【課題】画像処理により直接的にギャップを計測し、また、異常を検出した場合の保守作業員の目視による確認作業の手間を省くことを可能とする。
【解決手段】カメラ１で、照明器具２により照らされた回転機のギャップ１４を撮影し、撮影した画像データは画像伝送器４によって電気信号から光信号に変換され、光ケーブル８を通り情報装置盤６内の画像伝送器５に送信される。送信された光信号は、画像伝送器５において電気信号に再び変換され、画像伝送器５から画像解析装置７に送信される。画像解析装置７では画像伝送器５から送信されてきた画像データを基にギャップ１４の計測を行い、計測した情報はネットワーク１３ａ経由で遠隔地にある監視装置１３ｂへ送信される。これによって、監視装置１３ｂにより確認することができる。 （もっと読む）

【課題】解体対象を固定している固定部材の位置の検出精度を高めること。
【解決手段】解体対象を撮像した撮像画像から、前記解体対象を固定している固定部材の画像として予め決められている固定部材画像を検出する固定部材画像検出部と、前記固定部材画像検出部により検出された前記固定部材画像の位置を示す位置情報を算出する位置情報取得部と、前記解体対象を固定している複数の前記固定部材の予め決められた位置関係を示す配置パターンと前記位置情報とに基づき、前記固定部材画像検出部によって検出された前記固定部材画像が前記配置パターンに含まれる前記複数の固定部材に対応するか否かを判定する配置パターン対応確認部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】カメラ姿勢の推定精度を向上させるとともに、処理負荷を軽減させる。
【解決手段】３次元座標取得装置１００は、カメラによって撮像された立体対象物の撮像画像から当該カメラのカメラ姿勢を推定する際に用いられる前記立体対象物の３次元座標を取得する３次元座標取得装置であって、前記撮像画像から、画像平面内の特徴点を検出する特徴点検出部１１１と、前記カメラの焦点及び前記画像平面内の特徴点を通過する直線の方程式と、前記立体対象物の方程式とから、前記直線と前記立体対象物との交点を算出し、前記特徴点の３次元座標として取得する３次元座標取得部１１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像の領域の大きさを使用者の操作精度によらず容易かつ均一に得ることが可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】画像データに基づく初期画像ＩＭにおいて抽出される領域Ａ４が表示部２６０の画像表示領域２６１に表示される。表示された領域Ａ４に外接する外接矩形Ｐが作成される。作成された外接矩形Ｐが表示部２６０の画像表示領域２６１に表示されるとともに、作成された外接矩形Ｐの予め定められた部分の寸法または面積を示す特徴量が算出される。使用者は、入力装置を用いて表示部２６０の画像表示領域２６１に表示された外接図形Ｐを回転させることができる。 （もっと読む）

【課題】対象物体の２次元的な位置を１台の装置で光学的に検出することは困難であること。
【解決手段】光学的位置検出装置は、光を照射する光照射部と、対象物体からの反射光を受光する受光部とを有する。受光部は、受光面が２次元に分割された分割フォトダイオードと、対象物体からの反射光を集光し分割フォトダイオードの受光面に対象物体の像を結像する受光レンズと、分割フォトダイオードの分割された受光面の各々に対応するフォトダイオードの出力信号電流に基づいて、受光レンズの光軸と直交する２次元方向における対象物体の位置を検出する演算部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 表示面における遮光物の座標位置を取得するまでの処理時間が短く、かつ表示面に接触した遮光物が検出光を遮光したことを適切に判断することができないことで発生する誤検出を防止することができる座標検出装置を提供する。
【解決手段】 座標検出装置１０は、矩形状の表示面５を有する表示部５ａと、複数の発光素子６ａと、複数の受光素子６ｂと、座標位置検出部とを備える。表示面５は、第１側辺１ａと、第２側辺２ａと、第３側辺３ａと、第４側辺４ａとによって形成される。第１側辺１ａと第２側辺２ａとが接続された第１接続部１ｂ、および第３側辺３ａと第４側辺４ａとが接続された第３接続部３ｂのそれぞれ近傍において発光素子６ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】可及的にワークの移動が自由であり、後工程の作業の妨げともなりにくい簡易な構成のワーク位置の検出装置を提供する。
【解決手段】検出光(40)を投光する投光部(10)と、検出光を受光する受光部(20)と、投光部と受光部を所定の位置関係に保つ支持手段(30)と、を備え、受光部が一次元又は二次元に配置された複数の受光素子を含み、上記支持手段が、投光部と受光部との間に設けられる検出基準面に対して検出光(40)が斜めになるように投光部と受光部の位置を保持する。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第１面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第２面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第１面と第２面とはほぼ平行である。 （もっと読む）

【課題】従来の較正方法と比べてあまり時間がかからない較正を適用するより正確な位置測定システムを提供する。
【解決手段】位置測定システムは、第１部分ＥＧおよび第２部分ＥＳと、計算ユニットと、を備える。第１部分および第２部分は、第２部分に対する第１部分の位置を表す位置信号を提供することによって第２部材に対する第１部材の位置を決定する。計算ユニットは、位置信号を受信するための入力端子を含む。計算ユニットは、使用中、位置信号に変換を適用して第２部材に対する第１部材の位置を表す信号を得るように、および、変換に調整を適用して第１部分または第２部分あるいは両方のドリフトを少なくとも部分的に補償するように、構成される。調整は、第１部分または第２部分あるいは両方のそれぞれの所定のドリフト特性に基づく。所定のドリフト特性は、第１部分および／または第２部分の１つ以上の基本形状を有する。 （もっと読む）

【課題】透明性基板上に形成された不透明なデバイスパターンを観察像において明確に識別することができる観察方法、および観察装置を提供する。
【解決手段】デバイスパターン３が形成されている側に粘着シート４を貼り付けたうえで透明なステージ７に固定し、ステージ７の上方から同軸透過照明光Ｌ１と斜光透過照明光Ｌ２とを重畳的に照射するとともに、ステージ７の下方側からステージ７を介して裏面観察手段６で観察することで、観察像においては、デバイスパターン３に対応して、暗い（黒色の）デバイスパターン像が観察され、デバイスパターン像ＩＰ１以外の部分は明るく観察される。また、気泡５に対応する部分ＩＢ１についても十分に明るく観察される。これにより、観察像においてデバイスパターン３の形状を明確に特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】光学センサを用いて用紙搬送量を正確に特定する。
【解決手段】画像形成装置は、記録ヘッドを搭載するキャリッジを主走査方向に搬送し、用紙を搬送ローラを通じて主走査方向とは垂直な副走査方向に搬送する。この画像形成装置は、キャリッジの静止状態で、用紙搬送方向に平行な第一の検出方向への用紙移動量及びキャリッジ搬送方向に平行な第二の検出方向への用紙移動量を検出可能な光学センサを備える。キャリッジに固定された光学センサは、キャリッジの移動に伴って、キャリッジと共に傾くため、本装置では、リニアエンコーダを用いて検出したキャリッジ位置、ロータリエンコーダを用いて検出した搬送ローラ回転量、及び、光学センサの検出値を用いて、光学センサの傾き（角度θ）を算出する（Ｓ２７０）。そして、用紙搬送中にキャリッジが搬送される際には、光学センサにより検出された第一の検出方向の用紙移動量を上記角度θに基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】監視対象となる高温物が所定の撮像位置に位置したことを検出するための機械的リミットスイッチを用いず、それを設置するためのスペース及び作業コストが不要になる熱画像保存装置の提供。
【解決手段】熱画像２ａを生成する熱画像生成手段２には、熱画像２ａの処理を行う熱画像処理手段３が接続されている。熱画像処理手段３には、取鍋４が所定の撮像位置に位置した際に熱画像２ａ内で取鍋４が占める領域内の温度を監視して、領域内の温度が所定の検出用閾値以上である場合に、取鍋４が撮像位置に位置したことを検出する位置検出部３０が含まれている。 （もっと読む）

【課題】対象物が太陽に直接照らされていても、対象物が遠くに位置していても、対象物を撮像して得た画像において、対象物の位置を識別できるようにする。
【解決手段】第１の波長域の光を吸収し、かつ、第２の波長域の光を反射する光学特性部３を、対象物１に取り付ける。第１の波長域の光を第１撮像部５ａに入射させ、かつ、第２の波長域の光を、第１撮像部以外の位置へ反らし、または、吸収する第１光学系６と、第２の波長域の光を第２撮像部５ｂに入射させる第２光学系８と、を用意する。第１撮像部５ａにより、第１光学系６を介して、対象物１を含む領域を撮像して第１画像を生成するとともに、第２撮像部５ｂにより、第２光学系８を介して、対象物１を含む領域を撮像して第２画像を生成する。第１画像の各画素の輝度Ａと、対応する第２画像の画素の輝度Ｂとの比率Ｂ／Ａを求め、この比率に基づいて、光学特性部３の位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】基板の面内領域から取得できる情報を用いて、基板の位置を迅速かつ確実に検出できる技術を提供する。
【解決手段】位置検出装置は、基板９を載置するステージ１１と、ステージ１１に載置された基板９の面内領域を撮像する撮像部と、撮像部が取得した撮像データに基づいて基板９の位置を特定する位置特定部と、を備える。位置特定部は、撮像データを解析して、基板の表面に形成されたスクライブラインのうち最外周に配置されている最外周スクライブライン９１０を検出し、最外周スクライブライン９１０の検出位置に基づいて、レイアウト領域９３の中央に配置されている中央チップ領域９２０の位置を特定する。そして、中央チップ領域９２０の位置に基づいて、基板中心９０の位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】複数の視野に分割された対象を高精度に測定することができるマシンビジョン検査システムおよびその位置測定結果の決定方法を提供する。
【解決手段】マシンビジョン検査システムは、第１動作状態においてスケールベースの測定により第１対象ＦＥ１の位置を測定する。第２動作状態では、第１対象から第２対象に至る途中で重複画像ＣＩＡ〜ＣＩＣを撮影し、画像相関を利用して重複画像ＣＩＡ〜ＣＩＣの相互の画像変位を測定し、第１対象の位置と画像変位のセットとを合わせて第２対象ＦＥ２の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】製造ラインを連続して搬送される開口を塞ぐシール部を有する被検査物に対して、特殊領域特定のために準備工程を必要とせず、検査時間の大幅な短縮が可能な、効率の良い検査性能に優れた検査装置を提供する。
【解決手段】容器を搬送する手段と、第一の光学手段と、第一の光学手段の容器搬送方向の下流に設けられた第二光学手段と、第一の特殊領域特定手段と、第一の特殊領域に基づいてシール部の液漏れ欠陥を検出する第一の検査手段と、前記エッジ座標と、第一の撮像手段と第二の撮像手段の取り付け角度の角度差と、第一の撮像手段と第二の撮像手段から得られた撮像画像における検査領域の中心座標から、第二の撮像手段によって得られた画像の第二の特殊領域を特定する第二の特殊領域特定手段と、第二の撮像手段によって撮像した画像の第二の特殊領域に基づいて容器の異物欠陥を検出する第二の検査手段と、を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】 遮光位置のずれを低減する技術の提供。
【解決手段】 原版を光で照明する照明系、前記原版のパターンの像を基板に投影する投影系を有する光学系を備える露光装置で、前記光学系の光路上の前記投影系の物体面と共役な面かその近傍に配置され、前記像が前記基板上に投影される領域の外縁の一部を円弧状に規定する円弧状部を有する遮光板と、前記光学系の光路に沿った回転軸まわりに前記遮光板を回転駆動する回転駆動部と、前記回転軸と交わる方向に前記遮光板をシフトするシフト駆動部と、前記回転駆動部により前記遮光板を回転駆動させ、前記光学系により前記像を前記基板に投影する際の基準となる基準軸と前記回転軸との相対位置の情報を取得する取得部と、前記基板の周辺部に対して前記像を投影する場合、取得した前記相対位置に関する情報に基づき、前記遮光板が所定の位置になるように前記回転駆動部と前記シフト駆動部を制御する制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】透明性基板上に形成された不透明なデバイスパターンを観察像において明確に識別することができる観察方法、および観察装置を提供する。
【解決手段】デバイスパターン３が形成されている側に粘着シート４を貼り付けたうえで透明なステージ７に固定し、ステージ７の上方から同軸透過照明光Ｌ１と斜光透過照明光Ｌ２とを重畳的に照射するとともに、ステージ７の下方側からステージ７を介して裏面観察手段６で観察することで、観察像においては、デバイスパターン３に対応して、暗い（黒色の）デバイスパターン像が観察され、デバイスパターン像ＩＰ１以外の部分は明るく観察される。また、気泡５に対応する部分ＩＢ１についても十分に明るく観察される。これにより、観察像においてデバイスパターン３の形状を明確に特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】耐久性が高く、且つ、使用環境に関わらず入力操作の検出が可能な操作装置を提供する。
【解決手段】操作装置１に、入力操作の種別を示す操作パネル３０と、操作パネル３０の操作面３１側に操作面３１に沿って光を照射可能な発光部と、一次元配列された受光素子を有するラインセンサと、を備え、操作パネル３０への入力操作が行われた場合には、入力操作を行う指で反射した発光部からの光の反射光をラインセンサで受光し、ラインセンサ上での受光位置と受光した光の強度とに基づいて指の位置を２次元的に推定する。 （もっと読む）

【課題】回路基板の個体識別を簡便かつ容易に実現する回路基板の個体識別装置および個体識別方法を提供すること。
【解決手段】回路基板１００上の複数の計測対象１１０の位置を計測し、計測対象１１０の計測値と計測対象１１０の設計値との差を計測対象１１０ごとの位置情報として取得する位置情報取得手段１０と、位置情報取得手段１０によって取得された位置情報の組み合わせを基板識別符号として登録する登録手段２０とを備える回路基板の個体識別装置。 （もっと読む）