【課題】電子写真感光体の導電性基体上に形成された電荷発生層等の層の膜厚情報を高精度に評価する。
【解決手段】導電性基体上に層が形成された電子写真感光体の評価を行う電子写真感光体の評価装置及び評価方法において、電子写真感光体表面に斜め周方向から光を照射し、反射光のうち正反射方向以外の散乱光を集光して強度を検出して、層の膜厚に関する情報を得ることにより、電子写真感光体の導電性基体上に形成された電荷発生層等の層の膜厚を高精度に評価することができる。 （もっと読む）

【課題】芯材の表面に形成されたクラッド層のクラッド率を客観的かつ定量的に測定するのにより好適なクラッド率測定装置を実現する。
【解決手段】クラッド率測定装置１２は、芯材１４の表面にクラッド層１６を形成した測定対象部材１３に関する断面像を取り込む画像取得手段１８と、前記断面像の厚み方向におけるピクセル値の変化に基づきクラッド層１６の対向する二つの境界を求める境界判定手段２０と、前記境界間の距離を演算してクラッド層１６のクラッド率を算出するクラッド率演算手段２２を備える。 （もっと読む）

【課題】 対象物（１２）の基材（１６）上に塗布された絶縁塗膜（１４）の厚みと熱伝導率を決定するための装置（１０）を提供する。
【解決手段】 この装置には、表面が絶縁塗膜（１４）を含む対象物（１２）の表面に、複数の光学パルス（２４）を高速照射する光源（２０）が含まれる。このシステムには、対象物（１２）の中の光学パルスの伝播を示すデータ（２６）を集めるために設定された記録システム（２８）がさらに含まれる。この装置には、記録システム（２８）に結合され、記録システム（２８）からデータ（３６）を受け取るように設定され、絶縁塗膜（１４）の厚みと熱伝導率を決定するように設定された、プロセッサ（３４）がさらに含まれる。 （もっと読む）

【課題】２種類の半導体レーザーを光源として、それら各々の光を干渉用鏡と段差のついた試料基板との間で干渉縞を生じさせる。干渉縞は干渉縞作成具を用いて微調整を行う。
【解決手段】干渉縞式膜厚計は、波長の異なる二種類以上のレーザー光源と、該レーザー光を透過させる回転している摺りガラスと、前記レーザー光を入射する、干渉縞調整テーブルと干渉用鏡の間に測定試料を挟みこんだ構造の試料台と、干渉縞を拡大観察する顕微鏡と、顕微鏡像を画像としてパーソナルコンピュータに取り込むためのＣＣＤカメラと、取り込んだ画像から所定のプログラムで膜厚を計算するパーソナルコンピュータとからなる。 （もっと読む）

【課題】フラットディスプレイパネルの基板上に形成された塗布膜の表面形状を短時間で、低コストに検査可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】基板１１上に形成された塗布膜１２の表面検査装置であって、点光源２０と、点光源２０から発せられた光の光路に設けられたハーフミラー２１と、ハーフミラー２１を経由した光を平行光に変換して塗布膜１２の表面に照射するとともに塗布膜１２の表面からの反射光を集光するように配置されたフレネルレンズ２２と、フレネルレンズ２２により集光されハーフミラー２１により点光源２０とは別の光路に導かれた反射光の集光結像された光学像を観察するＣＣＤカメラ２６とを有し、フレネルレンズ２２より高い剛性を有する補強平板４０がフレネルレンズ２２に固定されることなくフレネルレンズ２２の凹凸面に接して設けられている。 （もっと読む）

【課題】機能性樹脂フィルムや情報電子材料の多層薄膜のより薄い膜厚を一層高精度に且つ瞬時に非破壊で測定できる多層薄膜の膜厚測定方法および膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】多層薄膜の膜厚測定方法は、多層薄膜を有する試料（７）に白色光を照射し、試料（７）から得られる反射光または透過光を分光すると共に、得られたスペクトルを周波数信号に変換した後、ウェブレット処理を行うことにより、干渉信号のみを選択し、次いで、干渉信号に間引き処理を行った後、周波数解析処理を行うことにより、薄膜の膜厚を検出する。また、膜厚測定装置は、光源（１）、照射用光ファイバー（２）、受光用光ファイバー（３）、分光器（４）、マルチチャネルディテクタ（５）、および、上記の処理を行う演算処理手段（６）から成る。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子のガラス基板へ光を照射して、有機膜の特性を解析する。
【解決手段】試料解析装置１は、ガラス基板５１が上側となるようにステージ４に有機ＥＬ素子５０を載置し、ガラス基板５１へ向けて光を照射して有機ＥＬ素子５０に係る振幅比及び位相差を測定する。また、試料解析装置１は、照射した光の反射光Ｋ１〜Ｋ３に応じた構造のモデルを選択し、選択したモデルから振幅比及び位相差を有機ＥＬ素子５０の空間６０の厚み寸法に応じて第１演算処理又は第２演算処理で求める。試料解析装置１は測定した結果及びモデルから演算により求めた結果を比較してフィッティングを適宜行うことで、いくつかのモデルの中からベストモデルを決定し、有機ＥＬ素子５０に係る特性を解析する。 （もっと読む）

【課題】基板と重畳する薄膜との間の界面等の２つの材料の間の界面の特性を調べる改善された超高速光技術を提供する。
【解決手段】機械的特性及び熱特性の測定による薄膜と薄膜間の界面との特性調査のためのシステムにおいて、レーザ１３６からの光は、薄膜や、複数の薄膜で作製された構造物に吸収され、光の透過あるいは反射の変化が測定されて、解析器１３４を使用して分析される。反射や透過の変化が使用されて、構造物で生成される超音波に関する情報を与える。この測定方法及び装置の使用から得られる情報は、（ａ）初期の方法と比較して改善された速度および精度での薄膜の厚さの測定、（ｂ）薄膜の熱特性、弾性特性、光特性の測定、（ｃ）薄膜内の応力の測定、（ｄ）粗さと欠陥との存在を含む、界面の特性の特性調査、を含む。 （もっと読む）

【課題】液溜め中に塗料を収容し、該塗料中にローラ表面の一部を浸漬した塗布ローラ４を用いて搬送中の基材の表面に塗料を塗布する方式において、表面に溝が形成されている塗布ローラ４上の塗料膜厚を判定することが難しいという問題点に対し、溝を形成した塗布ローラ上の塗料膜厚を測定して塗布厚みを制御する塗膜厚測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】測定ヘッドと光位置検出用センサとを、ブレードと基材との間のブレード近傍に配置し、かつ、塗布ローラの表面に形成された溝と平行に配置することで、解決することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料表面各点の偏光解析パラメータを高精度且つ高速に求めることができる偏光変調型イメージング・エリプソメータを提供すること。
【解決手段】所定周波数で強度が時間的に変化する光を放射する光源部と、コリメータ、偏光子、及び光源部からの光を変調し、ｐ偏光およびｓ偏光の位相差を正弦関数的に変化させて試料に照射する光弾性位相変調子を有する入射光学部と、試料を反射または透過した光の偏光状態を検出する検光子、及び検光子からの光を電気信号に変換する二次元検出器を有する射出光学部と、光源部及び光弾性位相変調子を同じ周波数で動作するように制御する制御・解析部とを備え、光源部が、光弾性位相変調子の動作クロックに対して所定の時間遅れを有する測定光を逐次発生し、制御・解析部が、各点における偏光解析パラメータを、二次元検出器の出力信号と標準試料を用いて予め求めた校正値とを用いて計算する。 （もっと読む）

【課題】記録媒体の重合による体積収縮を高い分解能で測定・解析できるとともに、記録媒体の面方向の収縮や、記録媒体内の微小領域の歪みも高い分解能で測定・解析できる記録媒体変形測定装置を提供する。
【解決手段】記録媒体収縮測定装置（記録媒体変形測定装置）１は、記録媒体（ホログラフィックメモリ記録媒体）Ｄの光重合による変形を測定するものであって、記録媒体Ｄに物体光を照射する物体光照射手段と、記録媒体Ｄに参照光を照射する参照光照射手段と、物体光及び参照光が照射されて記録媒体Ｄに記録された干渉縞に対して参照光が照射された際に生成される再生光と、この干渉縞に対して照射された物体光とを検出する受光素子が２次元状に配列されたＣＣＤ（２次元センサ）１４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】メタリック塗装表面の特徴を客観的に評価する塗装表面評価方法および装置並びに評価基準標本を提供する。
【解決手段】外装材の基材表面に樹脂によって金属微粒子を固着させて形成したメタリック塗装表面を評価するためのメタリック塗装表面評価方法において、塗装表面に固着された個々の金属微粒子の形状を捉えた画像を取得する画像取得手順と、画像を解析することにより、塗装表面に固着された金属微粒子それぞれの見かけの面積を算出する面積算出手順と、算出された各金属微粒子の見かけの面積について統計的な解析を行う解析手順と、解析手順によって得られた統計指標に基づいて、メタリック塗装表面の粒状の輝きを表す光輝感を評価する評価手順とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された複屈折材料からなる膜の厚みを測定することが可能な膜厚評価方法を提供する。
【解決手段】基板上に形成された複屈折材料からなる膜の厚みを評価する方法において、前記膜に観測波長域の光を入射し、前記膜内で発生した干渉光の強度を測定し、測定データを用いて下記の式（１）により前記膜の厚みを評価する。ただし、下記の式（１）中、Ｉ（λ）は干渉光の強度、ｎ_０は膜における常光の屈折率、ｎ_ｅは膜における異常光の屈折率、ｄは膜の厚み、λは膜に入射した光の波長、をそれぞれ表す。
［数１］
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【課題】表面に薄膜が形成されている基板上の異物の検査を精度良く行う。
【解決手段】ウエハＷ表面にＡｒレーザー４を照射し、反射光に含まれる散乱光強度を測定する。同じ位置にＨｅ−Ｎｅレーザー３を照射して、その反射光をフォトダイオード３３に入射させ、ウエハＷ表面に形成されている薄膜の屈折率と膜厚を測定する。屈折率と膜厚の測定値で、異物と判定する散乱光強度の閾値を補正し、この補正された閾値に基づいて散乱光強度の検出値から異物の判定を行う。 （もっと読む）

【課題】高い検出感度で膜厚ムラを検出できる、膜厚ムラ検査方法を提供する。
【解決手段】主波長λ０［ｎｍ］で、検査可能なコントラストが得られるように、十分狭い半値幅を有し、且つ、少なくとも該主波長を含むその近傍波長域である主波長近傍波長域が、前記青色の着色層の透過スペクトルが相対的に十分大きい波長域に含まれる、バンドパスフィルタを用いて、該バンドパスフィルタを通過した光を撮影光として撮影して、撮影画像データを得て、更に、撮影して得られた撮影画像データを用いて画像処理することにより、前記青色の着色層の膜厚変化を抽出するもので、発光スペクトルの発光強度の変動が、前記バンドパスフィルタの前記主波長近傍波長域において、十分小さい光源で、前記バンドパスフィルタにより決められる撮影する際の撮影光の波長域における透過スペクトルの透過率が十分である光源を、前記反射照明の光源として用いる。 （もっと読む）

【課題】少なくとも第一誘電体層、記録層、第二誘電体層、反射層をこの順又は逆順に有する光記録媒体の製造過程において、記録層の膜厚が所定の範囲から外れた不良媒体の、シンプルかつ低コストな検査方法の提供。
【解決手段】基板上に、少なくとも第一誘電体層、記録層、第二誘電体層、反射層をこの順又は逆順に有する光記録媒体の製造過程において、基板上に前記各層を積層した後、第一誘電体層側から赤外線を照射してその反射強度を測定し、該赤外線反射強度の測定値と、目標とする所定の記録層膜厚範囲における赤外線反射強度を予め調べて設定した基準赤外線反射強度とを対比することにより、記録層の膜厚の異常を検知することを特徴とする光記録媒体の検査方法。
（２）赤外線の波長が９００〜１１００ｎｍである（１）記載の光記録媒体の検査方法。 （もっと読む）

【課題】光学的な情報に基づいて測定対象物に応じて測定画素を識別し、測定ヘッドを移動させることができる画素内膜厚測定装置を提供すること。
【解決手段】基板上にパターニングされた薄膜が形成された試料表面に光を照射し、試料からの反射光を取得する測定ヘッドと、反射光を測定して分光反射率データを得る分光器と、分光反射率データから薄膜の膜厚を算出する膜厚算出部とを有する膜厚測定装置であって、前記測定ヘッドは、膜厚測定対象となる画素を識別するための光を照射する観察用照明光学手段と、識別された画素に膜厚測定用の光を照射する測定用照明光学手段と、画素内からの反射光を一定の割合で２分岐するビームスプリッターと、観察用照明光学手段の反射光を撮像する撮像手段と、反射光を前記分光器と撮像手段の受光素子上に結像させる結像光学手段と、を有する画素内膜厚測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】塗装の補修により発生する微小傷群を、作業者が確実に視認することが可能であって、作業者の官能に頼らず客観的に塗装の良否を判断できる装置を提案する。
【解決手段】塗装面Ｆの検査部位Ｆａに光を照射する照明手段１１と、検査部位Ｆａの表面での反射光を撮像する撮像手段１２と、該撮像手段１２から信号を受けて画像処理を行う画像処理手段２１と、検査部位Ｆａの表面と撮像手段１２との距離を検出する変位検出手段１３Ａと、検査部位Ｆａの表面と撮像手段１２の光軸との垂直度を検出する垂直度判定手段１３Ｂと、変位検出手段１３Ａ・垂直度判定手段１３Ｂからの信号を受けて撮像手段１２と検査部位Ｆａの表面との距離及び角度が検査可能な状態であるか否かの判定を行う判定手段１３とを、塗装検査装置８に備えた。変位検出手段１３Ａ及び垂直度判定手段１３Ｂとして超音波式変位センサを採用し、距離と同時に垂直度を検出可能とした。 （もっと読む）

【課題】 薄膜干渉を起こした場合でも、レジスト膜の膜厚やマスク基板とガラス基板との間隔等の種々の部材の間隔を測定する。
【解決手段】 相互に異なる発振波長を有する第１のレーザー光源１０Ａから射出する第１のレーザー光ＬＡと第２のレーザー光源１０Ｂから射出する第２のレーザー光ＬＢとをダイクロイックミラー３により合流して、レジスト膜５に斜方から入射させる。レジスト膜５の表面で反射したレジスト膜表面反射光Ｌ１と裏面で反射したレジスト膜裏面反射光Ｌ３とに含まれる２つの波長成分のうち、１つの波長成分が薄膜干渉を起こしたとしても、他方の波長成分の光は光検出器２２によって検出される。光検出器２２で検出された受光位置Ｐ１とＰ３との間隔ＤＲに基づいてレジスト膜５の膜厚を測定する。 （もっと読む）

【課題】容易に迅速かつ精度のよい検査を可能とする周波数選択板、その検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】誘電体基板２上に基準寸法素子５を形成し、この基準寸法素子５をデジタルカメラ７で撮影して情報処理装置８に画像データを入力し、この画像データと、基準寸法素子５の実測寸法データとの比較に基づいて、情報処理装置８によって画像データと実測寸法データとの換算係数を算出し、誘電体基板２上に形成された所定素子パターン４をデジタルカメラ７で撮影して情報処理装置８に画像データを入力し、この画像データを換算係数によって実測寸法データに換算し、この換算した実測寸法データと情報処理装置８に入力されている所定値データとの比較に基づいて、導電体素子３の形状および配置の適否を判定する。 （もっと読む）