【課題】入遮光位置の測定精度を高める。
【解決手段】検出光を出射する投光素子６２と、前記投光素子６２と対向配置されたイメージセンサ８５と、前記イメージセンサ８５から受光信号を読み出す信号読出回路９０と、前記受光信号のレベルと所定の基準レベルとを比較し、被検出物が前記検出領域を通過した際に、前記受光信号のレベルが基準レベル以上から前記基準レベル以下に、あるいは前記基準レベル以下から前記基準レベル以上に変化する入遮光位置を測定して出力する測定回路１２０とを備え、前記信号読出回路９０と前記測定回路１２０の間に、前記信号読出回路９０で読み出される受光信号波形から所定周波数の信号成分を除去する第一フィルタ回路１００を備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥座標に含まれている誤差を低減可能な光学式検査装置を提供する。
【解決手段】チャンネルが配列されたラインセンサと、ウエハをステージに載せてラインセンサに対して移動させる移動手段と、行列の行毎に１つ且つ列毎に１つ擬似欠陥ダイが形成され擬似欠陥ダイには複数の擬似欠陥が列方向に一列に形成されている座標管理用ウエハを検査したのを受けてチャンネル上に結像した擬似欠陥のステージ上の位置を擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０として検出するステージ位置検出手段と、擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０を擬似欠陥ダイ座標に変換する座標変換手段と、設計座標に対する擬似欠陥ダイ座標の差分ΔＸを算出する差分算出手段と、擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０に対して差分ΔＸが一定の振幅Ａ１で振動し直線Ｌ１に沿って増加又は減少する座標誤差特性パターンＣＰ１を取得する特性パターン取得手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】テレビジョン装置に固定されたカメラのキャリブレーションを行い易い映像表示装置、映像表示方法およびプログラムを提供することである。
【解決手段】実施形態の映像表示装置は、映像を撮影するカメラと、映像を表示するディスプレイと、第１表示手段と、検出手段と、算出手段と、第２表示手段と、を備える。前記第１表示手段は、前記ディスプレイの所定の表示座標を基準として所定の図形を表示させる。前記検出手段は、鏡に映し出された前記図形の鏡像を前記カメラで撮影して得られたカメラ映像上において、前記鏡像を検出した検出座標を取得する。前記算出手段は、前記所定の図形の表示座標と前記鏡像の検出座標との相対的位置関係に基づいて、前記カメラ映像の前記ディスプレイ上での表示座標を補正するための補正係数を算出する。前記第２表示手段は、前記補正係数によって前記カメラ映像の表示座標を補正して前記ディスプレイに表示させる。 （もっと読む）

【課題】撮影点におけるカメラの位置および姿勢を事前に把握することなく相対座標を計測することができる３次元相対座標計測装置を提供する。
【解決手段】３次元相対座標計測装置９０は、第１の視点より３点の基準点が撮像装置で撮像された第１の取得画像を取得する画像取得部１００と、各画素に対する画素視点投影角の情報を保持し、情報を用いて、第１の取得画像に投影される３点の基準点に対応する画素視点投影角である３つの第１の基準視点投影角を取得する視点投影角抽出部１２０と、３つの第１の基準視点投影角と３点の基準点の相対座標とを用いて、第１の取得画像の撮像面である第１の撮像面と３点の基準点を含む基準平面とのなす第１の傾斜角を算出する傾斜角算出部１３０ａと、第１の傾斜角を用いて、３点の基準点のいずれかと対象点との相対座標を計測する相対座標計測部１３０ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】
簡単な構成を用いて検査範囲の照度を均一化して検査領域を広範囲とし、溶接部の円形輪郭の全周を抽出し高精度に溶接部の位置を検出することで、所望の位置に溶接が施されているかを検査すること。
【解決手段】
本発明は、上記課題を解決するために、検査対象表面の２次元検査領域に対して傾斜した角度で異なる少なくとも２方向から前記２次元検査領域を照明すると共に、該２次元検査領域に対向した位置から前記異なる少なくとも２方向から照明された複数の画像を取得し、該複数の取得した画像から溶接部のくぼみ傾斜部分に対応する輪郭情報をそれぞれ抽出し、該抽出した複数の輪郭情報を合成することで円形の輪郭を得、該円形の輪郭に円を当てはめて前記溶接部として認識し、該溶接部として認識した円の中心座標を溶接位置とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ディンプル頂点の位置を正確に検出することができるディンプル位置検出装置を提供する。
【解決手段】ロードビームに形成されたディンプルの位置を検出するためのディンプル位置検出装置であって、ディンプルに向けて光を照射する照明装置と、その反射光を受光する撮像装置と、得られた画像を二値化する画像処理部とを備えている。画像処理部は、二値化レベルを最大にする手段Ｓ２と、反射光の画像を二値化する手段Ｓ３と、二値化レベルを超えた光点領域（オン領域）の面積が所定値であるか否かを判定する手段Ｓ４と、光点領域の面積が所定値未満のときに二値化レベルを下げる手段Ｓ６と、光点領域の面積が所定値に達したときに光点領域の重心の位置を算出する手段Ｓ８とを具備している。 （もっと読む）

【課題】姿勢や位置にかかわらず、指示部材、該指示部材を検出対象物体とする光学式位置検出装置、および当該位置検出装置を備えた入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】指示部材２０は、光学式位置検出装置において検出対象物体とされる部材であり、丸棒状の軸部２５と、軸部２５の先端に設けられた球体部２６とを備えている。指示部材２０は、球体部２６の外周面、および軸部２５において球体部２６に接続された軸端部２５０の外周面が再帰反射部２１になっており、軸端部２５０に対して基端側に接続された部分２５１は、赤外光を吸収する光吸収部になっている。 （もっと読む）

【課題】検出空間を拡張した場合でも、装置を大型化せずに対象物体の位置を精度よく検出することができる光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、光源部１２から検出光を出射した際、受光部１３は対象物体Ｏｂからの反射光を第１受光素子１３１および第２受光素子１３２で受光する。第１受光素子１３１および第２受光素子１３２は、第１受光素子１３１の受光面１３１ａに対する法線方向と第２受光素子１３２の受光面１３２ａに対する法線方向との交差角度θｃが９０°を超え、１８０°未満となる値、好ましくは、１２０°を超え、１４０°未満となる値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】表示基板に設けられたアライメントマークを撮像範囲の適正位置に出現させて、表示基板の搬送を安定化させることができるＦＰＤモジュール組立装置および表示基板の搬送方法を提供する。
【解決手段】ＦＰＤモジュール組立装置は、複数の処理ユニットと、搬送部と、カメラと、制御部とを備えている。制御部は、表示基板の生産ロットが変更されると、カメラによって撮像されたアライメントマークの座標を検出し、検出回数が所定の回数になると、検出した複数の座標の平均及び標準偏差σを算出する。そして、複数の座標から−１．５σ＜Ｐ＜１．５σを満たす座標を抽出し、抽出した座標の平均に基づいて搬送部による表示基板の受取位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】試料を詳細かつ適切に評価することができる形状測定装置、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる形状測定装置は、観察窓５１と、基板５４とを有する試料保持ユニット１１と、観察窓５１又は基板５４を介して、試料５３を加圧するシリンダ５６、５７と、試料５１の形状を測定するため試料５１を照明するとともに、照明光の焦点位置を光軸方向に走査可能な共焦点光学系３０と、共焦点光学系３０を介して、試料保持ユニット１１に保持された試料からの反射光を検出するラインセンサ１５〜１７と、焦点位置を光軸方向に走査した時での検出結果によって、形状を測定する処理部１８と、を備え、観察窓５１の表面５１ａに焦点位置を合わせて、観察窓５１の表面形状を測定するものである。 （もっと読む）

【課題】 原点出し用治具の設置再現性の問題を解決すると共に、原点出しを簡易にする。
【解決手段】 被測定対象物の煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置の６軸を同時に検出できる６軸測定装置を用いて、６軸基準位置を設定するための原点出し用治具１であり、治具本体１ａの面に、煽りの原点出しのための鏡面加工された第１の加工部２、高さの原点出しのための凹状の第２の加工部３並びに平面位置及び平面回転位置の原点出しのための穴状の第３の加工部４，５を設け、治具本体１ａにはこの治具本体原点位置を位置決めするための穴からなる位置決め部６，７を設けてある。 （もっと読む）

【課題】互いに異なる複数の面に表示部を有する場合であっても、それぞれの表示部の表示面に対面する複数の方向に位置する操作者に応じて適切な制御をすることができる表示装置を提供する。
【解決手段】表示装置は、互いに表裏の位置関係に表示面が配置されている第１表示部および第２表示部と、第１表示部または第２表示部の表示面に対する操作者の相対位置を検出し、検出した相対位置に基づいて、第１表示部および第２表示部のうち、操作者に対面する表示部の表示面が表面であると検出するとともに、他方の表示部の表示面が裏面であると検出する検出部と、検出部により検出された結果に基づいて、表面の表示部または裏面の表示部の表示を制御する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】車両の停車誤差の影響を排除できるキャリブレーションを簡易な設備で実施する。
【解決手段】自車１２の形状に対応した２点と交わる線を含み、カメラ１０の撮像範囲内に少なくとも２本配置される参照線ＲＬと、この参照線ＲＬの間に予め定められたパターン形状を有する校正用パターンＰＰとを有する測定領域ＭＡと、画像処理部１４とを備えている。そして、画像処理部１４が、カメラ１０で校正用パターンＰＰ及び参照線ＲＬが配置される測定領域ＭＡを撮影することで前記測定用画像ＩＭを生成する撮像処理１８と、前記２本の前記参照線ＲＬに基づいて前記自車１２の停車位置と前記パターン形状との座標関係を停車誤差として算出する停車誤差算出処理２０と、当該停車誤差をキャンセルした状態で前記パターン形状に基づいて前記カメラ１０の取付姿勢に対応する外部パラメータを算出する外部パラメータ算出処理２２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】対象物体からの反射光を複数の受光素子で受光した際に各受光素子からの出力レベルの高低にかかわらず、対象物体の位置を精度よく検出することができる光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、光源部１２から検出光を出射した際、受光部１３は対象物体Ｏｂからの反射光を第１受光素子１３１および第２受光素子１３２で受光する。信号処理部７１は、第１受光素子１３１および第２受光素子１３２から出力された信号を加算した加算信号を位置検出部５０に検出用信号として出力する際、加算出力が閾値以下のときには加算出力に第１倍率を乗じたレベルの信号を検出用信号として出力し、加算出力が閾値を超えるときには加算出力に第１倍率より小さな第２倍率を乗じたレベルの信号を検出用信号として出力する。 （もっと読む）

【課題】光軸方向に交差する方向に配列した複数の発光素子から光軸方向と配列方向とによって規定される仮想面に沿って光を出射した場合でも、発光素子の配列方向で光強度が急激に変化しない光源装置、光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０に用いた光源部１２（光源装置）では、複数の発光素子１２０を発光素子１２０の光軸に交差する方向に配列したため、光軸方向と配列方向とによって規定されるＸＹ面（仮想面）に沿う広い範囲にわたって検出光Ｌ２を十分な強度をもって出射することができる。複数の発光素子１２０の光軸方向の出射側には、レンズフィルム１９０（シート状光学部材）が配置されており、かかるレンズフィルム１９０は、ＸＹ面内方向における発光素子１２０からの出射光Ｌ１の発散角を拡大させるパワーを備え、Ｚ軸方向には光を拡散させるパワーを有していない。 （もっと読む）

【課題】砥粒の状態を新たな解析パラメータを用いてより詳しく解析し、これにより砥面の状態をさらに正確に検査できるようにする。
【解決手段】カメラ６により砥石３の砥面を撮像してそのライン画像データを取り込み、各ライン画像データに対し砥粒抽出処理部１２３により複数種のフィルタリング処理を行うことで上記ライン画像データから砥粒切れ刃候補の画像を抽出する。そして、砥粒解析処理部１２４の制御の下で、上記抽出された各砥粒切れ刃候補の画像から、砥面全域における各砥粒切れ刃候補の重心の座標と、凸多角形近似データ及び円形度と、内部欠損及び外部欠損と、面積及び欠損度と、すくい角側の稜線形状をそれぞれ算出または検出する。そして、この得られた解析パラメータをもとに、砥石３の幅方向における砥粒分布ヒストグラムと、砥石３の砥面全域における砥粒の分布状態を表す三次元マップを生成する。 （もっと読む）

【課題】 異なる２つの物体の回転ずれを計測する際に、従来と比較して計測時間の短い検出装置、検出方法、インプリント装置及びデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】 異なる２つの物体にそれぞれ形成された格子マークが重なることによって生じる干渉縞を用いて、前記２つの物体の相対的な回転ずれ量を求める検出装置において、前記干渉縞を検出する検出器と、該検出器で検出された前記干渉縞の傾きから前記異なる２つの物体の相対的な回転ずれ量を求める演算部と、を有することを特徴とする検出装置。 （もっと読む）

【課題】電子部品を、高速に検査する光学システムを提供する。
【解決手段】センサは、カメラのアレイに対してノンストップで移動する加工対象物に関する画像データを取得するように構成されたカメラのアレイを含む。カメラのアレイが画像データを取得するとき照明のパルスを提供するために照明システムが配置されている。少なくともいくらかの画像データは、加工対象物上のスキップマーク又はバーコードに関するデータを含む。又取得した複数の画像により立体画像化する。 （もっと読む）

【課題】不良が生じている検査ポイント、および正常な検査ポイントを確実かつ容易に認識させる。
【解決手段】検査結果表示装置２は、個別的に付与された基板情報が二次元コードによって基板表面に記されると共に各検査ポイント毎の検査結果データＤ１が基板情報に関連付けて記録されている被検査基板１０を撮像して撮像データＤ２を出力する撮像部２１と、データＤ２に基づいて、データＤ２の画像内における二次元コードの位置決め用シンボルの位置を特定すると共に、被検査基板１０における位置決め用シンボルと各検査ポイントとの位置関係を特定可能な位置データＤ０に基づいてデータＤ２の画像内における検査ポイントの位置を特定し、かつ、データＤ１に基づいて特定した各検査ポイント毎の検査結果を示す結果表示をデータＤ２の画像内における検査ポイントの位置に重ねた検査結果表示画面を表示部２４に表示させる処理部２５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 すき入れ及び紙端を鮮明に撮像し、すき入れが施された位置をばらつきが生じることなく高い精度で測定する検査方法を提供する。
【解決手段】
あらかじめ紙端撮像ラインカメラの撮像条件を紙端が鮮明に撮れる撮像条件に設定し、すき入れ撮像ラインカメラの撮像条件をすき入れが鮮明に撮れる撮像条件に設定した後、各ラインカメラにおいて紙端画像とすき入れ画像とをそれぞれ取得し、紙端画像から紙端を示す座標を検出し、すき入れ画像からすき入れを示す座標を検出し、紙端の座標からすき入れの座標までの距離を算出した後、算出した各座標間の距離が許容範囲か否かを判定してすき入れが形成された位置の合否判定を行う。 （もっと読む）