【課題】光を用いて物体までの距離を測定した測定結果において、所定の対象物に関する測定結果を特定することを可能とすること。
【解決手段】物体までの距離を光の照射によって測定点毎に測定する測定装置であって、測定点毎の距離情報と測定点毎の受光量情報とを取得する光学式距離測定部と、受光量情報において、光量が閾値を超える複数の測定点の並びが所定のパターンを形成している場合に、これらの測定点を、光源方向に対して多くの入射光を反射する反射面を有する対象物に対応する測定点であると判定する対象判定部と、判定された測定点の距離に基づいて、対象物の位置を測定する位置測定部と、対象判定ステップによって判定された測定点の距離に基づいて、自装置の基準点を原点とするローカル座標系における対象物の位置を算出し、同一の対象物のローカル座標系における位置及びグローバル座標系における位置に基づいて較正を行う較正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】把持機構等の不要部分のない対象物のみの姿勢別画像を簡便な画像処理で得る。
【解決手段】対象物の画像を生成する画像生成装置であって、対象物を把持する把持部と、対象物と把持部との少なくとも１つの画像を撮像する撮像部と、把持部により把持された対象物が、撮像部に対して複数の所定姿勢のうちの１つの所定姿勢となるように把持部を制御する制御部と、撮像部により撮像された１つの所定姿勢にある対象物および対象物が１つの所定姿勢となるように制御された把持部の画像と、１つの所定姿勢とを関連付けて、把持状態画像として取得する第１の画像取得部と、対象物を把持しておらず且つ対象物が１つの所定姿勢となるように制御された姿勢と一致する所定姿勢である把持部の画像を非把持状態画像として取得する第２の画像取得部と、把持状態画像と、非把持状態画像との差分に基づいて、１つの所定姿勢について対象物のみの対象物画像を生成する画像生成部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】円軌道上を公転する球体の位置を好適に測定することができる球体の位置測定装置を提供する。
【解決手段】球体の位置測定装置は、円軌道の中心線Ｏ上に中心を有するリング照明１８と、前記中心線Ｏ上に配置されたレンズ２０を有し、前記中心線Ｏを含む範囲で前記球体１３を撮像する撮像部１７と、前記撮像部１７によって撮像された画像中における、前記球体１３の表面で反射した前記リング照明１８の反射光を認識し、この反射光の領域の重心位置を求める画像処理部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】第ｍの加工位置と第ｎの加工位置とのずれを精度よく計測することのできる加工位置の計測方法の提供を目的とする。
【解決手段】加工位置の計測方法は、第ｍの加工を施すとともに、第ｍのマーク２６、及び、基準寸法を示す基準マーク２９を形成し（Ｓ２）、第ｎの加工を施すとともに、第ｎのマーク２７を形成し（Ｓ７）と、第ｍのマーク２６及び第ｎのマーク２７の相対的位置を測定するとともに、測定した基準寸法Ｌ１と基準寸法Ｌ０との比にもとづいて、第ｍのマーク２６と第ｎのマーク２７との相対的位置を補正し、第ｍの加工位置と第ｎの加工位置との加工位置のずれを計測する（Ｓ９）方法としてある。 （もっと読む）

【課題】ノイズを低減して移動物体の飛び出しを精度よく検出する物体検出装置を提供する。
【解決手段】物体検出装置１は、取得した画像情報から障害物を検出する障害物検出部２１と、障害物検出部２１が検出した障害物の近傍にある道路境界線を画像情報から取得する境界線取得部２３と、境界線取得部２３で取得した道路境界線の連続性を計算する連続性演算部２５と、を備え、現在の画像情報について境界線取得部２３で得られる道路境界線の連続性と、過去の画像情報について境界線取得部２３で得られる道路境界線の連続性と、に基づいて障害物の飛び出し確率を算出する。 （もっと読む）

【課題】パターン付きウェハの表面粗さを高精度で非破壊に測定できる平坦な検査範囲を、目視によらず探索できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】照射される照射光により生じる散乱光の散乱光強度を、パターン付きウェハ２００上の測定座標に対応付けて測定し、ウェハ２００の表面粗さを検査する表面検査装置において、制御部が、下限閾値以上である散乱光強度の測定座標を抽出し、抽出された測定座標の周辺に相当するパターンの全体レイアウト４０１の一部の部分レイアウト４０５ａ内に、表面粗さの検査の検査範囲４０６を設定し、検査範囲４０６における表面粗さを求める。 （もっと読む）

【課題】光源を内蔵せずに任意の方向から観測可能な位置計測用パターンを有する計測用マーカであって、計測用パターンの作製精度を維持しつつ従来と比べて製造工程を減少する計測用マーカ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】計測用マーカ１Ａは、基材１１と、基材１１上に貼り合わされて照射光ｌ_ｅを再帰反射する再帰反射材１０と、照射光ｌ_ｅを透過する複数の開口部１４を有するパターンが印刷され、再帰反射材１０上に貼り合わされる透明基材１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】容器に貼付されたラベルの良否がラベラ内で検査できるラベル検査装置を提供する。
【解決手段】自転しながら公転軌道３ａを公転する容器２にラベル７を貼付するラベラ１と、ラベラ１の公転軌道３ａを挟んで対向し、かつラベルの正面方向またはラベルの側面方向に設置された少なくとも一対の撮像手段１２ａ〜１２ｄと、撮像手段１２ａ〜１２ｄが撮像した容器２の画像をから容器２に貼付されたラベル７の特徴点を計測する画像計測演算手段２２と、ラベル７の良否を判定する基準値が設定された良否判定基準値設定手段２３と、画像計測演算手段２２が計測した特徴点と基準値とを比較演算してラベル７の良否を判定する良否判定演算手段２５とから構成したもので、ラベラ１内に撮像手段１２ａ〜１２ｄを設置するだけでよいため、既存のラベラにも容易かつ安価に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は画像処理装置における撮影画面中の計測範囲設定の調整を容易にすることを目的とする。
【解決手段】視野内に搬送された対象物を撮像して２次元画像を得る撮像手段と、２次元画像を画面に表示する表示手段と、得られた２次元画像から対象物の輪郭を表す輪郭線を抽出する形状抽出手段と、輪郭線上の複数の点の位置を抽出する点位置抽出手段と、複数の点から２次元画像上の対象物の搬送方向における輪郭線の位置を代表する代表点の位置を決定する代表位置決定手段と、少なくとも代表点の位置と２次元画像上の対象物の搬送方向において予め設定された計測幅とに基づいて輪郭線を含む計測領域を得られた２次元画像上に設定する計測領域設定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 位置決めの正確さおよび／または強健性が改善されたリソグラフィ投影装置のアライメント・システムを提供する。
【解決手段】 リソグラフィ装置の位置決めシステムは、位置決め放射線源１、第１検出器チャネルおよび第２検出器チャネルを有する検出システム、および検出システムと連絡する位置決定ユニットを有する。位置決定ユニットは、第１および第２検出器チャネルからの情報を組み合わせて処理し、組み合わせた情報に基づいて、第２オブジェクト上の基準位置に対する第１オブジェクト上の位置決めマークの位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】ヘッド速度と飛距離とを計測することができる携帯通信端末を提供する。
【解決手段】携帯電話機１０はプロセッサを含み、プロセッサは計測処理を開始すると、連続撮影処理を実行する。したがって、１フレーム毎の画像データが取得される。隣接するフレーム間の撮影画像におけるボール画像の動きが判断され、一定以上の動きが有ると、ゴルフボール５２が打撃されたと判断される。そして、打撃される直前およびその１つ手前のフレームの撮影画像から、１フレーム間におけるヘッド画像の移動距離が算出され、これに基づいてヘッド速度が算出される。また、ゴルフボール５２の打撃位置と到達位置とがＧＰＳ衛星からのＧＰＳ信号を受信することにより取得され、これらに基づいて飛距離が算出される。 （もっと読む）

【課題】開眼状態の検出精度低下を防止することができる開眼状態検出装置を提供する。
【解決手段】画像情報に基づいて開眼状態を検出する開眼状態検出装置１であって、前記画像情報に基づいて上瞼の位置及び下瞼の位置を検出する瞼候補選定部２３及び瞼検出部２４と、上瞼の位置及び下瞼の位置に基づいて開眼状態を検出する開眼状態検出部２５と、を備え、瞼候補選定部２３及び瞼検出部２４は、瞳孔を透過し網膜で反射される光によって発生する赤目領域の前記画像情報が検出結果に与える影響を他の領域の前記画像情報よりも小さくすることを特徴として構成する。 （もっと読む）

【課題】生体細胞のような位相物体の観察に用いられてきた従来の位相差顕微鏡に代わって、広くて深い測定視界を持ち、位相差の干渉画像が鮮明に得られる、単純で簡便な位相物体画像の識別、検査の方法と装置を提供する。
【解決手段】可干渉性平行レーザ光束中に設置されたフーリエ変換レンズで構成される広い測定視界中に置かれた位相物体から得られるフーリエ変換像(光回折パターン)の零次光だけを高次の回折光と異なる位相差参照光として、高次光回折パターンで得られる位相物体像と干渉させて鮮明な位相差画像を得る。また、位相物体の位相差を含めて異なる形状の複数形状粒子群を形状ごとに数や挙動や位置を自動計測するために、多重マッチトフィルタ法を含んだ位相差画像を検査する。 （もっと読む）

【課題】 移動体を有するシステムにおいて、移動体の揺れによる影響を受けずに正確な走行位置判定を可能とすること。
【解決手段】 一実施形態における位置判定システムは、走行路と、この走行路を走行する移動体と、複数の位置ブロック３１と、ブロック検出手段と、位置判定手段と、を備える。位置ブロック３１は、走行路の複数の領域において、移動体の走行方向に沿って各領域で予め定められた数だけ配置される。ブロック検出手段は、移動体に設けられ、移動体の走行時に位置ブロック３１を検出する。位置判定手段は、各領域を移動体が通過する際にブロック検出手段が検出した位置ブロック３１の数に基づいて移動体の位置を判定する。 （もっと読む）

【課題】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、膜厚の違いなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度なパターン検査を実現する。また、多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能なパターン検査装置を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を、複数の検出系とそれに対応する複数の画像比較処理方式を備えて構成し、又、異なる複数の処理単位で比較画像間の画像信号の階調を変換する手段を備えて構成し、画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても、正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】電気的サブアセンブリに対して光学的サブアセンブリを受動的に位置合わせするための方法を提供する。
【解決手段】マシンビジョンシステムが、ある光学的サブアセンブリを、ある電気的サブアセンブリに対して位置付け、該マシンビジョンシステムが、該光学的サブアセンブリの画像をキャプチャし、該マシンビジョンシステムが、該画像を処理して、該光学的サブアセンブリ上に形成されたアライメントメンバを識別し、及び、該アライメントメンバの第２の位置に基づいて、該マシンビジョンシステムが、該光学的サブアセンブリの光軸の第１の位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】基準点に対する像内の構造の位置を決定する方法、更に、この方法を実施するための位置測定装置を提供する。
【解決手段】対称中心を有する構造の基準点に対する像内の位置を決定する方法を提供し、本方法は、構造を含み、かつ基準点を有する像を準備する段階と、基準点に対する像の少なくとも１つの対称操作を実施し、それによって構造に対して合同である鏡像反転構造を有する少なくとも１つの鏡像が得られる段階と、構造と１つの鏡像反転構造又は２つの鏡像反転構造との間の少なくとも１つの変位ベクトルを決定する段階と、構造の位置を少なくとも１つの変位ベクトルから基準点に対する構造の対称中心の位置として計算する段階とを含む。更に、基準点に対する像内の構造の位置を決定するための位置測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】位置や形状を測定するに際しての校正の簡素化をはかったシートに形成されたパターンの位置および形状測定装置を提供する。
【解決手段】パターンが形成されたシートと、
該シートの搬送方向に直交して配置されたカメラ保持機構と、
該カメラ保持機構の長手方向に沿って移動可能に配置されたカメラと、
該カメラで撮像した画像を処理する画像処理コンピュータと、
を備え、校正に際しては、前記塗工パターンと、校正用基準体の撮像画像に基づいて校正を行う。 （もっと読む）

【課題】可動オブジェクトの位置を測定するように構成された位置測定システムのターゲット面を較正する方法が用いられる。
【解決手段】位置測定システムは、可動オブジェクト上に設けられたターゲット面と、静止センサシステムと、センサシステムの少なくとも１つの測定信号に基づいて可動オブジェクトの位置を計算する処理デバイスとを含む。処理デバイスは、ターゲット面の凹凸を補正するターゲット面の補正マップを含む。当該方法は、ターゲット面を測定し、測定されたターゲット面ならびにターゲット面および／またはターゲット面に影響を及ぼす物理的オブジェクトの１つ以上の変形モードに基づいてターゲット面全体の再較正された補正マップを決定することによってターゲット面の補正マップを再較正することを含む。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ上の欠陥分布を検査する表面検査装置において、欠陥検査と同時進行でウェーハの厚さとフラットネスを測定できるようにする。
【解決手段】本発明は、ウェーハを固定し、回転及び直線移動を行う搬送系と、前記直線移動の経路上に配置されたウェーハ上の欠陥の位置とサイズを特定する散乱光学系と、前記直線移動の経路であって、前記散乱光学系よりも前に配置されたフラットネス測定系と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）