【課題】 撮像装置で撮像した物体の位置計測用の基本標識を識別用の識別標識と混同することなく位置計測を行うことができる位置計測システム、位置計測用演算装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】 位置計測システムは、平面上に幾何学的形状として四角形を形成する位置関係の分かっている４つの基本標識ａ１，ｂ１，ｃ１，ｄ１および平面上に配置される識別標識ａ２を有する物体１と、２次元撮像素子２を有する撮像装置３と、撮像装置３により撮像した基本標識および識別標識の画像情報から得られた直線上の４点を利用して複比を計算し、計算した複比に基づいて４つの基本標識ａ１，ｂ１，ｃ１，ｄ１を識別し、識別した４つの基本標識ａ１，ｂ１，ｃ１，ｄ１の位置情報に基づいて物体１の３次元位置および角度の少なくとも一方を求める演算を行う演算装置４とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造であり、簡易な方法で紙の検知が可能な紙検知センサおよび紙検知方法を提供する。
【解決手段】紙検知センサは、紙検知エリアにフォトレジスタ１１ａ、１１ｂが配置されており、前記フォトレジスタ１１ａ、１１ｂの抵抗値の変化にもとづいて紙の有無を検知する手段を備えた紙検知センサにおいて、前記紙検知エリアの幅が、前記紙が前記紙検知エリアに進入する時に占有する幅以上であり、前記紙検知エリア内の、あらかじめ決められた一つの基準位置より、前記紙の進入方向に対しほぼ垂直方向の一方の端部に渡って、第１のフォトレジスタ１１ａが配置されており、前記基準位置より、前記紙の進入方向に対しほぼ垂直方向の他方の端部に渡って、前記第１のフォトレジスタ１１ａとは独立して、第２のフォトレジスタ１１ｂが配置されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板上の位置を特定するためのマークを不要のものとし、しかも、正確に位置を特定することができるガラス基板位置特定方法およびそれに用いられる装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板１の頂点１４を構成する２辺の、この頂点近傍の位置と向きとを検知してこの頂点１４の位置を特定し、特定された頂点の位置の少なくとも２つから、ガラス基板の位置と向きとを特定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の微小な移動加速度または傾斜角度を測定することができ、測定の感度が高くなる光学感応装置を提供する。
【解決手段】内部に黒体条件空間を有するケースと、黒体条件空間に光ビームを投射する少なくとも一つの発光子と、ケースに設けられ、黒体条件空間に隣接する少なくとも一つの光学感応子と、黒体条件空間に移動可能に設けられ、少なくとも一つの端部を有し、端部がケースと接触し、少なくとも一つの溝が設けられる遮蔽子と、を備える光学感応装置において、黒体条件空間において、遮蔽子が少なくとも一つの遮蔽区域に移動するときには、光学感応子が遮蔽子に遮蔽され、なお、遮蔽子が遮蔽区域から離れたときには、光学感応子が光ビームを感応して感応信号を発する。 （もっと読む）

【課題】ロボット等の装置の周辺に存在する物体の位置、姿勢および形状等、当該物体を対象とする当該装置の動作のために必要な情報を高精度で認識することができるシステム等を提供する。
【解決手段】本発明の環境認識システムによれば、３次元画像センサ１１および２次元画像センサ１２のそれぞれのカメラパラメータを用いて、被写体の３次元情報および物理情報（色情報など）が対応付けられる。その結果、ロボットＲの周囲にある被写体に関する位置、姿勢および形状、ならびに、被写体の物理情報が取得される。 （もっと読む）

【課題】一つのセンサで同時に正反射面及び乱反射面の傾き角度の測定を行うことができるチルトセンサを提供する。
【解決手段】検出領域に向けて測定用光を出射する投光部、および、検出領域で反射された測定用光を受光する受光部からなる光学系を備え、投光部は、発光素子とコリメータレンズとを具備して構成され、受光部は、正反射光測定部と乱反射光測定部とを備え、正反射光測定部は、受光レンズと受光素子とを具備し、乱反射光測定部は、受光レンズと、受光素子と、乱反射光受光ミラーと、正反射光乱反射光合成ハーフミラーとを具備して構成され、正反射光測定部の受光レンズ及び乱反射光測定部の受光レンズを１枚の受光レンズで兼用し、また正反射光測定部の受光素子及び乱反射光測定部の受光素子を１つの受光素子で兼用する。 （もっと読む）

【課題】 カメラ及び距離センサを用いて高精度に物体の位置姿勢を計測する。
【解決手段】 物体の二次元画像の画像特徴と、保持された物体の位置姿勢における三次元形状モデルが二次元画像に投影される投影像とのずれを算出する。三次元座標情報と、保持された位置姿勢における三次元形状モデルとのずれを算出する。双方のずれの尺度を、同等の尺度になるように変換して、保持された位置姿勢を補正する。 （もっと読む）

【課題】多数のアライメントヘッドのキャリブレーションを改良し、オーバレイ精度及び製品歩留まりを向上させる。
【解決手段】物体のアライメントを測定するための装置を備えるリソグラフィ装置であって、アライメント検出領域にてアライメントマークの位置を測定するためのアライメント検出器を各々が備える複数のアライメントセンサと、レベリングセンサ検出領域において物体の高さ及び／または傾斜を測定するためのレベリングセンサと、レベリングセンサとアライメントセンサとの間のフィードフォワード接続部と、を備えるリソグラフィ装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】種々の形状の検出対象物に対してもそれぞれ高速で且つ精度良く対象物の３次元形状を検出できるようにした、形状検出装置及びこれを用いたロボットシステムを提供する。
【解決手段】ランダムに配置された複数の検出対象物を収納したストッカと、ストッカ内の複数の検出対象物の画像及び距離を取得する距離画像センサと、距離画像センサの検出結果と設定されたアルゴリズムとに基づいてストッカ内の検出対象物のそれぞれの位置及び姿勢を検出するセンサコントローラと、センサコントローラが使用するアルゴリズムを選択し、センサコントローラのアルゴリズムの設定を行なうユーザコントローラとを有して構成する。 （もっと読む）

【課題】入力画像から物体の３次元空間における位置姿勢を計測する。
【解決手段】ある観測方向から撮像した物体のステレオ画像を入力し、ステレオ画像から物体のエッジを抽出し、抽出したエッジをセグメントに分割し、前記セグメントに対して局所的幾何特徴のデータ頂点・データ円弧の特徴データを付加する。次に、データ頂点・データ円弧の特徴データと、予め作成して格納してある物体を離散的に設定した様々な観測方向から観測して生成した特徴量モデルの局所的幾何特徴であるモデル頂点・モデル円弧のデータとを照合し、該物体が存在するセグメント候補を検出する。セグメント候補を物体の詳細な表面形状を持つ三角パッチからなる詳細モデルと照合することにより微調整を行い、物体モデルの３次元位置姿勢を計測する。 （もっと読む）

【課題】どのような位置・角度に置かれたカメラで両部材に付されたマークを画像認識しても、高精度なパターンマッチングを行ってその位置関係を把握して組立装置に伝達することができる部材同士の位置合わせ制御システムを提供する。
【解決手段】カメラ１９から第１及び第２の部材を見た時のカメラ平面画像を導出する平面導出処理部８と、第１及び第２のマークがカメラ平面画像で映し出された時の変形マークを求めるマーク変形処理部９と、第１及び第２の変形マークのパターンマッチングを行うパターンマッチング処理部１６と、前記パターンマッチングにより前記第１及び第２の変形マークが合致した場合、前記第１又は第２の部材の移動量及び移動方向を前記第１及び第２の部材を支持している組立装置に伝達する移動伝達部１７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】同じ基板について２種類以上の基準マークの位置を各々検出し、同じ種類の基準マークの検出結果から求めた補正量を、異なる種類の基準マークに適用して補正量を評価することで、同じ傾向を有する誤差を容易に検出して適正な補正を行うことができる、描画装置、プログラム及び描画方法を提供する。
【解決手段】第１基準マークに基づいて得られた第１補正量で第１基準マークの設定位置を補正して、補正後位置の検出位置からの誤差（第１ずれ量）を演算し、第２基準マークに基づいて得られた第２補正量で第２基準マークの設定位置を補正して、補正後位置の検出位置からの誤差（第２ずれ量）を演算する。第１補正量で第２基準マークの設定位置を補正して、補正後位置の検出位置からの誤差（第３ずれ量）を演算し、第２補正量で第１基準マークの設定位置を補正して、補正後位置の検出位置からの誤差（第４ずれ量）を演算する。 （もっと読む）

【課題】
輪郭が線状とならない回転体をステレオビジョンにより三次元姿勢を測定する。
【解決手段】
回転体を異なる２方向から撮像した一対の画像を取得し、前記一対の画像ごとに、測定対象である前記回転体の画像領域を抽出し、前記一対の画像ごとに、主成分分析により前記回転体の画像領域の主成分軸を算出して一の主成分軸を前記回転体の中心軸として設定し、前記一対の画像の中心軸上の点を対応付け、前記対応付けされた一対の画像から三角測量の原理により中心軸の三次元情報を求め、前記回転体の三次元姿勢を算出する。 （もっと読む）

【課題】互いのウェハを位置合わせして重ね合わせるときに、ステージの回転量が所定量を超えてしまうと、ステージの正確な位置を把握することが困難となる。ステージの回転量が所定量を超えないように制御するには、そもそも最初にステージに置かれるウェハの位置を厳密に管理する必要がある。
【解決手段】位置検出装置は、第１基板に設けられた少なくとも２個の第１基板指標を一度の撮像動作により撮像する第１撮像ユニットと、第１撮像ユニットにより撮像された画像に基づいて第１基板指標の位置を計測することにより、第１基板の姿勢を測定する測定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】配管エルボーのような屈曲した円柱の位置姿勢を認識してロボットにより把持する。
【解決手段】主ベクトルと法線を３次元点に対して計算し、その単位球上の統計的な分布からモデルとの照合を行う。主ベクトルが平面上に分布する形状について、平面の姿勢を特定したあとで平面内の回転を計算し、姿勢を特定後に平行移動成分を計算する。その結果の変換行列を用いて把持点を計算し、ロボットで把持する。 （もっと読む）

【課題】従来の３次元形状測定装置は複雑で大がかりなものや相当数のカメラを必要とするものが多かった。また、１台のカメラのみを用いた３次元形状測定装置で、精度良く測定対象物の形状を検出するものが見られなかった。
【解決手段】以上の課題を解決するため、回転テーブルの上に載置された測定物体が撮影された動画像を取得し、取得した動画象から得られる測定物体の特徴点の投影回転軌跡や投影回転中心の２次元投影座標等のデータに基づいて特徴点の回転半径、回転中心高度、特徴点間の角度を検出し、３次元位置データを出力可能な３次元形状測定装置、３次元形状測定方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】高精度な直角度でＨ形鋼を製造する。
【解決手段】搬送されてくる溶接Ｈ形鋼１の上下のフランジ１ｆu、１ｆdの外面及びウエブ１ｗの一方の面と対向するように内壁面が配置された側面視コ字状の測定器本体１１ａと、この測定器本体１１ａの前記内壁面に、前記各面に対向すべく少なくとも２個配置されたレーザ距離計３ａ〜３ｆと、これらレーザ距離計３ａ〜３ｆにより測定した溶接Ｈ形鋼１の同一断面の測定値に基づき、直角度を求める演算器１１ｃを備えた装置を用い、溶接Ｈ形鋼１を製品長さに切断する切断機１２の下流側で、拘束されずに搬送されてくる溶接Ｈ形鋼１の上下のフランジ１ｆu、１ｆdの外面及びウエブ１ｗの一方の面のそれぞれの傾きを測定し、その傾きから直角度を算出する。算出した結果をフィードバックして溶接接合されたＨ形鋼を矯正する。
【効果】高精度に測定した直角度に基づいて矯正することで、直角度が良好な製品の製造が可能になる。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーションを容易且つ高精度に行なう。
【解決手段】キャリブレーション冶具５をハンド２ｂに固定し、ハンド２ｂを移動させて、キャリブレーション冶具５上の特徴点を所定の位置に移動させる。このときのカメラ座標系における特徴点の位置座標から、カメラ座標系における、キャリブレーション冶具５の座標系である冶具座標系の原点の位置及び姿勢を検出する。冶具座標系はハンド２ｂを基準とするアーム先端座標系と一致するため、カメラ座標系における特徴点と、アーム先端座標系との相対関係を検出することができ、すなわちキャリブレーション冶具５とハンド２ｂとの相対関係を検出することができる。このキャリブレーション冶具５とハンド２ｂとの相対関係を用いて、カメラ座標系とロボット座標系との剛体変換行列を求める。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、測定対象物と当該測定対象物のモデルとの位置および／又は姿勢を比較する際の計算機による計算時間を短縮することを目的とする。
【解決手段】 本発明の情報処理装置は、測定対象物と当該測定対象物のモデルとの位置および／又は姿勢を合わせるための情報処理装置であって、前記測定対象物の撮像画像を取得する取得手段と、前記撮像画像に基づき、前記測定対象物の表面形状を示す情報を算出する算出手段と、前記表面形状を示す情報に基づき、前記モデルの位置および／又は姿勢を制限する制限手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】床面に配置される測定対象の大きさ、ならびに、当該床面に対する当該測定対象の位置および向きを推定する推定方法を提供する。
【解決手段】家具等の測定対象の水平面もしくは鉛直面の周縁、ならびに、測定対象が配置される床面に、互いに異なるマークが付された複数のマーカを貼付し（ステップＳ１０１）、測定対象および床面を異なる撮影位置から複数回撮影し（ステップＳ１０２）、コンピュータが備える計算装置が、撮影により得られた複数の撮影画像においてマーカが撮影された領域に配置されるマーカ画像の大きさ、位置、向きに基づいて、複数の撮影画像のそれぞれについて、当該撮影画像を撮影した撮影位置、測定対象の大きさ、床面に対する測定対象の位置および向きを推定する（ステップＳ１０３〜Ｓ１０５）。 （もっと読む）