物品は、複数の機能素子及び一体化した基準マークを含む光透過性基材を含む。基材は、全反射の臨界角、並びに基準面を画定する長さ及び幅を有する。基材は、主表面に配置される一体化した基準マークを含む。一体化した基準マークは、基準面に垂直である基準線と共に第１の半角及び第２の半角のそれぞれを画定する第１及び第２の円錐台形の表面によって形成される少なくとも１つの実質的に楕円状の特徴部を含む。第１及び第２の半角は、度で表される全反射の臨界角を９０度から差し引いたもの以下である。方法は、本開示による光透過性基材を提供することと、マシンビジョンシステムを用いて基準マークの位置を精密に検出することと、基材を光学的に精密に位置合わせすることと、を含む。
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【課題】本発明は、多重回折格子記録媒体のそれぞれの模様を検出することが可能な品質検査装置及び品質検査方法に関する。
【解決手段】多重回折格子記録媒体の裏面側から透過光を照射する透過光照射部と、多重回折格子記録媒体を保持する保持部と、多重回折格子記録媒体の透過光軸方向に設けられ、多重回折格子記録媒体の透過光を偏光する偏光素子と、偏光素子を前記多重回折格子記録媒体の透過光の光軸を中心に所定の角度に回転する偏光素子回転部と、所定の角度に応じて多重回折格子記録媒体の透過光による各模様の読取を行う画像読取部を有する画像撮影部と、画像撮影部により読取られた各模様を演算処理し、あらかじめ記録した基準模様と比較して良否判定を行う画像処理部と、画像処理部により演算処理された模様と、良否判定の結果を表示する出力部を有する。 （もっと読む）

試験対象物（１２）の光学表面（１４）の形状を測定する方法が提供される。本方法は、測定波（１８）を発生させる干渉測定デバイス（１６）を設けるステップと、干渉測定デバイス（１６）及び試験対象物（１２）を相互に対して種々の測定位置に連続して配置し、光学表面（１４）の種々の領域（２０）が測定波（１８）により照明されるようにするステップと、測定デバイス（１６）の位置座標を試験対象物（１２）に対して種々の測定位置で測定するステップと、測定位置のそれぞれで測定デバイス（１６）を用いて、光学表面（１４）の各領域（２０）との相互作用後の測定波（１８）の波面を干渉測定することにより、表面領域測定値を得るステップと、測定位置のそれぞれにおける干渉測定デバイス（１６）の測定された位置座標に基づきサブ表面測定値を計算合成することにより、光学表面（１４）の実際の形状を判定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、光源部からの光を干渉計本体部に導入するファイバを光源部に対して容易に着脱することができるようにする。
【解決手段】光源部５２、干渉計本体部、およびファイバ１２を有し、光源部５２からの平行光３１ａをファイバ１２の入射端に入射してファイバ１２の出射端から干渉計本体部の内部に導入する干渉計であって、ファイバ１２の入射端側を保持するとともに、光源部５２に対して着脱可能に設けられたファイバ保持部材２５と、ファイバ保持部材２５の内部に、ファイバ１２の入射端に焦点位置を合わせて配置された集光レンズ２６と、を備え、光源部５２は、平行光３１ａを出射するレーザ光源２０と、ファイバ保持部材２５を着脱可能に保持し、装着時に平行光３１ａが集光レンズ２６の光軸に沿って入射するようにファイバ保持部材２５を位置決めする固定部材２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
周期構造物の構造を早くかつ正確に把握する方法を提供する。
【解決手段】
仮想周期構造物を設定して、前記設定された仮想周期構造物を多数の層に分けて、リープマン−シュウィンガー積分方程式をＭ次内挿法で離散化させて前記仮想周期構造物に対する反射率または透過率に対する物理量を計算する工程を含む、周期構造物分析方法に対するもので、Ｍ次内挿法を用いてより早い時間内により正確な非破壊検査ができる。 （もっと読む）

【課題】被検面が非球面であってもその面形状を高精度に測定する。
【解決手段】測定光発生用の光ファイバー１８Ｍから射出して被検面２Ｓを介した測定光ＬＭと参照光とを干渉させて得られる干渉縞３５に基づいて被検面２Ｓの面形状を測定する干渉計１０において、複数の位置ＱＡ〜ＱＣで参照光ＬＡ〜ＬＣを射出する参照光発生用の光ファイバー１８Ａ〜１８Ｃと、参照光ＬＡ〜ＬＣの発生を切り替えるシャッター２４Ａ〜２４Ｃと、参照光毎に得られる干渉縞から求められる面形状を合成する信号処理装置３２とを備える。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置は、光学面（４６；Ｍ６）と、光学面上の複数の別々の区域において光学面に関連するパラメータを測定する測定デバイス（９０）とを含む。測定デバイスは、個々の測定光ビーム（９４）を光学面上の区域に向けて誘導する照明ユニット（９２）を含む。各測定光ビームは、区域のうちの測定光ビームに関連付けられた少なくとも一部分と、隣接区域のうちの測定光ビームに関連付けられていない少なくとも一部分とを照明する。検出器ユニット（９６）は、各測定光ビームが光学面と相互作用した後に各測定光ビームに関する特性を測定する。評価ユニット（１０２）は、選択された区域に関連付けられた測定光ビームと、選択された区域に隣接する区域に関連付けられた少なくとも１つの測定光ビームとに対して検出器ユニット（９６）によって判断された特性に基づいて選択された区域に関する面関連パラメータを判断する。 （もっと読む）

【課題】第８世代や第１０世代のガラス基板に対する欠陥検査や欠陥修正に対応できる基板保持装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板保持装置は、固定端とテンション端との間に張架されると共に第１の方向に沿って延在する支持ワイヤ（７〜１０）を含む複数のワイヤ支持機構（３〜６）と、ワイヤ支持機構の各支持ワイヤに対して第１の方向に沿って移動可能に連結されたステージ（３０）と、ステージを第１の方向に案内するガイド手段（４４）と、ステージを第１の方向に沿って移動させる駆動装置（５１，５３）とを具える。ワイヤ支持機構の各支持ワイヤは、同一の平面内において互いに平行に張架され、複数の支持ワイヤ上に基板が載置された際、当該ステージは、支持ワイヤ上に載置された基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動する。ステージは、基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動するので、支持ワイヤによる影響を受けることなく各種処理を行うことができる。 （もっと読む）

レーザベースの変位検出器(26)を使用して、透明な物品(20)の一つの面に塗布された化粧コーティング(22)を検出し、それによって、レーザ加工システムの中に装填されているときにどの面が最も上になっているかを判定する。具体的には、可視光に対して透明で、レーザ加工システムの中で適切な向きにすることが特に困難である物品(20)が、レーザベースの変位検出器(26)を物品(20)上の部分コーティング(22)と共に使用することによって、向きを定められる。 （もっと読む）

【課題】曲率半径の大きな凹状球面の曲率半径を、容易に測定する。
【解決手段】曲率半径測定装置１は、被測定物２の凹状球面２ａで反射した光と参照光とを重ね合わせて干渉縞を形成させる干渉計１０と、射出される光（照明光）と凹状球面２ａが直交するように被測定物２を支持するとともに被測定物２を光軸方向に移動させることが可能な支持機構２０と、照明光の収束点ｆ近傍に配置され、通過孔３０ｂおよび通過孔３０ｂを有し、凹状球面２ａで反射した光を凹状球面２ａに向けて再び反射させる反射鏡３０と、凹状球面２ａおよび反射平面３０ａにおいて少なくとも１回以上反射した反射光が凹状球面２ａもしくは反射平面３０ａにおいて同一光路を通って戻ってくるように被測定物２を光軸方向に移動させたときの被測定物２の移動量を測定する移動量測定器２５と、その移動量に基づいて凹状球面２ａの曲率半径を算出する演算・制御部４０とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】干渉計による２次元位相デ−タのアンラップ方法および装置において、データの欠落があっても有効領域内の２次元位相データ全体をアンラップすることができるようにする。
【解決手段】同一のオフセット値を有すると見なすことができる２次元位相データの集まりである共通オフセット位相データ群を生成する共通オフセット位相データ群生成工程Ｓ１０と、共通オフセット位相データ群の各オフセット値ｚ_０ｉに対応するパラメータＺ_１＿ｉをフィッティング関数を仮定して推定するオフセット推定工程Ｓ１１と、推定された各パラメータＺ_１＿ｉのうちいずれか、またはＺ_１＿ｉによる加重平均位相を基準位相値Ｏとして、ｚ_０ｉ＝２π・ｒｏｕｎｄ｛（Ｚ_１＿ｉ−Ｏ）／２π｝を算出し、このオフセット値ｚ_０ｉを共通オフセット位相データ群からそれぞれ減算して２次元位相データを生成するアンラップ工程Ｓ１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】形状の変化幅が数μｍを超えるような被検面を短時間で測定することが可能で、かつ装置構成が簡易なミロー型干渉計装置を得る。
【解決手段】光源部１０は、その出力光の可干渉距離が５０μｍ以上１０００μｍ以下となる中コヒーレント光源が用いられる。また、参照ミラー１４は、光透過率が８０％以上９８％以下となるように形成されている。さらに、ビームスプリッタ１６の光軸Ｚ方向の厚みｔ_Ｂが、上記出力光の可干渉距離の２分の１よりも大となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】エアギャップ画像と透明部材画像との間のコントラストを改善して、エアギャップを高精度で測定できるエアギャップ測定装置を提供する。
【解決手段】エアギャップ測定装置は、測定対象物ＯＢＪが、対向配置された一対の透明部材の間のエアギャップであって、前記一対の透明部材を前記エアギャップの厚さ方向に交差する方向から拡散光で照明するための面発光光源１０と、面発光光源１０と透明部材との間に設けられ、開口形状が可変である絞り部材２０と、透明部材およびエアギャップの透過画像を撮像するための撮像ユニット３０などで構成され、さらに撮像ユニット３０を光軸方向に位置決めするためのＺステージ４０を備え、撮像ユニット３０を光軸方向にスキャンして得られた複数の画像を合成する。 （もっと読む）

【課題】光学物品の反射偏角を精度よく測定できる光学物品の偏角測定装置の提供。
【解決手段】端面が直角二等辺三角形とされた基準プリズム２と、基準プリズム２の斜辺部２Ｂ又は光学物品１の斜辺部１Ｂに向けてレーザー光を出射するレーザー光源３と、レーザー光源３の基準プリズム２又は光学物品１を挟んで反対側に配置され基準プリズム２又は光学物品１の一方の隣辺部１Ａ，２Ａにレーザー光を照射する光源４１及び隣辺部１Ａ，２Ａで反射された反射光を受光する受光部４２を有する第一測定部４と、レーザー光源３から出射されて基準プリズム２又は光学物品１の斜辺部１Ｂ，２Ｂで反射した反射光を受光する第二測定部５と、第二測定部５及び第一測定部４からそれぞれ出力される基準プリズム２の測定値の信号と光学物品１の測定値の信号とを対比して光学物品１の偏角の補正値を演算する演算装置６とを備える。 （もっと読む）

【課題】干渉計において、被検体の光軸調整作業を円滑かつ高精度に行うことができるようにする。
【解決手段】干渉計１は、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３を集光するコリメータレンズ５と、参照面反射光Ｌ_４および被検面反射光Ｌ_３の光路を、第１光路Ｐ_１および第２光路Ｐ_２に分岐するハーフプリズム１７と、干渉縞の像を光電変換して第１の映像信号を取得する干渉縞カメラ１２と、ピンホール１８ａとスクリーン部１８ｂとを有するスクリーン板１８と、スクリーン板１８の像を光電変換して第２の映像信号を取得するスポットカメラ１６と、ピンホール１８ａを通過する光を受光する受光素子１９と、映像信号を表示する表示部１３と、受光素子１９の出力値に応じて、第１および第２の映像信号のいずれかを選択的に切り替えて表示部１３に供給する信号選択部２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】参照レンズユニットの取付構造および方法において、磨耗による劣化を抑制することができるとともに参照レンズユニットの交換の作業性を向上することができるようにする。
【解決手段】参照レンズユニットの取付構造であって、レンズ枠は、レンズ光軸Ｐに直交する位置合わせ面と、端部の外周側に丸アリ部２Ａとを備え、参照レンズユニット取付部４は、測定基準軸Ｏに直交する位置決め面５ｃと、傾斜面５ｄ、円錐傾斜面５ｅを有し丸アリ部２Ａが係止可能に設けられた基準側アリ溝部５Ａ、位置決め突起５Ｂと、測定基準軸Ｏを挟んで基準側アリ溝部５Ａ、位置決め突起５Ｂと反対側に、進退可能に設けられた押圧部材９とを備え、丸アリ部２Ａを、基準側アリ溝部５Ａ、位置決め突起５Ｂおよび押圧部材９の間に挟んだ状態で、押圧部材９を進退させて参照レンズユニットを着脱させる構造とする。 （もっと読む）

光イメージング装置は、光周波数領域測定法（ＯＦＤＭ）に基づいて、ＤＵＴの内部またはＤＵＴ上の複数の位置における散乱データを時間の関数として収集する。光源は検査対象デバイス（ＤＵＴ）の中に光を投入し、ＤＵＴはＤＵＴに沿った１つ以上の位置で光を散乱する。光検出器は、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれで散乱された光の一部を検出する。データはＯＦＤＭデータ処理を使用して決定される。これらのデータは、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれにおいて収集された時間の関数として表された光量に対応する。データは、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれに対して記憶される。記憶された時間領域データに基づいて、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれにおいて散乱された光量を示すユーザ情報が提供される。ＯＦＤＭ処理によって、精細な時間分解能（例えば、０．１ピコ秒）が得られ、それによって、小さな光遅延距離（例えば、３０ミクロン）を分解することができる。また、精細な時間分解能と同時に、検出するべき少量の散乱（例えば、１０^−１２）の正確な検出が可能になる。
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【課題】反射鏡に形状誤差が生じても、所望の強度分布、方向を維持してアンテナビームを放射させることができるアンテナビーム制御装置を得る。
【解決手段】反射鏡の三次元形状を、三次元形状測定装置で反射鏡への照射レーザー光と該照射レーザー光の反射鏡での反射レーザー光との位相差から求め、求めた位相差に従って算出される反射鏡の形状誤差に従い一次放射器の励振係数を制御するアンテナビーム制御装置であって、三次元形状測定装置が、レーザーＲＦ発振器１７と、レーザー光を入射位置、方向に従って空間の所定方向に出射させる投影レンズ１２と、送信光アンテナ部の焦点面近傍の異なる位置に配置された複数の光ファイバ１３と、レーザー発生手段のレーザー光を複数のレーザー放射部に選択的に結合させてレーザー光を放射させる光スイッチ１４、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板と接着剤の屈折率差の大小に依存することなく、接着剤の膜厚を算出することを可能とする。
【解決手段】膜厚測定装置１は、基台１１上に設けられるとともに被検物４を載置させるための加熱器１２と、被検物４の加熱温度を制御するための加熱制御部１４と、被検物４の上方に配置されていて加熱された被検物４の膨張による高さ方向の変化量を測定するためのレーザー変位計１３と、被検物４の接着剤３の線膨張係数を入力するための入力部１５と、レーザー変位計１３により測定した被検物４の高さ方向の変化量、加熱温度、入力部１５で入力した接着剤３の線膨張係数に基づいて接着剤３の膜厚を算出する演算部１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】円形状のエッジを自動検出して円形を求め、該円形の幅寸法の測定を可能にする円形の幅寸法測定装置を提供する。
【解決手段】全体として１または２以上の層を有する円形状の物体を上方から撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた画像から前記円形状の仮中心点を求める手段と、前記仮中心点から円形の複数のエッジを求める手段と、前記円形の複数のエッジから仮想円の中心を求める手段と、前記仮想円の中心から仮想円を求める手段と、前記仮想円から検出円を求め、該検出円の幅を円形状の幅寸法とする幅寸法算出手段とを有することを特徴とする円形の幅寸法測定装置。 （もっと読む）