【課題】黒鉛等のように赤外線の吸収量が大きい素材や、基材の素材と赤外線の吸収量に対して同じような性質を有する素材によって形成された膜の厚さであっても測定することができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】被測定対象Ａの加熱面ＨＳにおける温度の時間変動特性と、温度測定手段によって測定された被測定対象Ａの加熱面ＨＳの温度とに基づいて、被測定対象Ａの膜厚Ｄを算出する演算手段５とを備えており、温度測定手段がガルバノミラー走査型の赤外線サーモグラフィ２であり、演算手段５は加熱手段１０による加熱によって被測定対象Ａの加熱面ＨＳの温度上昇が開始したタイミングを算出する加熱タイミング検出部６と、加熱タイミング検出部６によって検出された被測定対象Ａの加熱面ＨＳの温度上昇開始タイミングＴ０と、被測定対象Ａの加熱面ＨＳの温度に基づいて、被測定対象Ａの膜厚Ｄを算出する膜厚算出部７とを備えている。 （もっと読む）

分離した光周波数を有する互いに直交する直線偏光した２つの成分を含む直線偏光光線が、膜の方に向けられ、その結果、その成分の膜の中の光路の増加によって、一方の光学的な偏光成分が他方に遅れることとなる。一対の検出器は、膜層から反射されたビームを受け取り、膜層に入射するのに先立って測定信号及びビームを発生し、それぞれ参照信号を生成する。測定信号及び参照信号は、位相シフトのために、位相検出器によって分析される。そして、検出された位相シフトは、膜厚の結果のために厚さ計算機に供給される。
格子干渉計は、格子を有するヘテロダイン反射率計システムに含められ得る。それは、０次及び１次のバンドに反射されたビームを回折させ、それは、別個の検出器によって検出される。検出器は、０次ビームを受け取り、別の測定信号を生成する。別の検出器は、１次のビームを受け取り、格子信号を生成する。格子及び参照信号からの測定信号は、位相シフトのために位相検出器によって分析され得る。それは、膜の厚さと関連している。さらに、ゼロ次ビーム測定信号は、格子信号によって、格子によって引き起こされた格子位相シフトを検出するために、位相検出器によって分析される。膜の屈折率は、格子ピッチに対する格子位相シフトとヘテロダイン位相シフト、及び、測定装置の膜の上のビームの波長及び入射角から直接計算され得る。膜厚は、屈折率とヘテロダイン位相シフトを用いて決定される。逆に、膜厚計算は、実際の補正された格子位相シフトと補正されたヘテロダイン位相シフトとからの膜の屈折率を用いて独立して導かれ得る。 （もっと読む）

【課題】塗膜顔料の鏡面反射及び表面粗さを定量評価する。
【解決手段】白色光源から白色光を塗膜表面に照射し、ＣＣＤカメラ１２で受光する。ＣＣＤカメラ１２は、正反射角（塗膜の鏡面反射角）から２°開いた角度をスタート角度とし、所定の角度範囲において順次撮影してコンピュータ１４に供給する。コンピュータ１４は、任意角度における撮影画像から最大輝度ピクセルを抽出し、そのピクセルにおける変角輝度分布を算出して鏡面反射率パラメータｋｓ及び表面粗さパラメータσ２を算出してプロットする。 （もっと読む）

【課題】
微細なパターンを高い分解能で検出する欠陥検査方法、その装置及び半導体基板を高歩留まりで製造する方法を提供する。
【解決手段】
Ｘｅランプ３、楕円鏡４、マスク５とからなる輪帯状の照明を形成するランプハウス２４は、輪帯状の照明光を、ＸＹＺステージ２上に載置された微細パターンを形成したウエハ（被検査対象物）１を、コリメータレンズ６、光量調整用フイルタ１４及びコンデンサレンズ７を介して、円又は楕円偏光変換素子により円又は楕円偏光させて、対物レンズ９を介して照明し、その反射光をハーフミラー８ａ、８ｂ、ズームレンズ１３を介し、反射光の画像をイメージセンサ１２ａにより検出する。ステージＸＹＺを移動させ、センサ１２ａにより走査し画像信号を得る。この画像出力をＡ／Ｄ変換器１５ａにより変換して基準画像と比較して不一致を欠陥として検出するものである。 （もっと読む）

試験対象物の第１の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することを含む方法であって、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化される方法。複数のモデルに対応する情報は、試験対象物の各モデルに対応する走査干渉分光信号の変換分（例えば、フーリエ変換分）の少なくとも１つの振幅成分についての情報を含んでもよい。第２の側面では、モデルは固定された表面高さに対応するとともに、固定された表面高さとは異なる一連の特性によってパラメータ化されている。第３の側面では、比較は、走査干渉分光信号の系統的な影響を明確にすることを含む。 （もっと読む）

【課題】フラットディスプレイパネルの塗布膜の表面形状を短時間で、かつ低コストに検査できるようにする。
【解決手段】光照射手段（光ファイバ２８）とフレネルレンズ３０と撮像手段（エリアセンサーカメラ２４）とを有する光学系３１を用いて、基板２１上に形成された塗布膜２２の表面形状の検査を行うものであり、光照射手段から放射されてフレネルレンズ３０を通過させた光を塗布膜２２に照射し、そのときの反射光を撮像手段で撮像し、この撮像により得られた画像の階調分布を解析して前記検査を行う際に、前記画像から光学系３１の特性によって生じる階調変化を除去するための画像処理を行う。 （もっと読む）

試験対象物の第１の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することを含む方法であって、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化される方法。比較される導出可能な情報は、試験対象物の第１の箇所における走査干渉分光信号の形状に関する。
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【課題】基板の部分的な傾斜や振動の影響を受けることなく安定に薄膜の膜厚測定ができる薄膜の膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】薄膜の膜厚測定装置は、光源１と、光源１からの光を基板３上の複数箇所（ここでは２箇所）に導き、それぞれの箇所における基板３からの反射光を受光する分岐型光ファイバ２と、基板３の複数箇所に導く入射光と、基板３の複数の反射光とを選択的に遮断する光制限シャッタ４と、分岐型光ファイバ２によって導かれた反射光を波長ごとの光強度に分解する分光器５と、波長ごとの光強度を解析して薄膜の膜厚を算出する計算機６とを含む。光源１には、たとえば可視光線波長域（４００〜８００ｎｍ）に近い波長域（４００〜８５０ｎｍ）を有するハロゲンランプを用いる。ただし、他のランプをハロゲンランプと同一の光源室内または別の光源室内に設けてもよい。 （もっと読む）

【課題】膜面の傾斜、基板の厚みの影響を考慮し、精度良く膜厚値を求めることが出来、しかも、膜の屈折率が既知であることを前提としない膜厚測定方法、膜厚測定プログラムを提供すること。
【解決手段】膜面の傾斜、基板の厚みの影響を考慮した分光反射率モデルを作成し、このモデルと実測分光反射率との比較演算をすることで精度良く膜厚値を求める。屈折率の波長分散式モデルから反射率の第１段階の理論曲線、第２段階の理論曲線を作成し、第２段階の理論曲線と、実測分光反射率データの平均二乗誤差が最小となるときの膜厚値を求める膜厚の測定結果とする。 （もっと読む）

【課題】 目視測定を行わずに隠蔽膜厚を得ること。
【解決手段】 本発明は、（ｉ）白色被塗物および黒色被塗物の分光反射率を測定する工程、（ｉｉ）塗料を前記被塗物に塗布して塗膜を形成する工程、（ｉｉｉ）白色被塗物および黒色被塗物を下地にした塗膜の分光反射率を測定する工程、（ｉｖ）塗膜の膜厚を測定する工程、（ｖ）工程（ｉｖ）で得られる膜厚ならびに工程（ｉ）および（ｉｉｉ）で得られる分光反射率から、白色被塗物および黒色被塗物を下地にした任意の膜厚（Ｘ_{ｉ＝1,2,3…}）を有する塗膜の分光反射率をアルゴリズムを用いて求める工程、ならびに（ｖｉ）工程（ｖ）で得られる任意の膜厚を有する塗膜の分光反射率から、白色被塗物および黒色被塗物を下地とする任意の膜厚の塗膜の色差ΔＥを求める工程を含んで成り、色差ΔＥと任意の膜厚との相関関係から隠蔽膜厚を推定することを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、スキャタロメータに係る。スキャタロメータは、試料の面に対して方向付けられるべき入射光ビームを与える源と、かかる入射光ビームを試料の面に向かって異なる角度で方向付ける手段を有する。スキャタロメータは、更に、入射光ビームの反射を受けるスクリーンと、反射光ビームによってスクリーンに投影された散乱プロファイルを記録するカメラを有する。スキャタロメータは、スクリーンを動かし反射光ビームに留まるようにする手段と、カメラを動くスクリーンに対して方向付け続ける手段を与えられる。
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【課題】 ＥＵＶミラーの母材自身では反射率が低い場合が多く、光を使った母材の形状測定の際に、その光量およびコントラストを得ることが困難であった。また、複数枚での評価の際は、反射率が確保できない場合は測定不可能であった。
【解決手段】 反射用の膜を母材に成膜することにより、測定精度を落とさず測定することが出来る。 （もっと読む）

【課題】 どのような形状の検査対象に対しても非破壊でその表面に形成された薄膜の状態を判定できる薄膜検査装置および薄膜検査方法を提供する。
【解決手段】 照射部２から照射された測定光は、積分球２２を通過して、検査対象へ入射する。そして、測定光は、検査対象の基部５２または薄膜５４で反射する。さらに、その反射光は、積分球２２へ入射し、積分球２２内で均一化される。その後、均一化された反射光は、光ファイバ１０を介して分光部１２へ導かれる。分光部１２は、反射光を波長順に分光し、強度スペクトルに応じた電気信号を演算処理部１４へ与える。演算処理部１４は、分光部１２から受けた電気信号に基づいて、検査対象の表面に形成された薄膜５４の状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】
透明基板上に堆積させた透明膜や吸収膜の誘電率テンソルと膜厚を同時に決定できるように改良したラングミュア・ブロジェット膜の膜厚と誘電率分散の同時決定方法を提供する。
【解決手段】
入射面および入射角と偏光状態を変えて基板の透過スペクトルを測定して測定データを得る第１のステップと、入射面および入射角と偏光状態を変えて上記基板の反射スペクトルを測定して測定データを得る第２のステップと、前記第１のステップと同じ条件で上記基板に薄膜を付着させた試料の透過スペクトルを測定して測定データを得る第３のステップと、前記第１のステップと同じ条件で上記試料の反射スペクトルを測定して測定データを得る第４のステップと、上記の各ステップで得られた測定データに最小二乗法による演算処理を実行して膜厚と光学的周波数領域における異方的な誘電率の値及びその分散誘電率を共に決定する第５のステップとからなる。 （もっと読む）

【課題】基材に塗工を行って形成される被膜において膜厚変動をともなう欠陥を検出する被膜検査装置と被膜検査方法を提供する。
【解決手段】走行する基材に形成された被膜の表裏面で反射した光が干渉するように照明する照明手段と、走行方向に対して直角方向の直線状の被膜における光が干渉する領域からの反射光を撮像する撮像手段と、その撮像手段によって検査基準を撮像して得た基準ラインデータと検査対象を撮像して得た検査対象ラインデータとの差異に基づいて被膜の欠陥を検出する処理手段を具備するようにした被膜検査装置およびその装置に適用された被膜検査方法。 （もっと読む）

【課題】 表面が粗い導電性基体上に形成された下引き層の膜厚が制御された感光体を製造することが可能な感光体の製造方法。
【解決手段】 浸漬塗工法を用いて、十点平均粗さが０．７μｍ以上１．２μｍ以下である導電性基体に塗液を塗布する工程と、形成された湿潤状態の膜に入射光を膜に対して垂直に入射させ、膜の表面で反射された光と、導電性基体の表面で反射された光との干渉により得られる反射光を分光して、分光された反射光の光量を検出し、分光スペクトル強度が極小及び極大となる波長を求め、分光スペクトル強度が極小及び極大となる波長並びに膜の屈折率を用いて膜の膜厚を測定する工程を有し、測定された膜厚に基づいて、塗液を塗布する条件を制御することにより感光体を製造する。 （もっと読む）

【課題】開口数の大きい対物レンズにより収束させた照明光を使用しても、取得した分光反射率データの極大波長、極小波長から、厳密な垂直入射時と同等な精度で膜厚値を求める膜厚測定方法を提供すること。
【解決手段】ピークバレー法により算出した膜厚値は、対物レンズの開口数に応じた照明光の斜入射の影響を含む膜厚値であるという仮定のもとに、ピークバレー法により算出した膜厚値を補正して真の膜厚値とする。補正はピークバレー法により算出した膜厚値に、θ₂／ｓｉｎθ₂（≧１）を補正係数として掛けること。 （もっと読む）

【課題】偏光解析装置及び分光光度計により算出されるデータと測定値の一致を向上させる。
【解決手段】偏光解析装置及び分光光度計を有する光学測定システムが較正され、先ず偏光解析装置と分光光度計が互いに独立して較正される。次いで、試料の分光光度計の層厚（ｄ_{ｐｈｏｔｏ}）が分光光度計を用いて初めの入射角（θ_ｉｎｉｔ）で決定される。次いで、試料の偏光解析装置の層厚（ｄ_ｅｌｌｉ）が偏光解析装置を用いて決定される。分光光度計の層厚（ｄ_{ｐｈｏｔｏ}）と偏光解析装置の層厚（ｄ_ｅｌｌｉ）の差の絶対値が所定の絶対値より小さくなるまで、初めの入射角（θ_ｉｎｉｔ）を変えることにより分光光度計と偏光解析装置が互いに合わされる。 （もっと読む）

システム（１００）が開示され、当該システムは、（ｉ）検査電磁光線を検査表面（１２４）に、かつ基準電磁光線を基準表面（１２２）に振り向け、次にこれらの電磁光線を合成して干渉パターンを形成するように構成される干渉計であって、電磁光線が共通光源（１０２）から放出される構成の干渉計と、（ｉｉ）マルチエレメント検出器（１３４）と、（ｉｉｉ）干渉パターンを検出器（１３４）に結像させて検出器（１３４）の異なる要素が、検査表面（１２４）を照射する検査電磁光線の異なる照射角に対応するように構成される一つ以上の光学系（１３Ｓ）と、を含む。検出器要素が行なう測定によって、検査表面（１２４）に関する変更解析／反射率データが供給される。開示するシステム（１００）は更に、異なるモード（例えば、形状測定モード）で動作するように再構成することができ、これらの異なるモードでは、検出器（１３４）の異なる要素は検査表面（１２４）の異なる位置に対応する。
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【課題】 特殊な装置を用いることなく、樹脂基材とプライマー層との界面に形成される相溶層の厚さを定量的に数値化できるプライマー形成面の検査方法を提供する。
【解決手段】 樹脂基材とこの表面に形成されたプライマー層との界面付近の断面の画像から、該界面に直交する直線上における輝度プロファイルを取得し、樹脂基材領域Ｅにおける輝度プロファイルの傾きがプライマー層側で変化する変曲点Ｉと、プライマー層領域Ｄにおける輝度プロファイルの傾きが樹脂基材側で変化する変曲点Ｈとの間隔Ｊから、樹脂基材とプライマーとの界面に形成された相溶層の厚さを求めるプライマー形成面の検査方法。 （もっと読む）