【課題】ミラー面の傾きが変更可能に構成されたミラーシステムの偏向特性を短時間かつ高精度に測定することを目的とする。
【解決手段】ミラー面１１に測定光２８を照射する測定用光源１４と、測定用光源１４から照射された測定光２８がミラー面１１で反射することにより形成された反射光１３が投射光点として投射される投射部１７と、反射光１３が投射光点として投射された投射部１７を撮像する撮像部１８と、ミラー面１１の傾きを制御する制御部３１と、撮像部１８によって撮像された投射部１７の画像に基づいて、制御部３１によって制御されたミラー面１１の傾きの変更に伴って移動する投射光点の移動量を測定する測定部３３とをそなえたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い検出精度を有する周期性パターンのムラ検査装置及びムラ検査方法を提供す
る。
【解決手段】周期性パターンが形成された基板上の撮像対象エリアを少なくとも２つのエリアに分割し、前記基板下に左右上下の４箇所設置された光源の光量を個別に調整する。次に撮像エリア外描画部による底面反射が生じないように、前記基板の下のステージに前記基板の左右上下の４軸方向に平行に、それぞれ独立かつ単独で駆動する、照明光を遮蔽する遮蔽板を４つ設置し、撮像対象外エリア外描画部を覆うようにそれぞれの遮蔽板を移動させ、調整した輝度レベルで各分割エリアをそれぞれ撮像し、撮像した分割画像データをそれぞれ取り込み、取り込んだ分割画像の大きさに応じた条件で互いにつなぎ合わせて合成し、該合成画像を用いてスジ状ムラを判定する、擬似欠陥除去手段を具備するスジ状ムラの検査方法及び検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】撮像画像に基づいて光学部品の位置を良好に検出可能な位置検出基準シートの提供。
【解決手段】位置検出基準シートにおける印刷面に、複数の異なる正弦関数を四則した関数に基づき明度が設定された正弦明暗模様１２２を表示させている。そして、この位置検出基準シートを、貼付面で光学部品に取り付け可能な構成としている。このため、正弦明暗模様１２２の明度を複数の異なる正弦関数を四則した関数に基づき設定することにより、第２撮像画像のフォーカスがあっていない状態であっても、例えば光学部品が基準状態からＹ軸を中心に回転している場合に、第２撮像画像の正弦明暗模様の状態を、この回転している状態に反映させることができる。したがって、変位検出システムに、光学部品の位置を良好に検出させることができる。 （もっと読む）

【課題】 計測対象物の計測対象領域における位相情報を再生することにより、対象物の形状を計測する方法および形状計測装置の提供。
【解決手段】 位相情報を再生するのに必要な回折条件の異なる複数の回折像を得て、それらの回折像を解析することにより、対象物の形状を計測する方法および装置であって、対象物に、単色光を照射する単色光照射工程と、前記単色光を照射したときの対象物の回折像を、撮像手段により撮像する回折像撮像工程と、前記撮像手段と対象物の間の光路長を変更する、光路長変更工程と、前記回折像撮像工程により撮像した複数の回折像を、位相再生法により解析する解析工程とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス基板等の板状体の微小な反りを確実に検出することができる板状体の反り検出装置及びその方法を提供することを目的とする。
【解決手段】実施の形態のガラス基板Ｇの反り検出装置１０は、ガラス基板Ｇを搬送装置１２によって搬送しながら、レーザ変位計２４、２４による全数検査を実施し、下流工程への流出防止を図る。ガラス基板Ｇの搬送装置１２は、搬送中のガラス基板Ｇに外乱である振動を極力与えない装置、すなわち、ガラス基板Ｇの下面にエアを噴射してガラス基板Ｇをフローティングさせるフローティングテーブル１６と、フローティングテーブル１６内に配設されるとともにフローティングしたガラス基板Ｇの下面を支持してガラス基板Ｇを所定の方向に搬送するベルトコンベア１８Ａとから構成している。これにより、１ｍｍ以下の微小な反り量を検出するガラス基板Ｇの搬送装置として好適である。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーを減圧する際に生じる空気の断熱膨張による被測定物の温度低下を抑制し、測定タクトの向上を図る。
【解決手段】真空チャンバー１１３内で被測定物Ｗ₁ およびＴＳレンズ１０７を搭載しているステージ１０５、１０６に温調水を流動させる流路１１０、１１１を設ける。真空チャンバー１１３を真空ポンプ１１７によって減圧する工程で、流路１１０、１１１に温調水を供給し、ステージ１０５、１０６の温度を制御することで、被測定物Ｗ₁ およびＴＳレンズ１０７の温度低下を抑制する。これにより減圧状態での高精度な測定にもかかわらず高タクトで測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】アライメントカメラに高性能な駆動機構を使用することなく、光照射部とアライメントカメラとの位置関係が変化した場合であっても、基板上の正確な位置に描画を行うことができるパターン描画装置およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】パターン描画装置１は、光学ヘッド３２から照射されるパルス光に対する各アライメントカメラ４１〜４４の相対位置のずれ量を検出し、そのずれ量に基づいて基板９のアライメント量および基板９の描画開始位置を補正する。このため、光学ヘッド３２から照射されるパルス光と各アライメントカメラ４１〜４４との位置関係が変化した場合であっても、その変化分を補正しつつ描画処理を行うことができる。したがって、パターン描画装置１は、基板９上の正確な位置に描画を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】基材に付与されているＯＶＤの圧力跡、基材の波打ち若しくは搬送中の基材のバタツキ又はうねりに影響を受けず、安定してＯＶＤの品質の検査を可能とし、比較的安価なＯＶＤの検査装置の提供及びＯＶＤの検査方法である。
【解決手段】ＯＶＤ検査装置は、少なくとも基材の一部にＯＶＤが付与された基材において、ＯＶＤの付与状態を検査する装置であって、ＯＶＤが付与された基材を搬送する搬送手段と、ＯＶＤに対してレーザー光を照射する照射手段と、照射手段から照射したレーザー光に対してＯＶＤから反射した反射波を受信し、信号へ変換する受信手段と、受信手段で変換された信号と、あらかじめ定めた閾値とを比較判定する識別手段から成る。 （もっと読む）

【課題】走査される光ビームのビームスポット位置を精度よく測定する。
【解決手段】光学特性測定装置７０の受光装置７１を、光走査装置１００から射出された光ビームＬＢ１,ＬＢ２,ＬＢ３,ＬＢ４がそれぞれ入射する受光位置に、Ｘステージ及びＹステージを駆動することにより順次位置決めする際に、受光装置７１のステージ座標系における位置座標を、誤差量δ（Ｘ）、δ（Ｙ）及び角度誤差Δθに基づいて補正する。これにより、精度よくステージ座標系における光ビームＬＢ１〜ＬＢ４のビームスポット位置をそれぞれ計測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】リフレクタの表面を傷付けることなく、かつ、比較的短時間でリフレクタの性能を評価することが可能なリフレクタ評価装置を提供する。
【解決手段】評価対象となる楕円面リフレクタ１０を支持するためのリフレクタ支持部材１１０と、楕円面リフレクタ１０に向けてレーザ光を照射するためのＬＤ光源１２０と、ＬＤ光源１２０を支持するためのＬＤ光源支持部材１３０と、楕円面リフレクタ１０の第１焦点近傍にＬＤ光源１２０を配置するために、ＬＤ光源１２０の位置を調整する機能を有する位置調整装置と、楕円面リフレクタ１０の第２焦点近傍に配置され、楕円面リフレクタ１０から射出される光の量を測定するための光量測定装置１５０とを備えるリフレクタ評価装置。 （もっと読む）

【課題】アライメントマーク部分に輝点欠陥があった場合でも、当該輝点欠陥を検出することができる検査装置および検査装置が備える位置検出装置を提供する。
【解決手段】液晶パネルモジュール１１に位置検出のためのアライメントマークを目視困難な輝度で点灯させる制御部７と、アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて、その表示用パネルの位置を検出する画像処理部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】保護膜が貼り付けられた状態で、表面の詳細な検査が可能な偏光板の検査方法を提供する。
【解決手段】偏光板の検査方法は、ＣＣＤカメラを用いて偏光板全体にピントを合わせて、ＣＣＤカメラと偏光板との距離Ｄ１を測定する工程を含む。画面上にて画像を分割して、ピントがずれている分割領域Ｒｘを特定する工程を含む。この分割領域Ｒｘにピントを合わせてＣＣＤカメラと偏光板との距離Ｄｘを測定する工程を含む。距離Ｄｘと距離Ｄ１との差により分割領域Ｒｘにおける欠陥の有無を判定する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】外部からの機械振動や音響振動が伝達されても、外部振動の影響を受けない形状測定装置及びレーザ顕微鏡を実現する。
【解決手段】本発明では、光源（１）から出射した光ビームを対物レンズ（８）を介して試料（９）に向けて投射し、試料表面を光ビームにより2次元走査する。一方、対物レンズをその光軸方向に移動させる対物レンズ駆動手段（１０）を有し、対物レンズを光軸方向に移動させながら試料表面を2次元走査する。この際、Ｚ軸方向の位置情報として、対物レンズ（８）と試料（９）の表面との間の間隔を測定し（１２）、測定された間隔をＺ軸方向の位置情報として用いる。信号処理回路（２０）において、試料表面からの反射光を受光する1次元イメージセンサからの輝度信号及び間隔測定手段（１２）からの位置情報を用いて試料の2次元画像情報及び試料表面の高さ情報を出力する。 （もっと読む）

【課題】起伏を有する被検査物における、前記起伏の端部付近の傾斜角である端部傾斜角を求める方法および端部傾斜角に基づいて、各起伏間の起伏厚の差を精度よく検査する方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る端部傾斜角測定方法は、上記課題を解決するために、起伏を有する被検査物における、端部傾斜角測定方法であって、上記被検査物に光を照射するステップＡと、上記被検査物の反射光分布を検知するステップＢと、上記反射光分布の検知結果から上記反射光分布の特徴点を求めるステップＣと、上記特徴点に対応する被検査物上の位置に対する、ステップＡにおける光の照射角度および上記特徴点に対応する被検査物上の位置による、ステップＢにおける反射光の検知角度とに基づいて、上記起伏の端部付近の傾斜角である端部傾斜角を求めるステップＤと、を含む （もっと読む）

【課題】被測定物の有効範囲全域の干渉縞画像を１度に取得可能とすることで、短時間で被測定物の形状測定を行うことにより、高精度かつ安価に被測定物の形状を評価することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状測定装置は、干渉計１０で干渉縞画像を取得する干渉縞取得手段と、取得した干渉縞画像より形状データを算出する形状算出手段とを備え、前記段差の所定の高さをｄ、干渉計用光源の波長をλ、ｎを２以上の整数としたとき、
｜２ｄ−ｎλ｜＜λ／３ ・・・(1)
の関係を満たすことを特徴する。これにより、その表面に所定の高さの段差を多数含む被測定物の有効範囲全域の干渉縞画像を取得することが可能となり、短時間で形状を測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰの保護層の膜特性からエージング処理を行う時間を決定することで、適切なエージング処理を実施できるようにする。
【解決手段】間に放電空間を形成するように配置した第１基板および第２基板と、前記第２基板上に形成された複数の表示電極と、前記表示電極を覆うように前記第２基板上に形成された誘電体層と、前記誘電体層上に形成された保護層とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、前記保護層は複数の層が積層された構造であると仮定して、前記保護層の表層の膜特性を測定するステップと、前記膜特性からエージング時間を決定するステップと、前記エージング時間にわたってエージングを行うステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】表示デバイスとカバー部品とを実際に組み合わせることなく、カバー部品がギラツキを抑制できるかを評価するカバー部品の性能評価方法を提供する。
【解決手段】カバー部品９０の表面形状を測定し、表面形状の情報からカバー部品の表面上の任意の観測点３０について傾きdz/dxを演算し、傾きの情報及びカバー部品９０の情報に基づいて、鉛直方向にカバー部品９０の観測点に入射する光L１がカバー部品を透過する光路Ｌ２、Ｌ３を演算し、光路から光が表示デバイス表面に到達する到達点３２を演算し、表示デバイス７０表面において観測点の直下に位置する下方点４０と到達点３２との距離Δｘを演算し、表示デバイスの１画素の大きさＤに対する距離Δｘの比率Ｐを演算し、比率Ｐによりカバー部品９０が表示デバイス７０に用いられた場合に生じるギラツキの程度を評価する。 （もっと読む）

【課題】改善された端面を有する特にガラス・ロッド部分の形で光導体を提供する。
【解決手段】本発明は、ガラス・ロッド、特に光導体を検査するための方法であって、ガラス・ロッドは２台のカメラの前に配置され、これらのカメラはガラス・ロッドの端面を側面から、ガラス・ロッドの長手方向軸に対して半径方向の２つの異なる視野方向で記録し、端面の外形の平面度と傾斜度は両方のカメラによって記録に基づいて光学的に非接触式で決定され、ガラス・ロッドは、その端面の平面度または傾斜度のいずれかがそれぞれ規定された設定範囲から逸脱している場合には、除去／分類デバイスによって自動的に除去および／または分類される方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】エリア監視を行う場合、予め複数のカメラの位置をメジャー等で実測したりする方法があるが、カメラ位置を測定することは煩雑であり、エリア監視のための移動物体検知システムの利用は、敬遠されることが多い。
【解決手段】監視エリアに配置された少なくとも３台のカメラ１０１−１〜３と、上記それぞれのカメラに近接して設けられた３台の発光装置と、上記カメラの出力がそれぞれ入力される信号処理装置１０５を有し、上記信号処理装置は、演算部と記憶部１０６を有し、上記記憶部には、上記監視エリアの空間を表す座標が記憶され、上記それぞれの発光装置の発光をそれぞれのカメラで撮像し、演算装置は、撮像された３台の発光装置の発光位置情報と記憶部に記憶されている上記監視エリアの空間を表す座標とに基づいて３台の発光装置の座標上の位置を算出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】イメージセンサにおける中心受光素子の位置とイメージセンサー上における光軸中心の位置との間の距離を低コストでしかも迅速かつ容易に測定する。
【解決手段】画像データＤ１に基づいてイメージセンサにおける中心受光素子の位置とイメージセンサー上における光軸中心の位置との間の距離を測定する測定部を備え、画像データＤ１の画像上において横方向（第１の方向）に沿って繋がる第１画素群に属する各画素Ｐ１〜Ｐ２についての第１輝度情報、および縦方向（第１の方向に対して交差する第２の方向）に沿って繋がる第２画素群に属する各画素Ｐ３〜Ｐ４についての第２輝度情報をそれぞれ取得する輝度情報取得処理と、両輝度情報に基づいてイメージセンサ上における光軸中心（画素Ｐｘ）の位置を特定する中心位置特定処理と、画像における中心画素Ｐｃの位置を中心受光素子の位置として距離を測定する測定処理とを実行する。 （もっと読む）