【課題】 新たな専用の計測手段を必要とせず、平面形状の確実に正確な計測を可能にする方法を確立する。
【解決手段】 ＸＹ平面上を移動するステージ、該ステージの位置を計測する為のレーザ干渉計、該干渉計から照射されるレーザを反射する為該ステージに固定された平面ミラー、該ステージに搭載されたウエハ上のマーク位置を計測できるスコープとを有する装置に適用される前記平面ミラーの形状計測方法であって、前記スコープで計測可能なマークがＸＹ各方向に等間隔で並んでいるウエハを用い、ＸＹステージを計測対象平面ミラーに沿って移動しながら、該平面ミラーの形状を計測するとき、ウエハチャックに把持したウエハ上のマークをスコープで位置計測して、レーザ干渉計による平面ミラー形状計測データを校正する。 （もっと読む）

【課題】構成簡易でアライメント調整を容易に行うことができ、かつ平行平面ガラス等の被検体を測定するのに適した光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】照明用光束を出力する照射部１と被検体７との間に、第１のハーフミラー２と第２のハーフミラー３を互いに略平行に配置し、被検体７の表面７１からの被検光と、照射部１から出力され第１のハーフミラー２を透過した照明用光束のうち、第２の光束分離基準平面３１、第１の光束分離基準平面２１、および第２の光束分離基準平面３１で順次反射され、さらに第１のハーフミラー２を透過して照射部１に戻る参照光との光路長合わせを、第１および第２のハーフミラー２、３間の距離を調整することにより行う。 （もっと読む）

【課題】目標となる投射方向へ正しく光線を発射することができるレーダ装置での投光装置を提供することである。
【解決手段】上記レーザダイオード３１より放射した投射光６１の投射方向が、アクチュエータ４０で移動される投射レンズ３７により設定される。この投射レンズ３７の位置は、位置検出器４３ａ、４３ｂで検出される。上記投射光６１の投射方向は、スキャナ制御部２５よりアクチュエータ４０が駆動されて投射レンズ３７の移動により追従される。上記スキャナ制御部２５は、投射光６１が所定の方向範囲を走査可能なように、投射レンズ３７を移動させながら、複数の所定方向に対応する位置で該投射レンズ３７を停止するように上記アクチュエータ４０を制御する。 （もっと読む）

【課題】アライメント調整を容易に行うことができるとともに、ノイズ光の発生を抑制しつつ被検光の光量を十分に確保して被測定放物面の形状を高精度に測定し得る光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】参照基準板２と被測定放物面４１との間の光路上に球面波生成手段３を配置する。この球面波生成手段３は、被測定放物面４１の焦点位置に配置されるピンホールミラー３１を備えており、該ピンホールミラー３１は、被測定放物面４１に照射された照明用平行光束のうち該被測定放物面４１で反射され、その焦点位置に集光する光束の一部を、波面整形された球面波に変換して反射し被測定放物面４１に向けて出力するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被測定光束の光束断面形状や光束径のばらつき等の影響を受けることなく、被測定光束の平行度を高精度に測定し得る光束平行度測定装置を得る。
【解決手段】コリメートされた被測定光束が入射される非点収差レンズ系２と、４個の光検出領域に分割された受光面３１を有する分割センサ３とが、光軸Ｐ上において互いに共軸に配されるとともに、上記非点収差レンズ系３の前段に、入射された被測定光束の光束周縁部を遮光し得る大きさの円形の開口部を有する絞り手段１が、光軸Ｐ上に共軸に配される。 （もっと読む）

【課題】省スペース化を図りつつ、耐久性を高めることができる移動距離測定装置を提供する。
【解決手段】第１レンズ群保持枠移動距離測定装置５は、第１エンコーダースケール５１と、第１光センサ５２と、第１インタラプター５３と、制御部とを備えている。そして、第１エンコーダースケール５１は、第１レンズ群保持枠１１のスライド移動に伴ってスライド移動するように構成されている。また、第２レンズ群保持枠移動距離測定装置６は、第２エンコーダースケール６１と、第２光センサ６２と、第２インタラプター６３と、制御部とを備えている。そして、第２エンコーダースケール６１は、第２レンズ群保持枠１２のスライド移動に伴ってスライド移動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ＬＥＤ素子周囲に沈降した蛍光体層を有する発光装置の色度バラツキを抑制し、歩留りを向上させることができる発光装置の蛍光体層厚み判定方法および発光装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 蛍光体粒子を透明樹脂に分散させて形成した蛍光体層４を有するデバイスの前記蛍光体層４の厚みを判定する方法であって、蛍光体層４に、レーザ光１４を照射し、レーザ光１４によって蛍光体粒子から励起される蛍光１６の発光領域の面積または蛍光１６の発光強度に基いて蛍光体層４の厚みを判定することを特徴とする蛍光体層厚み判定方法。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器（ＳＬＭ）を使用して（非球形）光学表面のヌルテストを実行するシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】システムは干渉計、光学素子、およびＳＬＭを含む。干渉計は電磁放射を提供する。光学素子は電磁放射を調整して第一放射ビームおよび第二放射ビームを提供する。ＳＬＭは第一放射ビームの波面を成形して光学表面に対応する成形波面にする。成形波面は光学表面に入射しそれによって調整される。光学表面の形状は、光学表面によってマッピングされた成形波面と第二放射ビームとの干渉によって生じる干渉縞パターンに基づいて解析される。システムは、光学表面に対応するヌルコレクタ設計をＳＬＭのための命令に変換する光学設計モジュールも含むことができる。 （もっと読む）

【課題】空調装置で生じた空気振動の、位置計測用のレーザ干渉計のレーザ光軸での位相と、波長センサによる波長検出位置での位相とのずれに起因する補正誤差を低減する。
【解決手段】位置計測システムは、レーザ光の干渉を利用して測定対象の位置を計測するレーザ干渉計と、レーザ光の波長の変化を検出する波長検出器とを有する。そして、位相補正器は、空調装置の空気振動源から波長検出器までの空気振動が伝わる第１経路と、空気振動源からレーザ干渉計の光路までの空気振動が伝わる第２経路との長さの差に基づいて決定された、波長検出器と光路における空気振動の位相差に基づいて、波長検出器で検出される波長変化を補正する。位置計測器は、補正された波長変化に基づいてレーザ干渉計による計測値を補正する。ここで、位置計測システムは、上記第２経路の長さよりも、第１経路の長さの方が短く構成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｚ方向の位置を計測する機構の周囲に影響を抑え軽量化及び高制御性を達成する露光装置、その露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 露光装置は、レチクルステージ１０２である微動ステージ３の底面に直交する第１方向における位置を計測する第１の計測光１６ｃを発射する第１の干渉計としてのＺ干渉計７と、微動ステージ３の底面に設けられる第１のミラーとしての微動Ｚミラー１３と、微動Ｚミラー１３の直下に設けられる第２のミラーとしての反射鏡１６ａとを有し、Ｚ干渉計７から発射された第１の計測光１６ｃを反射鏡１６ａを介して微動Ｚミラー１３へと導く。微動Ｚミラー１３により反射された第１の計測光１６ｃを反射鏡１６ａを介して干渉計７へ戻して微動ステージ３の第１の方向における位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】生成物層スタック上にプリントされたオブジェクトのプロファイルを測定する際に、スタック中の生成物層によって再構成式に組み込まれる自由度の数を低減、または、排除することができる検査装置、リソグラフィ装置等を提供する。
【解決手段】オブジェクトプロファイルの測定に影響を与える１つ以上の生成物層の不明なパラメータが生じないように、層上にあるスキャトロメトリオブジェクトのプロファイルを測定する前に１つ以上の生成物層の厚さが測定される。実施形態においては、直前に露光された生成物層の自由度のみが各測定工程において不明な状態となるように、複数の生成物層における各層が、露光される際に測定される。複数の生成物層における各層が測定された後で、かつスキャトロメトリオブジェクトが層の最上部にあるとき、該スキャトロメトリオブジェクトの自由度のみが不明であり、オブジェクトのプロファイルのみ測定する必要がある。 （もっと読む）

【課題】被検査体であるカラーフィルタなどの表示部材の表面に発生するムラ（スジムラ）の周期性の有無の判断が可能な検査装置を実現する。
【解決手段】本発明の検査装置は、表示部材の光照射されている検査対称面を撮像して得られた撮像画像データに基づいて、該表示部材の検査を行う検査装置において、上記撮像画像データに含まれる光分布情報に対して、任意の方向を投影方向として一次元投影処理を行う一次元投影処理回路１１０と、上記一次元投影処理回路１１０によって一次元投影処理された光分布情報の周期解析を行う周期解析処理回路１２０とを備えていることで、周期解析結果から、撮像画像における投影方向の光分布の周期を判断することができる。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタなどの被検体の分光計測領域を正確に設定することが可能で、被検体の分光情報を正確に把握できる顕微鏡測定装置を提供する。
【解決手段】被検体Ｂ上に結像した微小スポットからの反射光の分光測定を行う顕微鏡測定装置である。反射光の光路に光を入光させる計測領域表示光源５０を備え、被検体Ｂ上に計測領域表示スポットＳを結像させる。制御手段３８は、照明光又は透過光を被検体Ｂに投射して計測領域表示スポットＳが映った画像Ｉを捉える画像取得手段３１と、この画像取得手段３１の画像Ｉに基づいて被検体Ｂに対する計測領域表示スポットＳの相対位置を検知して、上記移動手段１１にて計測領域表示スポットＳが被検体Ｂの所定の位置に結像するように移動させる画像処理手段３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】計測時間の短縮、ドリフト誤差低減等を図り被検物の絶対形状を効率よく計測する干渉計測方法、干渉計、これを用いる露光装置、その露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の干渉計測方法を実施し、露光装置、デバイス製造方法に用いる干渉計は、被検物１の代りとなるダミー真球２の全ての球面に被検光が当たるようにダミー真球２を回転する第１の回転機構４と、ランダムに回転するダミー真球２を第１の回転機構４とともに光軸周りに回転する第２の回転機構５と、参照光を形成する参照面の形状誤差を演算する第１の演算手段と、参照面の形状誤差に基づき被検物１の真の形状を演算する第２の演算手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】変位の測定にホモダイン式のレーザ干渉計を使用した追尾式レーザ干渉計における、トラッキングエラーが増加すると変位の測定とＳＮ比が低下するという問題点を解決する。
【解決手段】レトロリフレクタ１０８に入射するレーザビームの光軸と、レトロリフレクタ１０８の中心位置との間の距離をトラッキングエラー量ΔＴｒとして検出し、検出されたトラッキングエラー量ΔＴｒから、干渉計１０７で変位の測定に用いるリサージュ信号の振幅を一定に保つためのレーザビームの光量の調整量を求め、前記トラッキングエラー量ΔＴｒに応じて、レーザビーム光量を調整する。 （もっと読む）

【課題】電源再立上げ時でも高精度な位置決め精度を発揮することができる光学要素の保持装置及びそれを備えた露光装置を提供する。
【解決手段】レンズＬＥを光軸方向に駆動させる駆動機構７１と、レンズＬＥの位置を計測するレンズ位置検出手段７２と、を有する光学要素の保持装置であって、レンズ位置検出手段７２は、レンズＬＥの光軸方向における相対位置を計測するインクリメンタル式垂直変位検出センサ７２２と、レンズＬＥの絶対位置を計測するアブソリュート式垂直変位検出センサ７２１と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

運動感応性機器（１０）、例えば、電子ビームリソグラフィ機械は、光学測定システムを備え、光学測定システムは、参照平面（Ａ）において機器の位置を測定して、該平面における機器の意図されない変位、例えば、前記リソグラフィ機械の普通なら固定された電子ビームカラム（１１）の下方端の熱誘導シフトを検出するように動作する。システムは、ガラス材料の一体形プレート（１７）を備え、一体形プレート（１７）は、レーザまたは他の測定用光ビームを反射するための、高い光学精度を有する、互いに直交する２つの反射面（１９）を備える。プレート（１７）は、複数のマウント（１８）によって機器（１０）上に調整可能に且つ着脱自在に搭載され、複数のマウント（１８）は、平面（Ａ）に対する面（１９）の正確な設定を可能にし、また、所望に応じてプレートの取外しを可能にする。マウント（１８）は、割れを生じる可能性がある応力の生成を防止するようにプレート（１７）を締結するよう設計される。
（もっと読む）

【課題】非駆動方向に変位が生じても正確に補正することができる光学要素の保持装置並びにその調整方法及びそれを備えた露光装置を提供する。
【解決手段】レンズＬＥを駆動させる駆動機構７１と、レンズＬＥの位置を計測するレンズ位置検出手段７２と、を有する光学要素の保持装置であって、レンズ位置検出手段７２の位置検出パラメータ数は、駆動機構７１の駆動方向パラメータ数より多いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光量調節を容易に行うことができ、スペースの制約を受けない干渉光学系、計測装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】第２偏光板４２に入射する出力光Ｌが第１偏光板４１によって所定方向に偏光された状態になっているので、当該所定方向に対して第２偏光板４２の偏光方向を調整することにより、出力光Ｌの光量を調整することができる。これにより、出力光Ｌの光量の調整を容易に行うことができる。また、第１偏光板４１と第２偏光板４２と集光部４３とが一体的に構成されているので、これらの部材をコンパクトに配置することができる。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の傾きが変更可能に構成されたミラーシステムの偏向特性を短時間かつ高精度に測定することを目的とする。
【解決手段】ミラー面１１に測定光２８を照射する測定用光源１４と、測定用光源１４から照射された測定光２８がミラー面１１で反射することにより形成された反射光１３が投射光点として投射される投射部１７と、反射光１３が投射光点として投射された投射部１７を撮像する撮像部１８と、ミラー面１１の傾きを制御する制御部３１と、撮像部１８によって撮像された投射部１７の画像に基づいて、制御部３１によって制御されたミラー面１１の傾きの変更に伴って移動する投射光点の移動量を測定する測定部３３とをそなえたことを特徴とする。 （もっと読む）