【課題】プロジェクターとスクリーンとの相対位置を容易に測定可能な測定方法、測定装置、測定プログラムおよびプロジェクターを提供する。
【解決手段】プロジェクター２とスクリーンとの位置関係を測定する測定方法は、カメラ４を構成する撮像素子の幾何学的な中心に対して点対称となるパターン画像をプロジェクター２からスクリーンに投射させるパターン画像投射工程と、投射されたパターン画像をカメラ４により撮像する撮像工程と、撮像工程において撮像された撮像パターン画像に対して、対称中心を挟んで互いに点対称となる色領域に分割するとともに、これらの分割された色領域にそれぞれ互いに補色関係となる色を付与する色付与工程と、点対称中心点に対して互いに対称となる一対の色領域において、一方の色領域にあるパターン画像と対称となる疑似画像を、一方の色領域と同一色で重ね合わせる色重ね合せ工程と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】マークを検出する処理を効率よく行う。
【解決手段】候補数決定部３７は、マークの探索の対象となる探索領域の画像の面積と、マークを含む大きさのテンプレート画像の面積との比率に基づいた候補数を決定する。粗探索部３３は、探索領域の画像における所定の対象領域を対象としたテンプレート画像とのマッチングを行い、その結果を示すマッチングスコアの出力を、探索領域の全域にわたって行う。そして、精密探索部３４は、粗探索部３３において出力されるマッチングスコアのうちの、マッチングスコアが高いものから前記候補数分マッチングスコアが求められた対象領域を対象として、テンプレート画像とのマッチングを精密に行い、テンプレート画像と合致する対象領域の位置を、マークの位置として検出する。本発明は、例えば、シリコンウェハに形成されたマークの位置を検出する検出装置に適用できる。 （もっと読む）

計器座標系を有するビデオカメラの照準点までの軸の方向を制御することにより、可動なターゲットオブジェクト上のポイントオブインタレスト（ＰＯＩ）を追跡して、当該移動しているターゲットオブジェクトを含む局所座標系におけるＰＯＩの位置を計算するための方法が開示される。本方法は、照準点までの軸の回転角及び傾斜角と、照準点までの軸に実質的に沿った距離とを測定すること、並びに、計器座標系において決定された位置を局所座標系において決定された位置に変換するキャリブレーションマトリックスを計算することを含む。一つの計器と少なくとも一つのコンピュータとを含むシステムが開示され、このシステムでは、計器はビデオカメラと距離計とを含んでおり、ビデオカメラは、方向の調節が可能な照準点までの軸を含んでいる。一実施例では、ターゲットオブジェクトは航空機の表面上を移動して同表面を検査する。 （もっと読む）

【課題】移動ウェブに関する速度、変位、歪みを効率的に測定する。
【解決手段】移動するウェブ部材14の近くに第１、第2の光センサ配列16、18を設置する。第１、第2の光センサ配列１６，１８はウェブ部材14の走行方向に沿って所定距離ｄだけ離れている。第１、第２の光センサ配列16、18の双方に結合されている処理装置40は、第1、第2、第3のコード区画それぞれにより制御され、それぞれ、第１の光センサ配列16でウェブ部材１４上のパターンを検出させ、第２の光センサ配列18でウェブ部材１４上で前記検出されたパターンを認識させ、そして、ウェブ部材１４の速度、距離ｄ、および第１のコード区画に応答するパターンの検出と第２のコード区画に応答するパターンの認識との間の経過時間に基づきウェブ部材１４の歪みを計算する。 （もっと読む）

【課題】パターンの重ね形成における重ね合わせ精度を正確且つ簡便に評価する。
【解決手段】予めアライメントマークが設けられ、表面にレジスト層が形成されたテストウエハをステージ上にロードする（ステップＳ１）。そのテストウエハに対し、アライメントマークの検出を伴うアライメント（ＥＧＡ）を行い（ステップＳ２）、その結果に基づいて１回目の露光を行いレジスト層にテストパターンの潜像を形成する（ステップＳ３）。そして、テストウエハをステージ上に載せ直し（ステップＳ４，Ｓ５）、現像することなく、再度アライメント（ＥＧＡ）を行い（ステップＳ６）、その結果に基づいて２回目の露光を行いレジスト層にテストパターンの潜像を形成する（ステップＳ７）。テストウエハを現像後得られる、２つのパターン（レジスト像）の位置関係に基づいて重ね合わせ精度を評価する（ステップＳ８）。 （もっと読む）

【課題】ステージ上に載置された試料の位置を新たな位置計測ツールを用いることなく測定できるようした荷電粒子ビーム描画装置における試料の載置位置測定方法を提供する。
【解決手段】試料として、表面に、光の反射率が他の部分とは異なる、互いに直交する方向にのびる線状の２本のマーク部１０１，１０２を形成した専用試料１００を用いる。搬送ロボットにより専用試料１００をステージ上に搬送して載置した後、高さ測定器の投光部からの光を専用試料１００の表面に照射して、光の照射スポットＳＰを各マーク部１０１、１０２に交差するように走査する。高さ測定器の受光部による反射光の受光量の変化に基づいて、照射スポットＳＰの走査軌跡と各マーク部１０１，１０２との交差個所の位置を測定する。この測定位置から２本のマーク部１０１，１０２に合致する２本の直線を求め、試料載置位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】マークの位置関係の決定精度の低下を抑制することが可能な画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１は、形成部２３と、複数のマーク８１の画像を形成部に形成させる制御部６１と、センサ５３と、検出信号ＳＡに含まれる複数の信号波を、マーク波ＷＭ'と、ノイズ波とに選別する選別する選別部６１と、マーク波群から、ノイズ波と隣り合う信号波を除外する除外部６１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】車両の車体に対するホイールの位置および方向を、車両の挙動に対する影響を実質的に少しも受けることなく、きわめて正確な方法で測定すること。
【解決手段】本発明によれば、少なくとも１つのカメラ・ユニット１を有する光学測定システムを用いて、車両の第１の要素３の、この第１の要素３が移動可能に取り付けられた車両の第２の要素２に対する位置および／または方向を測定する方法であって、一直線上にない少なくとも３つの基準点４、５、６をこれらの要素の一方３に設け、これらの基準点４、５、６をカメラ・ユニット１で感知する装置および方法が提供される。前記カメラ・ユニット１がもう一方の要素４に対して固定して取り付けられ、前記基準点４、５、６の位置が、前記光学測定システムを用いて、これらの基準点４、５、６を設けた要素３の連続する位置および／または方向のために測定される。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置の測定および符号の識別を簡易かつ高精度に実現することができる位置計測システムを提供する。
【解決手段】対象物に配置された基準点であって、多角形の頂点、または多角形の頂点および重心に配置された４つ以上の第１基準点と第１基準点に対し特定の位置関係をなして配置された１つ以上の第２基準点とを撮影するカメラ２０と、このカメラ２０により撮影された第１基準点および第２基準点の画像の位置関係に基づき、第１基準点の画像と第２基準点の画像とを識別し、さらに識別された第１基準点の画像の位置関係に基づき、対象物の三次元位置および三軸角度を演算する演算装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板を撮像した撮像カメラの画像信号によって基板の位置認識を精密に行えるようにした位置認識装置を提供することにある。
【解決手段】搬送手段によって搬送されて仮位置決めされた基板を撮像して位置認識する位置認識装置であって、
上記基板を照明する光源８と、光源によって照明された基板の測定対象部位までの距離を検出する距離検出センサ９と、基板の測定対象部位を撮像する撮像カメラ７と、距離検出センサの検出に基いて光源による照明レベルを設定するととともに、
設定された照明レベルが不適切なときには撮像カメラにより撮像された基板の測定対象部位の画像の明るさに基いて光源による照明レベルを設定し直す制御装置１１を具備する。 （もっと読む）

【課題】車両の車幅を推定する。
【解決手段】車両を撮像し、撮像された画像から、車両のホイールおよび名バープレートを認識する。路面に平行な仮想平面上に、該認識されたナンバープレート上の第１の点を投影すると共に、該認識されたホイール上の、前記車両の車両長方向に沿った第２および第３の点を投影し、該第２および第３の点を結ぶよう第１の線を設定すると共に、該第１の線に直交するよう該第１の点から伸長する第２の線を設定して、該第１の線および該第２の線の交点を算出する。該交点と、該認識されたナンバープレートの車幅方向における中心との間の距離に基づいて、車両の車幅を推定する。ホイール上の第１の点とナンバープレート上の車幅方向に沿った第２および第３の点を投影して、交点を算出してもよい。 （もっと読む）

【課題】 ロータリヘッドを備えた部品移載装置を移動台に交換可能に固定した電子部品実装装置において、交換した部品移載装置のロータリヘッドの各スピンドルの回転中心位置の各補正値を容易且つ正確に求める。
【解決手段】ロータリヘッドの複数のスピンドルの中、実装ポイントに割出されたスピンドルの回転中心が、校正された部品認識用カメラの光軸の座標位置に位置するように移動台を移動する。各スピンドルを第１回転角度位置および第１回転角度位置と異なる第２回転角度位置にそれぞれ位置決めした状態で各スピンドルに装着された吸着ノズルの先端を部品認識用カメラで撮像する。実装ポイントに割出された第１および第２回転角度位置での各吸着ノズルの先端画像の中心位置に基づいて各スピンドルの回転中心位置の各補正値を効率的に正確に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象の搬送速度に変動が生じても、欠陥を確実に検出する。
【解決手段】搬送中のフイルムを受光器により撮像する。撮像により得られるフレーム画像６０にハフ変換を施し、直線６２を検出する。直線６２のうち、フレーム画像の中心Ｃ１に最も近い中心直線６２ａを特定する。中心直線６２ａと交差する直線の交点６７を求める。求めた交点６７の座標を用いて、Ｘ軸方向の隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＹ軸方向の隣接交点間距離Ｑ１〜Ｑ１５を求める。隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＱ１〜Ｑ１５に基づいて、比較ピッチＸｐ，Ｙｐを求める。フレーム画像６０上の指定画素とその指定画素から比較ピッチ分Ｘｐ，Ｙｐだけ離れた比較画素を特定する。指定画素及び比較画素の濃度値に基づき、指定画素について差分処理を行う。フレーム画像６０の画素の全てに対して差分処理を行うことにより、フレーム画像６０からメッシュ部６３が除去される。 （もっと読む）

【課題】照明光が照明された撮影対象物を撮影した画像により、撮影対象物の形状を明確に捉えることのできる画像表示装置及び画像表示方法を提供する。
【解決手段】撮影対象物２のまわりをかこむ周囲の複数の位置のそれぞれから順次照明光Ｌを撮影対象物２に照明したときの撮影対象物２の画像がカメラ３によって撮影される。そして該撮影により得られた複数の撮影画像にわたって対応する画素の明度の平均値が撮影画像の画素ごとに算出され、該算出された各平均値が、表示装置６に表示させる撮影対象物２の画像における対応画素の明度として設定される。 （もっと読む）

【課題】モデルを利用した位置合わせにおいて、人間の関与を極力減らし、画像認識に資する部分を効率的にモデル化するための技術を提供する。
【解決手段】位置合わせを行う対象物と同じ種類の基準物に含まれる基準パターンである回路パターン２を撮像した撮像画像１から、特徴点抽出処理により特徴点３ａ〜３ｄなどの複数の特徴点が抽出される。そして、抽出された複数の特徴点それぞれの座標を含むモデル特徴箇所座標群５を含む基準モデルが記憶される。基準モデルは、各特徴点の周辺から切り出した画像を含むモデル特徴箇所画像群４をさらに含んでもよい。対象物を撮像して取得した対象撮像画像から抽出された複数の特徴点それぞれの座標と、基準モデル内のモデル特徴箇所画像群４とを利用して、基準パターンと対象パターンのずれを表すずれ量を算出して対象物に関する位置合わせ処理を行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】
レチクルとウェハ（ウェハステージ）との位置合わせ計測に用いる手順を状況に応じて変更させるようにした露光装置及びデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】
原板（レチクル）ステージに保持された原板を基板（ウェハ）ステージに保持された基板に位置合わせして原板のパターンを基板に投影し基板を露光する露光装置であって、原板に付されたマークと基板ステージに付されたマークとの位置関係を計測する計測部と、原板に付されたマークと基板ステージに付されたマークとを計測部の視野内に入れて計測部に計測を実行させる制御部とを具備し、制御部は、第１の手順（第１の手順は、第２の手順よりも計測部による原板に付されたマークの計測回数が少ない）及び第２の手順を少なくとも含む複数の手順のいずれかにしたがって計測部に計測を実行させ、当該実行した計測により得られた結果に応じて位置合わせを行なうように構成される。 （もっと読む）

【課題】機器構成を簡素化して製造コストの低減及び耐久性の向上を実現するとともに、あらゆる姿勢において、その姿勢を検知することを実現したロボットハンドの姿勢検知システムを提供する。
【解決手段】ロボットハンド１の指部２において、その外周面２ｃにはバンド８が巻き付けられている。バンド８の外周面には、互いに異なる色で着色された複数の領域ｂ１，ｂ２，ｂ３，・・・，ｂｎが形成されている。各領域ｂ１〜ｂｎに着色された色の色相は、それぞれ指部２の長手方向に沿って同一である。また、各領域ｂ１〜ｂｎの色相は、指部２の周方向に沿って連続的に変化している。ロボットハンド１から所定の距離を隔てた位置には、指部２を撮影するためのカメラ７が配置されている。カメラ７が撮影した指部２の画像は制御部６に出力され、制御部６は、画像上におけるバンド８のエッジ及び色相の変化に基づいて、ロボットハンド１の姿勢を検知する。 （もっと読む）

【課題】ジョイスティックやトラックボールを使った煩雑な作業を簡易化することが出来、操作性を大幅に向上し得る試料検査装置を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、ＣＣＤカメラ及び照明装置を備えた顕微鏡１、この顕微鏡１を制御する画像処理装置８、被検査対象３を検査位置に移動する検査ステージ２、この検査ステージ２を駆動・制御するステージ駆動・制御装置４及び検査システム全体を制御するシステム制御装置６で構成される。画像処理装置８は、マウス等の入力装置８ａ及び処理画像を表示するモニタ９を備え、モニタ画面上に表示された目標画像が入力装置８ａにより指定され、且つ目標画像の移動先が画面上で指定された際に、前記指定された２個所の座標の差分を求め、該差分だけ検査ステージ２を移動させて目標画像を指定位置に移動表示する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク基板の法線が、測定用ステージの回転軸（線Ｏ―Ｏ’）に対してずれているような場合においても、精度よくフォトマスク基板の表面および裏面のマーク等の位置ずれを測定することができる基板表裏面パターン位置測定方法・測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、フォトマスク基板１の表面に形成されたパターンと、該フォトマスク基板１の裏面に形成されたパターンとの位置ずれを測定するフォトマスク基板１表裏面パターン位置測定方法において、回転可能な測定用ステージ１０上で、該測定用ステージ１０の１８０°回転前後の２回の測定により該フォトマスク基板１の表面のパターンと裏面のパターンの位置ずれ量を求める位置ずれ量測定ステップと、該フォトマスク基板１の法線と該測定用ステージ１０の回転軸との角度差を求める角度差測定ステップと、前記位置ずれ量と前記角度差とから真の位置ずれ量を算出する真値位置ずれ量算出ステップと、からなることを特徴とするフォトマスク基板１表裏面パターン位置測定方法である。 （もっと読む）

【課題】個々間で厚さにばらつきのある薄膜部材のパターンマッチングを安定して行うことができる画像認識装置及び画像認識方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光源部８は波長の異なる照明光Ｌを選択的に切り換えて出射し、照明光学系９は光源部８から出射された照明光Ｌを認識マークＭ（薄膜部材）に導いてこれを照明する。制御部１０は、光源部８から出射される照明光Ｌの波長を切り換えて異なる波長の照明光Ｌで認識マークＭを照明しながらカメラ７ｅで認識マークＭの撮像を行うとともに、認識マークＭの撮像に用いている照明光Ｌの波長に応じた認識マークＭのテンプレート画像を記憶部１１から読み出し、撮像によって得られた認識マークＭの画像と記憶部１１から読み出したテンプレート画像とを比較してパターンマッチングを行う。 （もっと読む）