【課題】転写材転写不良の見落としを防止でき、簡単かつ短時間で転写材転写の良否を判定することのできる電子部品装着装置における転写材転写検査方法を提供する。
【解決手段】半田３１が転写されるバンプ４２をボディ４１上に有する電子部品４０を基板に装着する電子部品装着装置１００における転写材転写検査方法である。電子部品４０に半田３１を転写するステップＳ１１と、半田３１が転写された電子部品４０を位置決めするステップＳ１２と、電子部品４０を撮像するステップＳ１３、Ｓ１４、Ｓ１５と、ステップＳ１３、Ｓ１４、Ｓ１５により得られた電子部品４０の位置データに基づいて、バンプ４２の輝度を測定する範囲（ウインドウＷ１）を特定し、バンプ４２ごとの輝度を取得するステップＳ１６、Ｓ１７と、バンプ４２ごとに、バンプ４２の輝度と電極輝度基準値とを比較して、半田転写の良否を判定するステップＳ１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面に形成されたパターンの境界線の検出精度を向上することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、光束１５ａの照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）照射位置１５ｓで正反射した正反射光１５ｂを検出して信号を出力する受光部と、（ｃ）光束１５ａの断面強度分布の逆フィルタを含み、受光部が出力した信号を逆フィルタに通した後の信号に基づいて、被検査物の表面に形成されたパターンの境界を検出するパターン検出部と、を備える。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、ウエハー上に形成されたダイに於けるアレイ領域の認識方法、ならびに係る方法の設定方法に関する。ウエハー上に形成されたダイに於けるアレイ領域の認識に関する一つ方法は、一つのアレイ領域内で取得されたテンプレート・イメージ内のアレイ・パターンをウエハーに関して取得されたサーチ領域イメージに比較することを含む。また本方法は、決定ステップの結果に基づき、テンプレート・イメージ内のアレイ・パターンに実質的にマッチするパターンが形成されたサーチ領域イメージ内の領域を決定することを含む。更に、本方法は、決定ステップの結果に基づき、ウエハー上に形成されたダイに於けるアレイ領域を認識することを含む。 （もっと読む）

【課題】例えば車両のカメラである、撮像手段の設置俯角を導出するためのキャリブレーション方法において、比較的簡単に、撮像手段の設置俯角を導出する。
【解決手段】キャリブレーション方法は、撮像手段（３００）により撮像可能な範囲に収まるように且つターゲット面上に配列された複数のターゲット（１１１、１１２、１２１、１２２）を夫々含むと共に、撮像手段からターゲット面までの距離が相異なるように夫々配置された複数のターゲット郡を用いて、撮像手段の設置俯角を導出する。キャリブレーション方法は、撮像手段の光軸と前記ターゲット面との交点の、少なくとも前記ターゲット面に沿った一方向についての位置を取得する交点取得工程と、取得された交点の位置と複数のターゲット郡間における前記ターゲット面の相対位置とに基づいて、設置俯角を取得する設置俯角取得工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】露光装置のステージ移動軸の直交度を露光処理中に正確に検出することが可能な露光方法を低コストに提供する。
【解決手段】半導体ウェハWFにおいて、各セルCLａ，CLｃはステージ移動軸のＸ軸方向に隣接し、セルCLａには描画パターン形成領域１５および検査用パターン１６が形成され、セルCLｃには描画パターン形成領域１５および検査用パターン１７が形成されている。各検査用パターン１６，１７は、各セルCLａ，CLｃの間に設けられたスクライブ領域SLに形成され、検査用パターン１６がノギスの主尺を構成し、検査用パターン１７がノギスの副尺を構成する。そのため、バーニアの原理に基づいて、各検査用パターン１６，１７の直線棒状のパターンを目盛りとし、各検査用パターン１６，１７の位置ズレを目視計測でき、それに基づいて各セルCLａ，CLｃの配列のズレを検出できる。 （もっと読む）

【課題】簡便な操作でありながら、同時に６つの情報を入力することができる６自由度の情報入力システムを提供する。
【解決手段】カメラ３００は、世界座標空間内の所定の位置に配設され、レーザ照射装置１００により照射された５本のレーザビームの照射面ＳＡへの５個の照射点を含む照射点画像を撮影する。演算装置２００は、カメラ３００により撮影された各照射点画像に含まれる各照射点の照射点画像空間内における位置を算出し、各照射点の世界座標空間における位置を算出し、世界座標空間内におけるレーザ照射装置１００の位置を示す第１〜第３の情報と、レーザ照射装置１００の姿勢を示す第４及び第５の情報と、照射口１２７及び照射面ＳＡを結ぶ直線を基準としたときのレーザ照射装置１００の回転量を示す第６の情報とからなる入力情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】取得した濃度値に誤差を含む場合であっても適切に画像の位置を特定することができるようにすること。
【解決手段】所定の画像のパターンを媒体に形成するステップと、前記媒体上を所定方向に走査して、該所定方向における各位置の濃度値を取得するステップと、ある位置の所定範囲に含まれる位置の前記濃度値の平均値に基づいて、該ある位置における前記濃度値と比較されるしきい値を補正するステップと、前記各位置について補正した前記しきい値に基づいて、前記所定の画像のパターンの形成されている位置を特定するステップと、を含む位置特定方法。 （もっと読む）

【課題】欠陥の検査を短時間で精度良く行い、回路形成の歩留まりを向上させることのできる金属箔張り積層板の外観検査技術を提供する。
【解決手段】外観検査装置Ａは、金属箔張り積層板１の表面の打痕、キズ、ピンホール、シワなどの欠陥の有無を判定するため、金属箔張り積層板１の表面を撮像するためのカメラ２と、モニター９を有しカメラ２の撮像により得られた画像に基づいて欠陥の有無を判定するためのリファレンス部２０とを備える。リファレンス部２０には、目視により確認された金属箔張り積層板１の欠陥箇所にマーキングされたマーキング部の画像がカメラ２で撮像されて入力されるとともに、検査対象の金属箔張り積層板１の表面に形成する予定の外層回路パターンの画像が入力されて、両者の画像がモニター９上に合成表示され、マーキング部の外層回路パターンへの干渉により欠陥の有無が判定される。 （もっと読む）

【課題】高さの校正を迅速に行う。
【解決手段】三次元形状計測システム１０は、計測対象に投影された光パタンを解析することによって、計測対象の三次元形状を計測する装置であり、光パタンを画像として読み取るためのラインセンサを備えた撮像ユニット１５と、計測対象を移動させる移動ユニット１１と、移動ユニット１１を制御すると共に、ラインセンサにより読み取られた画像を解析することにより、計測対象の三次元形状を計測する画像解析・処理ユニット１６とを備える。高さの校正は、複数の平面を段状に有する校正用ターゲット２１を計測対象として行われる。画像解析・処理ユニット１６は、校正用ターゲット２１における或る平面に光パタンを投影させて、投影された光パタンをラインセンサによって画像として読み取り、これを、校正用ターゲット２１における別の平面に対しても繰り返す。 （もっと読む）

【課題】撮像画像のみで検出でき、かつ異物やムラに影響されずに正確なエッジ座標を検出して形状変化を精度よく検出できるパターン変化検出方法を提供すること。
【解決手段】パターン変化検出工程Ｓ２は、検査領域設定工程Ｓ２１と、エッジ検出基準データ取得工程Ｓ２２と、基準データを求めるパターン領域基準データ検出工程Ｓ２３と、基準データから設定したエッジ検出用輝度値に一致するエッジ位置を取得するエッジ位置取得工程Ｓ２４と、検査領域全体のエッジデータを取得するエッジデータ取得工程Ｓ２５と、エッジ位置が基準から所定閾値以上離れたパターン変化領域候補を検出するパターン変化領域候補検出工程Ｓ２６と、領域候補がエッジ方向に所定幅以上連続するかを判定するパターン変化領域幅判定工程Ｓ２７と、所定幅以上連続する領域を輝度微分処理してパターン変化箇所を判別するパターン変化箇所判別工程Ｓ２８とを備える。 （もっと読む）

【課題】省スペース化を図りつつ、耐久性を高めることができる移動距離測定装置を提供する。
【解決手段】第１レンズ群保持枠移動距離測定装置５は、第１エンコーダースケール５１と、第１光センサ５２と、第１インタラプター５３と、制御部とを備えている。そして、第１エンコーダースケール５１は、第１レンズ群保持枠１１のスライド移動に伴ってスライド移動するように構成されている。また、第２レンズ群保持枠移動距離測定装置６は、第２エンコーダースケール６１と、第２光センサ６２と、第２インタラプター６３と、制御部とを備えている。そして、第２エンコーダースケール６１は、第２レンズ群保持枠１２のスライド移動に伴ってスライド移動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被検査試料のパターン検査の精度を高めること。
【解決手段】被検査試料のパターンの光学画像を取得する光学画像取得部と、光学画像を参照画像により補正処理を含むアライメント処理するアライメント処理部と、アライメント処理部で処理された異なった光学画像同士を比較処理する比較処理部と、を備える、パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】画像処理対象物を吸着した吸着ノズルが画像処理対象物からはみ出した場合であっても、画像処理対象物の傾き及び中心を正確に求めることができるようにする。
【解決手段】画像処理対象物の輪郭エッジ点を取得して、隣り合う輪郭エッジ点を両端とする線分を作成し、作成した線分のうち基準線に対する傾きが所定の角度範囲内にあり、且つ、前記線分のうち隣り合うものの内側端点同士が所定の範囲内にあるものを抽出し、抽出した線分の端点のうち、最も外側に位置する２点を両端とする１つの合成線分を作成し、前記合成線分のうち長さが一定値以上あり、かつ、基準線に対する傾きが所定の角度範囲内にあるものを抽出し、抽出した合成線分のうち、最も外側に位置する２つの合成線分を選択して結合し、１つの結合線分を作成する。 （もっと読む）

【課題】認識したマークとテンプレート画像上のマークのサイズが異なっていても、テンプレートマッチングの他に詳細位置決めのための処理を必要とすることなく、精度良く位置決めする。
【解決手段】認識画像上を、マークを含むテンプレート画像を逐次移動させ、最大相関位置を求めるテンプレートマッチングを用いたマーク位置決めにおいて、ピーク全体形状を把握し、尖ったピークであればピーク頂上部周辺の狭い範囲、平坦なピークであれば頂上の平坦部を全て含む広い範囲をサンプリング領域として、該サンプリング領域内の相関値の加重平均から検出位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】回路基板表面の部品実装状態の画像を取り込む撮像装置を、電子部品実装機内の装着ヘッド以外の部分の空きスペースを有効に利用して搭載する。
【解決手段】電子部品実装機のＸＹスライド機構１２のうちの回路基板１５の上方をＸ方向にスライド動作するＹスライド１３に、回路基板１５の表面を該Ｙスライド１３のスライド方向と直角方向（Ｙ方向）に走査する一次元イメージセンサ１８と、その走査領域を照明する照明光源とを取り付ける。Ｙスライド１３を回路基板１５の一端の真上の位置から副走査方向（Ｘ方向）に一定速度で移動させて、一次元イメージセンサ１８が副走査方向に一定ピッチ移動する毎に、その移動方向と直角方向（Ｙ方向）に主走査を行い、回路基板１５表面の画像を一次元イメージセンサ１８によってライン状に読み取るという処理を繰り返すことで、回路基板１５表面の部品実装状態の画像を取り込む。 （もっと読む）

【課題】
被測定対象物の大型化に伴い、マルチ撮像ヘッド方式の測定または検査する装置が必要となってきた。また、その質量、静電気等の影響により被測定対象物を動かすこと自体が困難となり、強制的な位置決め動作が困難となり、位置決め動作不良が多く発生するようになった。このような位置決め動作不良を低減するために、複雑なシーケンスを持った位置決め機構と動作シーケンスが装置として要求されてきている。
【解決手段】
複数の撮像ヘッドそれぞれの違いを加味して、物理的に基板等の被測定対象物を位置決めせずに、撮像したカメラ画像から被測定対象物（試料）の搭載位置を測定し、観察位置決めの補正するものである。このため、本発明は、撮像装置のヘッド部を位置補正するための微動軸機構と補正制御手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】比較的低濃度のイオン注入領域を検出可能なイオン注入パターン検出方法を提供する。
【解決手段】イオン注入領域１４を有する基板１３を移動させながら、イオン注入領域１４を含む検査領域に対して、ほぼ垂直方向に励起用レーザ光１８を、斜め方向に検出用レーザ入射光２２を照射し、照射位置に照射される検出用レーザ入射光２２のサーマルウェーブ信号（検出用レーザ反射光２３）を測定し、照射位置とサーマルウェーブ信号とを記録する工程と、記録された一連の検査領域内の照射位置及びサーマルウェーブ信号に基づき、検査領域内でのサーマルウェーブ信号のピーク位置を算出する工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の被検査試料の製造装置や検査装置において、被検査試料に形成された各種パターンの位置合わせを短時間で容易にできるようにする。
【解決手段】板状に形成された被検査試料Ｔの外周縁Ｔ１，Ｔ３の形状と、該被検査試料Ｔと同様の外周縁形状を有する板状の基準試料Ｒの外周縁Ｒ１，Ｒ３の形状とが相互に略一致する位置に前記被検査試料Ｔを配置する試料位置決め手段と、これら被検査試料Ｔ及び基準試料Ｒの外周縁Ｒ１，Ｒ３，Ｔ１，Ｔ３の形状を相互に一致させた状態で、前記被検査試料Ｔに形成された被検査パターンＴ５の位置と、前記基準試料Ｒに形成された基準パターンＲ５の位置とのずれ量を算出するずれ量計測手段とを備えるパターン検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 吊り荷用フックブロック９がワイヤロープ８を中心に回転しても常にテレビカメラで捕捉することができるターゲットマーク２２を用いる自動追尾装置１３を提供する。
【解決手段】 クレーンの吊り荷用フックブロック９に取り付けられ、ターゲットマーク２２が描かれたターゲットマーク描画部分２１を備えたターゲットマーク構造体１１と、前記ターゲットマーク２２をテレビカメラで撮像し、前記ターゲットマーク２２を自動追尾する機能を有する自動追尾装置本体１３と、からなるクレーンの吊り荷用フックブロック自動追尾装置１において、前記ターゲットマーク構造体１１は、そのターゲットマーク描画部分２１が多角柱形状又は多角錐形状であって、その各面に1個のターゲットマーク２２がそれぞれ描かれ、吊下げられた前記吊り荷用フックブロック９に対して前記ターゲットマーク構造体１１が同一の鉛直軸上に位置するよう取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】光学センサ４によってプラスチックフィルム１の反射光または透過光を画像認識し、その画像変化によってヒートシール部分２の微小凹凸表面を読み取り、プラスチックフィルム１のヒートシール位置を検出するとき、微小凹凸表面であっても、鮮明に画像変化があらわれるようにする。
【解決手段】光源４によって遮蔽板３およびプラスチックフィルム１が照射される。遮蔽板３は一定長さのエッジ５を有する。したがって、エッジ５によって影の境界７が形成され、影の境界７において、光学センサ８によってプラスチックフィルム１の反射光または透過光が画像認識される。 （もっと読む）