【課題】 膜状の測定対象物の膜厚の時間変化を精度良く測定することが可能な膜厚測定装置、及び膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】 第１波長λ_１の測定光成分、及び第２波長λ_２の測定光成分を含む測定光を測定対象物１５へと供給する測定光源２８と、測定対象物１５の上面からの反射光及び下面からの反射光の干渉光について、第１波長λ_１の干渉光成分、及び第２波長λ_２の干渉光成分に分解する分光光学系３０と、第１、第２干渉光成分のそれぞれの各時点での強度を検出する光検出器３１、３２と、膜厚解析部４０とを有して膜厚測定装置１Ａを構成する。膜厚解析部４０は、第１干渉光成分の検出強度の時間変化での第１位相と、第２干渉光成分の検出強度の時間変化での第２位相との位相差に基づいて、測定対象物１５の膜厚の時間変化を求める。 （もっと読む）

【課題】撮影者を現在位置から次回撮影予定位置へ的確にガイドする三次元計測用画像撮影装置を提供する。
【解決手段】本発明による三次元計測用画像撮影装置１は、測定対象物８を単カメラにより重複させながら順次撮影する三次元計測用画像撮影装置において、撮影者が移動しながら測定対象物８を撮影することによりライブ画像１１を取得し、適時に静止画像である撮影画像を取得する撮影部２と、撮影部２の現在位置でのライブ画像１１と次回撮影予定位置と略同じ相対的位置関係で撮影された静止画像である模擬対象物の見本画像１２とを同一画面内に表示する表示部３と、撮影部２の現在位置でのライブ画像１１と見本画像１２とを比較して、次回撮影予定位置に対する撮影部２の相対的位置を判定する撮影位置判定部４と、現在位置から次回撮影予定位置へ撮影者が移動するようにガイド情報を作成し表示部に報知させる移動情報報知部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 対象物に取り付けられた標識セットが別の対象物に取り付けられた標識セットと一部重なる場合でも、標識セットを構成する基本標識を別の標識セットの基本標識と混同することなく位置計測を行うことができる位置計測システムおよびプログラムを提供する。
【解決手段】 位置計測システムは、対象物３１に取り付けられた、方向を示す形状をもち特定点３０の方向を向いている位置関係の分かっている３つ以上の方向付基本標識ｂを有する標識セットと、この標識セットを撮像する２次元撮像素子１１を有するカメラ１２と、カメラ１２で撮像した、特定点３０の方向を向いている方向付基本標識ｂの画像に基づいて対象物３１の位置および角度の少なくとも一方を演算する演算装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】単カメラを用いて移動しながら撮影を行う場合に、撮影を過不足なく効率的に行なえる三次元計測用画像撮影装置を提供する。
【解決手段】本発明による三次元計測用画像撮影装置１は、測定対象物２を単カメラにより重複させながら順次撮影する三次元計測用画像撮影装置１において、識別コードを有するマークを測定対象物２と共に撮影し、撮影画像からマークを抽出し、マークの識別コードを識別し、撮影画像について測定対象物２の領域をマークで囲まれた撮影領域に区分し、各撮影領域について異なる撮影画像に含まれる数を計数し、撮影回数に応じて撮影領域をグループ分けし、測定対象物２の撮影範囲画像の座標空間にマークの位置を入力し、撮影範囲画像に入力されたマークの位置を、撮影領域を囲むマークの符号が合致するように結線して撮影範囲画像に撮影領域を当てはめ、撮影範囲画像において当てはめられた撮影領域をグループ分けして表示する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの２つの層の間のアライメント・オーバーレイの非破壊特性決定方法を提供する。
【解決手段】波長または入射角度の関数としての１つの実施例として、入射ビームの放射は、ウェーハ表面上に向けられ、結果として得られる回折ビームの特性が決定される。スペクトル的、または角度的に分解された回折ビームは、オーバーレイ・フィーチャのアライメントと関連する。計算された回折スペクトルのライブラリは、オーバーレイ・アライメントにおける予期される変動の全ての範囲をモデル化することにより確立される。少なくとも２つの層におけるアライメント・ターゲットを有する実際のウェーハの検査により得られたスペクトルは、実際のアライメントの特性を決定するため、最も適合するもの（ベスト・フィット）を識別するように、ライブラリと比較される。比較の結果は、上流および／または下流処理制御への入力として使用される。 （もっと読む）

【課題】画像計測用および膜厚計測用のヘッドを兼用できるようにするとともに、光源からの照明光の光量の損失を抑制して、効率的な計測が行えるようにする。
【解決手段】画像計測用の第１，第２の光源からの照明光を１つに結束された出射端から出射する画像計測用ライトガイド１１からの照明光は、拡散板１３を介して対物レンズ１７に導かれるので、第１，第２の光源の内のいずれかを選択して駆動させたときの照明ムラが拡散板１３によって解消される一方、膜厚計測用ライトガイド１２からの照明光は、拡散板１３を介することなく、対物レンズ１７に導かれるので、拡散板１３による光量の損失がない。しかも、いずれのライトガイド１１，１２からの照明光も共通の対物レンズ１７から対象物に照射できる、すなわち、対物レンズ１７を共用することができる。 （もっと読む）

【課題】画像の周辺領域におけるマークの位置をより精度良く検出する。
【解決手段】探索処理部３２は、マークを含む大きさのテンプレート画像を用いて、マークが等間隔に配置されている画像の中央寄り領域を対象としたテンプレートマッチングを行い、画像の中央寄り領域に配置されている複数のマークの位置を検出する。また、推定処理部３３は、画像の中央寄り領域で検出された複数のマークの配置に基づき、マークの間隔に従って、画像の周辺領域でのマークの位置を推定し、テンプレート加工部３４は、所定の削除量でテンプレート画像を削除する加工を行う。そして、探索処理部３２は、加工済みのテンプレート画像を用いて、推定されたマークの位置に応じた所定範囲のテンプレートマッチングを行い、画像の周辺領域に配置されているマークの位置を検出する。本発明は、例えば、シリコンウェハに形成されたマークの位置を検出する検出装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】反射面との角度の変化による出力電圧の変動を小さくできる反射型フォトセンサ、及び、該フォトセンサを有する画像形成装置を低コストで提供する。
【解決手段】反射型フォトセンサ７０のケース７４に設けられた収容孔７５及び収容孔７６のそれぞれには、ＬＥＤ７１及びフォトトランジスタ７２が収容されている。フォトトランジスタ７２は、ＬＥＤ７１の照射光Ｌが表面２９ａで正反射された反射光Ｒを受光する。収容孔７６の表面２９ａ側に位置する開口部７６ａには、反射光規制開口部７６１ａが設けられている。この反射光規制開口部７５１ａには凹レンズ９６が設けられている。凹レンズ９６は、フォトトランジスタ７２に到達した反射光Ｒの光路径Ｗが受光部としての頭部８４の外径Ｄと同じ又は略同じになるように、反射光規制開口部７６１ａを通過する反射光Ｒを発散させる形状のレンズで構成されている。 （もっと読む）

【課題】エッジを抽出することなくスルーホールの位置ずれを正確に検査できるようにする。
【解決手段】パッド８１のスルーホール８４の形成状態を検査する場合、事前に、パッド８１の座標位置やパッドＲＧＢ情報、除外ＲＧＢ情報を設定しておく。そして、プリント基板８から取得された表面画像を元に、先の座標位置やパッドＲＧＢ情報、除外ＲＧＢ情報を用いて検査領域９の画像を抽出する。次に、この抽出された検査領域９の画像を二値化し、その二値化マップに基づいてパッド８１以外の領域についてラベリング処理を実行する。そして、検査領域９の境界部分９１に接するラベリング領域９２を除去し、その除去後のラベリング領域９２の個数をカウントしてその個数が「１」であれば「位置ずれなし」、個数が「０」であれば「位置ずれあり」と判定する。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーション作業を自動で手間をかけることなく行なうことを可能としたロボットビジョンシステムを提供することである。
【解決手段】提案するロボットビジョンシステムは、第１および第２のカメラにより構成されるステレオカメラ１と、アームを有するロボット４と、ステレオカメラ１およびロボット４を駆動し制御する制御装置２と、ステレオカメラ１の基礎行列算出に用いる基礎行列算出用冶具３をロボット４のアーム先端部に固定する機構と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、半導体ウエハの下面の外観異常箇所が、何れの半導体素子領域に存在しているかを正確に識別することができる外観検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 複数の半導体素子領域５２が形成された半導体ウエハ５０の下面５０ｂの外観異常を検査する方法であって、半導体ウエハ５０の下面５０ｂに各半導体素子領域５２を示す映像を投影した状態で、半導体ウエハ５０の下面５０ｂの外観異常箇所５６を目視で特定する検査工程を有する外観検査方法。 （もっと読む）

【課題】露光光の強度が大きいか又は露光時間が長い場合にも高い重ね合わせ精度を得る。
【解決手段】露光用の照明光ＩＬでレチクルＲのパターンを照明し、照明光ＩＬでそのパターン及び投影光学系ＰＬを介してウエハＷを露光する露光方法において、空間像計測系３４でレチクルＲのパターンの像の位置を計測し、そのパターンの像の位置の変動量をレチクルステージＲＳＴの温度情報から予測し、この予測結果に基づいてそのパターンの像とウエハＷとの位置合わせ情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の測定パターンに関わらず、測定誤差を低減させることができる画像機器の校正用パターンの提供。
【解決手段】校正用パターン１は、校正用パターン１の中央に設けられる正方形状の明領域からなる中央部１１と、中央部１１の外側に設けられる枠状パターン１２とを備える。枠状パターン１２は、中央部１１を中心として横方向に沿って両側に延出し、明領域、及び暗領域を交互に繰り返す横方向パターンと、中央部１１を中心として縦方向に沿って両側に延出し、明領域、及び暗領域を交互に繰り返す縦方向パターンとを有している。そして、横方向パターン、及び縦方向パターンは、中央部１１の横方向、及び縦方向における辺の長さに対して１／３の長さにそれぞれ設定される単位長さごとに明領域、及び暗領域を交互に繰り返している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アレイテスト装置と、アレイテスト装置の基板一地点位置測定方法と、カメラアセンブリーに撮像された特定位置座標測定方法を提供する。
【解決手段】本発明のアレイテスト装置は、テストされる基板を支持するテスト部を備える。少なくとも一つのモジュレータヘッドは、テスト部上に隣接配置され少なくともテスト部に位置した基板の不良位置を検出する。モジュレータヘッドは、固定ブロックを備える。カメラアセンブリーは、基準カメラ及び隣接カメラが一定に配されるように、固定ブロックに結合される。座標測定用モジュレータブロックは、固定ブロックに分離可能に結合され、カメラアセンブリと基板との間に位置し、カメラアセンブリを成すカメラの焦点距離に合わせて配された位置表示部材を備える。位置表示部材は、基準カメラによって撮像される基準位置マーク及び隣接カメラに撮像される少なくとも一つの対応位置マークが形成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アレイテスト装置と、アレイテスト装置の基板一地点位置測定方法を提供する。
【解決手段】本発明におけるアレイテスト装置は、テスト部と、テストモジュールと、位置表示部材とを含む。テスト部は、テストされる基板を支持する。テストモジュールは、少なくとも水平移動可能に配され、テスト部に配された基板の不良位置を検出する少なくとも一つのモジュレーターヘッドを備える。位置表示部材は、テスト部の水平方向の外郭にモジュレーターヘッドの移動経路上でモジュレーターヘッドと隣接して配され、基準位置マーク及び少なくとも一つの対応位置マークが形成された位置表示部材を含む。モジュレーターヘッドは、基準カメラ及び少なくとも一つの隣接カメラが配されたカメラアセンブリーを備え、位置表示部材の基準位置マークは、基準カメラによって撮像され、対応位置マークは、隣接カメラによって撮像される。 （もっと読む）

【課題】円形状のエッジを自動検出して円形を求め、該円形の幅寸法の測定を可能にする円形の幅寸法測定装置を提供する。
【解決手段】全体として１または２以上の層を有する円形状の物体を上方から撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた画像から前記円形状の仮中心点を求める手段と、前記仮中心点から円形の複数のエッジを求める手段と、前記円形の複数のエッジから仮想円の中心を求める手段と、前記仮想円の中心から仮想円を求める手段と、前記仮想円から検出円を求め、該検出円の幅を円形状の幅寸法とする幅寸法算出手段とを有することを特徴とする円形の幅寸法測定装置。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小さなトナーパターンで尚且つリアルタイムでのトナー位置検出を可能としたトナー位置検出方法及び反射型光学センサを提供する。
【解決手段】反射型光学センサＯＳ１において、検出光を放射する発光部Ｅ１〜Ｅ２は副方向に交わる２方向に配置されて照射手段となる。Ｅ１とＥ２は副方向において平行ではない。Ｄ１〜Ｄ１０は受光部を示し、ＢＳＰ１、ＢＳＰ２は照射スポットを示している。副方向に交わる任意の２方向に配置した照射手段Ｅ１、Ｅ２のうち１方向に配列した照射手段の検出光に対する支持部材（転写ベルト）の反射特性と、該転写ベルト上に形成されたトナーパターンＤＰ１の反射特性との差を信号Ａ、残りの１方向に配列した照射手段の検出光に対する上記支持部材の反射特性と上記トナーパターンの反射特性との差を信号Ｂとするとき、上記信号Ａと信号Ｂとに基づいてトナーパターンの上記支持部材上における位置を演算的に検出する。 （もっと読む）

【課題】 メディアの間隔方向と共にメディア表面に平行な方向におけるメディアの位置情報を同一の読取器で直接検出して、プリント精度の向上と低コスト化を高いレベルで両立したプリンタの提供。
【解決手段】 メディアの表面を読み取る読取器（４）は、発光素子（４１）とイメージセンサ（４２）を含む。発光素子（４１）からの光をメディア（３）に斜入射させ、斜入射した光の拡散反射光および正反射光を、共通のイメージセンサ（４２）でそれぞれ検出して、読取器（４）に対するメディア（３）の間隔およびメディア表面に平行な方向における位置情報を検出する。 （もっと読む）

【課題】検査対象を撮像して検査する場合の検査の高速化を図る。
【解決手段】ラインセンサカメラ６を、液晶パネル９に対して、矢符Ａ１に示すように正方向に移動させて液晶パネル９を撮像し、矢符Ｂ１に示すようにライン幅方向にずらし、矢符Ａ２に示すように逆方向に移動させて液晶パネル９を撮像し、以下同様にラインセンサカメラ６を、正方向および逆方向に移動させて液晶パネル９を１ライン分ずつ撮像する。正方向に移動させて撮像した画像３０と、逆方向に移動させて撮像した画像３１とは、上下が反転するので、正逆方向判別部１７でいずれの方向であるかを判別し、画像処理部１８では、テンプレート画像１９を、判別された方向に応じて、反転処理し、あるいは、反転処理することなく、マッチングを行い、更に、欠陥を検査する。 （もっと読む）

【課題】平面上に描いたパターンを利用して移動体の位置の検出を行う。
【解決手段】本発明の移動体位置検出システムは、表面に同一のドットパターンが配置された複数のパネルを並設することにより構成される平面と、複数のパネルのドットパターンを構成する個々のドットの基準特徴量を算出し、この基準特徴量を個々のドットの平面上における座標値と対応付けてデータベースに格納する基準特徴量格納手段と、移動体が位置する平面上の領域を予め決められた時間間隔で撮像する撮像手段と、撮像手段が取得した画像中の複数のドットから所定のドットを選択し、選択したドットの検出特徴量を算出する検出特徴量算出手段と、検出特徴量をデータベース中の所定の大きさの照合範囲の基準特徴量と照合することにより、最も一致度の高い基準特徴量を選択し、選択した基準特徴量の座標値を、平面上における移動体の現在位置として検出する特徴量照合手段とを備える。 （もっと読む）