【課題】タイヤの表面に照射したライン光の像を撮像した画像に基づいて光切断法による形状検出を行う場合に，ライン光の強度を増強することなく，十分に高い撮像レートでライン光の像の撮像を行っても，タイヤの表面に照射したライン光の明瞭な像を得ることができる。
【解決手段】タイヤ１の表面の一の線Ｌｓ上に光切断線が形成されるように，その光切断線における検出高さ方向（Ｚ軸方向）とは異なる方向から複数のライン光を連ねて照射，又は１つのライン光をそのライン長方向において集光して照射する投光装置１０と，タイヤ１の表面に一の線状に連ねて照射されたライン光の像を，複数のシート光それぞれの主光線がタイヤ１の表面に対して正反射する方向において，又は集光された１つのライン光の主光線がタイヤ１の表面に対して正反射する方向において撮像するカメラ２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された試料に損傷等を与えることなく、試料の測定を行うことができる反射測定装置及び方法を提案する。
【解決手段】基板Ｐ上に形成された試料Ｓに対して測定光Ｌ１を照射しその反射光Ｌ２を検出する反射測定装置において、光源から照射された測定光Ｌ１を試料測定面Ｔに向けて送光しその反射光Ｌ２を受光する分光光度計部と、基板Ｐを支持すると共に試料Ｓを試料測定面Ｔに向けて相対移動可能な基板ステージと、を備え、試料測定面Ｔは、分光光度計部の試料台２０の表面から所定距離だけ離間するように設定される。 （もっと読む）

【課題】体内の管に挿入される線状体の曲がり度合いを検出することが可能な曲がり度合い検出装置を提供する。
【解決手段】この曲がり度合い検出装置は、光ファイバ２のコア３とクラッド４の境界の一部に凹凸面５を形成し、光ファイバ２の曲がり度合いに応じた量の光が凹凸面５から漏れるようにした光ファイバセンサ１と、光ファイバ２の一方端に結合された光源部１２と、光ファイバ２の他方端に設けられた反射膜１０と、光ファイバ２の一方端に結合され、光源部１２から出射されて反射膜１０によって反射された光の量を検出する受光部１３とを備えたものである。したがって、受光部１３の検出結果に基づいてカテーテル１４の先端部の曲がり度合いを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】EUV露光装置においてはセンサ基板であるガラスの透過率が低いため使用できず、遮光膜の形状を維持することが難しいと言う問題があった。本発明は計測精度の劣化を抑制できるセンサを提供する。
【解決手段】EUV露光装置に用いられるセンサ２１は、少なくとも一つの開口１６を有する遮光膜１７と、遮光膜の開口より入射した電磁波（波長１ｎｍ〜１０００ｎｍ）を所定信号に変換する変換部材２２とを備えている。遮光膜の一方の面は、変換部材に密着して形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で微少径を維持しつつも偏向部の回転速度が不均一になる現象を低減して安定した低コヒーレンス光の走査を実現することができるＯＣＴプローブを提供すること。
【解決手段】ＯＣＴプローブは、光源から照射された低コヒーレンスな光を用いて観察対象の断層像を取得するためのＯＣＴプローブであって、回転自在に構成され、外部にある光源から照射された光を前記ＯＣＴプローブの先端近傍まで導く導光手段と、導光手段と離間して配設され、導光手段から間接的に回転トルクを受けることにより導光手段の中心軸回りに回転するように構成され、導光手段により導かれた光を偏向して外部に照射すると同時に外部からの反射光を導光手段に向けて偏向する偏向手段と、導光手段から偏向手段に回転トルクを伝達し、かつ偏向手段の慣性による回転を許容するトルク伝達手段と、を有する構成にした。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で微少径を維持しつつも偏向部の回転速度が不均一になる現象を低減して安定した低コヒーレンス光の走査を実現することができるＯＣＴプローブを提供すること。
【解決手段】ＯＣＴプローブは、光源から照射された低コヒーレンスな光を用いて観察対象の断層像を取得するためのＯＣＴプローブであって、回転自在に構成され、外部にある光源から照射された光を前記ＯＣＴプローブの先端近傍まで導く導光手段と、導光手段と離間して配設され、導光手段から間接的に回転トルクを受けることにより導光手段の中心軸回りに回転するように構成され、導光手段により導かれた光を偏向して外部に照射すると同時に外部からの反射光を導光手段に向けて偏向する偏向手段と、導光手段から偏向手段に回転トルクを伝達し、かつ偏向手段の慣性による回転を許容するトルク伝達手段と、を有する構成にした。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の製造効率を低下させず、迅速に実行でき、内径だけでなく、真円度や同芯度も同時に測定できる高精度な測定方法を提供する。
【解決手段】ステージ１３０は、外径基準の回転軸のまわりにガラス基板３００を回転させる。受光部１６０は、光源１４０からの光の反射光をレンズ１５０を介して観測し、ガラス基板３００の内周端部を含む領域における光量分布に基づいて、回転軸から内周上の点までの距離を測定する。ステージ１３０がガラス基板３００を回転させながら上記の距離測定を繰り返し、パソコン１７０にて内周の輪郭形状をプロットする。プロットされた輪郭形状に基づき、パソコン１７０では、ガラス基板３００の内周の内径・真円度・同芯度を求める。 （もっと読む）

【課題】省スペース化を図りつつ、耐久性を高めることができる移動距離測定装置を提供する。
【解決手段】第１レンズ群保持枠移動距離測定装置５は、第１エンコーダースケール５１と、第１光センサ５２と、第１インタラプター５３と、制御部とを備えている。そして、第１エンコーダースケール５１は、第１レンズ群保持枠１１のスライド移動に伴ってスライド移動するように構成されている。また、第２レンズ群保持枠移動距離測定装置６は、第２エンコーダースケール６１と、第２光センサ６２と、第２インタラプター６３と、制御部とを備えている。そして、第２エンコーダースケール６１は、第２レンズ群保持枠１２のスライド移動に伴ってスライド移動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】加工対象を加工しながら、前記加工対象の形状等を光学的に高精度に測定できるようにすること。
【解決手段】金型部品である測定対象４の測定時に、加工用テーブル２及び主軸ヘッド６の少なくとも一方を相対的に移動させ、光学式測定器１８は前記移動に同期させながら測定対象４の測定データを出力する。データ処理装置２５は、制御部２６を介して受信した前記測定データに基づいて測定対象４の形状を表す形状測定データを算出し、前記形状測定データと加工用形状データとの差異が許容値内にあると判断した場合、及び、既に加工済みで測定対象４と組をなす金型部品との組合せ状態が許容値内に入ると判断した場合に良と判断して合格通知を行う。 （もっと読む）

【課題】簡単且つ低コストな構成で温度補償の問題を解決し得る上に、測定対象物に溶接等することによりその測定対象物に加わる引張力、及び曲げ力等を高精度に検出し得る光ファイバ式ひずみゲージを提供する。
【解決手段】光ファイバ式ひずみゲージ１００は、空隙部１３が形成されたゲージベース１０と、連続的に形成された第１溝部１４Ａ、１４Ｂ及び第２溝部１５Ａ、１５Ｂと、この両溝部に固定される光ファイバ１１と、光ファイバに形成されたＦＢＧ１１１と、ゲージベース１０と測定対象物とを固定する、両溝部と直交する方向に延びる第１固着部１２Ａ１、１２Ｂ１と、両溝部と平行に延びる第２固着部１２Ａ２、１２Ｂ２とにより形成されており、ゲージベース１０を、２方向に固定できるので、測定対象物に強固に固定して面外に変形することを防止することが可能となり、曲げ力等によって発生する測定対象物のひずみを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】加工機の工具取付部に測定手段を装着して測定対象の形状等を測定する際に、高精度な測定を行えるようにすること。
【解決手段】演算制御部３７は、加工機１の加工用テーブル２及び主軸ヘッド６を所定方向に移動させ、加速度検出器４１、４６からの加速度信号を２回積分した値が所定の基準値内のときに、テーブル２及び主軸ヘッド６が停止したと判断し、工具取付部１０に装着した光学式測定装置１８は測定対象４で反射した測定用光を検出する。演算制御部３７は、ＮＣ制御装置９からテーブル２及び主軸ヘッド６の駆動用指令値を受けて同期をとりながら、テーブル２及び主軸ヘッド６を所定量ずつ移動させて測定対象４を走査しながら計測を行い、検出した測定用光に基づいて測定対象４の形状等を算出する。これにより、加工用テーブル２及び主軸ヘッド６の位置と測定データが同期し、測定対象４の形状等の算出が高精度に行われる。 （もっと読む）

【課題】被検査面の傷の検出を効率良く行うことができる軸受用ころの外観検査装置を提供する。
【解決手段】赤色光源３は、軸受用ころ２の径方向側から、カラーカメラ５の撮像方向に対して斜めに光が照射されるように配置され、青色光源４は、軸受用ころ２の軸方向側から、カラーカメラ５の撮像方向に対して斜めに光が照射されるように配置される。このため、軸受用ころ２の軸方向の傷によって乱反射した赤色の光がカラーカメラ５に入射し、軸受用ころ２の周方向の傷によって乱反射した青色の光がカラーカメラ５に入射する。カラーカメラ５はこれらの反射光の様子を１枚のカラー画像として撮像し、画像処理部６はカラー画像の各色を抽出して濃淡画像を生成する。生成された赤色抽出画像及び青色抽出画像から軸方向及び周方向の傷の状態を個別に把握することができる。 （もっと読む）

【課題】丸棒状のワークを正しい姿勢で把持して回転させることが可能なクランプ機構、ワークの外形を精度よく計測可能な計測装置を提供すること。
【解決手段】クランプ機構３０は、極細の丸棒状のワークＲを把持する把持部１０と、把持されたワークＲの姿勢を調整する姿勢調整部２０と、把持部１０と姿勢調整部２０とを一体として軸支する軸受け２７と、把持部１０と姿勢調整部２０とを一体として回転させる回転駆動部としてのモータ２９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】被測定体の測定部位を境にして対向する位置に所定の対向距離を置いて一対の変位センサを配置し、一対の変位センサのそれぞれが検出した被測定体と一対の変位センサとの距離及び一対変位センサの間の対向距離に基づいて被測定体の複数の測定部位の厚みを多点測定することになり、この際、上記被測定体は浮上回転機構の空圧流により浮上、回転及び停止をさせることができ、測定保証精度を向上することができる。
【解決手段】被測定体Ｗの測定部位Ｐを境にして対向する位置に所定の対向距離Ｇ_Sを置いて変位センサＳ₁・Ｓ₂を配置し、一対の変位センサのそれぞれが検出した被測定体と一対変位センサとの距離Ｇ₁及び一対の変位センサ間の対向距離に基づいて被測定体の複数の測定部位の厚みｔを多点測定する厚み多点測定方法において、被測定体を空圧流Ｅにより浮上、回転及び停止させる。 （もっと読む）

【課題】 ターゲットに関連する絶対位置を示す情報を生成する受動光ロケータと、遠隔操作アクチュエータとを具備するシステムを提供する。
【解決手段】受動光ロケータ３２は、ターゲット５０までの距離を示す情報を生成する受動光レンジファインダ８５と、当該受動光レンジファインダの光軸の方位角及び仰角を示す情報を生成する少なくとも１つのセンサ６０とを備える。受動光ロケータは、当該受動光ロケータに関連する地理的位置を示す情報と、ターゲットまでの距離を示す情報と、光軸の方位角及び仰角を示す情報とを使用して、ターゲットに関連する絶対位置を示す情報を決定する。遠隔操作アクチュエータ２００は、受動光ロケータに機械的に結合され、当該システムにおいて受け取られる１つ又は複数の動作命令に従って受動光ロケータの光軸を遠隔に位置決めする。 （もっと読む）

【課題】適正な検出条件の設定を容易に決定することが出来る欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置が、検査対象物を撮像して画像データを生成する撮像手段と、撮像手段の生成した画像データと第１の検出条件とに基づいて第１の欠陥の検出処理を実行し、第１の欠陥の検出処理により検出した欠陥の中心位置を検出する第１の欠陥検出手段と、第１の欠陥検出手段の検出した欠陥の中心位置を中心とする予め決められた大きさの画像である欠陥包含領域画像を撮像手段の生成した画像データから抽出する画像抽出手段と、画像抽出手段が抽出した欠陥包含領域画像と第２の検出条件とに基づいて第２の欠陥の検出処理を実行する第２の欠陥検出手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】樹脂のひずみを測定する手段として光ファイバを用いる際に、光ファイバが樹脂から抜け出ることを防止する。
【解決手段】まず熱可塑性樹脂で構造体を成形する。そして、機械加工等により製品形状を製作する。次に、コアとクラッドからなる光ファイバにおいて、コアにスリットを２個以上加工しておき、これらのスリットの軸方向両側にクラッドの周囲に部材を固定した光ファイバを樹脂製構造体表面に配置する。光ファイバに固定した部材を配置するくぼみはあらかじめ前記構造体に機械加工等により設けておく。その後、構造体と同種類の熱可塑性樹脂で光ファイバを覆う。そして、加熱，加圧を行って、製品形状の熱可塑性樹脂と光ファイバを覆った熱可塑性樹脂を溶融させて一体化させる。このような構成にすることにより、光ファイバが熱可塑性樹脂から抜け出ることがなくなり、構造体に負荷されるひずみを安定して計測することができる。 （もっと読む）

【課題】通常伝搬光スポットによる走査に対するワーキングディスタンスの大きい光ファイバプローブを実現する。
【解決手段】シングルモード光ファイバＦＶのコア部に、第１テーパ角：αを有する円錐形状の近接場光滲出面と、この近接場光滲出面を同軸的に囲繞して第２テーパ角：βを有する円錐形状の通常伝搬光射出面とを有し、少なくとも近接場光滲出面に近接場光滲出のための導電性薄膜１２０が形成されてなり、クラッド部１０３はエッチング液に対する溶解速度がコア部より大きく、コア部はエッチング液に対する溶解速度が互いに異なる第１コア１０１と第２コア１０２とを同軸的に有し、選択性（化学）エッチングにより、第１コア１０１に近接場光滲出面１１０が、第２コア１０２に通常伝搬光射出面１１２がそれぞれ形成され、第２テーパ角：β（度）が、５０＜β＜９０の範囲にある。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成並びに簡単な操作で容易かつ確実に防水カバーを装着できる、実用性並びにメンテナンス性に優れた照明装置および照明装置の防水カバー装着方法を提供すること。
【解決手段】防水カバー４０の嵌合部４１と、筐体３０の照明用開口部３１に形成されたカバー嵌合部３２には、それぞれ照明用開口部３１の奥行方向に向かって拡径となるテーパ部３３，４３が形成され、防水カバー４０の嵌合部４１と、筐体３０の照明用開口部３１に形成された嵌合部３２との間に、防水用リング５０を介挿して、防水カバー４０が筐体３０の照明用開口部３１に装着される。 （もっと読む）

【課題】ウェハとマスクとのギャップが設定値になるように位置決めする。
【解決手段】マスクマークＭ1〜Ｍ３及び調整用マークＷＣ１〜ＷＣ３の撮像データを画像処理し、調整用マークＷＣ１〜ＷＣ３の十字状パターンの縦パターンＷＣ１ｖ〜ＷＣ３ｖの中心がマスクマークＭ１〜Ｍ３の第１の貫通孔の中心になるように位置決めし、十字状パターンの横パターンＷＣ１ｈ〜ＷＣ３ｈの中心と仕切り部の水平方向における中心線との距離が１００μｍとなるように位置決めし、ＣＣＤカメラの角度を３０度に、マスクマークＭ１とウェハマークＷ１との間隔を８６．６０３μｍにして、画像上で、マスクマークＭ１とウェハマークＷ１の間隔が１００μｍになるようにすると、調整用ウェハ面とマスク面とのギャップｇを設定値＝５０μｍとなるようにし、これを真値として、マスクマークＭ１の影Ｓの長さから求められるギャプ検査値の校正を行う。 （もっと読む）