【課題】界面に物理的な凹凸や構成元素の拡散による中間層が存在する場合であっても、界面情報を正確に検出することが可能な薄膜積層体及び界面検出方法を提供すること。
【解決手段】基材と、前記基材表面に形成された１又は２以上の薄膜と、基材−薄膜間、又は、薄膜−薄膜間の少なくとも１つの界面に形成されたマーカとを備えた薄膜積層体、及び、この薄膜積層体をグロー放電発光分光分析装置に設置し、前記薄膜積層体の表面をスパッタリングする第１工程と、前記薄膜積層体の表面から飛び出し、かつ、プラズマ中で励起された粒子が基底状態に戻る際に放出する光を集光し、集光された光を分光する第２工程と、前記分光された光の内、前記薄膜積層体の界面に形成されたマーカに対応する光を検出する第３工程とを備えた界面検出方法。 （もっと読む）

【課題】 腐食試験片の腐食部をコントラストよく、且つ、試験片上のあらゆる点で同一のコントラストで観察しうる光学系を用いることにより、腐食部と健全部との識別能を向上させ、これに画像処理を組み合わせて、腐食部等の面積率を高精度に求める。
【解決手段】 鋼板試験片１に対して一方向又は複数の方向から所定の入射角度で照明する照明装置２と、鋼板試験片１を所定の方向に移動するリニアステージ４と、鋼板試験片１の表面の上記移動方向と直交する方向の反射輝度パタンを撮像するリニアアレイカメラ３と、リニアアレイカメラ３により撮像された反射輝度パタンを順次読み込んで蓄積し画像化する画像メモリ５と、画像メモリ５により画像化された画像を処理して腐食部又は白錆部の面積率を測定する面積率測定装置６とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、レジストの保護膜異常を確実に検出することの可能なウエハ検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のウエハ検査装置は、レジスト及びその保護膜が表面に形成されたウエハ（１１）を検査するウエハ検査装置であって、前記レジストの外周部と前記保護膜の外周部との位置関係が反映されたデータを前記ウエハから取得する測定手段（１２，１３，１５）と、前記測定手段が取得したデータに基づき前記保護膜の異常を検出する検出手段（１６）とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被塗布物の表面粗さが悪化しても、その表面に塗膜が形成されたか否かを正確に判定することのできる塗膜判定装置及び塗膜判定方法を提供する。
【解決手段】塗膜判定装置は、第１及び第２光学センサーと、各光学センサーの測定結果に基いて、塗膜が形成されたか否かを判定する解析装置とを備え、該解析装置では、塗布処理前後での第１または第２光学センサーの反射光強度の差Ａ１またはＡ２が所定の基準値以下である場合には、塗布処理前での第１光学センサーと第２光学センサーとの反射光強度の差Ｂ１と、塗布処理後での第１光学センサーと第２光学センサーとの反射光強度の差Ｂ２とを比較して、金型の表面に塗膜が形成されたか否かを判定するので、金型の表面粗さが悪化した場合でも、表面に塗膜が形成されたか否かを正確に判定することのできる。 （もっと読む）

【課題】鏡面乃至半鏡面状の測定対象表面上の、観察可能なあらゆる点での面歪分布を、定量的に、また高速・高精度に測定および評価できる、面歪の測定装置及び方法を提供することを課題とする。
【解決手段】複数種の明暗パタン５を切替えて表示することが可能なパタン表示手段２と
、鏡面乃至半鏡面状の測定対象１表面上に写る、前記パタン表示手段に表示された複数の
明暗パタンの鏡像を、撮影する撮影手段３と、撮影された、複数の明暗パタンの鏡像画像
を画像処理して、測定対象表面の面歪分布の演算、面歪の定量評価するパソコン１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】回路基板のスクリーン印刷部分の印刷状態をカメラのみで検査可能にする。
【解決手段】スクリーンマスク１２上に半田ペーストを供給する前に、該スクリーンマスク１２をカメラで撮像してマスク開口部４２の画像を取り込む。そして、スクリーン印刷前に回路基板１１の印刷対象面をカメラで撮像して印刷前基板画像を取り込む。スクリーン印刷後に回路基板１１の印刷済み面をカメラで撮像して印刷後基板画像を取り込む。そして、印刷前基板画像から印刷後基板画像を差し引いた差分画像を作成する。印刷前基板画像と印刷後基板画像との相違は、半田印刷部分４４の有無のみであるため、両者の差分画像は、半田印刷部分４４の画像に相当する。そして、差分画像（半田印刷部分４４の画像）とマスク開口部４２の画像とを比較して、両者の一致度合いによって半田印刷部分４４の印刷状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】上下二層に塗布された塗布剤の塗布状態を検査する技術を提供することを目的とする。
【解決手段】上下二層に塗布された塗布剤６０の塗布状態をカメラ５５により撮影して、下層６１の塗布剤６０に対する上層６３の塗布剤６０の塗布面積、上下二層６１、６３の塗布位置、下層６１の塗布剤６０に対する上層６３の塗布剤６０の相対塗布位置ならびに上下二層６１、６３の塗布剤６０の外観性状等の塗布状態を、予め設定した塗布面積、塗布位置、相対塗布位置ならびに外観性状等と比較して塗布状態を検査し、判定する。 （もっと読む）

【課題】缶蓋に塗布されているシーリングコンパウンドの分布状態を容易に検査することが可能な缶蓋検査方法を提供する。
【解決手段】外周に全周に亘ってカール部１０１が設けられ、カール部１０１の内面を含む環状の所定範囲Ａにシーリングコンパウンド１０３が塗布された缶蓋１００を検査する検査方法において、所定範囲Ａが略水平になるようにカール部１０１を延ばす前処理工程Ｓ１と、前処理工程Ｓ１にてカール部１０１が延ばされた缶蓋１００の所定範囲Ａ内に設定された複数の測定点Ｐ１、Ｐ２、…、Ｐｎにおけるシーリングコンパウンド１０３の厚さをそれぞれ取得する測定工程Ｓ２と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】薄板の表面及び端面の検査が可能であり、検査精度及び検査速度が促進され、その結果薄板の大量生産性に寄与する薄板検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の薄板検査装置は、被検査物である薄板を載置する検査台と、検査台の上方に配設され、薄板に照明光線を照射する照明系と、検査台の上方に配設され、薄板を撮影するデジタルカメラとを備える薄板検査装置である。上記検査台は、法線が斜め上方を向くよう傾斜した鏡面を有する基台部と、その鏡面の前方に薄板を略水平に配置する架台部とを有している。上記基台部の鏡面を上下辺が略水平に配設される方形に形成し、上記架台部を基台部の鏡面に貼設されるプリズムとし、このプリズムは鏡面上辺より下方に位置する略水平面を有するとよい。上記基台部及びプリズムを断面が相似直角三角形の三角柱状に形成し、対偶する側面を平行に貼設するとよい。 （もっと読む）

【課題】膜厚ムラの欠陥が検出された際に、膜形成工程と膜厚ムラとの因果関係の判断を容易かつ適切に行う。
【解決手段】ムラ検査装置の検査部２００では、基板から得られる対象画像において筋ムラ、部分ムラおよび点ムラが検出され、評価点取得部２１１により求められた基板上の膜の膜厚ムラに係る評価点に基づいて、膜検査部２１３により膜の検査が行われる。続いて、平均評価点取得部２１４により当該基板以前の所定数の基板上の膜に係る平均評価点が求められ、工程検査部２１５により当該平均評価点に対する当該基板上の膜の評価点の割合を示す乖離度が求められる。そして、工程検査部２１５により、基板の評価点および乖離度に基づいて膜形成工程の検査が行われる。これにより、一の基板において膜厚ムラに係る欠陥が検出された際に、膜形成工程と膜厚ムラとの因果関係の判断を容易かつ適切に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】撮像画像に基づいて光学部品の位置を良好に検出可能な位置検出基準シートの提供。
【解決手段】位置検出基準シートにおける印刷面に、複数の異なる正弦関数を四則した関数に基づき明度が設定された正弦明暗模様１２２を表示させている。そして、この位置検出基準シートを、貼付面で光学部品に取り付け可能な構成としている。このため、正弦明暗模様１２２の明度を複数の異なる正弦関数を四則した関数に基づき設定することにより、第２撮像画像のフォーカスがあっていない状態であっても、例えば光学部品が基準状態からＹ軸を中心に回転している場合に、第２撮像画像の正弦明暗模様の状態を、この回転している状態に反映させることができる。したがって、変位検出システムに、光学部品の位置を良好に検出させることができる。 （もっと読む）

【課題】膜厚チェックを効率化し、全数全周の膜厚検査を実現できるようにする。
【解決手段】第１のレーザ光を対物レンズのフォーカス制御に用いることで、第１のレーザ光ＬＢは、記録層Ｌ０に合焦状態を保つようにする。第２のレーザ光ＬＲは、第１のレーザ光ＬＢと光軸が一致され、かつ第１のレーザ光の焦点位置とは被膜厚測定層であるカバー層１０３の規定の膜厚分だけずれた位置（カバー層表面１０３ｓ）で合焦状態となるようにする。第１のレーザ光が記録層Ｌ０に合焦状態を保つように対物レンズがフォーカス制御されていると、カバー層１０３の厚みが本来の厚みより厚くなったていたり、薄くなっていたりしていれば、それが第２のレーザ光のデフォーカスとして現れる。従って第２のレーザ光の反射光から得られるフォーカス誤差情報として、カバー層１０３の厚みに応じた値が得られる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の欠陥を精度よく検査することが可能な欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】照射部１は、ワークＷの表面に対してＡ色の照射光Ｌ１，ＬＡ１とＢ色の照射光ＬＢ１と、Ｃ色の照射光ＬＣ１とを照射する。撮像装置３はワークＷからの反射光を分光して、Ａ色画像、Ｂ色画像、およびＣ色画像を同時に生成する。Ａ色画像はＢ色画像（あるいはＣ色画像）に比べて、ワークＷの欠陥に対応する部分と、その周囲との明るさ（あるいは色）の差が小さい。また、１度の撮影でＡ色画像、Ｂ色画像、およびＣ色画像が同時に生成されるので２つの画像の間に位置ずれが生じるのを防ぐことができる。よって２つの画像を比較すればワークＷの欠陥のみを２つの画像の相違点として抽出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】
高精度に離型紙上塗膜の目付を測定する、目付測定方法を提供すること。
【解決手段】
離型紙面に形成された熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂の塗膜の目付を測定する方法であって、前記塗膜に紫外光を含む光を照射し、前記塗膜を透過して前記離型紙面で散乱された光の強度を計測し、その光の強度と検量線データとを比較することにより、塗膜の目付を測定することを特徴とする塗膜目付の測定方法。 （もっと読む）

【課題】膜厚を光学的に測定する有機ＥＬ用の光学式膜厚測定装置において、簡素な構成で正確に膜厚を測定する。
【解決手段】構造体に成膜される有機薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置において、少なくとも成膜中に構造体に所定の波長の照射光を投光する手段、照射光に対する構造体からの反射光強度又は透過光強度を検出する手段、及び反射光強度又は透過光強度に基づいて有機薄膜の膜厚を特定する手段からなり、所定の波長が、有機薄膜を構成する有機物の吸収スペクトルについて、吸光度のピーク値に対して２０％以下、好ましくは１０％以下、の吸光度を与える波長範囲に含まれるようにした。 （もっと読む）

【課題】新規な膜厚測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】膜厚測定装置は、光源４、偏光板３，６、ビームスプリッタ７、1/4波長板９、対物レンズ８、結像レンズ２、CCDセンサ１より構成される。この膜厚測定装置では、白色偏光干渉法によって、接触状態にあるガラス板１１と試料１０の間の干渉画像を取得する。ガラス板１１には、クロム薄膜１２とシリカ薄膜１３が形成されている。その色情報をHSV色空間に変換して色相値を求め、二面間のすきまの厚さとの校正結果に基づき、すきまの厚さあるいは膜厚ゼロに相当する真実接触部を可視化する。すきま厚さ測定の分解能は±3nmを超える性能を有する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタなどの測定対象物が備える薄膜の三次元的な情報である膜厚分布を効率よく取得することのできる薄膜測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】基材と、基材上に形成された薄膜を備えた測定対象物の膜厚分布を測定するための装置であって、測定対象物の表面形状分布情報を取得する手段と、測定対象物上の任意の点の膜厚情報を取得する手段と、前記任意の点の膜厚情報と前記表面形状分布情報から前記表面形状分布情報が取得された領域の膜厚分布情報を求める手段とを備えることを特徴とする薄膜測定装置とする。 （もっと読む）

【課題】潤滑層が複数の潤滑剤の混合潤滑膜からなる磁気記録媒体の潤滑膜に対して、これら赤外分光の吸収波形のピーク面積を用いて非破壊で、かつ、高い測定精度でそれぞれの膜厚換算の比率を測定できる方法を提供する。
【解決手段】非磁性基体上に下地層、磁性層、保護層及び潤滑層を有し、前記潤滑層が分子内にＣＦ_３構造を有する化合物と分子内にＣＦ_３構造を有さないパーフルオロポリエーテル系潤滑剤の混合物からなるものである磁気記録媒体の潤滑層の膜厚測定方法であって、潤滑層をフーリエ変換赤外分光法で測定し、得られた赤外吸収スペクトルの１３３３ｃｍ^−１と１２８０ｃｍ^−１のピークを波形分離することなく各ピークのベースラインと吸収波形で囲まれる領域の面積を定量化することによって、前記潤滑層の各成分の量を膜厚換算で算出することを特徴とする磁気記録媒体の潤滑層の膜厚測定方法。 （もっと読む）

【課題】特定の偏光状態を有して試片の表面に入射した光が反射された後に有するようになる偏光状態の変化を分析して、試片の光学的特性を見出す楕円計測器を提供する。
【解決手段】光源(Light source)；光源から放出された光を線偏光させる線形偏光子(Linear polarizer)、偏光状態によって進行波の位相を異なるように変える補正器(compensator)などが備えられた光源部モジュール；光源部モジュールで偏光した光を分割する光分割器(beam splitter)；光分割器で分割された一部の光を通過させ試片に集中して照射させる対物レンズ(Objective lens)；試片で反射した光を偏光させる受光部モジュール；受光部モジュールを通過した光を複数の単位素子(pixel)で検出する光検出器(Optical detector)；光検出器で検出された光の強度をそれぞれの単位素子に該する値で数値化して演算処理する演算処理装置；とを含む。 （もっと読む）

【課題】精度と信頼性の高い潤滑剤の塗膜状態の測定を行う潤滑剤塗膜計測装置を提供する。
【解決手段】光を一対の物体の接触部分に照射して干渉縞を発生させる光源４０と、干渉縞の分光像を発生させる分光器３６と、この分光器で発生した分光像を拡大する顕微鏡３８と、顕微鏡で拡大された分光像を高速撮影する高速度カメラ３４と、高速度カメラを接触部分に沿って移動させる高速度カメラ移動手段４６と、高速度カメラから得た高速撮影データに基づいて油膜の状態を計測する演算手段５０とを備えている。 （もっと読む）