【課題】回折構造体の測定パラメータモデルを利用する分光散乱システムおよび方法を提供する。
【解決手段】モデルの固有値を事前計算し、記憶し、ある共通の特性をもつ他の構造体に対して後に再利用する。１つ以上のパラメータの値を求めるために用いられる散乱データは、下敷フィルム特性に対して感度が低くなる波長におけるデータだけに制限することが可能である。代表的な構造体をスラブ２００’（ｉ）のスタックにスライスし、各スラブの近似を行うため四角形ブロック２１０，２１２，２１４，２１６，２１８のアレイを作成することによって三次元グレーティングに対するモデルを構築することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】Ｇセンサ（加速度センサ）を用いないコスト低減を図った安価な構成で自車両がこれから走行する路面勾配を事前に推定できるようにする。
【解決手段】単眼カメラ２により自車両１の進行方向を撮影し、勾配推定部３により、その撮影画像における先行車両のテールランプ部分の位置を判断し、判断された位置と基準位置との垂直方向の差から自車両１が走行する路面勾配を、Ｇセンサを用いることなく推定する。 （もっと読む）

【課題】薄膜化されたレジストを有する測定パターンの構造をスキャトロメトリ法で測定する場合、構造を十分な測定感度で測定できない部位が生じ、測定パターンの構造を精度良く測定できないことがある。
【解決手段】光源２０１は、光ビームを測定パターン３０１に照射するスペクトル測定部２０４は、光ビームの測定パターン３０１による反射回折光のスペクトルである実スペクトルを検出する。制御部２０５は、実スペクトルと、予め用意されたモデルパターンから算出される理論スペクトルとの波形フィッティングを、その実スペクトル内の複数の波長領域のそれぞれについて行い、測定パターンの構造を測定する。 （もっと読む）

【課題】レンズ素子の嵌合面およびフランジ面の形成精度、表面状態を、被検面を傷付けることなく、ニュートン縞を利用して簡便に観察できるようにしたレンズ素子のニュートン縞観察装置を得る。
【解決手段】嵌合式レンズ素子１のレンズ嵌合部２の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂに密着可能な嵌合面用ゲージ面２０Ａおよびフランジ面用ゲージ面２０Ｂと、光軸Ｌと平行に入射された観察光１１を反射して嵌合面用ゲージ面２０Ａに直角方向から照射するためのミラー面２０Ｅとを有するニュートン原器２０を交換可能に備え、ゲージ面２０Ａ、２０Ｂで反射した参照光と、レンズ素子１の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂで反射した測定光との干渉によるニュートン縞を得て、レンズ素子１の嵌合面２Ａおよびフランジ面２Ｂの評価を行う。 （もっと読む）

【課題】ねじ加工が施された管端部のねじ要素をオンライン（ねじ加工ライン）で自動的に精度良く測定する方法を提供する。
【解決手段】本発明は、順次搬送される管Ｐの端部にねじ加工が施されるねじ加工ライン１００上で、ねじ加工後の管端部のねじ要素を自動的に測定する方法であって、ねじ加工後の管端部をねじ洗浄装置３０で洗浄する洗浄工程と、前記洗浄された管端部をねじ乾燥装置４０で乾燥させる乾燥工程と、前記乾燥後の管端部のねじ要素を自動ねじ要素測定装置５０で測定する測定工程とを含み、少なくとも前記測定工程においては、管端部が清浄雰囲気下におかれることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 エンドミルやツイストドリル等の複雑な形状を有する旋削工具の測定において、被測定工具の軸線と被測定工具が連結され駆動手段により回動されるチャック部軸線とが同軸に連結されなくても簡単、迅速に、かつ高精度に測定可能な工具検査方法とその装置を提供する。
【解決手段】 被測定工具支持具と被測定工具押付具とで被測定工具のシャンク部を該シャンク部の軸線が振れることなく回動可能に挟持させる工程と、被測定工具と被測定工具を回動させる駆動手段とをたわみ軸継手を介して着脱自在に連結する工程と、前記駆動手段を駆動させて前記被測定工具支持具と被測定工具押付具とで挟持された被測定工具を回転させる工程と、前記回転する工具の外径等所要な部位を非接触で測定する工程とを備えた。 （もっと読む）

【課題】スリーブ印刷版の凸版の径方向位置情報を正確に得ることができるとともに、効率良く、かつ、精度良く前記凸版の検査を行うことが可能なスリーブ印刷版の検査装置を提供する。
【解決手段】スリーブ印刷版３０に設けられた凸版の形状を検査するスリーブ印刷版の検査装置５０であって、円筒面５１Ａを有するとともに、円筒面５１Ａの軸線Ｌ中心に回動可能な回転ドラム５１と、回転ドラム５１の円筒面５１Ａから離間して配置され、軸線Ｌに平行な方向に移動可能な直動部５６と、直動部５６に支持され、軸線Ｌからの径方向距離を測定する距離センサ６０と、回転ドラム５１の回転方向位置情報θ、距離センサ６０の軸線Ｌ方向位置情報Ｚ、距離センサ６０による径方向位置情報ｒ、を得て、円筒面５１Ａに装着されたスリーブ印刷版３０の凸版３３の形状を再現する演算部と７０、を備えている。 （もっと読む）

【課題】測定対象に設けられた穴の傾斜角等を高精度で測定すること。
【解決手段】光源部１０６は、断面が線状で所定間隔に配置された複数の平行な光ビームから成る測定用光１５０を出力する。光検出部１１１、１１４は、測定対象１３０の穴１３２周辺領域で反射した測定用光１５０を検出する。制御部１２６は、光検出部１１１、１１４が検出した複数の光ビームと穴１３２周縁部との交点の位置座標を用いて各光ビームの垂直２等分線を求め、穴１３２と交差しない複数の光ビームと前記垂直２等分線との交点の位置座標と前記光ビームの既知の間隔とを用いて穴１３２の傾斜角を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象に設けられた穴の傾斜角を高精度で測定すること。
【解決手段】測定対象１３０の穴１３２を含む領域の原画像データを取得し、断面が面状の第１測定用光を測定対象１３０の穴１３２を含む領域に照射した状態で前記領域の第１画像データを取得し、断面が複数の線状光である第２測定用光を穴１３２を含む領域に照射した状態で前記領域の第２画像データを取得し、第１画像データと原画像データの差をとることによって、穴１３２を含む領域における第１測定用光に関する第３画像データを取得し、第２画像データと原画像データの差をとることによって、穴１３２を含む領域における第２測定用光に関する第４画像データを取得し、第３画像データにおける穴１３２周縁部と第４画像データにおける第２測定用光との複数の交点の位置データを算出し、前記位置データを用いて穴１３２の傾斜角を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でかつ小さい処理負担で、自車両が走行する走行路面の勾配状態を検出できるようにする。
【解決手段】第１地点で撮像された第１画像中の走行路面に基づいて、上記第１地点から該第１地点に対して所定距離先にある第２地点まで同じ勾配が継続すると仮定して、その仮想走行路面での第２地点の走行路幅を第１走行路幅として算出し（ステップＳ３，Ｓ４）、第２地点の手前近傍の地点に達したときに撮像された第２画像中の走行路面に基づいて第２地点の走行路幅を第２走行路幅として算出し（ステップＳ８，Ｓ９）、上記第１走行路幅と上記第２走行路幅との大小関係に基づいて、第２地点での走行路面の勾配状態を判定する（ステップＳ１０）。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線露光用マスクのメンブレンに形成された貫通パターンのテーパ形状を非破壊的に検査する。
【解決手段】メンブレン１０の裏面１０ｂ側から赤外光１７を透過照射し、表面１０ａ側で赤外カメラ５により透過光による画１４Ａ像を得る。メンブレン１０は、赤外光に透過性を有するシリコン薄膜等で構成されるため画像１４Ａには貫通テーパ４Ａの表側開口の輪郭の像１５Ａと裏側開口の輪郭の像１６Ａとが含まれる。貫通テーパ４Ａが、粒子線入射側開口が射出側開口に比べて広くなった逆テーパであるかその逆の順テーパであるかにより、画像１４Ａのコントラスト波形１８Ａのパターンが異なるため、テーパ形状の非破壊的検査ができる。また、コントラスト波形１８Ａのピーク間の幅からテーパの角度を求めることもできる。 （もっと読む）

【課題】カラーハイライト照明で検出が難しいはんだの急峻な面や平坦面を判別できるようにするとともに、はんだ以外の部位を白色照明下で撮像できるようにする。
【解決手段】基板Ｓの上方に、カラーカメラ１Ａと赤外線カメラ１Ｂとを各受光面が基板面に対向するように配備する。またカメラ１Ａ，１Ｂと基板Ｓとの間には、赤、緑、青の各可視光をそれぞれ異なる方向から照射する第１照明部２Ａと、カメラ１Ａの光軸１１に沿って赤外光を照射する第２照明部２Ｂとを設ける。カメラ１Ａでは、第１照明部２Ａからの光に対する基板Ｓからの反射光の入射によるカラー画像を生成し、カメラ１Ｂは、赤外光に対する反射光の入射による濃淡画像を生成する。フィレット以外の部位を検査する場合には、カラー画像の対応箇所の画像を処理し、フィレット検査の際には、カラー画像および濃淡画像を用いて５段階の傾斜レベルに相当する部位を特定する。 （もっと読む）

【課題】長尺工具エッジの曲率半径の測定を高速かつ高精度に行うことのできる計測装置および計測方法を提供する。
【解決手段】長尺工具エッジ１１をその長手方向に直交して臨むようにラインカメラ２０が設置される。ラインカメラ２０を長尺工具の長手方向と平行に駆動するＸ軸移動ステージ５２と長尺工具エッジ１１にラインカメラ２０の焦点を合わせるためのＹ軸移動ステージ５３を有するカメラステージ５０がある。カメラステージ５０上にラインカメラ２０を載架する。 （もっと読む）

【課題】微細パターンのボトム部の裾引き形状を正確に計測する方法および計測装置を提供するとともに、パターン高さ、テーパー角、裾引き量およびラフネス等の形状情報に基づいて加工精度を判定する半導体デバイスの製造管理システムを提供する。
【解決手段】ターゲットパターンにブロードバンド光を照射して回折光を計測し、回折光強度の波長依存特性を取得する（Ｓ１）。そして、取得した回折光強度の波長依存特性を標準モデルを用いて解析し、パターン高さＨ、ボトム幅ＢＣＤおよびテーパー角Θを取得する（Ｓ２）。取得した回折光強度の波長依存特性の波形と、予め準備しておいた標準モデルに基づく回折光強度の波長依存特性の波形との差に基づいて波形変化率を取得し、当該波形変化率に対応する裾引き量Ｔを特性曲線と照合して求める（Ｓ３）。そして、ＳＥＭにより、ターゲットパターンにおける線幅ばらつきＬＥＲを測定する（Ｓ４）。 （もっと読む）

発明は全般的には、交差軸に対する平面の位置及び整合を決定するため、及びその平面を基準面として用いる際の補正の実施を可能にするために既知の位置及び整合を用いるための、方法及びシステムに関する。さらに詳しくは、発明は、レーザビームに対する平坦表面の傾き角を決定するため、及び決定された傾き角をレーザビームに適用されるべき補正因子を計算するために用いるための、方法及びシステムに関する。略述すれば、方法及びシステムは、処置にレーザビームを用いる際に適用される、補正因子、ｚオフセットを最終的に計算する。
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【課題】容易に実施でき、高い精度で厚みを決定することができる透明試料の厚み測定の可能性を提供すること。
【解決手段】本発明は、透明試料（２）、特に、ガラス片、又は、ガラス板の厚みを測定する装置に関する。この装置は、試料（２）の前面（８）に第１入射角（α１）で当たる第１光線（Ｌ１）、特に第１レーザビームと、試料（２）の前面（８）に、入射角（α１）と異なる入射角（α２）で当たる第２光線（Ｌ２）、特に第２レーザビームと、前記第１及び前記第２入射光線（Ｌ１、Ｌ２）が試料によって反射される反射光線（Ｌ１´、Ｌ１´´、Ｌ２´、Ｌ２´´）を検知し、それら反射光線の位置を決定する少なくとも１つの検知器（１１、１２）とを備える。また、曲率補正を可能とするために、前記第１又は前記第２光線（Ｌ１、Ｌ２）に略平行な少なくとも１つの入射光線（Ｌ３）が、試料（２）の前面（８）に向かい、さらに、平行光線（Ｌ３）が試料（２）によって反射される光線（Ｌ３´）を検知し、その位置を決定するために、少なくとも１つの検知器（１１）が設けられる。本発明は、また、それに対応する方法に関する。 （もっと読む）