シリコンウエハ１１１とウエハ支持ガラス基板１１２とを含む貼り合わせウエハ１１０のエッジを検出するとともに、開始端２１ａが貼り合わせウエハ１１０の中心側に設定されたラインセンサ２１と、ラインセンサ２１に対向する光源２２と、貼り合わせウエハ１１０のエッジの検出時に、ラインセンサ２１を貼り合わせウエハ１１０の中心側からエッジ側に向かって走査するとともに、所定の場合に、シリコンウエハ１１１のエッジ検出と、ウエハ支持ガラス基板１１２のエッジ検出とを切り替えるように制御するコントローラ４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料室の熱変形に依らず、高精度にステージ位置を検出することが可能な試料ステージを備えた荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料ステージの位置を検出するためのレーザ干渉計を備えた荷電粒子線装置において、前記レーザ干渉計は、レーザを放出する光源と、前記試料ステージに設置される計測光用ミラーと、前記光源が設置される前記荷電粒子線装置の試料室壁面と対向する壁面に設置される参照光用ミラーと、前記光源から放出されるレーザを、計測光と参照光とに分割するビームスプリッタとを備え、当該ビームスプリッタと前記計測光用ミラーとの間に、１／４λ波長板を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】構造上の制約などによらずに、実際の測定に即した測定を高精度に行うことができる基準器およびそれを用いた検査方法を提供する。
【解決手段】 基準器１は、本体３と、本体３に直線的に設けられるガイド機構と、ガイド機構に沿って移動可能且つ固定可能な基準片７と、本体３に設けられて基準片７の位置を測定する測長手段とを有している。
基準片７をガイド機構に沿って異なる位置に移動させたときの基準片７の位置が測長手段によって測定され、基準片７が前記異なる位置に移動されたときの基準片７の位置が測定機によって測定されて、測長手段によって測定された基準片７の各位置測定値と、測定機によって測定された基準片７の各位置測定値との差が求められる。 （もっと読む）

【課題】改善されたリソグラフィ装置及び方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、基板の目標部分にパターンを生成するよう構成されている光学コラムであって、ビームを与えるよう構成されている制御可能素子９０６と、目標部分にビームを投影するよう構成されている投影系と、を備える光学コラムと、基板に対して光学コラムの少なくとも一部９２４、９３０を移動させるよう構成されているアクチュエータ９３６と、光学コラムの少なくとも一部の位置を測定するよう構成されている測定システム９３８、９４０と、制御可能素子を駆動するよう構成されているコントローラ９４２と、を備え、コントローラに測定システムの出力信号が与えられる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状測定を可能とする画像測定機を提供する。
【解決手段】テーブル１と、撮像光学部１０と、これらを相対移動させる相対移動機構５０とを有する画像測定機において、撮像光学部１０は、前側レンズ１２、後側レンズ１３およびテレセントリック絞り１４を有するテレセントリック光学系１１と、このテレセントリック光学系１１によって結像された被測定物の画像を撮像するＣＣＤカメラ１５とを含んで構成され、レーザ光を用いて、テレセントリック光学系１１の光軸上における被測定物表面の光軸方向の位置を非接触で測定するオートフォーカスレーザ変位計部２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象の特性を簡易に測定可能な測定システムを提供する。
【解決手段】蛍光を発する蛍光体２と、蛍光体２から発せられた後に測定対象である膜１００の特性に依存する変調を波長選択的に与えられた蛍光を受光する光学系１０と、変調を与えられた蛍光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、測定対象である膜１００の特性を特定する特定部３０２と、を備える測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】従来の液滴吐出装置では、描画にかかる時間を短縮することが困難である。
【解決手段】ワークＷに対向した状態で、液状体をワークＷに向けて液滴として吐出する吐出ヘッド３３と、吐出ヘッド３３の駆動を制御するヘッド制御部と、ワークＷと吐出ヘッド３３との間の隙間量Ｇを検出する変位測定装置１５と、を含み、ヘッド制御部は、変位測定装置１５からの前記隙間量Ｇの検出結果に基づいて、吐出ヘッド３３における前記液滴の吐出タイミングを補正する、ことを特徴とする液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】測長結果から精度よくデッドパスの影響を排除するヘテロダインレーザー干渉測長器を提供する。
【解決手段】ヘテロダインレーザー光源１０からのビームを２本の物理的に離れた平行なレーザービームに分岐させて測定ビームＢ１と参照ビームＢ２を生成する分岐器８０と、測定ビームＢ１及び参照ビームＢ２を測定光路ＬＰ１，ＬＰ２に向けて分割する偏光ビームスプリッタ３０と、測定光路ＬＰ１，ＬＰ２に設けられる１／４波長板３１，３２と、可動測定物５０に仮想直線上にお互いの反射面を反対方向に向けて固定され、測定ビームＢ１１，Ｂ１２が照射される測定ミラー３４１，３４２と、測定ミラー３４１，３４２近傍に配置され、参照ビームＢ２１，Ｂ２２が照射される反射ミラー４１１，４１２と、測定ミラー３４１，３４２の反射光を干渉させた光と反射ミラー４１１，４１２の反射光を干渉させた光に基づく２つのビート信号から変位を算出する演算回路７０を備える。 （もっと読む）

【課題】測定部の振動の影響を好適に除去し、高精度の形状計測を行うことのできる形状計測方法及び形状計測装置を提供する。
【解決手段】測定部表面７に当てられた光スポットの散乱光を結像レンズにて集光するとともに、その集光位置の変化から測定部表面７の形状を計測する方法であって、散乱光を結像して得られた光スポットを光位置センサー９で直接受光してその集光位置の変化を計測するとともに、上記散乱光を結像して得られた光スポットをスリット１１を介して光位置センサーで受光してその集光位置の変化を計測し、それら計測した集光位置の変化量の差分から測定部表面７の形状を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】回転体の位置を高精度に測定する。
【解決手段】回転体６の回転軸に垂直な平面に対して傾斜角度θで反射ミラー８を回転体６に取り付けて、干渉測長手段である光学ユニット１０から回転体６の回転軸に沿って照射される入射光２０ａを反射ミラー８によって反射させて干渉縞を得る。入射光２０ａの光路を回転軸から径方向にずらした距離Ｒと、入射光２０ａの波長λと、傾斜角度θとの関係が、０．４λ＜２Ｒｓｉｎθを満たすように設定することで、サイクリックエラーによる測長誤差を低減する。 （もっと読む）

【課題】高精度な変位測定装置を提供する。
【解決手段】移動物体１０２の変位量を測定する変位測定装置１００であって、
発光領域１０１から発せられた光束で移動物体１０２を照射する光源と、移動物体１０２の移動方向において複数の受光領域を備え、移動物体１０２の凹面１０３により反射された光束を結像させて受光するフォトダイオードアレイ１０４、１０５と、光束を結像させてフォトダイオードアレイ１０４、１０５に形成された発光領域像１０６の移動量から、移動物体１０２の変位量を測定する測定手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 マルチフォーカス検査装置及びマルチフォーカス検査方法に関し、１回のスキャンで高速且つ高精度の全面外観検査を可能にする。
【解決手段】 測定対象物を撮像する測定ヘッドと、前記測定対象物と前記測定ヘッドを平面内において互いに相対的に移動させる移動機構と、前記測定対象物に光を照射する光源とを備え、前記測定ヘッドは、前記測定対象物に対向して配置された撮像レンズと、前記撮像レンズの合焦面が、前記測定対象物の移動方向に対して直交する平面内或いは前記直交する平面から±４５°の範囲内で前記測定対象物の移動方向に傾斜させた平面内に存在するように調整する光学部材と、前記光学部材からの光の結像位置に焦点面が位置するよう配置したイメージセンサとを少なくとも有する。 （もっと読む）

【課題】 計量皿に載置された被測定物の単位重量あたりに対する天秤ビームの他端部が変位する変位の量が小さくても、天秤ビームの他端部の変位を正確に算出することができる電子天秤を提供すること。
【解決手段】 一端部に被測定物１５が載置される計量皿９が連結され、他端部に電磁力発生装置６、７が連結される天秤ビーム４と、光束を出射する発光部２と、光束を受光する受光面２１、２２、２３、２４を有する受光部Ｒとを備える光学的位置センサ２０と、受光部Ｒの受光面２１、２２、２３、２４で受光された受光量情報に基づいて、天秤ビーム４の他端部の変位を算出する制御部５とを備える電子天秤１であって、受光部Ｒは、４個以上に分割された受光面２１、２２、２３、２４を有し、制御部５は、４個以上の受光量情報に基づいて、天秤ビーム４の他端部の変位を算出する。 （もっと読む）

【課題】 タイヤの種類、タイヤ表面の状態および照明の位置関係に依存することなく、検査の安定化を図ることができる画像処理方法、画像処理装置、プログラムおよび記録媒体を提供する。
【解決手段】 制御部１２は、タイヤ回転方向に直交する方向のラインごとに、取込画像の各画素の濃度を、各画素が含まれるライン上の平均濃度に変換して、濃度射影変換する。次に、濃度射影変換が行われた画像に対して、タイヤの回転方向のラインのうちの１つのライン上の画素について、フーリエ展開する。また、濃度射影変換を行う前の取込画像から自己相関値を算出し、算出した自己相関値に基づいてブラダーグルーブの本数を算出する。フーリエ展開された周波数成分から、算出されたブラダーグルーブの本数で決まる周波数成分を除去し、残余の周波数成分を逆フーリエ展開し、逆フーリエ展開された画像に基づいて欠陥検出処理を行う。 （もっと読む）

【課題】基板表面のレベル変動の測定時間を短縮する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、パターニングデバイスからパターンを基板（Ｗ）に転写するパターニングサブシステムを備える。パターニングサブシステムは、記録された基板表面のレベル変動の測定結果に従って制御される。レベルセンサ（ＬＳＰ，ＬＳＤ）は、レベルセンシング放射ビームを投影して基板表面の位置から反射させ、反射したセンシングビームを検出して位置の表面レベルを測定するために設けられる。レベルセンサは、少なくとも一つの移動光学素子（ＭＰ，ＭＤ）内蔵しており、基板表面を光学的移動（δＹ）により少なくとも一次元にスキャンして、レベルセンサと基板との間の機械的動作なしで異なる位置の表面レベルの測定結果を取得する。光路長等化手段は、成形リフレクタ及び／または追加的な移動ミラーを用いることにより、スキャンの間の焦点変動を回避するために配置される。 （もっと読む）

【課題】投受光型光電スイッチ方式において、冷間搬送時の丸断面長尺材を、非接触で、安価に、安定して検出する方法を提供する。
【解決手段】鼓形搬送ローラ2上の丸断面長尺材（例えば鋼管）1の片側に広角投光器3を１台設置し、鼓形搬送ローラ2を挟んで丸断面長尺材１の反対側にスポット光受光器4を複数台設置する。スポット光受光器4は広角投光器3の光路内に上下方向に配列し、例えば、搬送される最小外径の丸断面長尺材１がそのローリング移動軌跡内のどの位置にあっても、その位置の丸断面長尺材１により広角投光器3からの光が遮蔽される空間領域内に少なくとも１台は存在させる。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一つの測定方向で互いに可動自在で配置されている二つの対象物の、位置を検出するための位置測定装置を提供する。
【解決手段】位置測定装置には光源および、光源から送られた光線を二つ以上の分光光束に分割する分光手段を含んでいる。分光光束は、少なくとも二つの分光光路を通過する。分光光路からの干渉分光光束が、多数の光電式検知要素に当たるので、変位に従う位置信号を検知要素を介して検出することができる。光源は、ファイバ格子逆カップリング手段付き半導体レーザとして構成されている。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに保持された被加工物の上面位置を正確に計測することができる計測装置および計測装置を装備したレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源６１からの光を第１の経路に導くとともに第１の経路を逆行する反射光を第２の経路に導く第１の光分岐手段６２と、コリメーションレンズ６３によって平行光に形成された光を第３の経路と第４の経路に分ける第２の光分岐手段６４と、第３の経路に配設され第３の経路に導かれた光をチャックテーブル３６に保持された被加工物Ｗに導く対物レンズ６５と、集光レンズ６６と、第４の経路に導かれた平行光を反射して第４の経路に反射光を逆行せしめる反射ミラー６７と、第２の経路に導かれた反射光を回折する回折格子６９と、回折格子６９によって回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサー７１とを具備している。 （もっと読む）