【課題】 非球面の面形状算出において、被検面の高周波成分まで高精度に算出する。
【解決手段】 非球面である被検面内を重なり領域をもつように複数の測定領域に分けて、被検面の形状を算出する基準となる参照面で反射する光と、測定領域で反射する光とによって生じる干渉光による干渉縞を受光部で受光し、各測定領域の形状を算出する工程と、算出された各測定領域の形状をつなぎ合わせて被検面の形状を算出する工程と、を有する形状算出方法において、各測定領域の形状を算出する工程は、測定される干渉縞の本数が最小となるように被検面と参照面との相対的な位置を調節する工程と、被検面の位置が調節された状態で、被検面と前光部とが共役の関係となるように受光部の位置を調節する工程と、受光部の位置が調節された状態で、干渉縞の位相分布を測定する工程と、測定した位相分布を用いて測定領域の形状を算出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】画像取り込み速度が変化した場合でも、解析に必要な枚数の干渉縞画像を取得し、精度の高い解析を行う。
【解決手段】光束を測定光と参照光とに分割して干渉縞を形成し、フリンジスキャニングによって画像取得部に取得した複数の干渉縞画像から選択した解析画像を用いて被測定面の形状を算出する干渉縞計測方法は、画像取得部の画像取得速度を計測する画像取得速度計測工程Ｓ１０と、参照面を移動させながら複数の干渉縞画像を候補画像として取得する候補画像取得工程Ｓ２０と、各候補画像の輝度変化データから、各候補画像の位相変化を算出する位相変化算出工程Ｓ３０と、位相変化に基づいて、候補画像の中から解析画像を選択する画像選択工程Ｓ４０とを備え、画像取得部の画像取得速度は、画像取得速度計測工程Ｓ１０における計測結果に基づいて所定速度に設定され、参照面の移動速度は、画像取得部に設定された所定速度に基づいて設定される。 （もっと読む）

【課題】２つの光デバイスの端面間の距離を高精度に測定して光接続した光モジュール及びその作製方法を提供する。
【解決手段】光モジュール１００は、第１ＰＬＣ１１０と第２ＰＬＣ１２０の２つのＰＬＣを接続して構成されている。そして、第１ＰＬＣ１１０および第２ＰＬＣ１２０を跨いでＭＺＩ回路１０１が形成されている。ＭＺＩ回路１０１は、一部が第２ＰＬＣ１２０に形成され、他の部分が第１ＰＬＣ１１０に形成されている。ＭＺＩ回路１０１を端面距離測定用光回路として用い、これにより端面間距離Ｄを高精度に測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】基板アライメント装置が緊急停止した場合に、マーク保持部が基板及び基板保持部と衝突することを防止する。
【解決手段】上ステージ部と下ステージ部とにより互いに面方向に相対移動されて位置合せされる一対のウエハに設けられたアライメントマークを撮像する上顕微鏡１４８と下顕微鏡１５０との視野内に、上顕微鏡１４８と下顕微鏡１５０とにより撮像される上顕微鏡１４８と下顕微鏡１５０との相対位置検出用の基準マーク１４６を出し入れする基準マーク移動装置１００であって、基準マーク１４６を保持するボード１４４と、ボード１４４におけるマーク形成部分をウエハ及びウエハホルダの移動通路に出入りさせると共に、駆動が停止された場合に、ボード１４４の全体を移動通路の外部へ退避させる昇降装置１０２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ光照射時点や最大変形時におけるミラーの平面度を確認することができるミラーの動的平面度の検査装置を提供する。
【解決手段】パルス状レーザ光９を出力するレーザ発振器８と、レーザ光９の光軸上に４５度の角度で配置され、入射するレーザ光９の５０％を透過、残り５０％を反射するビームスプリッタ１２と、ビームスプリッタ１２を透過したレーザ光９の光軸上に垂直に配置され、入射するレーザ光９を反射する基準ミラー１３と、基準ミラー１３で反射後、ビームスプリッタ１２で反射されたレーザ光９ｔｒの光軸上に配置され、ミラー１で反射後、ビームスプリッタ１２を透過したレーザ光９ｒｔとを受光する受光装置１６に接続され、受光されたレーザ光９ｔｒとレーザ光９ｒｔによる干渉縞からミラー１の表面形状を数値化する画像処理装置１７と、ミラー１の現在位置情報に基づいてレーザ発振器８と受光装置１６を動作させる制御装置４とからなる。 （もっと読む）

【課題】測定にかかる時間を低減させることができるとともに、鉛直方向に移動する被測定物のローリング角度の変位を測定することができる光学測定装置の提供。
【解決手段】光学測定装置１は、レーザ光源２１と、平行化レンズ２５と、第１の受光素子２３とを有する装置本体２と、反射ミラー３１を有し、被測定物に取り付けられる測定体３とを備える。測定体３は、反射ミラー３１の近傍位置に設けられ、装置本体２から射出される光を反射する一対の反射手段３２Ａ，３２Ｂを備える。装置本体２は、偏光ビームスプリッタ２４と、各反射手段３２Ａ，３２Ｂにて反射され、偏光ビームスプリッタ２４にて分離される光をそれぞれ受光する一対の第２の受光素子２６Ａ，２６Ｂと、各受光素子２３，２６Ａ，２６Ｂにて受光される光の位置変位に基づいて、被測定物の角度変位を算出する算出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面形状を短時間で測定する。
【解決手段】本発明は、光源から発する光を物体光と参照光とに分離し、物体光と参照光との光路差によって得られる干渉縞を解析する干渉計を用いて自由曲面を有する被検物の表面形状を測定する方法であって、参照面を参照光の光軸上の第１位置に固定して、物体光を被検物に照射し、複数の第１干渉縞を取得する第１工程と、参照面を第１位置と異なる第２位置に固定して、複数の第２干渉縞を取得する第２工程と、参照面を第１位置及び第２位置と異なる第３位置に固定して、複数の第３干渉縞を取得する第３工程と、第１干渉縞と、第２干渉縞と、第３干渉縞とを用いて干渉縞の位相解析を行う位相解析工程Ｓ３とを備え、第１工程、第２工程、及び第３工程の少なくとも１つにおいて、被検物の表面全体を走査するように干渉計が被検物に対して相対移動し、所定距離移動するごとに断続的に複数の干渉縞が取得される。 （もっと読む）

【課題】 高精度で機械的な駆動を行う機構の基準位置を検出する。
【解決手段】 基準位置検出装置は、発光手段と、前記発光手段からの光を受光する受光手段と、前記発光手段からの光を遮光する遮光手段と、前記遮光手段によって前記発光手段からの光が遮光されていない開口状態において、前記発光手段からの光の発光量を変化させることより、前記遮光手段からの出力が予め定められた基準となるときの前記発光手段からの光の発光量を決定する決定手段と、前記決定手段によって決定された発光量で前記発光手段を発光させることにより、機械的に駆動を行う機構の基準位置を検出する検出手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】
計測点座標と法線ベクトルの計測値から被測定物の表面形状を導出する法線ベクトル追跡型超精密形状測定方法において、現状の２軸２組のゴニオメータと１軸直進ステージの装置構成を変えることなく、ある測定手順を付加するだけで、自律的に光路長Ｌを校正によって決定することが可能な光路長の自律校正を用いた法線ベクトル追跡型超精密形状測定方法を提供する。
【解決手段】
各計測点毎に２軸２組のゴニオメータから得られる４つの角度データと１軸直進ステージから得られる１つの距離データとを取得し、計測点の数だけの計測値セットから形状導出アルゴリズムＰにより形状を導出する際に、光路長Ｌを変数として複数の形状Ｐ（Ｌ）を導出し、形状変化の収束を利用して真の光路長Ｌ_Cと収束形状Ｐ（Ｌ_C）を算出する。具体的には、形状残差の収束性を見ながら二分法により光路長を決定する。 （もっと読む）

【課題】
計測点の座標と法線ベクトルの計測値から被測定物の表面形状を導出し、各軸の制御方法を工夫することによって各計測点での計測時間を短縮し、被測定物の表面形状測定の高速化を図ることが可能な法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置における駆動軸制御方法を提供する。
【解決手段】
２軸２組のゴニオメータと、その回転中心間の距離を変える１軸直進ステージとで構成し、１組のゴニオメータは試料系２を構成し、その可動部に被測定物１を保持し、もう１組のゴニオメータは光学系３を構成し、その可動部に光源と光検出器Ｄを設け、２軸２組のゴニオメータと１軸の直進ステージの内、２軸１組のゴニオメータと１軸の直進ステージは、光検出器からの出力を直接軸駆動モータに入力するフルクローズドフィードバック制御し、残り２軸１組のゴニオメータはセミクローズドフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】透明な平行平板の厚みを非接触で高精度に測定し得るようにする。
【解決手段】コンピュータシミュレーションにより、測定用レンズ１と基準球面反射鏡７との間に、厚みが既知の模擬平行平板が配置された状態での模擬透過波面測定を行い、測定用レンズ１および模擬平行平板を透過してなる模擬透過波面の球面収差と模擬平行平板の厚みとの対応関係を求める。測定用レンズ１と基準球面反射鏡７との間に補正板６を配置し、測定用レンズ１および補正板６を透過してなる被検透過波面の球面収差を実際に測定し、その測定値と上記対応関係とに基づき、補正板６の厚みを算定する。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定方法および装置において、検査効率および測定精度を向上することができるようにする。
【解決手段】曲率半径測定装置５０は、フィゾー面４ａ、被測定面５ａをコンフォーカル状態とキャッツアイ状態の各調整目標位置の間および近傍で光軸Ｃ方向に相対移動させる直動ステージ１６、ピエゾ素子９と、相対移動位置を測定するレーザー測長器１２と、被測定面５ａを光軸Ｃ方向の少なくとも２位置に相対移動させ、干渉縞の画像情報に基づいて波面を測定し、この波面に対応する各相対移動位置の情報とともに記憶させる波面測定部と、波面を解析して位置ずれ評価値を算出する位置ずれ評価値算出部と、相対移動位置と位置ずれ評価値とにより、各調整目標位置の推定値を算出する調整目標位置算出部とを備え、これら調整目標位置の推定値の差から被測定面５ａの曲率半径を求める。 （もっと読む）

【課題】被測定面の大きさによらず精度よく曲率半径の測定ができる曲率半径測定装置を提供すること。
【解決手段】光学素子７の被測定面７ａの位置と干渉計１４の参照面３５の位置とを干渉計１４の光軸Ｘに沿って相対移動させる相対移動機構２２と、干渉計１４の光軸Ｘの方向から見て被測定面７ａと重なる範囲に設けられて光学素子７あるいは干渉計１４のいずれかの移動量の基準となる反射面１６を有する反射鏡１５とレーザー干渉測長器１８によって、集光位置Ｐ０の位置と被測定面７ａの曲率中心Ｐ２の位置とが一致して波面収差が最小となる測定原点Ｐ４から、集光位置Ｐ０の位置と被測定面７ａの面頂の位置とが一致して波面収差が最小となるまでの反射面１６の光軸Ｘに沿った移動量を計測する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の被計測部位の位置を計測する位置計測手段の正確な校正を行う。
【解決方法】 光学素子の被計測部位の位置を計測する位置計測手段と、前記光学素子の被駆動部位を変位させる駆動手段と、前記駆動手段を制御する制御手段とを有して前記光学素子の被計測部位を位置決めする位置決め装置であって、前記制御手段は、前記駆動手段の特定の動作により前記光学素子の被駆動部位を変位させて前記位置計測手段の出力に基づき前記光学素子の変位を第１の変位として算出し、前記光学素子により導かれた光の波面を計測する波面計測手段の出力に基づき前記特定の動作による前記光学素子の変位を第２の変位として算出し、前記位置計測手段の出力から算出される前記光学素子の位置の校正を前記第１の変位と前記第２の変位との差から行って前記校正の結果を記憶し、記憶された前記校正の結果と前記位置計測手段の出力とに基づいて前記駆動手段を制御する。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定装置において、大気の揺らぎに起因するレーザ干渉測長器の測定誤差を低減することができ、曲率半径の測定精度を向上することができるようにする。
【解決手段】曲率半径測定装置１００は、可干渉性の光束を参照面で参照光と測定光とに分割し、この測定光を曲面からなる被検面８ａに向けて集光位置Ｐに収束するように照射し、被検面８ａの被検面反射光Ｌ_３と参照光とを干渉させて干渉縞を観察する干渉計２と、干渉計２の光軸Ｃ方向に沿って集光位置Ｐに対する被検面８ａの相対位置を変化させる移動機構１４と、移動機構１４によって移動される反射鏡に測長光を照射して移動距離測定を行うレーザ干渉測長器１０と、レーザ干渉測長器１０と反射鏡との間で、測長光の光路に沿う方向に伸縮可能とされ、測長光の光路を側方から囲繞する蛇腹カバー９とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡単で低コストな構成でありながら、主鏡と副鏡の位置合わせを行うことができるアライメント装置を提供する。
【解決手段】 光軸ＡＸ上に形成された開口１０ａを有する主鏡１０と、主鏡１０の光軸ＡＸ上に対向配置された副鏡２０とを有する光学系において、主鏡１０と副鏡２０の位置合わせをするためのアライメント装置であって、光の反射機能を備えた光学部材３０と、主鏡１０の開口１０ａから光軸ＡＸに平行な平行光束の状態で入射し、副鏡２０の反射面２１および主鏡１０の反射面１１を順に経て、光学部材３０で反射して折り返され、主鏡１０の反射面１１および副鏡２０の反射面２１を順に経て、主鏡１０の開口１０ａから射出したアライメント光に基づいて、主鏡１０と副鏡２０との位置ずれを検出する検出系４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でコストが低く、かつ、測定点を効率よく測定できる測定装置を提供すること。
【解決手段】空間の任意の位置に設置され、入射光に平行な反射光を返す反射体２Ａを有したターゲット２と、空間の他の任意の位置に設置されるとともに、第１の基準軸線Ｌ_１上の基準点Ｐから略扇形に広がる測定光Ｂ_３を発生してターゲット２を照射する照射手段２２と、ターゲット２からの反射光Ｂ_４を受光して受光位置を検出する受光素子２３と、基準点Ｐおよびターゲット２を結ぶ線と第１の基準軸線Ｌ_１との交わる仰角αを、受光位置から演算する演算処理手段５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】波面測定方法および装置において、被測定面および参照面の相対移動の位置決め精度による測定誤差を低減して、波面測定の測定精度を向上することができるようにする。
【解決手段】被測定面および参照面の光軸方向の相対位置を測定基準位置が含まれる範囲で、一定の位相増分よりも細かいピッチで変化するように移動させて、相対位置の情報とｎ個の干渉縞画像の候補となるｍ個（ｍはｎより大きい整数）の候補画像とを取得する候補画像取得工程（ステップＳ１）と、ｍ個の候補画像のうちから解析候補画像群として、一定の位相増分を有すると見なすことができるｎ個の候補画像の組を複数選出する解析候補画像群選出工程（ステップＳ２〜Ｓ４）と、各組の解析候補画像群に応じた波面を算出する波面算出工程（ステップＳ５）と、各解析候補画像群の取得位置の位置ずれ量が最小となる波面を選択する波面選択工程（ステップＳ６）とを備える波面測定方法とする。 （もっと読む）

【課題】所定の光学系の光路上に配設される被検反射曲面の形状が適格か否かを、簡易かつ短時間で判定することが可能な反射曲面形状検査方法を得る。
【解決手段】検査用投影光学系４０内に非球面ミラー５０を配設し、透過型液晶パネル３０に検査用原画像を表示する。検査用スクリーン６０上に検査用原画像の相似拡大像を投影し、撮像カメラ７１によりその画像データを取得する。取得された画像データをフーリエ変換し、空間周波数領域におけるスペクトル関数のグラフを求める。このスペクトル関数のグラフにおいて、検査用原画像が有する所定の空間周波数に対応したピーク部を特定し、そのピーク部の高さおよび半値幅に基づき、非球面ミラー５０の形状が適格か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】 所定領域の歪の値を迅速に測定することを可能にする。
【解決手段】 成形し徐冷されて移動するガラスリボンの帯状領域を、既知の偏光光を通過させ、この帯状領域の各点を通過した光の偏光方位の変化を画素単位で検出して算出し、前記算出した各点の偏光方位の変化量から前記ガラスリボンの帯状領域の各点の歪を一度に求め、前記ガラスリボンの移動にあわせて所定の間隔で、前記帯状領域の歪を求めることを特徴とする。 （もっと読む）