本発明は、レンズフレームがレンズ形状に対応する内接表面範囲Ｆを少なくとも部分的に定めている、眼鏡フレーム（２）の当該レンズフレーム（２．１）の内側を測定するための測定装置（１）に関し、眼鏡フレーム（２）を取り付けるための保持装置（３）と、レンズフレーム（２．１）の評価されるべき領域に投光される光ビーム（４．１）を生成するための少なくとも１つの光源（４）と、反射された光ビーム（４．１）を検出するための、評価ユニット（１．１）に結合され得る少なくとも１つのセンサ（５）と、を備え、前記保持装置（３）は、回転軸ｒの周りを回転され得ると共に、移動軸ｘの方向に移動され得て、前記移動軸ｘは、前記回転軸ｒに対して垂直な方向に少なくとも１つの移動成分を有する。前記保持装置（３）は、眼鏡フレーム耳あて部（２．２、２．３）によって眼鏡フレーム（２）を固定するために使用され、前記保持装置（３）の領域に少なくとも１つの自由空間（３．１、３．２）が設けられており、前記自由空間は、保持されるべき眼鏡フレーム（２）の、畳み込まれていない、または、畳み込まれることができない、前記眼鏡フレーム耳あて部（２．２、２．３）を受けるために使用される。
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【課題】校正用ターゲットを用いることなく、カメラ校正を実施することができるコークス炉壁観察装置のカメラ校正方法およびプログラムを提供する。
【解決手段】カメラ３０をコークス炉１０内に挿入し、炉壁画像ＯＩを撮影し、炉壁画像ＯＩを視点変換処理して視点変換画像ＴＩを生成するコークス炉壁観察装置における、カメラ３０の取り付けを校正するために、コークス炉１０の形状を指標としてカメラ校正を行う。カメラ３０の取り付け誤差の影響のない視点変換画像ＴＩを生成することができ、炉壁全体画像ＷＩの合成を行っても視点変換画像ＴＩの繋ぎ目で不一致が生じることがない。校正用ターゲットを高温となるコークス炉内に設置する必要がない。 （もっと読む）

3Dモデルを生成し、および／またはダイヤモンドのような研磨原石におけるインクルージョンを検出する、方法および機器について示した。原石は、一連の個別の増分で回転される。原石の各回転位置では、原石に平行光が照射され、輪郭画像が記録される。また、原石には、各回転位置で、（更なる回転の前に）拡散光が照射され、拡散画像が記録される。画像は、解析され、原石の表面の3Dモデルが取得される。次に、拡散画像において、特徴物が同定され、これは、後続の拡散画像の間でトラックされる。トラック化特徴物は、原石による光線の反射および屈折を考慮して、原石の3Dモデルに対して配置される。その後、特徴物のいくつかまたは全てがインクルージョンとして同定される。
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【課題】 ＧＰＳが利用できないトンネル内において、距離メータなどの機械的計測により得た入力データに対してＧＰＳや距離メータ等に起因する誤差を正確に補正する。
【解決手段】 走行する車両に搭載された距離メータやジャイロ装置などの位置検知手段２１０により測定した原座標系の位置データと、車両に搭載された壁面検知手段１２０により位置データと同期させた原座標系のトンネル内面点群データをデータ入力部１２０を介して入力する。入口被検知板３１０に関するＧＰＳでの計測データと既知の位置データの差分からＧＰＳの誤差を補正し、出口被検知板３２０に関する距離メータの計測データと既知の位置データの差分からトンネル内で距離メータの誤差により蓄積したトンネル内計測誤差の総計を算出し、キロポスト上の任意の点に対してはトンネル内計測誤差を按分して補正する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セラミックシートの自動的な検査にも適用できるものであり、大量のセラミックシートから反りなどの欠陥を効率良く且つ正確に検出するための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る固体酸化物形燃料電池の固体電解質膜用セラミックシートの検査方法は、当該セラミックシートの反りを三角測距式変位センサーで検出する工程；および、次に、セラミックシートの表面および内部に存在する欠陥を透過型光電センサーで検出する工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成により、参照ミラーを僅かに傾斜させるだけで、ウェハなどの試料（被測定物）の表面形状を計測し、ごみやポールピースなどの正確な座標位置を特定し、電子顕微鏡、描画装置などの荷電粒子ビーム装置にその正確なデータを送受信して、作業効率の向上に一層貢献することができる干渉顕微鏡及び測定装置を提供する。
【解決手段】ウェハなどの試料にレーザ光を照射し、干渉計を用いて、試料の表面内部を観察検査する干渉顕微鏡及び測定装置において、ビームスプリッターと参照ミラーとの間に光を導光するための参照光路を設けるとともに、ビームスプリッターと試料との間に光を導光するための測定光路を設けて、参照光路と測定光路において光学的光路差を設ける。しかも、参照ミラーを微小量傾けることによって、検出手段に干渉縞を形成する。 （もっと読む）

【課題】同一の被写体に関する複数の被写体像を撮像して生成された画像データを用いて計測を行う際に、第１の被写体像に設定された計測点に対応する、第２の被写体像に設定された対応点の視認性を保つ。
【解決手段】ＣＰＵ１８は、画像データに基づく第１の被写体像に計測点を設定し、計測点の位置に基づいて、画像データに基づく第２の被写体像に対応点を設定する。また、ＣＰＵ１８は、対応点の位置に基づいて第２の被写体像に情報表示領域を設定する。モニタ４は、第１の被写体像、第２の被写体像、計測点、対応点、および情報表示領域を表示する。ＣＰＵ１８は、計測点の位置および対応点の位置に基づいて、画像データを用いて被写体を計測する。 （もっと読む）

【課題】管状の貫通穴、有底穴の被検査物の内周囲面、及び周囲の被検査物の外観検査を容易に行うことができる検査装置を提供することを課題としている。
【解決手段１】管状の貫通穴、有底穴の被検査物（２）の内周囲面（２ａ）または周囲の被検査物に光を照射する照射手段（４）と、照射された光を、内周囲面（２ａ）または周囲に反射拡散する反射拡散手段（６）と、内周囲面または周囲を撮像する撮像手段（７）を備え、
該撮像手段（７）の魚眼レンズまたは広角レンズ（９）同軸上前方に該反射拡散手段（６）を配置した構成とし、該撮像手段（７）により検査を行う。 （もっと読む）

【課題】ガラスシート (１４)内または上の粒子及び欠陥を検出するためのガラス検査装置において、製造環境に容易に配備され得るコンパクトな装置に容易に集成することができる比較的低コストの光学コンポーネントを用いる。
【解決手段】この装置は、検査されるべき表面(１)が反射型レンズ(１０)の物平面にあるように取り付けられる。レンズは、レンズ周縁の接線方向に長く、径方向に短い、細いストライプ領域をラインスキャンカメラ(１８)上に結像させる。ストライプ領域を照明するように、ライン照明装置(１２)を取り付けることができる。検査を実施するため、ガラス上方で装置を移動させることによるか、装置を固定しておいてガラスを移動させることによって、ストライプの長軸に直交する方向でガラスに対して装置が移動される。この移動中に像情報がラインスキャンカメラによって収集され、組み合わされて、画像にされる。 （もっと読む）

【課題】タイヤの例えば内面や外面の外観検査において、効率よくタイヤを撮像することにより検査にかかる処理時間を短縮し、かつ、撮像された画像を精度よく合成することができるタイヤの検査装置を提供する。
【解決手段】周方向に相対的に位置ずれして配置され、かつ互いにタイヤの幅方向に撮像位置がそれぞれ異なるように設定された複数のカメラ１１〜１３により撮像して得られるタイヤの内周面の各撮像画像を合成して検査するタイヤの検査装置において、タイヤが複数のカメラ１１〜１３と相対的に周方向に回転されて、撮像動作が全カメラ１１〜１３で行われるときに、全カメラ１１〜１３の撮像画像中に同一時刻でマーカを入れて、全カメラ１１〜１３が撮像した撮像画像を合成するときに、このマーカを各撮像画像の基準位置として用いて、カメラ１１〜１３間の周方向の相対的位置ずれ量に見合うように撮像画像を位置合わせして合成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 光源から放射される光ビームを、板ガラスのような透明材料を透過させてスクリーンに投影し、透明材料内の欠陥を検出する検査装置において、光学倍率、光源からスクリーンまでの距離、または光源の光度を変えることなしに、種々のサイズの透明材料の検査を可能にする。
【解決手段】 スクリーン２６上に投影される光ビームを遮る光学素子２４を光源２２とスクリーン２６との間に配置して、光ビームの少なくとも一部分の光度を変えて、ほぼ一様な照度分布をスクリーン２６上に生成させ、透明材料３０内の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】タイヤ内面の検査において、ハレーションを抑制してタイヤ内面のキズや汚れ及び異物などの検出精度を向上させるタイヤ内面検査装置を提供する。
【解決手段】タイヤ内面検査装置が、タイヤ内面の一方のタイヤサイド側に光を照射する第１照射手段とタイヤ内面の他方のタイヤサイド側に光を照射する第２照射手段と、第１照射手段の照射面に取り付けられる第１偏光手段と第２照射手段の照射面に取り付けられる第２偏光手段と、第１照射手段と第２照射手段が照射する光に基づき一方、他方のタイヤサイドを含むタイヤ内面を撮像する撮像手段とを備え、撮像手段が第１照射手段と第２照射手段によってタイヤ内面に照射された光のタイヤ内面からの反射光を偏光する撮像用偏光手段を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定管の内面形状を容易かつ高精度で測定することができることは勿論、被測定管を回転させる必要がなく、しかも、測定装置を被測定管内にセットして被測定管の内側から被測定管の内面形状を測定することができるので、構成が簡易で、測定場所が限定されない管内面測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置本体２と、測定装置本体２の外周面に放射状に取り付けられた、先端が被測定管１の内面に当接される、長さ調整可能な複数本のアーム３と、測定装置本体２にブラケット８を介して取り付けられた、被測定管１の内面までの距離を測定する距離センサ７とを備え、距離センサ７は、被測定管１の内周面に沿って、ハンドル９によりブラケット８とともに手動により回転可能である。 （もっと読む）

【課題】テーパ孔や、孔の軸線が傾いていても正確に孔形状を測定できる孔形状測定方法を目的とする。
【解決手段】第１の測定位置となる孔円周面の３点以上の箇所に同時または逐次測定光を照射し、反射光を導光部材により結像レンズに導き受光素子に導光し、受光素子の受光位置に基づき光学式プローブの軸線から孔内周面までの距離a、b、ｃ・・を求め、光学式プローブをプローブ軸方向の第２の測定位置に移動して前記と同様に光学式プローブの軸線から孔内周面までの距離a1、b１、c１・・ を求め、得られた距離aとa1、距離bとｂ１、距離cとｃ１・・との各比が異なる場合、光学式プローブの軸線と孔の軸線が一致していない、あるいは平行になっていないと判定し、距離aとa1、距離bとｂ１、と距離cとｃ１・・間の各傾き角度を求め、各傾き角度から測定位置のずれを補正して第１と第２の測定位置の中心座標から第１と第２の測定位置の孔内径を求めて孔形状を得る。 （もっと読む）

【課題】被検物を搬送しながら外観などの画像検査を行う被検物の画像検査方法にあって、被検物を様々な方向から広範囲に亘って確実に検査できる画像検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る画像検査方法は、水平回転する第１の回転体１の外周面ｍにおいて側方に臨むように形成された第１の吸着孔１１に、単一の被検物ｂの第１の部位ｂ１を吸着させて搬送し、第１の画像検査手段１２により画像検査を行った後、水平回転する第２の回転体２の周縁部ｎにおいて上方に臨むように形成された第２の吸着孔２１に、被検物ｂの第１の部位ｂ１と異なる第２の部位ｂ２を吸着させて受け渡し、第２の吸着孔２１に吸着させて搬送し、第２の画像検査手段２２により画像検査を行うものである。 （もっと読む）

【課題】小径管内面の三次元形状を演算して、小径管内面の状態を正確に且つ迅速に測定することが可能な管内面形状測定装置を提供する。
【解決手段】この管内面形状測定装置５０は、演算部１１と撮像部１２により構成され、演算部１１は、撮像部１２を管内の軸方向へ移動させたときのカメラ５により撮像されたレーザリング９の径の値、及び文様の移動量に基づいてカメラ５の移動距離を演算するＰＣ（演算手段）１と、レーザ投光器６に備えられたレーザを駆動するレーザ駆動回路３と、カメラ５により撮影された画像を処理するイメージプロセッサ４と、演算結果を表示するモニタ２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】切削加工後の長尺シャフトなどの管状部材の内面を簡単に検査できる内面検査装置を提供する。
【解決手段】管状部材１の内面２を加工する内面検査装置であって、管状部材１を固定する固定装置１０と、固定装置１０により固定された管状部材１の内面２を加工する加工機２０、３０、４０と、内面２に区画された管状部材の内部空間に位置した状態で、加工機に加工された内面２を検知する内面検査ヘッド１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】短時間で、ノズル孔周囲の不良およびノズル孔内部の異物の有無を一括して検査できるノズルプレートの検査装置等を提供することである。
【解決手段】ノズルプレート２がセットされるセットステージ１２と、ノズルプレート２を移動させる移動テーブル１３と、各ノズル孔３の表面側周囲７および内部を画像認識する認識カメラ１４と、認識カメラ１４のフォーカシング距離を調整するＺテーブル１５と、各ノズル孔３の表面側周囲７を照明する反射照明１６と、各ノズル孔３内部を照明する透過照明１７と、ノズルプレート２の高さを計測するレーザー変位計１８と、制御装置１９と、を備え、制御装置１９は、ノズルプレート２の高さを計測する計測動作と、フォーカシング距離を調整するフォーカシング調整動作と、各ノズル孔３の表面側周囲７の不良を検査する表面検査と、各ノズル孔３の内部の異物の有無を検査する孔内検査と、を連続して実施するものである。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの欠陥を精度よく検査できる欠陥検査方法及びそれを用いた半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】ウェーハ１の欠陥検査の際に、ウェーハのベベル部に検査光を照射し、その散乱光を検出し、検出した散乱光の内で所定の光強度範囲内にある弱い散乱光が密集した箇所を特定することにより前記ベベル部の欠陥を検知する。欠陥が検知されたウェーハの処理（例えば、ラピッド・サーマル・アニールのような熱処理工程）の進行を停止し、ウェーハの破損を防止する。 （もっと読む）

【課題】延びた状態のゆがみが生じることがない正常な方形画像を取得できる、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法を提供すること。
【解決手段】加速して定速となり減速して停止する走査移動を伴うときは、加速領域の撮影データについて、定速領域の端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に近似する位置の１つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、また減速領域の撮影データについて、減速領域との境となる定速領域の端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に近似する位置の１つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、選択した加速時の撮影データと、定速時に撮影した撮影データと、選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する。 （もっと読む）