【課題】投影光学系の像面位置を精度高く計測すること。
【解決手段】基板の露光量をラインパターンのレジスト像が解像する露光量以上になる大きさ、換言すれば、ラインパターンのレジスト像のコントラスト値が所定値以上になる大きさに制御する。また、フォーカス位置を変化させた際にパターン倒れが発生しない大きさ以上の線幅を有するラインパターンを使用してベストフォーカス位置を算出する。これにより、デフォーカスによってパターン倒れが発生することを抑制しつつ、算出されるベストフォーカス位置の露光量依存性を無視することができるので、投影光学系の像面位置を精度高く計測することができる。 （もっと読む）

【課題】計測点が平面にある場合や縁にある場合の計測精度の向上を実現したうえで、計測点が凹面にある場合であったとしても、この計測点の三次元座標を正確に計測することが可能である三次元計測治具及びこれを用いた三次元計測方法を提供する。
【解決手段】レーザ測定機ＬによってワークＷ上における計測点Ｐの三次元座標を得るのに用いられる球状のリフレクタＲを保持する三次元計測治具１であって、リフレクタＲをスライド可能に保持する計測溝４と、ワークＷ上における計測点Ｐに接する指示点３１を備え、計測溝４は、計測点Ｐがある部位に対して接近離間する方向に形成され、少なくとも計測溝４の計測点Ｐから離れた遠端部４１で保持するリフレクタＲの中心Ｒｐと、計測溝４の計測点Ｐ寄りの近端部４２で保持するリフレクタＲの中心Ｒｐとを結ぶ線分ｄの延長線上に、指示点３１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】個々の光学要素が理想的に位置決めされていない場合にも、測定エラーを回避でき、更に、基準反射器を軸にして測定光束を旋回できる光学式距離測定機器を提供する。
【解決手段】光源により発光された光束は、基準反射器の中心を軸にして旋回自在である。光源から届く光束を、光束分割要素を介して少なくとも一つの測定光束と基準光束に分割する。少なくとも一つの測定光束は、測定反射器の方向に進み、そして基準光束が、少なくとも一つの測定光束に対して同一線上を基準反射器の方向に進む。測定反射器により測定光束の逆反射が、そして基準反射器により基準光束の逆反射が、光束結合ユニットの方向に行われ、その時に少なくとも一つの測定光束が、測定反射器での反射の前後で基準反射器に対して対称に延伸する。光束結合ユニットが測定光束と基準光束を干渉させる。検知ユニットを介して、距離に関係する干渉信号を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 測定される距離の測定誤差を容易に低減できる追尾式レーザ干渉計および追尾式レーザ干渉計の制御方法を提供する。
【解決手段】 追尾式レーザ干渉計１は、移動体に取り付けられたレトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１を受光する検出器２２２を備える追尾用光学部２２を有する本体２と、追尾用光学部２２からの受光信号に基づいて本体２の姿勢を制御し、本体２にレトロリフレクタＲを追尾させる制御手段３とを備えるものであって、制御手段３は、レトロリフレクタＲに入射する測定光Ｌ２とレトロリフレクタＲで反射される測定光Ｌ２とを平行とするように検出器２２２で受光される測定光Ｌ２１の目標位置Ｑ２を設定する目標位置設定部３２と、本体２の姿勢を制御し、レトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１を目標位置Ｑ２に入射させる姿勢変更部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】ゴーストのない高精度な光干渉観測を可能にする。
【解決手段】第１の台形プリズム１３１、第１の直角プリズム１３２、第２の直角プリズム１３３、第３の直角プリズム１３４、第２の台形プリズム１３５、第４の直角プリズム１３６を貼り合わせて一体化した構造のプリズムユニットを用いる。上記第１の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第１の直角プリズムの斜面に貼り合わされ、上記第２の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第４の直角プリズムの斜面に貼り合わされている。また、上記第２の直角プリズム及び第３の直角プリズムは、各斜面の一方の面に偏光ビームスプリッタ膜が形成され、上記偏光ビームスプリッタ膜を挟んで各斜面が貼り合わされている。 （もっと読む）

【課題】焦点位置を高速に移動させることなく、測定対象物の表面に形成されるレーザ光の照射スポットを小さく保つことができる３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】
レーザ光を出射するレーザ光源１０と前記レーザ光を反射して走査するミラー３０を設ける。レーザ光源１０とミラー３０の間にスポット形成器２０を設ける。スポット形成器２０は、前記レーザ光を平行光に変換するコリメートレンズ２２、前記平行光をリング状の輪帯光に変換するフィルタ２３、前記輪帯光を集光する第１リレーレンズ２４及び第２リレーレンズ２５を備える。さらに、測定した測定対象物までの距離の平均値を算出して、前記算出した平均値に応じてスポット形成器２０を前記レーザ光の光軸方向に移動させる移動装置２０ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】円筒状ワークの外径寸法を、迅速かつ正確に取得することが可能な円筒状ワークの寸法測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】測定対象となる円筒状ワークＷの中心軸線と平行に配置された固定軸Ｐと、該固定軸Ｐの径方向に離間して平行に配置され、固定軸Ｐを中心とした円の周方向に回動可能とされた可動軸Ｑと、可動軸Ｐと固定軸Ｑとの対向方向に延びる基準直線ｌ上における円筒状ワークＷによる遮蔽距離を検出する距離センサ５０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】高精度に高さ方向の位置を検出可能な変位検出装置を提供する。
【解決手段】光源１から出射される光を２つの光束に分割する第１の光束分割手段３と、分割された第１の光束を反射する反射部材８と、第１の光束分割手段によって分割された第２の光束を被測定面上に集光する対物レンズ５と、反射された第１の光束と、被測定面によって反射された第２の光束との干渉光を受光する第１の受光手段３０と、受光した干渉光強度に基づいて被測定面の高さ方向の相対位置情報を出力する相対位置情報出力手段６０と、第２の光束の一部を取り出す第２の光束分割手段２０と、取り出された第２の光束に非点収差を発生させる非点収差発生手段１０と、非点収差が発生した第２の光束を受光する第２の受光手段４０と、検出された受光強度に基づいて被測定面の高さ方向の絶対位置情報を出力する絶対位置情報出力手段５０とを含む。 （もっと読む）

【課題】光を用いて物体までの距離を測定した測定結果において、所定の対象物に関する測定結果を特定することを可能とすること。
【解決手段】物体までの距離を光の照射によって測定点毎に測定する測定装置であって、測定点毎の距離を表す距離情報と、測定点毎の受光量を表す受光量情報と、を取得する光学式距離測定部と、受光量情報において、光量が閾値を超える測定点を、光源方向に対して多くの入射光を反射する反射面を有する対象物に対応する測定点であると判定する対象判定部と、対象判定部によって判定された測定点の距離に基づいて、自装置の基準点を原点とするローカル座標系における対象物の位置を算出し、当該ローカル座標系における位置と、同一の対象物のグローバル座標系における位置とに基づいて、較正を行う較正ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】効率よく正確に架線の位置を測定することができる架線位置測定装置を提供する。
【解決手段】架線位置測定装置において、架線を撮影する第１のラインセンサカメラ１及び第２のラインセンサカメラ２と、架線までの距離を計測するレーザ距離計３と、第１のラインセンサカメラ及び第２のラインセンサカメラから出力された画像データを基にラインセンサ画像上の架線の位置情報を算出する第１の画像処理部１０及び第２の画像処理部１１と、ラインセンサ画像上の架線の位置情報とレーザ距離計３から出力された距離情報とを記憶する処理メモリ１２と、ラインセンサ画像上の架線の位置情報と距離情報とに基づきステレオ対応点の探索を行うステレオ対応点探索部１３と、探索したステレオ対応点に基づき架線の高さと偏位を算出する高さ・偏位算出部１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】被測定面の面粗度、汚れ、微細なゴミ等の付着によって被測定面の変位量の測定に誤差が生じる可能性を減少させる変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置１では、対物レンズ３が光源２からの出射光を被測定面１０１に向けて集光する。被測定面１０１からの反射光の光路は、分離光学系４により光源２から出射光の光路と分離される。分離光学系４を通った反射光は、集光手段７により集光され、非点収差発生手段８により非点収差が発生した状態で受光部９に入射する。位置情報生成部１０は、受光部９で検出した光量から得られるフォーカスエラー信号を用いて被測定面１０１の位置情報を生成する。そして、集光手段７、非点収差発生手段８又は受光部９は、対物レンズ３により集光された出射光の焦点が被測定面１０１の奥側に位置するときに、フォーカスエラー信号の値が０になるように光軸上の位置が設定されている。 （もっと読む）

【課題】 コンベアに投入される多品種のワークを誤りなく識別するための識別装置及び識別方法の提供。
【解決手段】 本発明の識別装置は、ワーク（４Ａ）の表面までの距離を計測する計測装置（８Ａ）と、その計測装置（８Ａ）をワーク（４Ａ）の長手方向に移動させる移動装置（１０Ａ）と、これらを制御する制御装置（１４Ａ）とを有しており、前記ワーク（４Ａ）には所定領域に種類を判別するため浮き出し文字（２２Ａ）が印字されており、前記制御装置（１４Ａ）は、計測装置（８Ａ）を移動装置（１０Ａ）により移動させながらワーク（４Ａ）表面までの距離を計測し、計測装置（８Ａ）で計測されたワーク（４Ａ）の所定領域における浮き出し文字（２２Ａ）による隆起の有無とその位置及び形状を特定し仕様の照合を行って種類・仕様の判断をする制御機能を有する。 （もっと読む）

【課題】測定装置が傾斜した場合でも、管内面を正確に測定することができる管内面形状測定装置を提供する。
【解決手段】トンネル１に沿って鉛直方向にレーザビーム２を走査させて、トンネル１内面に照射したレーザビーム２の方位毎の測距データを出力する測域センサ１１と、鉛直方向に対して所定の角度θに傾けた方向にレーザビーム３を走査させて、トンネル１に照射したレーザビーム３の方位毎の測距データを出力する測域センサ１２と、測域センサ１１、１２をトンネル１の軸方向に移動する車両５と、車両５により測域センサ１１、１２を移動させた時のそれぞれの位置座標を検知するエンコーダ８と、測域センサ１１、１２により検出された測距データに基づいて車両５と管軸との傾き角度を算出し、エンコーダ８により検知された位置座標を、算出した傾き角度に基づいて補正して管内面の三次元表面形状を生成するＰＣ１０と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーを用いてレーザ光を走査する３次元形状測定装置において、使用開始から長期間が経過してもミラーの回転角度を精度よく取得でき、測定精度を一定に保つことができるようにする。
【解決手段】
回転可能に支持されたミラー１４ａと供給される電気信号に応じてミラー１４ａを回転させて変位させる駆動回路とが一体的に形成された第１ミラー１４を設ける。ミラー１４ａは、それぞれレーザ光を反射可能な第１反射面及び第２反射面を有する。第１反射面に測定装置と測定対象物ＯＢとの距離を測定するためのレーザ光を照射する。第２反射面にミラー１４ａの回転角度を検出するためのレーザ光を照射する。第２反射面からの反射光を受光する受光センサ２６を設ける。受光センサ２６における反射光の受光位置からミラー１４ａの回転角度を計算するミラー角度検出回路４２を設ける。 （もっと読む）

【課題】レーザレーダを用いて監視領域の物体を検知するのに用いる監視領域の地形データを、監視領域が広い場合であっても精度よく取得できるようにすること。
【解決手段】侵入物体Ｓが存在しない状態で監視領域Ａの地面Ｌを、表面に高反射率の反射材をコーティングした反射シートＲで覆い、その状態で走査光により監視領域Ａの地面Ｌを走査して、反射シートＲの表面からの反射光を受光する。これにより、地面Ｌを直接走査光で走査する場合に比べて反射光の受光強度を高くする。よって、走査光の入射が浅くなって反射光の強度が微弱となる遠方の監視領域Ａについても、反射率のよい反射シートＲからの反射光に基づいて、監視領域Ａの地面Ｌの地形データを精度よく取得することができる。 （もっと読む）

【課題】距離画像や表面形状データから、球体、円筒、円錐のようなパラメータ数の多い形状を検出する場合に、形状の大きさに依存せず、かつ対象依存の閾値設定を必要としない方法を実現するという課題がある。
【解決手段】本実施形態によれば、物体形状検出装置は、入力装置と、検出処理部と、円筒・円錐検出部とを有する。入力装置は、物体の距離画像または表面形状点群データの入力データを取得する。検出処理部は、前記入力データから平面形状、球体形状及び各パラメータを検出する。円筒・円錐検出処理部は、前記検出手段の検出結果を使用して、円筒、円錐、円錐台のいずれかの形状パラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】計測器を別途使用しなくても、工作物測定用の測定ヘッドが本来有している測定機能を有効利用して測定ヘッドの３次元オフセットを取得して、測定ヘッドで工作物を測定する工作物測定方法を提供する。
【解決手段】工作機械に取付けられた測定ヘッド１０を所定角度旋回させて基準球３０を第１の方向Ｅ1と第２の方向Ｅ2から測定することによって、基準球における中心点Ａ1の座標を取得する。測定ヘッドが基準球の中心点を第１の方向から測定したときの測定ヘッドの第１の機械座標と、測定ヘッドが基準球の中心点を第２の方向から測定したときの測定ヘッドの第２の機械座標とに基づいて、測定ヘッドの３次元オフセットを取得する。その後、測定ヘッドの３次元オフセットを使用して、工作物を測定ヘッドで測定する。 （もっと読む）

【課題】対象物の撮像面の位置を簡易かつ安価に、しかも短時間で検出する装置を提供することにある。
【解決手段】レーザ光軸が互いに交差するように配置された少なくとも３台のレーザ光照射手段と、前記少なくとも３台のレーザ光照射手段に対する所定位置で、それらのレーザ光照射手段からレーザビームを照射された対象物の表面を撮像する１台の単眼の撮像手段と、前記撮像手段が前記対象物の撮像面を撮像した１枚の画像での前記レーザビームの少なくとも３つの照射点の位置と前記撮像手段の撮像光軸との位置関係から幾何学的演算により前記撮像手段に対する前記対象物の撮像面の距離と向きとを求めて出力する演算手段と、を具えてなる、撮像面位置検出装置である。 （もっと読む）

【課題】トータルステーションと比して簡易な装置を用いて、リアルタイムで被計測物の特徴点の位置を計測できる位置計測方法、及び位置計測システムを提供する。
【解決手段】円柱体であるターゲット３０の中心位置を計測する位置計測方法であって、レーザ光をターゲット３０上で走査してターゲット３０上の複数の計測点までの距離を計測するＬＲＦ２０から、ターゲット３０上における複数の計測点の位置情報を取得するステップと、ターゲット３０上における複数の計測点の位置情報と、既知情報であるターゲット３０の円周面３０Ｂ上の円弧部及び中心位置の情報とに基づいて、ターゲット３０の中心位置を推定するステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線が照射される位置の安定性を容易に評価することができる変位検出回路を提供する。
【解決手段】ヘテロダイン干渉計と、該ヘテロダイン干渉計の基準信号と測定信号のそれぞれの光ビート回数をカウントするデジタルカウンタと、前記基準信号と前記測定信号との差分をとる減算器と、前記基準信号の波形の位相をシフトさせる位相シフト回路と、該位相シフト回路で位相シフトされた位相シフト信号の波形から特定の１つの信号波形を選択するスイッチ回路と、前記基準信号と前記測定信号との位相差を検出するゲートと、該ゲートの出力からヘテロダイン周波数の信号を取り除くローパスフィルタと、を構成とする。 （もっと読む）