【課題】イメージセンサにおける中心受光素子の位置とイメージセンサー上における光軸中心の位置との間の距離を低コストでしかも迅速かつ容易に測定する。
【解決手段】画像データＤ１に基づいてイメージセンサにおける中心受光素子の位置とイメージセンサー上における光軸中心の位置との間の距離を測定する測定部を備え、画像データＤ１の画像上において横方向（第１の方向）に沿って繋がる第１画素群に属する各画素Ｐ１〜Ｐ２についての第１輝度情報、および縦方向（第１の方向に対して交差する第２の方向）に沿って繋がる第２画素群に属する各画素Ｐ３〜Ｐ４についての第２輝度情報をそれぞれ取得する輝度情報取得処理と、両輝度情報に基づいてイメージセンサ上における光軸中心（画素Ｐｘ）の位置を特定する中心位置特定処理と、画像における中心画素Ｐｃの位置を中心受光素子の位置として距離を測定する測定処理とを実行する。 （もっと読む）

【課題】 透明ばかりでなく非透明な被検査体の３次元形状測定が可能である表面形状計測装置および表面形状計測方法の提供。
【解決手段】 撮像素子と被検査体の間にコヒーレント光照射素子、非コヒーレント光照射素子、および、光分配素子を被検査体上部に配置することにより元画像、および、回折画像を非常に効率よく取得でき、位相回復法により、２次元ばかりでなく３次元形状測定を可能とする表面形状計測装置および表面形状計測方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンの方向が分からなくても高感度な欠陥検査を行う。
【解決手段】 被検基板の表面に形成された繰り返しパターンを直線偏光により照明する手段と、直線偏光の振動面の方向と繰り返しパターンの方向との成す角度を任意の角度φに設定して、繰り返しパターンから発生した正反射光のうち直線偏光の振動面に垂直な偏光成分の光強度を測定する手段（Ｓ１,Ｓ２）と、上記の成す角度を、角度φとは異なる φ＋４５度 , φ−４５度 , φ＋１３５度 , φ−１３５度 の何れかの角度に設定して、繰り返しパターンから発生した正反射光のうち直線偏光の振動面に垂直な偏光成分の光強度を測定する手段（Ｓ３,Ｓ４）と、測定された各々の光強度を加算して、加算後の光強度に基づいて、繰り返しパターンの欠陥を検出する検出手段（Ｓ５,Ｓ６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンの複数種類の欠陥に対して十分な検出感度を確保できる表面検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体２０の表面に形成された繰り返しパターンを照明し、繰り返しパターンの形状変化による正反射光Ｌ２の強度の変化を測定する第１測定手段(１３〜１５)と、繰り返しパターンを直線偏光により照明し、繰り返しパターンの繰り返し方向と直線偏光の振動面の方向との成す角度を斜めの角度に設定し、繰り返しパターンの形状変化による正反射光Ｌ２の偏光状態の変化を測定する第２測定手段(１３〜１５)と、第１測定手段と第２測定手段との各々が繰り返しパターンを照明する際に用いる光Ｌ１の波長を異なる波長に設定する設定手段(４４〜４６)とを備える。 （もっと読む）

【課題】 物体を照明する際の照明テレセンのバラツキを評価できる照明光学系の評価方法および調整方法、並びに位置検出装置を提供する。
【解決手段】 評価対象の照明光学系１４−１９，４０を用い、物体の光像を形成する結像光学系１８−２３の物体面の所定領域に、照明光Ｌ１を照射する。所定領域に照明光が照射された状態で、該所定領域内の異なる複数の評価地点に段差の異なる２種類の評価マークを順次または同時に位置決めし、各々の評価地点に位置決めされた評価マークの画像を結像光学系を介して取り込む。画像に含まれる評価マークの明暗情報に基づいて、各々の評価地点における照明光の主光線の傾斜情報を生成する。高段差の評価マークの段差ｈ₁は、照明光の中心波長λおよび結像光学系の物体側の開口数ＮＡに対して、次の条件式「(λ/ＮＡ²) ＜ ｈ₁ ＜ ３(λ/ＮＡ²)」を満足する。 （もっと読む）

【課題】光学系の開口絞りの位置を高精度に計測することができる計測方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学系の開口絞りの位置を計測する計測方法であって、前記光学系の瞳位置と光学的に共役な位置において、前記開口絞りを通過した光の光強度分布を測定するステップと、前記測定ステップで測定された前記光強度分布の回折縞に基づいて、前記光学系の開口絞りの位置を決定するステップとを有することを特徴とする計測方法を提供する。 （もっと読む）

エージングを相対的に小さい程度しか受けない検出回路を提供すること。ジョイスティックのような可動物体の動きを検出するための検出回路には、ソースからの光点を検出するための検出ユニットであって、当該位置での前記光点が当該動きに依存する検出ユニットを備える、可動物体の動きを検出するための検出器と、検出ユニットを較正するための参照検出ユニットを備える、エージング／工程の変動を補償するための参照検出器とが設けられる。第一に、xまたはyの動きを検出するための検出器は、ジョイスティックの位置に依存して光点の範囲内に部分的に位置し、かつ参照検出器は、この時、ジョイスティックの位置から独立して光点の範囲内に完全に位置する。第二に、zの動きを検出するための検出器は、ジョイスティックの位置から独立して光点の範囲内に完全に位置し、かつ参照検出器は、この時、ジョイスティックの位置から独立して光点の外側に完全に位置する。
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【課題】最適な測定特性を有するが、断面が少なくとも１つの空間方向において可能な限り小さな寸法を有する測定ヘッドを有する装置の実現。
【解決手段】曲面26の非接触測定のための装置であって、(a)連続したスペクトルを有する光を生成する光源と、(b)光源に対応する光出口面と、(c)光出口面を投影するための色収差を有する光投影システムを有する測定ヘッド10と、(d)光システム22を通して測定される表面に向けられ及びそこから反射される光のスペクトル強度分布を記録する光スペクトル装置と、(e)光システムと表面の間の距離が記録された強度分布が部分的な最大値を有する各波長に対応付けることができるようにする評価ユニットと、を備え、測定される表面26がX方向では平坦であり、光システム22の光軸はX方向において表面26に垂直で、光軸24に対して垂直なこのX方向において光システム22の幅が小さくされている。 （もっと読む）

【課題】大型の基板を検査する場合においても、構成が簡単で高コスト化を招くことなく、検査者が基板に近づいて観察可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】光を基板２に照射するマクロ照明部１と、光が基板２に照射されるように基板２を保持する基板保持部４とを備える外観検査装置Ａにおいて、基板保持部４は、基板２の表面２ａが略垂直となるように基板２を保持するものとされ、マクロ照明部１は、検査者７が基板２からの反射光または透過光を観察可能な観察台３が設けられ、基板保持部４に基板１が略垂直に保持された状態で、マクロ照明部２と観察台３とが基板面に沿って二次元方向に相対移動可能とされている。 （もっと読む）

【課題】ミラーキューブの一回の設置で法線軸直交度を測定する。
【解決手段】回転角度を調整可能な鉛直軸回りに回転する水平なステージ２の上に、隣り合う３つのミラー面１ａ，１ｂ，１ｃの各法線軸が水平面から略同角度になるようにミラーキューブ１を保持する。そして、第１のミラー面をセオドライト５でコリメーションし、セオドライトのアジマス角をリセットして、ステージの回転角度とエレベーション角を測定する。同様に、第２，第３のミラー面がセオドライトでコリメーションできるようにステージを水平面でそれぞれ120度回転させてステージの回転角度とエレベーション角を調整する。得られたステージの回転角度とエレベーション角に基づいてミラーキューブの法線軸直交度を確認する。 （もっと読む）

一態様において、本発明は、干渉計測アセンブリに相対的に測定物体を移動させながら３つの異なる測定軸のそれぞれにそって干渉計測アセンブリと測定物体との間の距離を干渉計測法により監視すること、測定軸に非平行な回転軸に関して測定物体の配向角度を監視すること、測定物体の異なる位置に対する、与えられた位置について３つの異なる測定軸のそれぞれにそった測定物体の距離に基づくパラメータの値を決定すること、少なくともそれらのパラメータ値の周波数変換から測定物体の表面形状プロファイルに関する情報を導き出すことを含む方法を特徴とする。情報を導き出すことは、所定の情報に基づき誤差の配向角度を補正すること、測定物体の運動中に監視された配向角度のバラツキを説明することを含む。
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【課題】より有利なコストで製造することができ、より簡易かつ小型の構造を有する光学式検知装置を提供する。
【解決手段】第１及び第２部分部材１６、１８と、光学式検知装置を、パネル２２のうち対向する片面、特に、自動車のワイドスクリーン、に連結するための結合面２０と、を有する光伝導体構造、を備え、更に、光ビームを第１部分部材１６に接続する光学式送信部１０と、第２部分部材１８から出射する光ビームを受ける光学式受信部１２と、光学式送信部１０及び光学式受信部１２が配置されたプリント回路基板１４と、を含む。プリント回路基板１４は、結合面２０に対して平行に配置され、光学式送信部１０の中心光２８が、結合面２０に対して垂直に第１部分部材１６内へ入射し、結合面２０に対して垂直に第２部分部材１８から出射するように、光伝導体構造は構成されている。 （もっと読む）

【課題】放射光施設で用いられる硬Ｘ線、軟Ｘ線を集光させるため平面ミラーあるいは平面に近い形状の曲面ミラーを、特に楕円形状や円筒形状で１×１０^-4radを超える急峻な形状の被測定物を、ナノ若しくはサブナノオーダーの精度で超精密に測定できる超精密形状測定方法を提供する。
【解決手段】フィゾー型干渉計による全体形状データを用いて、マイケルソン型顕微干渉計による複数の顕微測定データをスティッチングして全体形状を測定する。被測定曲面と基準平面をフィゾー型干渉計で同時に計測し、参照面に対して被測定曲面と基準平面を同時に順次傾けて、被測定曲面よりも狭い領域の部分形状データを複数取得すると同時に、部分形状データ間の相対角度を基準平面の傾け角として計測し、隣接する部分形状データを傾け角と重合領域の一致度を利用してスティッチングして全体形状データを得る。 （もっと読む）

【課題】櫛歯より形成が容易な単純な位置合わせマークを用いて、アライメントずれを容易に、且つ、定量的、高精度に評価する。
【解決手段】位置合わせ対象の一方（２４）に、位置合わせ方向に垂直な一対のエッジを持つ位置合わせマーク（４６）を設けると共に、位置合わせ対象の他方（２８）に、前記エッジによって一部が遮蔽される一対の受光素子（４２ａ、４２ｂ）（４２ｃ、４２ｄ）を設ける。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの外形精度には関係なく、正確な検査領域を決定できる液晶パネル検出装置を提供する。
【解決手段】液晶パネル１２を載置するステージ１８と、液晶パネルの裏面から光を当てる照明装置２０と、照明された液晶パネル１２を撮影するＣＣＤカメラ２２と、撮影した画像からブラックマトリックス３８の内周側を検出し、その検出位置から検出領域を決定し、その検出領域に基づいて液晶パネル１２の割れ、欠け等を検査する制御部２４とよりなる。 （もっと読む）

【課題】客観的かつ正確であって、しかも被検物が実装される光学製品に対応した良否判定を実現する判定基準を設定可能な光学部材検査装置における判定基準設定方法を提供すること。
【解決手段】判定基準設定方法は、光学部材を撮像した画像に基づき、該光学部材の良否判定を自動的に行う光学部材検査装置における判定基準設定方法であって、光学部材を含む光学製品において、点像を形成する光束の光学部材における光束径を算出する光束径算出工程と、光学製品を介して生成される画像に関する輝度情報と、光束径算出工程により算出された光束径を用いて、光学製品を構成する光学部材として許容される欠陥径を算出する欠陥径算出工程と、欠陥径算出工程により算出された欠陥径に対応する、光学部材検査装置における欠陥に関する計測値を判定基準として設定する判定基準設定工程を含む。 （もっと読む）

各々が入力放射から第１の波面及び第２の波面を導出し、かつ、第１及び第２の波面を合成して第１及び第２の波面の経路間の光路長の差に関する情報を備える出力放射を供給するように構成された複数の干渉計を含み、各々が第１の波面の経路内に位置決めされた反射素子を備え、干渉計の少なくとも１つの反射素子が、第１の物体上に取り付けられるシステムを開示する。本システムは、また、複数のファイバ導波路及び電子制御装置を含む。各ファイバ導波路は、入力放射を対応する干渉計に送出するか、又は、出力放射を対応する干渉計から対応する検出器に送出する。電子制御装置は、干渉計の少なくとも１つからの情報に基づいて、第２の物体に関する第１の物体の絶対変位をモニタする。
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光（光学）ビームステアリング／サンプリングシステムにおいて、マトリックス反転制御技術が、ステアリングミラーを駆動するアクチュエータの動作をデカップリングするために用いられる。制御技術は、２つの仮想の変数を用い、その各々は非クロス結合の状態で動作する関連する独立のフィードバックループを有し、各変数は２つのステアリングミラーのうちの１つに関係する。本装置は、ステアリング反射器、ビームスプリッタ、検出器を備えている。
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【課題】スキャナの駆動特性の評価装置及びその評価方法を提供する。
【解決手段】ビームを照射する光源１０１と、光源とスキャニングミラー１００との間に配置されスキャニングミラー上に焦点を有する対物レンズ１０９と、スキャニングミラーで反射されて対物レンズを透過した反射ビームを受光して、スキャニングミラーの回転角の変化を感知する位置感知素子１１５と、位置感知素子で感知された信号を処理する信号処理部１２１、１２５とを備え、スキャニングミラーの回転角の変化にかかわらず反射ビームを光源から照射されて対物レンズに入射されるビームに対して平行なビームにする。 （もっと読む）

【課題】光干渉法を用い、プロジェクションスクリーンに用いるプリズムアレイのプリズム形状を精度よく測定することが可能なプリズムアレイの形状測定方法を提供する。
【解決手段】プリズム面に光を拡散させる粒子を付着させ、その後、前記粒子が付着したプリズム面に向けて光ビームを投射し、粒子からの拡散光のうち光ビームの光源側に戻ってくる拡散光成分を用い、プリズム形状を測定する。 （もっと読む）