【課題】ＴＩＳの平均値以外の重ね合わせ測定精度に関わる指標も考慮し、総合的に最適な焦点位置を決定できる重ね合わせずれ量算出方法を提供する。
【解決手段】重ね合わせずれ量の相関係数、基板面内のTISの３σ、繰り返し測定再現性を考慮し、（焦点位置決定値）＝−（相関係数）＋（基板面内TISバラツキ）＋（繰り返し測定再現性）と、上記焦点位置決定値を定義する。この焦点位置決定値を測定マークに対する光学顕微鏡の最適な焦点位置決定指標として用いる。この焦点位置決定値が最小となる焦点位置を最適な焦点位置と決定し、その最適焦点位置における基板面内のTISの平均値を個々の重ね合わせずれ量に対して補正を行う。 （もっと読む）

【課題】高いスループットと高い重ね合わせ精度を有する露光装置を提供する。
【解決手段】１枚のレチクル２を用いて、各モジュールでショット形状或いはフォーカス成分を測定し、その測定結果を用いて重ね合わせ露光を行うマルチモジュール型露光装置１００を提供する。レチクル２及び投影光学系３の熱的変化成分を測定して個々の変動成分を合わせることによって、高精度な重ね合わせやフォーカス制御が可能となり、高スループット且つ高精度な位置合わせが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
スループットを確保しつつ、高精度な重ね合わせを行う位置検出装置を提供する。
【解決手段】
マークが形成される基板を積載する基板ステージと、前記マークの位置を光検出する光検出手段と、前記基板ステージの位置を計測するステージ位置計測手段と、前記基板ステージの位置に対応する前記マークの位置を光検出する光検出回数、前記マークの位置の光検出の蓄積時間、前記基板ステージの位置の計測回数のいずれか１つ以上の計測条件を決定する計測条件決定手段と、前記計測条件に対応して、前記光検出手段により前記マークの位置の光検出を行うように制御する制御部と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 進行する材料ウェブ上の目印の横方向位置の光学的検出装置および上記装置の運転における方法を提供する。
【解決手段】
進行する材料ウェブの表面上の目印の横方向位置を光学的に検出するための装置が対物レンズ（１４）と行状に配列された感光性受光素子（１６）とからなる光学結像系と、上記検出領域（７）を照明するための２つの照明装置とを有し、上記第１の照明装置（２０）が、この照明装置から出る選択可能の色の光線が鏡面反射下に結像系へ到達しないように配列されており、他方、第２の照明装置が点状の光源（１０）および合焦光学系（１２；１３）からなり、上記光学系から出る光線が鏡面反射後に結像系の対物レンズ（１４）内の検出領域（７）で収束するように上記光学系が配置かつ調節されている。 （もっと読む）

【課題】パターン形状に歪みがあり、エッジ強度にバラつきがある画像においても、的確なマッチング位置が得られる統一的なテンプレート・マッチング手法を提供する。
【解決手段】テンプレート・マッチングで得られた正規化相関マップに重心距離フィルタを施して得られた上位候補の各位置周辺における相関値寄与率マップを作成し、これらの相関値寄与率マップから補正強度画像を作成し、補正強度画像に基づいて輝度補正し、各候補位置周辺で再度局所的にマッチングを行い、新たに得られた候補位置と相関値によって候補をソートしなおす。これにより、パターン形状に歪みがあり、エッジ強度にバラつきがある画像においても、統一的に的確なマッチング位置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
走査型露光装置を用いる基板上のショット配列の精度を計測する計測方法において、より短時間でショットの配列精度を評価する計測方法を提供する。
【解決手段】
第１の露光においてウェハ上に転写されたショットＡ(i,j+１), Ａ(i,j)と、そのウェハを９０°回転させた第２の露光においてウェハ上に転写されたショットＢ(i,j), Ｂ(i+１,j)とを重畳させ、その重畳領域において、ショットＡ(i,j+１), Ｂ(i+１,j)に含まれる中実箱型マークとショットＢ(i,j)に含まれる中空箱型マークが重なり合い、ショットＡ(i,j)に含まれる中空箱型マークとショットＢ(i,j)に含まれる中実箱型マークが重なり合う。形成した重ね合わせマーク３７〜４２を、全ての重畳領域内のマークに関して計測し、これら重畳領域を形成する全てのショットの相対的な位置誤差および回転誤差を一括して演算する。 （もっと読む）

【課題】画像内の回転したマークの位置を迅速かつ正確に検出する。
【解決手段】ステップＳ１において、投影パターンを用いたマッチングにより、テンプレートと類似度の高い入力画像の領域を検出し、検出した領域の中心を候補点として抽出する。ステップＳ２において、各候補点について、候補点を中心とする所定の形状の領域であって回転角の異なる複数の領域の画像をマッチング対象画像として抽出する。ステップＳ３において、抽出されたマッチング対象画像とテンプレートのマッチングを行い、類似度を表すマッチングスコアを求める。ステップＳ４において、マッチングの結果に基づいて、入力画像のマークの位置および回転角を検出する。本発明は、例えば、画像の位置検出装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】空間的なコヒーレンスに起因するゴースト像の発生を抑える技術を提供する。
【解決手段】インテグレータとして機能するフライアイレンズ１０４の分割数Ｎを、ある閾値より大きくすることで、観察される視野の領域内で発生するゴースト像のコントラストをあるレベルよりも小さくなるようにする。こうすることで、紫外レーザ光を用いたフォトマスクの欠陥の検査におけるゴースト像の影響を排除する。 （もっと読む）

【課題】簡便に且つ正確に位置を検出できる位置検出装置、位置検出方法、及び位置検出用マークを提供する。
【解決手段】位置検出装置は、カメラと制御部とを備える。カメラは、移動して、位置検出用マークを撮像する。位置検出用マークは、色が異なる領域と該領域が接して形成された複数の境界線とを備え、且つ、所定の基準位置を通るライン上で前記境界線が交差するように形成される。制御部は、位置検出用マークの撮像画像において、複数の走査線上の明度を検出し、その明度の変化に基づいて走査線と境界線との交点位置を求め、複数の交点位置から複数の境界線を求め、複数の境界線が交差する境界線交差位置を求め、複数の境界線交差位置を結んだ線を上記ラインと判別し、そのラインに基づいて基準位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】入力画像の対象物対応領域がテンプレート画像の対象物領域と比べて変形している場合や、入力画像にノイズが重畳している場合でも、対象物を正しく検出することができる（検出したかどうかの判断が可能となる）一致度を計算する。
【解決手段】入力画像と、対象物のテンプレート画像とを対比し、入力画像とテンプレート画像との一致度を計算する一致度計算装置であって、入力画像を、テンプレート対象物領域と整合するように変形する変形手段と、変形後の入力画像とテンプレート画像との一致度を計算する手段とを備え、前記変形手段は、入力画像の対象物対応領域において、テンプレート対象物領域の形状に合わせて非背景領域を整形する手段と、入力画像の対象物非対応領域において、テンプレート対象物対応領域に接する非背景領域を、前記一致度に影響を与えないように設定する処理手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、同種画像間の画像認識に用いられるテンプレートと同等の情報を、設計データに基づいて形成されるテンプレートに付加することで、実画像を取得することなく、設計データに基づいてテンプレートを作成することのできる容易性の維持と、テンプレートと実画像の一致度を高めることによる画像認識技術性能向上の両立にある。
【解決手段】
上記目的を達成するために、以下に設計データに基づいて、画像認識用のテンプレートを作成する際に、当該テンプレートによって特定される領域の材料情報に基づいて、当該テンプレート内の各位置の輝度情報を設定する方法，装置、及びプログラムを提案する。また、その一例として、材料の情報に加えて、上記領域上に配置されたパターンの大きさ，画像取得装置の装置条件，試料の層情報，パターンの線分情報の少なくとも１つの情報に基づいて、輝度レベルを設定する。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置構成で振動を検出できるとともに、振動検出時におけるサイクルタイムへの影響を小さくできる振動検出方法を提供すること。
【解決手段】本発明の振動検出方法は、略一定ピッチでパターンが繰り返し形成されたパターン繰り返し形成部を有する被測定物の外観検査を行う際に被測定物に発生した振動を検出する振動検出方法であって、パターン繰り返し部を撮像して検査画像を得る撮像工程Ｓ１１と、検査画像中のパターンの繰り返し方向における輝度分布に基づいて、繰り返し方向の複数箇所でパターン間の距離を測定する距離測定工程Ｓ１２と、パターン間の距離の繰り返し方向での変動に基づいて、撮像中に発生した振動を検出する振動検出工程Ｓ１４と、を備え、振動が検出された場合に、撮像工程Ｓ２１、距離測定工程Ｓ２２、および振動検出工程Ｓ１４において、撮像および振動検出を再度行う。 （もっと読む）

【課題】プリント基板の材質などによって、マークの鮮明な映像が得られずに認識エラーと判断した場合でも、鮮明な映像を得ること。
【解決手段】２次元バーコードＢＣを撮像して認識処理した結果に基づいてＣＰＵ２１が認識エラーと判断した場合に、リトライ機能が「有り」と判断した場合には、必要な照明パターンの変更及び輝度の変更をする。この場合、照明パターンの変更はしないと設定されていれば、リング照明灯１８及び同軸照明灯１６の標準の輝度を夫々マイナス８０％〜プラス８０％の範囲内で２０％毎の９段階に変更して合計８１通り変更する。８１通りの輝度変更に基づく認識処理による認識エラーでない画像の中から、ＣＰＵ２１は最もコントラストの良い画像の結果を選択してその輝度データをＲＡＭ２２に格納し、以降の基板認識処理の際に、この変更後の輝度データを使用して、リング照明灯１８及び同軸照明灯１６を点灯させる。 （もっと読む）

【課題】画像計測時にマーカの中心部を含む部分が遮蔽されていても作業部の位置の校正を行うことを可能とする。
【解決手段】作業装置は、被作業物体に対して作業を行う作業部と、マーカ中心点から放射状に複数のマーカが配置された校正治具とを有し、複数のマーカは、立体的に配置されており、校正治具は、作業部に対して設定された校正用の基準点とマーカ中心点とが一致するように作業部に装着されている。 （もっと読む）

【課題】ユーザにかかる負担の増大を抑制しつつ、画像内の小領域のみで画像間の位置合わせを精度よく行うことが可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】複雑領域探索部１３４は、正解パターン画像から探索した小領域の位置およびその小領域の画像を位置合わせ用パターンとして位置合わせ用パターン保存部１３５に保存し、位置合わせ部１３６は、位置合わせ用パターンとして保存された小領域の画像を位置合わせ用パターン保存部１３５から読み出し、検査対象画像と正解パターン画像との小領域間での画像の位置ずれ量に基づいて、検査対象画像と正解パターン画像との位置合わせを行い、欠陥検出部１３７は、正解パターン画像保存部１３２に保存された正解パターン画像と、位置合わせ部１３６にて位置合わせのための処理が行われた検査対象画像との比較結果に基づいて、検査対象の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】
基板ステージの移動誤差を短時間で計測する露光装置を提供する。
【解決手段】
基板を保持して移動されるステージと、前記ステージに保持された基板上のマークを撮像するスコープと、を有し、前記ステージに保持された基板を露光する露光装置であって、移動される前記基板ステージ上の計測用基板に配列された複数の第１マークを前記スコープに順次撮像させることにより、前記スコープを基準として前記複数の第１マークそれぞれの位置および回転量を算出し、算出された前記複数の第１のマークそれぞれの位置および回転量と、予め計測された前記複数の第１マークそれぞれの位置および回転量とに基づいて、前記基板ステージの移動誤差を算出する処理部と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数個の位置基準マークを複数台のカメラにより分担して撮影し、基板上に付された各位置基準マークの位置を正確に画像認識する電子部品の実装方法、及び表面実装機を提供する。
【解決手段】表面実装機を用いた電子部品の実装方法であって、（１）予め設定された基台上の各カメラ撮影位置Ａ、Ｂに前記各基板認識カメラをそれぞれ移動させて、各カメラ撮影位置近傍に位置する位置基準マークＦａ、Ｆｂの画像を撮影し、（２）前記各カメラ撮影位置Ａ、Ｂに対する現実の撮影位置の誤差を算出、（３）前記撮影により得られた各カメラ撮影位置Ａ、Ｂでの各画像データと、前記誤差とに基づいて前記基台上における位置基準マークＦａ、Ｆｂの位置を認識し、認識された位置基準マークＦａ、Ｆｂの位置に従って前記基板に対する電子部品の実装位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】高価な及び／又は追加のセンサを使用する必要なしにｚ方向のゼロレベルを正確に規定できるリソグラフィ装置の位置測定システムを提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、可動物体の直交ｘ−ｙ−ｚ座標系の少なくとも１方向にてリソグラフィ装置の基準フレームに対する可動物体の位置を測定する位置測定システムを含む。位置測定システムは、エンコーダの第２グレーティングに対する放射源、第１グレーティング、および検出器の変位を測定する光学ｘ−ｚエンコーダを含む。第１グレーティングはアライメントマーカを含む。コントローラは、ｘおよびｚの少なくとも１方向にて基準フレームに対する可動物体のゼロレベルを、第１グレーティングに沿ったスキャンを実行することによって規定し、スキャン段階の間にアライメントマーカが第１の正および負の次数両方の応答の位相に変化を引き起こす。 （もっと読む）

【課題】基準マークを必要数、撮影しつつも、タクトタイムを短縮する表面実装機、及び電子部品実装方法を提供する。
【解決手段】表面実装機を用いた電子部品実装方法であって、（１）前記各基準マークＦの位置と、前記複数の基板認識カメラ間のカメラ間距離と、各基板認識カメラのカメラ視野の広さと基づいて、前記複数個の基板認識カメラ７１、７５のカメラ視野の範囲内に前記複数個の基準マークＦが同時に収まるか否かを判定し、（２）前記複数個の基板認識カメラ７１、７５のカメラ視野の範囲内に前記複数個の基準マークＦが同時に収まる場合には、前記複数個の基板認識カメラ７１、７５により前記複数個の基準マークＦを同時に撮影し、（３）得られた各画像データに基づいて各基準マークＦを認識し、認識した情報に従って前記基台上の基板に対し吸着ヘッドにより電子部品を実装する。 （もっと読む）

光学システムは，あるフィールド内における選択可能な位置にレーザ・ビームを方向付けるようにそれぞれが配列された複数の選択的方向可変ミラー（38），上記複数の選択的方向可変ミラーの方向を感知するように動作し，かつ複数のミラー方向出力を提供するように動作する複数のミラー方向センサ(45)，および上記複数の選択的方向可変ミラーを自動的に較正する自動較正サブシステム(47)を備え，上記自動較正サブシステム(47)は，レーザ・ビームの照射による光学的に視認可能な指標を提供し，書換可能でありかつ光学的に視認可能な複数の基準マーキング（54，56）を有するターゲット(40)，上記ターゲットを選択的に位置決めするターゲット・ポジショナ(42)，上記レーザ・ビームの照射後の上記ターゲットを検視し，かつ複数のレーザ・ビーム照射出力を提供するように動作する光学センサ（44），および較正出力を提供するように動作する相関器（36）を備える。
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