【課題】走行する薄鋼板表面上に加工される微小凹凸形状を高精度で測定することを可能とする表面形状測定装置および方法を提供することを課題とする。
【解決手段】光学式変位計で相対的に移動する物体の表面を走査して、測定した変位信号から物体表面の凹凸形状を取得し、変位信号と同期して受光する反射光強度を反射光強度信号として取得し、凹凸形状からうねりを取除いて補正凹凸形状を算出し、補正凹凸形状と反射光強度信号に基いて凹部の底部範囲または凸部の山部範囲として特定し、底部範囲または山部範囲内にある補正凹凸形状から凹部の深さまたは凸部の高さを算出し、底部範囲または山部範囲の両端より外側で最も近い点を凹凸部のエッジとして検出し、検出したそれぞれのエッジ間の距離から凹部または凸部の幅を算出する。 （もっと読む）

【課題】延伸中の樹脂フィルムの特性をその場で適切に評価できる樹脂フィルム特性評価装置を提供する。
【解決手段】樹脂フィルムを延伸しつつ、樹脂フィルムの特性を評価する樹脂フィルム特性評価装置であって、樹脂フィルムを２軸以上に同時延伸可能なフィルム延伸手段と、延伸中の樹脂フィルムに対して電磁波を照射する電磁波照射手段と、樹脂フィルムを透過した電磁波を検出する検出手段とを備え、検出手段の検出結果に基づいて樹脂フィルムの特性を評価する。 （もっと読む）

【課題】 ダイレクトセンシングで物体の移動状態を高精度で且つ確実に検出すること。
【解決手段】 搬送ベルトには複数の孤立パターンから構成される検出用パターンがマーキングされている。第１画像データから切り出したテンプレートパターンに含まれる検出用パターンの一部が、いかなる場合も第２画像データのサーチ領域内で唯一の固有パターンとなるように、検出用パターンの中の複数の孤立パターンの形態、テンプレートパターンを切り出すテンプレート領域のサイズ、サーチ領域のサイズが関係付けられている。 （もっと読む）

【課題】印刷物の位置ずれや伸縮などに起因する検査画像中の不均一な幾何学的歪みに対して位置補正を行う、高精度かつ高速な印刷物検査方法及び印刷物検査装置を提供する。
【解決手段】基準画像と検査画像を用いて第一の位置補正を行った後に、検出された欠陥候補に対してその周辺部を探索し、幾何学的歪みに起因した誤検知の可能性が高いと判定された欠陥候補に対しては、第二の位置補正を行い真の欠陥であるかを判定することを特徴とする印刷物検査方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セラミックシートの自動的な検査にも適用できるものであり、大量のセラミックシートから反りなどの欠陥を効率良く且つ正確に検出するための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るセラミックシート（但し、固体酸化物形燃料電池の固体電解質膜用セラミックシートを除く）の検査方法は、当該セラミックシートの反りを三角測距式変位センサーで検出する工程；および、次に、セラミックシートの表面および内部に存在する欠陥を透過型光電センサーで検出する工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の位置検出用光源から出射された位置検出光の強度分布を利用して位置検出を行なう場合でも、複数の位置検出用光源の全てに対して出射光量の校正を行なうことのできる光学式位置検出装置、光学式位置検出装置の校正方法、および光学式位置検出装置を備えた位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、検出領域１０Ｒに形成した位置検出光の強度分布を利用して対象物体Ｏｂの位置を検出することから、位置検出用光源１２Ａ〜１２Ｄの出射光量の校正を行なう。かかる校正の際、位置検出用光源１２Ｂ、１２Ｄは、光検出器１５が位置する側とは反対の第２方向Ｙ２に発光部１２１が向いている。そこで、第１補助光源１２Ｖおよび第２補助光源１２Ｗから出射された光の検出結果に基づいて、位置検出用光源１２Ｂ、１２Ｄのみを点灯させた状態での出射光量の校正を行なう。 （もっと読む）

【課題】撮像手段によって撮像された切削溝の状態を正確に判定することができる機能を備えた切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、光照射器によって切削溝に光を照射して切削溝を撮像する撮像手段と、撮像された切削溝の状態を判定する制御手段と、加工条件を入力する入力手段と、表示手段と、警報手段とを具備する切削装置であって、制御手段は、入力された加工条件および撮像された切削溝の状態に基づいて切削溝が適正か否かを判定する切削溝判定工程と、切削溝が適正でないと判定した場合には、光照射器の光量を所定範囲において調整しつつ適正であると判定したときに光量を修正光量として変更し、光照射器の光量を所定範囲において調整しても切削溝が適正でないと判定した場合には警報手段を作動するとともに表示手段にエラーメッセージを表示する光量学習工程を実行する （もっと読む）

【課題】トナーパタンの位置およびトナー濃度の少なくとも一方を検出する反射型光学センサを実現する。
【解決手段】半導体発光素子ＥｉとフォトダイオードＤｉを、半導体発光素子の発光軸とフォトダイオードの受光軸とが平行となるようにし、発光軸および受光軸が間隔：Ｌとなるように相互に近接して配置一体化した一体型発光受光素子と、半導体発光素子から担持媒体２０４０表面に照射される光束に、収束作用を及ぼす照明用集光レンズＬＥｉとを有し、照明用集光レンズは光軸を発光軸と平行にしてフォトダイオード側へシフトし、半導体発光素子から発光軸上に放射される光線が、照明用集光レンズにより屈折されて、発光軸に直交する担持媒体表面に入射角：Θをもって斜め入射し、担持媒体表面により正反射されてフォトダイオードの受光部の中心部に入射するように半導体発光素子とフォトダイオードと照明用集光レンズとの位置関係が調整され、間隔：Ｌが１ｍｍ程度より小さく、入射角：Θが１０度より小さくなるように設定されている反射型光学センサ。 （もっと読む）

【課題】高速の画像処理が可能で、エッジ付近の汚れや形状不良の影響を受けず、簡単な構成で、正確な表面検査を行うことができる、表面検査装置および方法を提供することを課題とする。
【解決手段】被検査面に光を照射する光源と、前記被検査面からの反射光を受光し撮像する、互いに視野がオーバラップするように前記被検査面の幅方向に配列された複数台のカメラと、該カメラからの撮像信号を１対１対応で処理する複数台の画像処理装置と、該画像処理装置からの疵情報を処理する計算機とを備え、前記被検査面に存在する表面疵を検出する表面検査装置であって、前記画像処理装置は、それぞれ独立に、かつ、同一の処理を行う、エッジ検出処理手段およびエッジ処理手段を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象の幅方向に対して広範囲で欠陥を検出する。
【解決手段】第１のミラー群１２に入射されたレーザ光の波面は、分割されて反射され、光学フィルム１０の幅方向に配列された状態で光学フィルム１０に照射される。光学フィルム１０に照射されたそれぞれのレーザ光の波面は、光学フィルム１０を介して第２のミラー群１３で反射され、光学フィルム１０を介して、第１のミラー群１２に対して入射される。第１のミラー群１２に入射されたレーザ光は、再び１つの波面が揃い、ウェッジプレート４に入射される。そして、ウェッジプレート４の第１の面Ｓ１で反射されるとともに、第２の面Ｓ２で反射されることにより２つの波面に分割される。２つの波面が干渉することにより、撮像部７において干渉縞が撮像され、撮像された干渉縞の画像データに対して、解析部８による解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】複数の基準座標系相互間のずれを較正する。
【解決手段】 ステージＷＳＴ１上に搭載された４つのヘッド６０_１〜６０_４のうち、互いに異なる１つのヘッドを含む３つのヘッドが属する第１ヘッド群と第２ヘッド群とに含まれるヘッドがスケール板上の対応する領域に対向する領域Ａ_０内で、第１ヘッド群を用いて得られる位置情報に基づいてステージＷＳＴ１を駆動するとともに、第１及び第２ヘッド群を用いて得られる位置情報を用いて対応する第１及び第２基準座標系Ｃ_１，Ｃ_２間のずれ（位置、回転、スケーリングのずれ）を求める。その結果を用いて第２ヘッド群を用いて得られる計測結果を補正することにより、第１及び第２基準座標系Ｃ_１，Ｃ_２間のずれが較正され、４つのヘッド６０_１〜６０_４のそれぞれが対向するスケール板上の領域の相互間のずれに伴う計測誤差が修正される。 （もっと読む）

【課題】スケール用のパターンが形成されたパターン形成面の法線方向の位置情報を高精度に計測する。
【解決手段】スケール体２８ｅは、Ｙスケール３９Ｙ₂が形成されたパターン板４ｅと、パターン板４ｅに設けられ、Ｙスケール３９Ｙ₂を覆うカバーガラス５と、カバーガラス５の表面に形成され、互いに異なる波長域の第１の光及び第２の光に対して波長選択性を有する波長選択膜７と、を備え、波長選択膜７を介してカバーガラス５を透過する第１の光の透過率は、カバーガラス５のみを透過する第１の光の透過率より低く、波長選択膜７を介してカバーガラス５を透過する第２の光の透過率は、波長選択膜７で反射する第２の光の反射率より高い。 （もっと読む）

【課題】画像特徴ベクトルを使用した画像パターン認識用のシステム及び方法を提供する。
【解決手段】画像特徴部に見つけられるベクトルに対応する、それぞれのベクトルインデックスを格納するため、ベクトルセットが生成される(ステップ２１０）。画像特徴部に対する各ベクトルの相関関係が計算される(ステップ２１５）。画像特徴部に対する各ベクトルの相関関係が対応のベクトルインデックスとともにベクトルセットに格納される(ステップ２２０）。次に特定される画像のために、上記トレーニング段階が繰り返される(ステップ２２５）。新しい画像の候補領域が特定される(ステップ２３０）。候補領域におけるベクトルに対応する特別のベクトルセットへの相関関係の平均が計算される(ステップ２３５）。候補領域が一若しくは複数のベクトルセットにより表される特徴部を示す可能性を判断するために、上記平均が評価される(ステップ２４０）。 （もっと読む）

【課題】オンライン測定の高精度化を図ることができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供すること。
【解決手段】膜厚測定装置１００は，ウエブ２０の厚さをオンライン測定するものである。膜厚測定を行う際には，あらかじめ空気巻き込みの影響が少ない状態である低速搬送中に膜厚を測定し，その測定値をマスタ値とする（Ｓ０２）。そして，生産目標の搬送速度に達した後，高速搬送での計測をするにあたって，オンライン測定での膜厚の計測値とそのマスタ値との差，すなわち変化量を求める（Ｓ０５）。そして，変化量の計算後，高速搬送中に得た膜厚の計測結果を，その変化量を用いて補正する（Ｓ０６）。 （もっと読む）

【課題】 膜厚を測定するフィルムに光を照射し、その反射光または透過光のスペクトルからパワースペクトルを求めて膜厚を算出する膜厚測定装置では、ポリプロピレンやポリエチレン等ヘイズが大きい材質ではかけ離れた測定値が頻繁に得られるので測定が困難であり、またフィルムの傾きやしわによって測定値のばらつきが大きくなるので、オンライン膜厚計として用いることが困難であったという課題を解決する。
【解決手段】 パワースペクトルのピーク高さ、ピーク面積、反射率などの測定品質を算出し、この測定品質と閾値を比較して測定の有効、無効を判断して、有効なときのみ膜厚測定値を外部に出力するようにした。かけ離れた測定値を除去することができるので、測定の信頼性が高まり、また従来測定が困難であったポリエチレン等の膜厚が測定できる。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 移動体ＲＳＴのＹ軸方向の位置情報を、干渉計１６ｙと、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ（（２４Ａ，２６Ａ₁）、（２４Ｂ，２６Ｂ₁））とを用いて計測し、その計測結果に基づいてエンコーダの計測値を補正する補正情報を取得するための所定の較正動作を実行する。これにより、干渉計の計測値を用いて、その干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダの計測値を補正する補正情報が取得される。そして、エンコーダの計測値と前記補正情報とに基づいて、移動体をＹ軸方向に精度良く駆動する。 （もっと読む）

【課題】従来技術に比べて欠陥位置へのマーキング精度を飛躍的に向上することで歩留りを下げることなく、かつ、微小欠陥そのものにマーキングすることで目視検査の工数を削減できるフィルム用欠陥マーキング装置及び欠陥マーキング方法を提供すること。
【解決手段】本発明のフィルム用欠陥マーキング装置は、検査エリア３７で欠陥が検出されてからマーキングエリア３８でマーキングが施されるまでの欠陥部分の幅方向のズレである蛇行量を検出する第１の検出手段１６，２８と、検査エリア３７で欠陥が検出されてからマーキングエリア３８でマーキングが施されるまでの前記欠陥部分の搬送距離を検出する第２の検出手段１７，２１，２３，２９と、第１及び第２の検出手段に基づいてマーキングエリア３８における欠陥部分の座標を補正してマーキング位置を決定する手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 用紙に接して回転するロールの回転量から用紙の長さを精度よく測定するシート長測定装置を提供する。
【解決手段】 搬送路を搬送される用紙１５０に接触して回転する測長ロール１０１ａと、測長ロール１０１ａの上流側と、下流側とにそれぞれ設けられ、搬送路を搬送される用紙１５０の位置を検出する上流側エッジセンサ１１０ａと下流側エッジセンサ１１１ａと、上流側エッジセンサ１１０ａと測長ロール１０１ａとの間に設けた上流側搬送ロール１２０ａと、下流側エッジセンサ１１１ａと測長ロール１０１ａとの間に設けた下流側搬送ロール１３０ａと、上流側エッジセンサ１１０ａと下流側エッジセンサ１１１ａとで用紙１５０を検出している期間を測定期間として、測長ロール１０１ａの回転量を検出するロータリエンコーダ１０３ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、安定して像担持体のホームポジションを検出可能な画像形成装置を提供すること。
【解決手段】最表面薄膜層３ｂが、厚みが比較的厚い厚膜領域３１および厚みが比較的薄い薄膜領域３２を有し、厚膜領域の厚みｄ_１（ｎｍ）および薄膜領域の厚みｄ_２（ｎｍ）が関係式；５０ｎｍ≦ｄ_１−ｄ_２≦９５０ｎｍ；２０ｎｍ≦ｄ_２＜ｄ_１≦１０００ｎｍ；を満たす像担持体３、および光センサ２０を備えた画像形成装置であって、像担持体のｄ_１およびｄ_２が、発光センサからの光に対する像担持体外周面の反射率Ｒと像担持体の最表面薄膜層の厚みｄ（ｎｍ）との関係を表す反射率関数Ｒ（ｄ）について、関係式；｜Ｒ（ｄ_１）−Ｒ（ｄ_２）｜≧０．５×｛Ｒ_ｍａｘ（ｄ）−Ｒ_ｍｉｎ（ｄ）｝をさらに満たす画像形成装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な標識を含む画像のみで、被写体における対象領域の面積を算出する被写体面積算出装置を提供する。
【解決手段】第１撮像装置により撮像された被写体と標識とを含む第１画像と、第２撮像装置により第１撮像装置と異なる角度から撮像された被写体と標識とを含む第２画像と、を読み出す読み出し手段１２と、第１撮像装置の第１位置の３次元座標の値と、第２撮像装置の第２位置の３次元座標の値とを推定する撮像装置座標推定手段１３と、第１位置および第２位置に基づいて、被写体に含まれる複数の特定点のそれぞれの３次元座標の値を推定する特定点座標推定手段１４と、複数の特定点のそれぞれの３次元座標の値に基づいて、被写体の面積を算出する面積算出手段１５と、を備え、標識は、３以上のポインタを備える２次元形状を有する （もっと読む）