【課題】環境光の変化や障害物などのノイズ要因に強いカメラ校正を実現する。
【解決手段】対象物４０を載置する基準パネル２０の表面に、点滅制御可能な発光マーカ２２を行列状に配設する。各発光マーカー２２は、カメラ１４の連続撮影のフレームに同期して、それぞれ異なる切換パターンに従って点滅する。三次元計測装置１０は、各フレームの画像から点滅する点の明暗の時間変化パターンを求め、そのパターンに基づき、それら各点がどの発光マーカー２２に当たるのかを識別する。そして、その識別結果を用いてカメラ校正を行い、座標変換パラメータを計算する。 （もっと読む）

【課題】サーチカメラによる低倍率での位置検出結果に基づいて、レチクルマークをファインカメラの中心近傍に適切に配置することののできるレチクルアライメント系を提供する。
【解決手段】サーチ観察系２２８の光学素子２２１又はモニタ用撮像素子２２２の倍率量、ディストーション量あるいは回転量に起因するサーチ計測誤差を予め検出し、補正マップとして記憶しておき、実際のサーチ計測結果をこの補正マップを用いて補正する。これにより、ファイン計測の際には、ファイン観察系２２９の視野中心に適切にレチクルアライメントマークＲＭが配置され、レチクルアライメントマークとウエハ基準マークの位置合わせを高精度に行なうことができる。
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【課題】 マーカーを配置する天井の形状によらずに位置検出が行え、かつ天井へのマーカーの設置コストが安価な移動体位置検出方法及びシステムを提供する。
【解決手段】 本発明の移動体位置検出方法は、移動体に搭載され、画像を撮影してデジタル画像データを出力する撮影手段と、この画像データを画像処理する画像処理手段と、移動体の上方に設置され、色及び形状で各々の座標位置を示し、設置位置の絶対座標を示すマーカで構成された移動体検出システムで移動体の位置を検出する方法であり、撮影部が１以上のマーカを１つの画像で撮影する撮影過程と、画像処理手段が、撮影されたマーカの色，形状を検出及び認識する画像処理で、マーカの絶対座標を検出する座標検出過程と、画像処理手段が、撮影された画像上の中心と、マーカとの相対座標を計算し、検出した絶対座標と相対座標との関係から撮影点の位置を検出する撮影点検出過程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ上のマークの位置を高精度計測する。
【解決手段】 露光装置１は、ウエハホルダ１５上に保持されたウエハＷの表面状態を検査するための撮像装置２２ｃを有する表面状態検査装置３０を備えている。この撮像装置２２ｃで撮像された撮像データＤ２は主制御系２０に供給されてウエハＷ上の欠陥分布が算出される。この欠陥分布に基づいて主制御系２０はウエハＷに形成されたマークから計測対象マークを選択し、選択した計測対象マークの位置情報をアライメント検出系ＡＳを用いて計測する。 （もっと読む）

【課題】 ホルダーなどの他部品と受光素子との相対位置精度を向上させる。
【解決手段】 プリント基板１上に固定された封止枠３の一隅（被認識部）３ａ画像認識することにより、封止枠３の位置を検知し、これを基準に封止枠３の内側の所定の搭載位置を決定し、そこに受光素子２を搭載する。そして、封止枠３の内側に封止剤４を注入・固化し、受光素子２を封止する。これをホルダーなどの他部品に取り付ける際には、封止枠３に形成された取付手段６ａ，６ｂに他部品のピンを挿通させ固定する。受光素子２の搭載も他部品への取付もいずれも封止枠３を基準としているので、受光素子２は他部品に対し相対位置精度よく取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】 ローラやベルトの幾何的なスリップメカニズム解明に役立ち、そこから得られたパラメータを適正化することで、スリップ現象の発生しない、とくに透明もしくは半透明の素材を用いたベルトを対象とした、高精度なベルトスリップ計測装置ならびに計測方法を提供する。
【解決手段】 ２つ以上のローラ間で駆動される透明もしくは半透明部材からなるベルト２と前記ローラ８との間で発生するスリップを計測するベルトスリップ計測装置において、前記ベルト２と前記ローラ８上に位置検出パターン９を形成し、駆動状態で前記ローラ８と前記ベルト２の各位置検出パターン９を撮影する撮影装置１０と、この撮影装置にて取得した画像を解析する画像解析装置１１からなる。 （もっと読む）

【課題】 １台の撮影手段で撮影した一枚の画像情報のみに基づき、高速、かつ、少ない目印点数で３次元位置を計測する装置および方法を実現すること。
【解決手段】 対象物に４つの目印を付し、全ての目印の対について相互間距離を計測し、撮影手段で４つの目印の２次元画像を取得し、その２次元画像内での目印の座標を求め、その座標値に基づき撮影手段が各２つの目印をはさむ見込み角を計算し、３つの目印を選択して形成した３角形について、上記相互間距離と上記見込み角に依存する４次方程式を解いて撮影手段と各目印の間の距離の候補値の組を求め、他の三角形より得られる候補値と整合性がある値を選択して上記距離を定め、３次元位置を決める、単眼視３次元位置計測装置および方法とした。 （もっと読む）

【課題】 対象物画像中の対象物領域の誤認識が抑制された画像処理技術を提供すること。
【解決手段】 対象物画像中の対象物の位置を求める画像処理装置は、対象物画像中の各部分画像および基準画像に関し、対応する部分領域毎に類似度を計算する第１の計算手段と、各部分画像に関し、第１の計算手段により計算された複数の類似度の統計値を計算する第２の計算手段と、第２の計算手段により計算された複数の統計値のうちの最大値に対応した対象物画像中の部分画像の位置を対象物の位置として認識する認識手段とを有する。 （もっと読む）

［課題］ 本発明は、測量装置と撮像装置とにより３次元座標データを演算するための３次元測量装置等に係わり、特に、測量装置により対応点の位置を決定し、ステレオ表示が可能な３次元測量装置を提供することを目的とする。
［解決手段］ 本発明は、測量装置により計測された少なくとも３点の基準点の位置と撮像装置による画像とから、撮像装置の傾き等を算出し、測量装置により計測された視準点の位置から、撮像装置の傾き等を算出し、視準点を対応点として撮像装置の画像のマッチングを行い、測量装置が測定した視準点の位置と、マッチングを行った画像にある視準点とを関連付け、その関連付けに基づき測定対象物の３次元座標データを演算することができる。 （もっと読む）

【課題】 印刷半田の平行移動ずれと角度ずれを共に検出できる印刷半田検査装置を提供し、更に、印刷半田の平行移動ずれと角度ずれの推移を把握容易な形態で表示できる印刷半田検査装置を提供する。
【解決手段】 プリント基板１の部品実装面１ａに光照射して反射光量に応じた検出信号を出力する検出ヘッド１１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて部品実装面１ａにおける半田印刷領域の基準位置を検出する基準位置検出手段３１と、基板設計値情報および検出信号に基づいて複数の印刷半田の平行移動ずれを検出する平行移動ずれ検出手段３３と、基準位置検出手段３１の検出情報に基づいて半田印刷領域における回転中心座標を設定する中心座標設定手段３２と、プリント基板１の設計値情報、平行移動ずれ検出手段３３の検出情報および中心座標設定手段３２の設定情報に基づいて複数の印刷半田の角度ずれを検出する回転ずれ検出手段３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、オーバレイマークと、オーバレイ誤差を決定する方法とに関する。本発明の一態様は、連続的に変化するオフセットマークに関する。連続的に変化するオフセットマークは、位置の関数として変化するオフセットを有する周期構造を重ね合わせた１つのマークである。例えば、周期構造は、ピッチなどの格子特性に関する値が異なる格子に対応してよい。本発明の別の態様は、連続的に変化するオフセットマークからオーバレイ誤差を決定する方法に関する。その方法は、一般に、連続的に変化するオフセットマークの対称中心を決定する工程と、それをマークの幾何学的中心と比較する工程と、を備える。オーバレイがゼロである場合には、対称中心は、マークの幾何学的中心と一致する傾向がある。オーバレイがゼロでない場合（例えば、２つの層間にずれがある場合）には、対称中心は、マークの幾何学的中心からずれる。その位置ずれを、連続的に変化するマークの予め設定されたゲインと組み合わせて用いることで、オーバレイ誤差を算出する。 （もっと読む）

本発明は、偏向器システムにおいて任意の形状のパターンの座標を決定するための方法に関する。この方法は、基本的に、前記パターンを第１の方向Ｘへと移動させる工程と、前記パターンのエッジの位置の計算を、垂直な方向Ｙに実行されるマイクロ・スイープの数を前記エッジが検出されるまでカウントすることによって行う工程と、前記座標の決定を、カウントされたマイクロ・スイープの数を前記パターンの前記移動の速さに関係付けることによって行う工程とを含む。また、本発明は、この方法を実装するソフトウェアに関する。
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【課題】 イン・ラインの測定および制御ツール、テスト・パターンおよび評価方法を含む統合された測定システムを提供する。
【解決手段】 基板上で寸法を測定するための方法を記載する。ターゲット・パターンは、主周期ピッチＰで反復する公称特徴寸法を備え、主方向に直交する所定の変動を有する。基板上に形成されたターゲット・パターンは、少なくとも１つの非ゼロ次回折が検出されるように照射する。公称寸法に対する転写された特徴寸法の変動に対する非ゼロ次回折の応答を用いて、基板上で限界寸法またはオーバーレイ等の対象の寸法を求める。本発明の方法を実行するための装置は、照射源と、非ゼロ次回折を検出するための検出器と、ターゲットからの１つ以上の非ゼロ次回折を検出器において検出するようにターゲットに対して照射源を位置付けるための手段と、を含む。 （もっと読む）

【課題】対話型ディスプレイシステムは、画素ベースの表示面と、ライトペンとを含む。
【解決手段】表示面にパターンシーケンスが投影される。このパターンシーケンスは表示面の各位置に対して一意の光強度シーケンスを有する。パターンシーケンスを投影している間に、ライトペンによって任意の位置における光強度が検知される。この光強度は復号化されて、その任意の位置の座標が求められる。
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レーザ加工ビーム（４）を用いてワークピース（２）を遠隔処理する装置には、プログラマブル数値制御部（１２）をもつオペレーティング装置（１１）を備えたスキャナ光学系（６）が設けられている。数値制御部（１２）は、ワークピース（２）上の少なくとも１つの加工位置（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）をマークするためのポインタマーク（１４）を備えたポインタ（１３）を利用してプログラミングされる。その際、加工位置（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）をマークしているポインタマーク（１４）を検出する手段（１５）と、スキャナ光学系（６）のためのオペレーティング装置（１１）の数値制御部（１２）と接続された評価手段（１８）が用いられる。スキャナ光学系（６）のためのオペレーティング装置（１１）の数値制御部（１２）に対する設定値を、加工位置（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）をマークしているポインタマーク（１４）の検出に基づき評価手段（１８）によって規定することができる。この設定値は、以降のワークピース処理についてスキャナ光学系を調節するために用いられる。
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【課題】カメラによるキャリブレーションシートの撮影が容易に行えるキャリブレーションチャート表示装置を提供すること。
【解決手段】所定のキャリブレーション撮影方向から撮影されたキャリブレーションチャート１の画像を記憶する校正画像記憶部５９と、校正画像記憶部５９に記憶されたキャリブレーションチャート画像を、前記キャリブレーション撮影方向と所定の画像回転角度に応じて表示するキャリブレーションチャート画像表示部６１とを備えている。 （もっと読む）

テンプレートマッチングのために有効な基準パターンを適切に効率良く抽出することのできる基準パターン抽出方法を開示する。本発明において、ウエハを撮像して得た画像情報上の観察視野（ＶＩＥＷ＿Ａｒｅａ）となり得る最大の範囲である最大視野範囲（ＯＲ＿Ａｒｅａ）内において、ユニークさが互いに異なり、かつ、その最大視野範囲（ＯＲ＿Ａｒｅａ）内に任意に配置される観察視野（ＶＩＥＷ＿Ａｒｅａ）内においてもユニークであると認識されるユニークなパターンを複数抽出する。そして、抽出されたユニークなパターンの全てを、観察視野（ＶＩＥＷ＿Ａｒｅａ）が取り得る範囲とは無関係に、基準パターン（テンプレート）として設定する。各ユニークパターンは、各々がユニークなパターンであるエレメント、又は、ほぼユニークなパターンであるエレメントの組み合わせにより表される。
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