【課題】ストレートエッジと同等の精度で真直度の測定、調整ができる小型軽量安価な真直度測定装置の提供。
【解決手段】光位置センサ７が、測定対象１２に沿って摺動させられつつ、光ビーム出力部１からの光ビームを受光した平面上の位置を検出することにより、測定対象１２の真直度を測定する真直度測定装置。光ビーム出力部１及び光位置センサ７間の距離を距離センサ６が測定し、受光する平面上の任意の位置を基準位置として受付け、校正動作時に、基準位置及び光位置センサ７が検出した位置の差を算出し、算出した差を、位置の検出時に距離センサ６が測定した距離と共に記憶しておき、測定動作時に、基準位置及び光位置センサ７が検出した位置の差を算出し、算出した差から、位置の検出時に測定した距離に対応して記憶している差を差引いた結果を距離と共に表示部１１に表示する構成である。 （もっと読む）

【課題】簡便に且つ精度上の制限を受け難い状態でコレットの位置を検出し得るコレット位置検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】基準座標系において、半導体チップＴのピックアップステージ４とボンディングステージ５との間の所定の座標に光センサ９を配置し、一方向にコレット８０を移動させながら、コレットまたはその装着部の縁部を光センサ９で検知することにより、２つの縁部の中心である第一中央位置の座標値を検出し、一方向に直交する方向に同様の移動及び検知を行なって２つの縁部の中心である第二中央位置の座標値を検出し、第一中央位置及び第二中央位置からコレット中心の検出座標値を求め、該検出座標値に基づいてコレットの設定座標値を補正することを特徴とするコレット位置検出方法及び該方法を実施するための検出装置。 （もっと読む）

【課題】被験者の跳躍動作をより好適に測定することができる跳躍動作測定装置を提供する。
【解決手段】カメラ２０によって撮像された画像データに基づいて、測定部１３が、カウンタームーブメントジャンプ動作、スクワットジャンプ動作、ホッピングジャンプ動作、及び立ち上がり動作の中から測定動作選択部１２によって選択された測定対象の跳躍動作の測定を行い、情報出力部１５が、測定結果に基づいた情報を出力する。また、情報提供部１４が、選択された跳躍動作となるように、被験者Ａに対して、カメラ２０によって撮像された画像データに基づいた情報提供を、モニタ３０を通じて行う。 （もっと読む）

【課題】 撮像装置のレンズ及び撮像素子を対象面と平行な方向に沿う方向に配置するこ
とで、撮像画像における歪みを抑止し、位置検出の精度を向上させる位置検出システム、
表示システム及び情報処理システムを提供すること。
【解決手段】 位置検出システム４００は、撮像画像を撮像する撮像部５００と、撮像部
５００からの撮像画像に基づいて、対象面２０に設定された検出エリアでの対象物ＯＢの
座標情報を求める座標演算部４３０と、を含み、撮像部５００は、レンズ部ＬＥを有する
光学系と、撮像素子ＩＭとを含み、撮像部５００から対象面２０の中央部へと向かう方向
である第１の方向と、対象面２０のなす角度α１とし、レンズ部ＬＥの光軸方向である第
２の方向と対象面２０のなす角度をα２とした場合に、角度α１及び角度α２は、α１＜
α２を満たす。 （もっと読む）

【課題】プローブの撓みの影響を受けずに高精度の形状測定を行う。
【解決手段】プローブ先端部３に一体に平面ダイクロイックミラー１０及び球面ミラー１６を設ける。オートコリメータ光学系５により平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量を測定し、並進移動量測定光学系１２により球面ミラー１６のＸ，Ｙ軸方向のずれ量を測定する。ずれ量算出部４２ｂは、測定した平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量及び球面ミラー１６のずれ量に基づいて、プローブ先端部３において被測定物４の表面に接触する接触点となる球１９の基準位置に対するＸ，Ｙ軸方向のずれ量を算出する。推定部４２ｃは、ずれ量算出部４２ｂにより算出されたずれ量から、プローブ先端部３の球１９のＸ，Ｙ軸方向の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】置の大型化を招くことなく移動ステージの位置検出を可能とする測定装置を提供する。
【解決手段】第１軸方向に沿って可動体に第１ビームを出射し、可動体で反射した第１ビームが第１光路で進む前記第１光学部材と、第１軸方向に沿って可動体に第２ビームを出射し、可動体で反射した第２ビームが第２光路で進む第２光学部材と、第１軸方向に沿って可動体に第３ビームを出射し、可動体で反射した第３ビームが第３光路で進む第３光学部材と、第１光路を進んだ第１ビーム、及び第２光路を進んだ第２ビームが互いに干渉する干渉計と、干渉計での干渉に基づいて、第３軸方向における可動体の位置情報を得る算出装置とを備え、第１軸方向に沿って可動体に向かう第３ビームの進路は、第３軸方向について、第１光路の進路と第２光路の進路との間に位置する。 （もっと読む）

【課題】距離画像データ等の３次元データと２次元画像データとの対応付け、距離画像データと２次元画像データを相補的に用いることにより柔軟で信頼性の高い認識結果が得られる、３次元データと２次元画像データの統合方法およびそれを用いた頑健な監視・見守りシステムを提供する。
【解決手段】システムは、２次元データを取得する２次元データ取得ステップと、３次元データを取得する３次元データ取得ステップと、上記２次元データと前記３次元データの位置を対応付ける対応付けステップと、上記対応付けステップで対応付けた結果に基づいて上記３次元データを２次元データ上に重畳する重畳ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】温度センサ等を追加しなくても、環境温度の変化に応じた適正な補正を行うことのできる光学式位置検出装置および光学式位置検出方法を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０および光学式位置検出方法において、補正条件決定部６４は、対象物体Ｏｂが存在しないデフォルト状態により位置検出部５０で検出されたデフォルト二次元座標データの第１座標値と第２座標値との比較結果に基づいて補正条件を決定し、位置検出部５０により対象物体Ｏｂの二次元座標データを検出する際、補正条件に対応する補正が行われる。従って、環境温度を直接、測定しなくても、温度補正を行うことができるので、検出用光源１２からの検出光の出射強度が環境温度によって変化した場合でも、対象物体Ｏｂの二次元座標データを精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】レーダを用いることなく、車両に搭載された撮影手段によって撮影された画像から、車両の進行方向を横切る移動物体を精度良く検出すること。
【解決手段】車両の進行方向に対応する、画像の無限遠点とビデオカメラ１０の焦点とを結ぶ線分と、車両から見た移動物体の実際の動きベクトルの向きに対応する、各特徴点の消失点とビデオカメラ１０の焦点とを結ぶ線分がなす角度を、車両の進行方向に対する各特徴点の相対的進入角度として算出する。そして、算出した各特徴点の相対的進入角度が所定の閾値θ_th以上であるかにより、移動物体が、車両の進路を横切る進路横断移動物体であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】部品点数及び製造工程数を削減する。
【解決手段】各々所定方向に配列された複数の発光素子１８を備えた一対の発光素子列２０,２２と、各々所定方向に配列された複数の受光素子２４を備え、一方が一対の発光素子列２０,２２の一方から発光された赤外線ＩＲ１を受光し、かつ他方が一対の発光素子列２０,２２の他方から発光された赤外線ＩＲ２を受光する一対の受光素子列２６,２８と、一対の発光素子列２０,２２の各々の発光素子１８に接続された発光素子用配線３０と、一対の受光素子列２６,２８の各々の受光素子２４に接続された受光素子用配線３２と、を絶縁性を有する透明な単一の基板１２の一方の主面に設けた。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば，試料に熱ダメージを与えることなく，短時間で高感度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
被検査対象物である試料の表面の領域を所定の照明条件にて照明する照明工程と、該試料を並進および回転させる試料走査工程と、該試料の照明領域から複数の方向に散乱する複数の散乱光のそれぞれを、前記試料走査工程における走査方向および該走査方向と概略直交する方向の各々について複数画素に分割して検出する散乱光検出工程と、前記散乱光検出工程において検出された複数の散乱光のそれぞれについて、該試料の概略同一領域から概略同一方向に散乱した散乱光を加算処理し、該加算処理した散乱光に基づき欠陥の有無を判定し、該判定された欠陥に対応する複数の散乱光のうち少なくとも一の散乱光を用いて該判定された欠陥の寸法を算出する処理工程と、を備える欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分解能を維持しつつ測定範囲をより広げ得るひずみ測定装置およびひずみ測定方法を提供する。
【解決手段】本発明では、複数のマークＭを備える試験体ＳＭに外力を作用させる前後における試験体ＳＭの画像が、外力作用前画像および外力作用後画像として第１カメラ装置１１によって得られ、追跡マークＭｃとされる、前記複数のマークＭのうちの１つのマークＭの位置および所定の基準位置の間の基準距離と、前記外力作用前画像における追跡マークＭｃの位置と、前記外力作用後画像における追跡マークＭｃの位置とに基づいて、試験体ＳＭの伸縮率が求められる。ここで、追跡マークＭｃが外力作用後画像での所定の端部領域内に位置する場合には、複数のマークＭのうちの前記追跡マークＭｃと異なって前記端部領域外に位置するマークＭを新たな追跡マークＭｃとするものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、試料を加熱しつつ正確に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、試料Ａを保持する位置または試料Ａに対向する位置に配置され、透明基板１２１と透明基板１２１の表面に設けられた透明導電膜１２２を有する透明部材１２と、試料Ａを撮影する光検出部２２と、透明部材１２の透明導電膜１２２に印加する電圧を制御することにより、透明部材１２の温度を制御する熱制御部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ショット領域間の相対位置の計測を容易に行いうるインプリント装置を提供する。
【解決手段】 インプリント装置は、基準マークが形成されたモールドを保持する支持体と、各ショット領域に第１マーク及び第２マークが形成された基板を保持する基板ステージと、前記各ショット領域に形成された前記第１マーク及び前記第２マークと前記モールドに形成された前記基準マークとを検出することによって前記各ショット領域間の相対位置を計測する検出器とを備える。前記検出器は、隣接しあう２つのショット領域のそれぞれに形成された隣接しあう前記第１マーク及び前記第２マークそれぞれの前記基準マークに対する位置を検出することによって、隣接しあう前記２つのショット領域間の相対位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】車両に搭載された内燃機関の変位量を容易にして精度良く計測可能な内燃機関の変位計測装置を提供する。
【解決手段】変位測定手段による第１被測定体と第２被測定体の測定結果に基づいて内燃機関の変位量を算出する変位量算出手段を備え、該変位量算出手段は、第１被測定体の第１測定面上に変位測定手段による測定点を含んで形成される第１直線部分ｌ1、ｌ'1の延長線と第２被測定体の第２測定面上に変位測定手段による測定点を含んで形成される第２直線部分ｍ1、ｍ'1の延長線との交点Ｐ（Ｘ、Ｚ）、Ｐ'（Ｘ'、Ｚ'）を求め、該交点の第１直線部分と第２直線部分とにより形成される基準平面上での変位を演算することで内燃機関の変位量を算出する。 （もっと読む）

【課題】ファウルポール近傍のファウル領域に飛翔した打球を確実に検出して表示する。
【解決手段】野球場のファウルラインがフェンス２４と接する地点に設置されたファウルポール７に隣接したファウル領域に設けた複数の光ビームを投受光するビームセンサ２で打球がファウルポール７の近傍のファウル領域に飛んだことを検出して確認表示装置４に打球がファウルであることを表示させて、ファウルポール７の近傍に飛んだ打球がフェアであるかファウルであるかを正確にかつ容易に確認する。 （もっと読む）

【課題】テーブルの位置決めに有利なステージ装置を提供する。
【解決手段】ベース部と、ＸＹ平面に沿って移動可能なテーブルと、Ｙ軸方向に沿った前記第１の端面の位置を計測する第１のＹ軸干渉計２２２と、前記Ｙ軸方向に沿った第２の計測光路を有する第２の端面の位置を計測する第２のＹ軸干渉計２２４と、前記第１のＹ軸干渉計及び前記第２のＹ軸干渉計から前記ＸＹＺ座標系のＸ軸方向に離間して、且つ、前記Ｙ軸方向に沿った第３の計測光路を有する第３のＹ軸干渉計２２８と、前記第１のＹ軸干渉計の計測値、前記第２のＹ軸干渉計の計測値及び前記第３のＹ軸干渉計の計測値に基づいて前記テーブルの変形量を求め、前記変形量に基づいて目標位置を補正した補正目標位置を求め、前記第１のＹ軸干渉計の計測値と前記第２のＹ軸干渉計の計測値から求まる前記テーブルの位置が前記補正目標位置に位置するように前記テーブルを位置決めする制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】対象物体が傾いている場合や対象物体のサイズが部分によって相違している場合でも、対象物体の位置を精度よく検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、検出用光源１２から検出光Ｌ２を出射し、検出対象空間１０Ｒの対象物体Ｏｂで反射した検出光Ｌ２の一部を光検出器３０で受光して対象物体Ｏｂの位置を検出する。また、入射光選択部２０は、検出対象空間１０Ｒ（空間１０Ｒ1、１０Ｒ2、１０Ｒ3）のうち、一部の空間についてはこの一部の空間から光検出器３０への反射光Ｌ３の入射が許容された選択状態とし、他の空間については他の空間から光検出器３０への反射光の入射が阻止された非選択状態とする。また、入射光選択部２０は、選択状態とされる空間および非選択状態とされる空間をＺ軸方向で切り換える、 （もっと読む）

【課題】従来技術と比較して、簡易に角度を測定する。
【解決手段】ビデオカメラ１２によって取得された複数個の画像データに基づいて算出された指定時刻から単位時間経過後の複数のマーカの各々の三次元位置、初期距離、及び初期角度に基づいて算出された各二次元移動量と、追尾結果により得られる指定時刻から単位時間経過後の前記複数のマーカの各々の前記画像上での各二次元移動量との差の二乗和、及び複数のマーカの各々の画像上での各二次元位置と、追尾結果により得られる指定時刻から単位時間経過後の複数のマーカの各々の画像上での各二次元位置との差の二乗和が最小となるように、初期移動量、初期座標、及び初期角度を調整した場合における調整後の初期角度を測定対象平面の角度として測定する。 （もっと読む）

【課題】部品実装機を評価するためのデータを軽量な装置で正確に取得する。
【解決手段】部品実装機により部品が実装された評価用基板２００を用い、前記部品実装機の実装精度を評価するためのデータを取得する可搬型データ取得装置１００であって、デジタルカメラ１０１と、評価用基板２００を保持し、光を拡散状に透過させる保持板１０２と、デジタルカメラ１０１と保持板１０２とを一定の距離を維持して保持する剛性を備えた基体１０３と、基体１０３に保持板１０２が取り付けられた状態において、保持板１０２に対しデジタルカメラ１０１と反対側に取り付けられる、複数の発光源を有する照明手段１０４とを備える。 （もっと読む）