【課題】平板形状の被検物体の端部の状態を精度よく検査する。
【解決手段】平板形状の被検物体１の端部を前記被検物体の表面あるいは裏面と平行な面に対して垂直方向位置から撮像する撮像手段４と、前記撮像手段により得られた画像と、予め記憶された参照画像とを比較することにより、前記端部の前記表面あるいは裏面に対して傾斜した部分の状態を検査する検査手段７とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、自動的に部材表面の外観検査を行うことができ、検査時間を短縮して検査対象部材の検査効率を向上させることのできる部材の表面検査方法を提供することにある。
【解決手段】被検査部材の表面の異常を検出するための方法に関する。
投影部材を、検査面と一定の角度を有した状態で、検査面に近接させる第１の工程と、投影部材の、検査面との近接位置周辺を撮像し、投影された像を取り込む第２の工程と、投影部材と被検査部材との相対位置を変位させる第３の工程と、第３の工程において到達した位置において、検査面との近接位置周辺を撮像し、投影された像を取り込む第４の工程と、撮像された像を読み込み、検査面の状態を判定する第５の工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 光学的な手段を利用して対象物内面の形状を非接触で測定する方法とこの方法を用いた測定装置について提供すること。
【解決手段】 各種の管やエンジンブロックなどの内部空間を有する工業製品や人体の口腔などの生体器官の内部を測定対象としその対象内面３の断面形状を測定するに当り、測定する内面の所定位置に光ビームSbを円盤状に照射し、その照射光Sbによる内面形状を表わす光跡を撮像センサ２により撮影して前記光跡の画像データを蓄積し、蓄積した光跡画像のデータから前記撮像センサ２を含む撮影系の基準位置と測定対象内面３との距離を算出して当該内面３の形状Ipを測定すること。 （もっと読む）

本発明は、特に干渉測定法を用いてタイヤ（6、9）をチェックする装置に関する。その装置は少なくとも１つの第１測定プローブ（2）と第２測定プローブ（3）とを備え、それらを用いてタイヤ（6、9）を走査することによって測定結果を与えることができる。その装置は更に位置決め手段（4、5、7、8）を備え、それらを用いて第１測定プローブ（2）と第２測定プローブ（3）とをタイヤ（6、9）の外側の待機場所とタイヤ（6、9）の内側の観察場所との間で移動させることができる。本発明によれば、位置決め手段（4、5、7、8）を利用することで第１測定プローブ（2）と第２測定プローブ（3）とを独立に待機場所又は観察場所に配置できるので、それらを用いて、リムの直径（d₆、d₉）が比較的小さいタイヤ（6、9）をチェックすることができる。 （もっと読む）

中心点（M）、軸方向（z）での幅（B₁、B₂）、及び軸方向（z）と直交するタイヤ面（RME、RME₁、RME₂、MBE）での直径（D₁、D₂）を持つタイヤ（10）を試験する装置はタイヤ（10）の走査に利用可能な走査ヘッド（20）を含む。その装置は、走査ヘッド（20）を観察場所に配置して観察方向に向けるのに利用可能な位置決め手段（30）も含む。位置決め手段（30）は制御／表示手段（40）で制御可能である。制御／表示手段（40）は、走査ヘッド（20）の位置の座標を入力するのに利用可能なユーザ領域（44、45、45、47）を少なくとも１つ含む。それとは別に、又はそれに加えて、制御／表示手段（40）は、走査ヘッド（20）の位置の座標の表示に利用可能な表示領域（44、45、45、47）を少なくとも１つ含む。その座標は、タイヤ（10）の中心点（M）を通って軸方向（z）に延びる回転軸（R）とタイヤ面（RME、RME₁、RME₂、MBE）との交点に原点（0）を置く座標系で定義される。 （もっと読む）

【課題】外部共振器型の波長可変レーザ装置において、時間に対する周波数変化を線形的にする。
【解決手段】外部共振器型の波長可変レーザ装置１０は、半導体レーザ媒質１１と、半導体レーザ媒質１１からの射出光を空間的に波長分散する回折光学素子１３と、回折光学素子１３により波長分散された光を横切るように移動する反射面１５ａを有し、反射面１５ａにより前記光の一部を戻り光として選択的に反射する波長選択手段とを備える。波長選択手段は、戻り光の波長の逆数が時間に対して線形変化するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】より短時間で被検査部材の壁面等の欠陥の検査が可能な欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】投光用光ファイバと受光用光ファイバとを用い、前記投光用光ファイバの出射面と前記受光用光ファイバの入射面が一定の距離を保つように対向させて配置するとともに、前記投光用光ファイバから出射する検出光を透過する被検査部材を前記投光用光ファイバの出射面と前記受光用光ファイバの入射面との間に配置し、前記投光用光ファイバの出射面及び前記受光用光ファイバの入射面を前記被検査部材の表面に沿って前記被検査部材に対して相対的に移動させ、前記投光用光ファイバの出射面から出射されて前記被検査部材を透過して前記受光用光ファイバの入射面に入射された検出光の強度の変化に基づいて前記被検査部材の欠陥を判定する。 （もっと読む）

【課題】透明な大型平板状製品の欠陥を容易に検査する。
【解決手段】検査対象の平板状透明製品１５を挟んで配置される一対の偏光子１，２と、一方の偏光子１を通して検査対象１５を照明する照明光源４と、一方の偏光子１と検査対象１５との間に配置される位相子３と、照明光源４から照明光が照射され一対の偏光子の他方の偏光子２から出射する透過光を検出する検出手段８と、検査対象１５を保持すると共に検査対象１５を平行移動させる移動手段５０と、検出手段８が検出した透過光データから評価値を算出し該評価値が増大する方向に偏光子１の光学軸の角度θ１と位相子３の光学軸の角度θ２とを独立に制御する演算手段１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】導通検査で検出できない不良ブラインドビアホールを容易に識別可能な基板検査方法、プリント配線板および電子回路装置を提供する。
【解決手段】プリント配線板１０に形成されたブラインドビアホール１２の開口部にフイルム２０被覆してブラインドビアホール１２上に皮膜を形成し、プリント配線板１０を加熱した後の前記皮膜の形状変化からブラインドビアホール１２の成形不良を判定する。 （もっと読む）

【課題】鋼転炉などの金属熔融炉の内張りにおける磨耗を測定する方法でレーザ走査による方法を提供する。
【解決手段】台車上に輪郭追従装置を有するレーザは測定間に移動可能である。レーザ輪郭追従装置は、台車の後方の３個の永久標識と炉の近傍に配置した２個の仮標識とを参照する。輪郭追従装置による最初の測定中に可動台車から５つの各標識までの距離をそれぞれ特定する。台車を移動させて新しい測定を行う度に、輪郭追従装置は炉と２個の仮標識とを走査するが、永久標識は走査しない。 （もっと読む）

【課題】 真円度、真直度、直径、円筒度等の深穴精度の測定を行うことのできる深穴測定装置および深穴測定方法を提供する。
【解決手段】 本発明の深穴測定装置は、上記の課題を解決するために、被測定物である深穴の内部に設置された測定装置の回転の中心軸から被加工物の内壁までの半径方向の距離を測定する変位検出手段を回転可能に構成すると共に、この変位検出手段を含めた測定装置本体の回転角度、傾きを検出する。さらに、変位検出手段からの検出信号を用いて被測定物である深穴の真円度、真直度、直径、円筒度等の深穴形状精度を一度に演算して出力する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】試料中の微小散乱体の形状を検出する。
【解決手段】試料１０にレーザ１２を照射し、９０度方向の散乱光をレンズ１４で集光し検出器１８によって散乱体像を検出する。ここで、散乱体の散乱振幅についての関数ｆと、レンズの結像関係と瞳関数を含む積分項である点応答関数ｈとのコンボリューション積分が検出器上の強度分布の平方根のフーリエ変換F{｜g｜｝に等しいと近似し、このフーリエ変換である、Ｆ｛｜ｇ｜｝〜Ｆ｛ｆ｝Ｆ｛ｈ｝（〜はニアリーイコールを示す）が成立するという前提とする。また、（１−Ｆ｛ｆ｝）Ｎ^２〜ΣＣ_ｋ（Ｎθ_ｋｘ_ｋ＋Ｎψ_ｋｙ_ｋ）^２／２という式によって、瞳関数の外の波形情報を補い、逆フーリエ変換を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の検出精度を向上できる表示パネルの検査装置を提供すること。
【解決手段】 表示パネルの検査装置１は、平面位置を調整可能なテーブル３と、テーブル３上に配置された照明装置４および基準パネル５と、基準パネル５の上方に配置される検査パネル２を撮像可能なＣＣＤカメラ６と、テーブル３を移動させるテーブル駆動制御装置９と、照明装置４を制御するＬＥＤ照明用調光器８と、各パネル２，５の点灯状態を制御可能な液晶パネル駆動装置７と、検査制御装置１０とを備える。検査制御装置１０は、テーブル３を移動させて検査パネル２および基準パネル５の位置合わせを行うパネル位置合わせ手段と、検査パネル２および基準パネル５を点灯させてＣＣＤカメラ６で検査パネル２を撮像し、その撮像画像に基づいて検査パネル２の表示欠陥を検査する欠陥検査手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 孔の内面形状、特に、入口が狭く、奥に進むに従って広くなる孔の内面形状を精度よく測定する。
【解決手段】 低コヒーレント光Ｌ_０を出射する低コヒーレント光源１４と、低コヒーレント光Ｌ_０の一部を分岐する低コヒーレント光分岐部１６と、該低コヒーレント光分岐部１６により分岐された一方の低コヒーレント光Ｌ_１の光路長を調節する光路長調節部２１と、低コヒーレント光分岐部１６により分岐された他方の低コヒーレント光Ｌ_２を、先端部から、長手方向に交差する方向に配置された計測対象２に照射する直棒状のプローブ５と、該計測対象２において反射されて戻る低コヒーレント光Ｌ_２と、光路長調節部２１により光路長調節された一方の低コヒーレント光Ｌ_１とを合波する低コヒーレント光合波部１６と、合波された低コヒーレント光Ｌ_３を検出する光検出器２２と、プローブ５と計測対象２とをプローブ５の長手方向に沿う軸線回りに相対回転させる回転機構４とを備える内面計測装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】所望の場所でタイヤの動的接地形状を容易に測定することが可能なタイヤ動的接地形状測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明のタイヤ動的接地形状測定方法は、空気入りタイヤＴの空洞部Ｔ２内にトレッド部Ｔ３に対面してリムＲに装着したレーザスキャン式２次元変位計３を使用し、接地する空気入りタイヤＴを回転させ、空気入りタイヤＴの回転に伴ってタイヤ周方向に回転移動する変位計３により、タイヤ幅方向の複数位置でトレッド部Ｔ３のタイヤ内面Ｔ１までの距離を空気入りタイヤＴが所定量回転する毎に検出する。その検出された距離のデータからタイヤの内面接地形状を演算して求める。 （もっと読む）

【課題】動圧軸受けモータにより１００００ｒｐｍ以上の回転ができるため、高速で検査することができるとともに、動圧軸受けは振動も少なく像の歪みによる分解能の差がなく、低騒音で高精度の内壁面の検査装置を提供する。
【解決手段】ケース体と、このケース体の一面のほぼ中央部より突出するように端部が固定されたスリーブ、このスリーブ内に気体空間を介して配置された光を軸心方向に通すことができるシャフト、このシャフトに固定された回転部材とを備える動圧軸受けモータとシャフトの両端部に位置するように取付けられたビームスプリッターとケース体内に設置された一方のビームスプリッターを介してシャフトに光を通し他方のビームスプリッターより測定する内壁面へ光を照射する発光素子と測定する内壁面からの反射光を他方のビームスプリッター、シャフト、一方のビームスプリッターを介して受光する高速の受光素子とで内壁面の検査装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 ダイアライザーの外観を高い検査精度で検査する。
【解決手段】 ダイアライザー検査装置は、外形が略円筒形状のダイアライザー１００の外観を検査する装置であって、円筒の中心軸と円筒の頂面とを接続した法線を含む平面上には、２台のラインセンサカメラ３１０，３２０と、２台のラインセンサカメラ３１０，３２０を挟むように設けられた３台の照明用ライトガイド３３０，３４０，３５０が設置されている。２台のラインセンサカメラ３１０，３２０は、法線に対して３０度ずつ左右に対称になるように配置される。また３台の照明用ライトガイド３３０，３４０，３５０は、その１台が法線上に、残りの２台が６０度ずつ法線を対称として配置される。 （もっと読む）

【課題】 ガラス板縁部における欠点を高精度に検査することを可能としつつ、検査時の位置決め作業を不要とする。
【解決手段】 本発明による欠点検出システムは、コンベア上に設定される縁部検査セクションまで搬送姿勢検出セクションを介してガラス板を搬送する搬送機構と、搬送姿勢検出セクションに設けられ、姿勢検出用の撮像手段１０６及び光源１０４を用いて、縁部検査セクションに搬送されるガラス板の搬送姿勢を検出する搬送姿勢検出装置と、縁部検査セクションに設けられ、欠点検出用の撮像手段２１２及び光源２１４が組み込まれたカメラ組立体２１０を、ガラス板の縁部に沿ってガラス板の全周に亘りカメラ組立体を移動させ、その際に撮像手段２１２により取得されるガラス板の縁部の画像情報に基づいて、ガラス板の縁部における欠点を検出する縁部検査装置と、を含み、カメラ組立体２１０の移動軌跡が、前記搬送姿勢検出装置から得られるガラス板の搬送姿勢情報に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】 従来検出が困難であった欠陥部について、その形状や方向性に関係なく検出可能な欠陥検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】 縞状のパターン１９０にてなる照射光１１１を被検査物５０へ照射し、被検査物の通過した縞状パターンから、被検査物の欠陥部に応じて現れた欠陥パターン１９５を検出する。このとき、被検査物に照射する縞状パターンの位置を変更することから、欠陥部の形状や方向性に関係なく欠陥部を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単なカメラを提供すること。
【解決手段】特定の輻射パターンを持つ投射光を被写体に照射するストロボ５０５、５０６を有し、ストロボ５０５、５０６の被写体反射光を撮像し、撮像した画像の光強度を用いて奥行き画像を得る、形状計測用または被写体抽出用のカメラであって、ストロボ５０５、５０６の発光なしの状態にて動画像を撮像し記録メディアに録画できるビデオカメラ５３３を兼ねており、ストロボ５０５、５０６が発光した時に撮像した画像データにインデックス信号を付加しておき、インデックス信号が付加された特定の画像のみを用いて奥行き画像を算出する。 （もっと読む）