システム（１００）が開示され、当該システムは、（ｉ）検査電磁光線を検査表面（１２４）に、かつ基準電磁光線を基準表面（１２２）に振り向け、次にこれらの電磁光線を合成して干渉パターンを形成するように構成される干渉計であって、電磁光線が共通光源（１０２）から放出される構成の干渉計と、（ｉｉ）マルチエレメント検出器（１３４）と、（ｉｉｉ）干渉パターンを検出器（１３４）に結像させて検出器（１３４）の異なる要素が、検査表面（１２４）を照射する検査電磁光線の異なる照射角に対応するように構成される一つ以上の光学系（１３Ｓ）と、を含む。検出器要素が行なう測定によって、検査表面（１２４）に関する変更解析／反射率データが供給される。開示するシステム（１００）は更に、異なるモード（例えば、形状測定モード）で動作するように再構成することができ、これらの異なるモードでは、検出器（１３４）の異なる要素は検査表面（１２４）の異なる位置に対応する。
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【課題】 被対象物の各反射面の形状や膜厚の分布を、二次平面上で精密に測定することができる薄膜形状測定方法および薄膜形状測定装置を提供する。
【解決手段】 パソコン62は、電気的に変換された干渉信号Ｓ（ｔ）から得られた処理信号の値と、理論式である処理信号の値との差の二乗和を誤差関数Ｈとし、この誤差関数Ｈを最小にすることで、理論式に含まれている被対象物50の各反射面に関する変調振幅Ｚ_biと位相α_iを推定する。この変調振幅Ｚ_biと位相α_iの推定値から、被対象物50の各反射面の位置が求められ、従来のような機械的な誤差要因を排除して、被対象物50の各反射面の形状を二次平面上で精密に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】基板に薄膜を堆積する際の薄膜の応力を求め、引き続きライン構造に係る応力を同定する精度の良い方法を提供する。
【解決手段】薄膜が堆積される前の基板の曲率を計測し、薄膜が堆積された後の曲率を計測し、測定された曲率の情報から単純な解析関数に基づいて応力を計算して薄膜付着前後の比較を行うことで、曲率計測時の誤差を除去するすることができる。該曲率の情報は、例えば照射領域の全界測定を行えるコヒーレント・グラジエント・センシング法によって光学的に得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 ２つの透明層を有する被検査物について簡単な構成で検査を行うことができる、透明層の検査装置を提供する。
【解決手段】 第１の透明層１２に対して所定の第１の入射角α_１で、照射位置１８ａを変えながら、Ｐ波の第１のレーザビーム２０を照射する、第１の投光部と、第１の透明層１２に照射された第１のレーザビーム２０により、第１の透明層１２で直ちに反射する表面反射光２２と、第１の透明層１２に一端入射した後、第１の透明層１２と第２の透明層１４との界面１３で反射して第１の透明層１２から出射する界面反射光２６との間で発生させた干渉光の強度又は干渉縞を検出して信号を出力する干渉光受光部と、第１の投光部が照射する第１のレーザビーム２０の照射位置１８ａと、干渉光受光部から出力される信号とに基づいて、第１の透明層１２の不均一部分を検出する第１の検出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 検査装置を複雑化および大型化することなく短時間で、数十ｎｍ〜数百ｎｍ程度の分解能で膜厚差を検出するための検出方法および検出装置を提供する。
【解決手段】 本発明の膜厚差検出装置である画像処理装置１０６は、カラーフィルタ表面を所定の傾斜角度で光照射した状態で撮像して得られた撮像画像情報を分析して、各領域におけるカラーフィルタの輝度差を算出する撮像画像情報分析部１０と、上記撮像画像情報分析部１０によって算出された輝度差と外部から得られる膜厚差参照情報とからカラーフィルタにおける膜厚差を推定する膜厚差推定部２０とを備えているので、簡単な構成で、高分解能で膜厚差を検出することができる。 （もっと読む）

基板上の少なくとも１部分に製品を形成するためのインテリジェント被覆システムが開示される。インテリジェント被覆システムは、被膜塗布冶具、厚みモニタ、多軸デバイス、および選択が随意な少なくとも１つの制御器を含む。厚みモニタは、被膜塗布冶具の操作によって形成された基板上の製品の少なくとも１部分の厚みを測定し、被覆システムをインテリジェント被覆システムに変換することが可能である。多軸デバイスは、被膜塗布冶具と基板の少なくとも１部分との相対運動を容易にする。少なくとも１つの制御器は少なくとも１つの厚みモニタと情報の授受を行う。 （もっと読む）

【課題】 塗布する膜厚をリアルタイムで制御する、スリット式塗布工程の膜厚監視方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 光学センサ１１０により、光学信号１１２ａ、１１２ｂの出射および受信を行い、塗布前における光学センサおよび基材間の距離を測定する。また、光学センサ１１０により、光学信号１１２ａ、１１２ｂの出射および受信を行い、塗布処理を行う間に光学センサと基材表面の塗膜１０６との距離を連続的に測定する。そして、光信号処理回路１２０により、塗布前および塗布処理中の光学信号１１２ａ、１１２ｂを比較して、塗膜の厚みを算出する。そして、塗膜の厚みに関する情報に基づいて、塗膜の厚みをリアルタイムで制御する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ等、微小なセル状の領域に薄膜が形成された被測定物の膜厚を分光反射干渉法で測定する際、正確な測定位置決めを行い、セル領域の色の測定への影響の無い膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供すること。
【解決手段】測定するセル近傍に測定ヘッドを配置し、撮影用光源で照明して近傍を撮像し、撮影画像データから微細な位置ずれを計算して位置修正を行った後、照明光源を９００ｎｍ以上の波長の赤外光の微小スポット測定用光源に切り替え、その反射光を測定して膜厚を測定する。 （もっと読む）

【課題】現像剤画像の濃度調整可能な範囲を拡張することができる画像形成装置を提供すること。
【解決手段】パッチ形成制御部６４によって、各色ごとに、ユーザによって指定されている目標反射濃度に応じたパッチの目標膜厚が取得し、その目標膜厚になると予想される条件（現像バイアス電圧）で、各色のパッチを、搬送ベルト４９上にその搬送ベルト４９の周回移動方向Ａに沿って並べて形成する。そして、層厚測定器６２によって各色のパッチの層厚を測定し、その測定結果と各色パッチの目標膜厚との偏差に基づいて、各色のプロセス部１２の現像ローラ２１に印加すべき現像バイアス電圧を設定する。 （もっと読む）

【課題】 シーラーの塗布品質の管理を正確に行う。
【解決手段】 レーザー投光機１８によって、ウインドガラス１２上に塗布されたシーラー１６に対し、塗布ガン１４と平行な方向からレーザースリット光Ｌを照射し、シーラー１６の断面形状を、レーザースリット光の線形状として視認可能とする。制御手段２４において、レーザースリット光の照射軸に対する傾斜角の小さいカメラ２０で撮影した画像に基づき、画像内でのワーク表面座標及びシーラー１６の幅を検出する。また、カメラ２０で撮影した画像に基づき検出された画像内でのワーク表面座標と、レーザースリット光の照射軸に対して傾斜角の大きいカメラ２２で撮影した画像とに基づき、シーラー１６の高さを検出する。よって、シーラー１６の断面形状を正確に把握し、シーラー１６の塗布高さとシーラーの塗布幅を正確に求めることができる。
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【課題】非破壊式方法を使用し有機塗膜の厚さを直接評価することが可能な標準化された測定技術を提供する。
【解決手段】金属表面上に形成された少なくとも一つの基準有機塗膜に対する吸収スペクトラムを測定する段階と、この塗膜の吸収スペクトラムにおいて特定波長帯域の吸収強度を算出する段階と、破壊式測定法により基準有機塗膜の厚さを測定する段階と、基準有機塗膜の吸収強度と測定された厚さに基づき、吸収強度と膜厚さの相関性を定義する段階と、金属表面上に形成された被測定対象の有機塗膜に対する吸収スペクトラムを測定する段階と、被測定対象の有機塗膜の吸収スペクトラムにおいて特定波長帯域の吸収強度を算出する段階と、吸収強度と膜厚さの相関性に基づき、被測定対象の有機塗膜の吸収強度から膜厚さを算出する段階を含む有機塗膜の厚さ測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】円管の内周面に形成された塗膜の厚みを効率良く測定することができる円管内塗膜厚さ測定装置及び円管内塗膜厚さの測定方法を提供する。
【解決手段】塗膜が内周面に形成された円管を支持する支持手段１２と、前記円管に照射する光源２４と、光源２４から照射され前記円管を透過した光の強度を検出する受光部１６と、予め求めた塗膜厚さと透過光の強度との関係により決定される透過特性に基づいて、受光部１６の検出値から前記円管に形成された塗膜の厚さを演算する演算手段とを備える円管内塗膜厚さ測定装置１。
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【課題】
【解決手段】反射性内壁と試料用開口部とを有する空洞を有する装置によって効果顔料を含む塗膜の視覚的粗さの解析をおこなう方法であって、該装置は、さらに空洞の照明をおこなうための照明手段と、空洞から試料開口部に向けられ、試料用開口部の中心垂線から距離をおいて配置されたデジタル撮像装置とを備え、該方法は以下の工程を備える：試料用開口部を介して塗膜の試料を空洞に差出し、空洞に照明をあて、撮像装置を起動させて試料の画像を記録し、記録した画像データを画像解析ソフトウエアをプログラムしたコンピュータに送信して記録画像を解析する。撮像装置の光軸は、試料用開口部の中心垂線に対して３度〜１２度の角度をつけて設定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、支持基板上に設けられた光透過性の膜の膜厚を精度よく測定することが可能な膜厚測定方法及び膜厚測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 膜厚測定方法は、支持基板上に設けられた光透過性を有する膜の膜厚を測定する膜厚測定方法において、膜に光を入射させ、膜の表面で反射された光と、支持基板の表面で反射された光との干渉により得られる反射光を分光して、分光された反射光の光量を検出し、光量から反射率を演算する際に、反射率のダイナミックレンジを拡大することにより反射率が極小及び極大となる波長を求め、反射率が極小及び極大となる波長並びに膜の屈折率を用いて膜の膜厚を測定する。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現し、距離バタツキや水平方向角度バタツキや垂直方向角度バタツキに対する耐性を付与することにより、例えば半導体製造プロセスやＦＰＤ製造プロセス等におけるインライン計測に好適な分光計測装置を提供すること。
【解決手段】透過位置によって透過光波長を次第に変化させる光干渉式の分光素子を前記光電変換部アレイ手段の直前に備えると共に、試料からの反射光の偏光状態の変化を検出する機能を有する受光側光学系と、前記光電変換部アレイ手段の各光電変換部から得られる一連の受光量データに基づいて偏光解析し、実測波形と理論波形とのフィッティングにより膜厚または膜質を求める。 （もっと読む）

【課題】被検出体の表面の歪みを容易に発見できる歪み検出装置および歪み検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】車両４を前方に搬送するベルトコンベア３の側方近傍には、検出用蛍光灯１５を有した光源１が固定され、光源１から照射された光が車両ボデー４１上で反射し、その反射光を検出用作業者Ｐが目視することにより、車両ボデー４１上の歪みを検出する。歪み検出前に、車両ボデー４１の表面上にグリコール系溶剤を塗布して、車両ボデー４１の表面に光沢を持たせ、光源１から黄色または黄緑色の光を車両ボデー４１へ照射する。 （もっと読む）

【課題】 プラズマディスプレイパネル用ガラス基板の表面の印刷パターン等の膜厚と電極の抵抗値とを、安定した状態で正確に、一つの装置で測定する。
【解決手段】 搬送手段１０で搬送された被測定物５を位置決め固定する位置決め固定手段２０と、固定された被測定物５の表面の印刷パターン６の厚さを測定する膜厚測定手段３０と、被測定物５の表面の印刷パターン６の抵抗値を測定する第１抵抗測定手段４０及び第２抵抗測定手段５０と、膜厚測定手段３０と第１抵抗測定手段４０とを搭載し、被測定物５の任意の位置に膜厚測定手段３０及び第１抵抗測定手段４０を移動させる第１ＸＹ粗動ロボット６０と、第２抵抗測定手段５０を搭載して第１抵抗測定手段６０と連動させて動作する第２ＸＹ粗動ロボット６１と、膜厚又は抵抗測定を選択する選択手段６５と、装置全体を制御する制御手段７０とを備える膜厚抵抗測定装置１。 （もっと読む）

【課題】 表面検査装置において、被検面の略全面を検査する場合にも効率的に検査を行うことができるとともに、被検面が粗面の場合にもノイズ成分の重畳を防止する。
【解決手段】 被検面の所定領域Ｐ０に対してレーザ光Ｌ０′を照射し、所定領域Ｐ０内の互いに異なる４つの小領域Ｐ１〜Ｐ４からの各正反射光Ｌ１〜Ｌ４を、４つの開口を有する視野絞り５３により空間的に分離して通過させるとともに、これら４つの開口に、各正反射光Ｌ１〜Ｌ４を互いに異なる４つの偏光成分として通過させる偏光素子６１〜６４が配設され、各小領域Ｐ１〜Ｐ４に対応した偏光成分Ｍ１〜Ｍ４が視野絞り５３の全ての開口を順次通過するように、ｘｙ２次元走査ステージ２０がレーザ光Ｌ０′に対して被検面を変位させることにより、各小領域Ｐ１〜Ｐ４ごとにそれぞれ４つの偏光成分Ｍ１〜Ｍ４の光強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】極めて簡易かつ短時間で膜厚を高精度に測定することのできる新規な膜厚測定方法及び膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】薄膜を形成した基板の光学的な波長依存性の計測スペクトルを得、次いで、所定の１次シミュレーションに基づき、前記計測スペクトルに近似させた１次シミュレーションスペクトルを得る。その後、前記計測スペクトル及び前記１次シミュレーションスペクトルに対して演算処理を施し、得られた演算値に対して近似的な関数を設定し、所定の２次シミュレーションに基づき、前記計測スペクトルに最近似させた２次シミュレーションスペクトルを得る。その後、前記２次シミュレーションの結果より前記薄膜の膜厚を算出する。この際、前記２次シミュレーションにおいては、導出過程にあるシミュレーションスペクトルに前記近似的な関数を乗じる。 （もっと読む）

【課題】透明薄膜の厚さと表面形状を同時に測定することのできる、白色光干渉計を用いた透明薄膜の厚さ及び形状の測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明においては、干渉光を周波数別に分光させた後、周波数別の第１の干渉縞を得、合成干渉光を周波数別に分光させた後、周波数別の第２の干渉縞を得る。第１の干渉縞から薄膜の厚さによる位相を得、位相から薄膜の厚さ情報のみを得る。第２の干渉縞から位相を求め、薄膜の厚さ情報が含まれている薄膜の表面情報を得る。薄膜の厚さ情報を用い、薄膜の厚さ情報が含まれている薄膜の表面情報から薄膜の表面情報を得る。 （もっと読む）