【課題】
光学機器で使用される平行光束の平行度を測定し、平行光束の精度を向上する。
【解決手段】
光学ユニット１を被検体とし、この光学ユニットからの光を複数のピンホール６を持つピンホール板５経由で受光部７に投影する。その像をピンホール画像として制御ユニット８から表示部９に伝え表示する。この時、被検体からピンホール数に応じて分割抽出され、受光部７に向かった光束がみな平行な光束であれば表示部の決められた１つの表示原点に重畳してピンホール画像が表示される。平行性に不具合がある光束は表示原点から外れて表示される。この表示される表示原点とピンホール画像を画面で確認し、測定しながら光学ユニット１とピンホール板５の位置関係を調整し最適位置を求める。



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本開示の一態様の方法は、顕微鏡を用いて、直交偏光状態を有する複数の成分を含む光を試験対象物に向けるとともに試験対象物から反射された光を検出器に向けること、光の成分間の光路長差（ＯＰＤ）を変化させること、成分間のＯＰＤを変化させながら検出器から干渉信号を収集すること、収集された干渉信号に基づいて試験対象物に関する情報を決定することを備える。 （もっと読む）

【課題】ベース部の表面または界面が一様に傾いている場合でも、周期構造の測定を可能にする。
【解決手段】ベース部上の周期構造体１０の表面に、構造体１０の周期のオーダーの波長の光を入射し、前記周期構造体１０からの反射光強度の波長依存性である反射スペクトルの測定値を測定し、前記周期構造部の深さ（ｄ）、デューティ比（ｆ）、および前記ベース部の厚さ分布（Ｄｍａｘ、Ｄｍｉｎ）を仮定して反射スペクトルの計算値を算出し、前記反射スペクトルの測定値と前記反射スペクトルの計算値との差分の二乗和を算出し、該算出した差分の二乗和が予め定められた許容範囲内になったときの前記反射スペクトルの計算値を算出する際に仮定した前記周期構造部の深さ（ｄ）、デューティ比（ｆ）、および前記ベース部の厚さ分布（Ｄｍａｘ、Ｄｍｉｎ）を出力する。 （もっと読む）

【課題】支持ピン３の位置再現性を向上させること、及び載置板２と支持ピン３間の移載において基板Ｗの水平方向のずれを防止することである。
【解決手段】基板Ｗの反りを測定する反り測定系７、及び当該基板Ｗの反り以外の物理量又は化学量を測定する通常測定系６に用いられる基板測定用ステージ１であって、前記通常測定系６の通常測定位置Ｐ１、及びその通常測定位置Ｐ１から下方に離間した退避位置Ｐ２の間を移動可能な載置板２と、前記載置板２に設けられた貫通孔２１に挿通可能であり、前記反り測定系７の反り測定位置Ｐ３に固定された複数の支持ピン３と、前記載置板２を前記通常測定位置Ｐ１及び前記退避位置Ｐ２の間で昇降移動させる駆動機構と、を備え、前記反り測定位置Ｐ３が、前記通常測定位置Ｐ１及び退避位置Ｐ２の間に設定されている。 （もっと読む）

【課題】レンズを光路から退避させる必要がなく、ダハミラーのダハ角および交点高さを求めるタクトタイムを短くすることのできるダハミラー測定装置を提供する。
【解決手段】ダハミラーのダハ面に向けて測定光束を射出するレーザポインタ３４を備え、そのダハ面で反射されるレーザ光を受光することにより、そのダハ角度及び交点高さを測定するダハミラー測定装置であって、前記ダハ面で反射したレーザ光を２つに分割するビームスプリッタ４０と、このビームスプリッタ４０で分割された一方の分割測定光束を集光させる集光レンズ５０と、この集光レンズ５０で集光された分割測定光束を受光するＣＣＤカメラ６０と、 他方の分割レーザ光を受光するＣＣＤカメラ７０とを設け、ＣＣＤカメラ６０の受光面の受光位置と、ＣＣＤカメラ７０の受光面の受光位置とに基づいてダハミラーのダハ角度と交点高さを求める。 （もっと読む）

【課題】反射鏡の曲がりに起因する干渉計の計測誤差の補正データを作成し、該補正データを用いて計測精度が改善される干渉計を用いて、移動体を高精度に駆動する。
【解決手段】Ｚ干渉計４３Ａ，４３Ｂを用いてステージＷＳＴがＺ変位しないように制御して、該ステージＷＳＴをＹ軸方向に駆動しながら、センサ７２ｃ，７２ｄを用いてステージＷＳＴの上面のＺ変位を計測し、Ｙ干渉計１６とＺ干渉計４３Ａ，４３Ｂを用いてＹ変位を計測する。これらの計測結果より、Ｚ干渉計４３Ａ，４３Ｂの測長ビームＢ１，Ｂ２が投射される固定鏡４７Ａ，４７Ｂの曲がりを求める。ここで、２つのセンサ７２ｃ，７２ｄを用いてステージＷＳＴ上面の同じＸＹ位置の面位置を計測して、正味のＺ変位を求めることにより、上面の凹凸に起因する計測誤差が生じない、高精度な固定鏡の曲がり計測が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 干渉計におけるフォーカス誤差を低減できて波面の微細なうねりまで高精度に測定する。
【解決手段】 被測定物の干渉計結像光学系による共役位置に干渉計の画像検出器の位置を調整するために、干渉計のフォーカス制御手段を利用して複数の測定面で波面測定を行う。測定した波面データのうち空間周波数が高いうねり成分のみ抽出して、さらに空間周波数毎にパワースペクトル密度で表す。それらを特定の帯域内で積分し、その積分値が最小となる測定位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】 被検体を透過した被計測光から球面収差を除去して偏心収差を観察することが可能な干渉計及び偏心計測装置を提供すること。
【解決手段】 偏心計測装置１の干渉計７は、ビームスプリッタ８と、コーナーキューブプリズム９と、平面鏡１０と、スクリーン１１とを備えている。ビームスプリッタ８は、被検光学系Ｓを透過した被計測光Ｌｍを、第１の分割光Ｌ１と第２の分割光Ｌ２とに２分割する。コーナーキューブプリズム９は、第１の分割光Ｌ１の入射方向に沿った方向に第１の分割光Ｌ１を反射させる。平面鏡１０は、ビームスプリッタ８に関してコーナーキューブプリズム９と共役の位置に配置される。コーナーキューブプリズム９で反射された第１の分割光Ｌ１の波面と平面鏡１０で反射された第２の分割光Ｌ２の波面とは、相対的に１８０度回転している関係である。 （もっと読む）

【課題】複数色のフィルターを有するカラーフィルターについて回折像解析を使った検査を行う場合に、全ての色のフィルターの検査を可能とする検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルターに互いに異なる波長の単色光を照射する複数の単色光照射手段と、各単色光を照射されたときのカラーフィルターの回折像を少なくとも１枚ずつ撮像する回折像撮像手段と、回折像撮像手段により撮像された各単色光ごとの回折像を位相回復法により解析し、各単色光での元画像を再生する解析手段と、解析手段により再生した各単色光ごとの元画像を、１枚の合成画像にする画像合成手段と、合成画像または各単色光ごとの元画像に対して、カラーフィルター上の各色フィルターおよび各単色光の波長の組み合わせをもとに、所定の欠陥の有無を判定する画像検査処理を行う検査判定手段とを備えることを特徴とする、カラーフィルターの検査装置。 （もっと読む）

【課題】基準構造が振動や他の機械的な妨害を受けることにより生じるグレーティングの振動、エンコーダ測定システムにおけるグレーティングの変位の不正確さ、これによるエンコーダからの読取誤差を防止する。
【解決手段】基準に対してエンコーダ測定システムの一部を形成するグレーティングＧＴの位置を測定し、エンコーダ測定システムはリソグラフィ装置の基板テーブルの位置を測定するように適合され、さらに基板テーブルに取り付けられているセンサＥＳを含む補助センサシステムＡＳＳにおいて、グレーティングを励振して、補助センサシステムの少なくとも１つの測定方向に移動させるステップと、移動の間に、センサシステムから補助センサシステムの出力信号を取得するステップと、移動の間に取得された出力信号に基づき補助センサシステムのパラメータを調整して、それによって補助センサシステムをキャリブレーションするステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 位相情報を含んだ所望のスペクトルだけを実質的に抽出することができ、ひいては誤差の低減された解析を行うことのできる縞画像解析方法。
【解決手段】 キャリア縞を重畳させた縞画像から位相情報を求める縞画像解析方法。縞画像をフーリエ変換して全スペクトルを求める工程と、所望のスペクトルを除く他のスペクトルを全スペクトルから減算して所望のスペクトルを抽出する工程と、抽出した所望のスペクトルをフーリエ逆変換して位相情報を得る工程とを含む。 （もっと読む）

可撓性ウェブの変位を表示するための方法及びシステムについて記載する。細長い可撓性ウェブは、目盛り構造を有する一体的な目盛りを含み、その目盛り構造は、ウェブに向けられたエネルギーを変調するように構成される。移送構造は、ウェブと変換器との相対運動をもたらす。変換器は、目盛り構造によって変調されたエネルギーを検知し、変調されたエネルギーに基づいて連続的なウェブの変位を表示する信号を生成する。
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【課題】 設計および製作の容易な簡素な構成にしたがって、球面形状の被検面の面形状を高精度に測定することのできる面形状測定装置。
【解決手段】 球面形状の被検面（２０ａ）の面形状を測定する本発明の面形状測定装置は、反射した球面波の光を被検面に直入射させるためのミラー（３）と、被検面で反射された光に基づいて被検面の面形状を測定するための測定部（１，２）とを備えている。測定部は、ミラーの前側に配置された参照面（２ａ）で反射された参照光と被検面で反射された測定光との干渉に基づいて被検面の面形状を測定するための干渉計（１）を有する。ミラーは、入射した平行光を球面波の光に変換して被検面の曲率中心（２０ｂ）に集光させるための放物面ミラーを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、測定精度と操作性を両立することのできる角度測定装置を提供することにある。
【解決手段】基準ワークを用いて予め設置角θ_Ｌ設定しておいた第一角度計測手段１８ａによる側面１２ａの計測と第二角度計測手段１８ｂによる側面１２ｂの計測が同時に行えるように載物台１６に設置された測定ワーク１２の側面１２ａの中心軸線Ｌ_１に対する角度情報を第一測定値として取得し且つ側面１２ｂの中心軸線Ｌ_２に対する角度情報を第二測定値として取得し、また第一基準値に対する測定値のずれを第一ずれ情報及び第二基準値に対する測定値のずれを第二ずれ情報として求める比較手段２８と、該ずれ情報に応じた角度補正値及び基準ワークの基準角θ_０に基づき測定ワーク１２の側面１２ａ，１２ｂ間の角度θ_１を求める算出手段３０とを備えたことを特徴とする角度測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】干渉縞に高周波成分が重畳されてしまう光学素子についてツェルニケ展開を行ったときにも、得られる多項式の直交性を保つことのできる収差測定方法を提供する
【解決手段】被検光学素子の波面収差の空間分布を、所定項数よりも少ない項数でツェルニケ展開して、低次の波面収差を得る低次波面収差算出工程と、低次波面収差算出工程において近似できなかった残差成分を、被検光学素子の波面収差の空間分布として算出する残差成分空間分布算出工程と、残差成分空間分布算出工程において算出された波面収差の空間分布を、所定項数でツェルニケ展開して、波面収差を得る高次波面収差算出工程と、高次波面収差算出工程において得られた波面収差のうち、所定項数よりも少ない項数について、低次波面収差算出工程において得られた波面収差を適用して、被検光学素子の波面収差を得る低次波面収差適用工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ブラックマトリクスで囲まれた絵素領域に対してインクが滴下されて絵素が形成されたカラーフィルタ基板において、絵素の形状を判定する判定方法を提供する。
【解決手段】 ブラックマトリクスで囲まれた絵素領域に対してインクが滴下されて絵素が形成されたカラーフィルタ基板の検査方法であって、前記絵素の端部領域に光を照射し、前記端部領域からの反射光を測定する測定ステップと、前記測定ステップにおいて測定された端部領域からの反射光に基づき前記絵素領域における絵素の端部領域形状を判定する判定ステップと、を含む。
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【課題】複雑かつ大型化することなく、二次元的な運動をする被検出部材の現在位置を検出可能にする位置検出装置を提供する。
【解決手段】隣接して並置される二つのフォトインタラプタ１０９ａ，１０９ｂと、平面内を二次元的な運動をする被検出部材１０１に一体的に具備され、二つのフォトインタラプタそれぞれの発光部と受光部の間の隙間への侵入状態に応じてそれぞれのスリット部２０３ａ，２０３ｂを通過する光の遮蔽する量を変化させる一つの遮光板１１１とを有し、二つの受光部からの出力に基づいて被検出部材の位置を検出する位置検出装置であって、前記遮光板が、前記二つのフォトインタラプタのそれぞれのスリット部に対して異なる方向に傾斜した角度で交差する端部１１１ａ，１１１ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えば平面鏡と曲面鏡をミラー等の反射面の歪みを、従来よりも高精度に検査する方法及び歪み検査装置に関するものであり、歪み量の検査とともに、歪みの方向も検査することができ、又、周辺部においても細かい検査を行うことができる歪み検査方法およびゆがみ検査装置を提供することにある。
【解決手段】前記検査対象に対して複数の平行線パターンを投射する投射手段と、前記投射手段により投射された平行線パターンによって検査対象から反射された反射平行線パターンを読み取る読取手段と、前記読取手段による反射平行線パターンに基づいて作成した測定パターンデータと予め定めた基準パターンデータとを比較演算するデータ処理手段と、前記データ処理手段の結果に基づいて前記検査対象の状態を判定するようにした判定手段を有する。 （もっと読む）

【課題】鏡面乃至半鏡面状の測定対象表面上の、観察可能なあらゆる場所における、面歪の分布を、測定対象の3次元形状の影響を受けることなく、光学的手段を用いて定量的に、また高速・高精度に測定および評価できる、面歪の測定装置及び方法を提供することを課題とする。
【解決手段】複数種の明暗パタンを切替えて表示することが可能なパタン表示手段と、鏡面乃至半鏡面状の測定対象表面上に写る前記パタン表示手段に表示された複数の明暗パタンの鏡像を、撮影する撮影手段と、撮影された複数の明暗パタンの鏡像画像を画像処理して前記測定対象表面の面歪分布を演算する面歪分布演算手段とを備えたことを特徴とする鏡面乃至半鏡面上の面歪の測定装置において、前記測定対象のマクロ3次元形状を測定するマクロ形状測定手段と、測定されたマクロ3次元形状に基づいて、演算された面歪分布を補正するマクロ形状補正手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物までの距離測定における直線性の較正を高精度に行う。
【解決手段】予め設定された加工対象領域までの距離を変位センサから得られる変位量に基づいてレーザ光の焦点深度を調整して倣い制御を行いながらレーザ加工を行うレーザ加工装置に使用される前記変位センサの較正用治具において、前記変位センサから出射される計測用レーザ光の照射面は、水平面に対して所定の角度に傾斜するように形成される傾斜部と、前記レーザ加工装置における加工対象物を保持するために設けられたステージ上に載置するための水平な底部とを有し、前記傾斜部の表面は、光学ガラスで形成されていることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）