【課題】炉体内に溶鋼が入っているときでも炉体の熱変形量を正確に測定することのできる転炉炉体の熱変形量測定方法を提供する。
【解決手段】炉体１の外周に設けられたトラニオンリング２にレーザー距離計６を設け、このレーザー距離計６から炉体１の外表面にレーザー光線を照射して炉体１の熱変形量を測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】極めて高温の環境化においても、測定対象物の歪み量を正確に検出することができ、製造および布設も容易に行うことができる光ファイバセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】同一の基材２上に歪み検知用光ファイバ３と温度補償用光ファイバ４とが併設された光ファイバセンサ１であって、前記歪み検知用光ファイバ３は、前記基材２上に固定されて配設され、前記温度補償用光ファイバ４は、その外周上において固着されることなく耐熱性を有する繊維５で被覆され、該被覆繊維層５０を前記基材２に固定して、前記基材２上に配設されており、前記温度補償用光ファイバ４が該被覆繊維層５０内側でその長手方向に伸縮可能とされていることを特徴とする光ファイバセンサ１。 （もっと読む）

【課題】本発明は紙葉厚さ測定装置に関し、非接触で紙葉の厚さを測定することができる紙葉厚さ測定装置を提供することを目的としている。
【解決手段】紙葉１５の搬送路面の上側と下側にそれぞれ光源１，２、集光レンズ３，４、結像レンズ５，６、位置検出ディテクタ７，８からなる光学系をもち、光源１，２から射出された光は集光レンズ３，４を通過して紙葉面に集光され、紙葉面からの散乱光又は反射光は結像レンズ５，６により位置検出ディテクタ７，８上に結像されるように配置されており、上側の位置検出ディテクタ７の結像位置信号と、下側の位置検出ディテクタ８の結像位置信号の差から紙葉１５の厚さを求めるように構成する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の変形量の範囲が広く、それぞれのブラッググレーティングが配置される位置の変形量が異なっても、同一の構成の光ファイバ変形検知センサで精度よく変形量が測定できるので、測定位置に対応して光ファイバ変形検知センサの構成を変える必要もなく、また、測定対象物の経時変化などによって測定対象物の変形量の範囲が変化しても、光ファイバ変形検知センサの構成を変える必要もない。
【解決手段】一様断面形状を有する長尺構造体の両端を除く一部に切り欠き部を設け、この切り欠き部にブラッググレーティングの形成部が密着するように配置した光ファイバの端部に光計測器を接続し、この光計測器でブラッグクレーティングからの反射光の波長分布を計測して切り欠き部の変形量を計測する光ファイバ変形検知センサであって、長尺構造体を任意に回転して変形検知の対象物に取り付けたものである。 （もっと読む）

【課題】外部への影響を及ぼさない光ファイバをセンサとして利用し、測定範囲が広く、光ファイバの破断の危険性をなくして、有効に機能させ得る光ファイバ型センサを提供する。
【解決手段】外部から負荷が付加されたときその負荷に応じて光ファイバ４が屈曲され、前記負荷が除かれたとき、前記屈曲状態から復帰させるファイバ変位手段（例えば紐状部材５とスポンジシート３との組み合わせ）を有し、前記屈曲に応じてシングルモード光ファイバ４に光伝送の損失を生じさせる構成とする。 （もっと読む）

【課題】光ファイバを利用した歪・温度分布の観測システムにおいて、データの正確さ，信憑性，システム機能保全性といった信頼性を向上させる。
【解決手段】光ファイバ素線１０，１５における光ファイバ裸線１１と保護被覆１２，１６の複合形態を相互接着か相互非接着かの２種類とし、この２種類を取り混ぜた３本以上の素線群２１〜２３を仕込んだ光ファイバセンサー２０を用いることで、該素線群の各素線データ間の相互支援による信頼性の向上が行えるようにした。 （もっと読む）

【構成】ポリオレフィン系樹脂で形成された樹脂管１２の外表面に溝１４を形成し、外皮２０にポリオレフィン系樹脂を用いた光ファイバ１６を溝１４に嵌める。そして、ポリオレフィン系樹脂で形成された溶接部材１８で溝１４の開口を塞ぐようにして、樹脂管１２、外皮２０および溶接部材１８に溶接ヒータの熱風を吹きつけてから、溶接部材１８を溝１４の中に押し込む。これにより、溶接部材１８は樹脂管１２および外皮２０のそれぞれと融着し、光ファイバ１６が樹脂管１２に固定されて、検知装置１０が形成される。
【効果】溶接部材１８を用いることにより、樹脂管１２に光ファイバ１６を簡単かつ確実に取り付けることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単且つ低コストで、変位に対する損失のばらつきが小さく、複数箇所における変位等の検出を安定して行うことができる上に、光ファイバの破断を防止し得る光ファイバ式変状検出装置及びシステムを提供する
【解決手段】変状検出装置６９は、所定変位を超えてブロック８が変位した時に、金属管４内の光ファイバケーブル５に屈曲を与える回転機構を有する。法面３の変状時のブロック８と変状検出装置６９を固定するアンカー（図示せず）間の変位をロッド７とリンク機構を介して損失発生部７０に与え、損失発生部７０が回転することによって金属管４とその内部の光ファイバケーブル５に屈曲を与える。光ファイバケーブル５の屈曲による光の損失の測定にはＯＴＤＲを用いる。ＯＴＤＲによる光の損失の測定結果から法面３における変状の有無及び変状の発生箇所を検出する。
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【課題】光学的な情報に基づいて測定対象物に応じて測定画素を識別し、測定ヘッドを移動させることができる画素内膜厚測定装置を提供すること。
【解決手段】基板上にパターニングされた薄膜が形成された試料表面に光を照射し、試料からの反射光を取得する測定ヘッドと、反射光を測定して分光反射率データを得る分光器と、分光反射率データから薄膜の膜厚を算出する膜厚算出部とを有する膜厚測定装置であって、前記測定ヘッドは、膜厚測定対象となる画素を識別するための光を照射する観察用照明光学手段と、識別された画素に膜厚測定用の光を照射する測定用照明光学手段と、画素内からの反射光を一定の割合で２分岐するビームスプリッターと、観察用照明光学手段の反射光を撮像する撮像手段と、反射光を前記分光器と撮像手段の受光素子上に結像させる結像光学手段と、を有する画素内膜厚測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】物体表面に特定パターンの照射光を照射し、物体表面からの反射光の受光強度分布に基づいて物体表面の平滑度を算出することにより、各種の物体表面の平滑性を安定的に、正確に、迅速に、かつ、容易に測定することができるようにする。
【解決手段】物体表面に光を照射する光源１１ａと、前記物体と光源１１ａとの間に設けられ、該光源１１ａから物体に照射される照射光を所定方向の明暗から成る特定パターンを形成するように遮光する遮光手段と、前記物体表面から反射する反射光を受光する受光手段と、該受光手段が受光した光に基づき、所定方向の位置毎の受光強度分布を検出する受光強度分布検出手段と、該受光強度分布検出手段が検出した受光強度分布に基づき、前記物体表面の平滑度を算出する平滑度算出手段とを有し、該平滑度算出手段は、前記受光強度分布から求められる極大値と極小値とに基づいて所定方向の平滑度を算出する。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータにより動作される動作対象物の移動位置をセンサおよびリード線を用いることなく確認するアクチュエータの動作限確認装置を提供する。
【解決手段】 教示モード時において正常時における戻り限位置および出限位置にある複数のワーク把持部１６をモニタカメラ２により撮影した映像から得た基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンを予め記憶して備え、検知モード時における複数のワーク把持部１６の戻り限位置若しくは出限位置をモニタカメラ２により撮像した映像から得た実位置パターン若しくは実姿勢パターンと前記教示モード時に記憶した基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンとを比較し、ワーク把持部１６の動作が正常か否かを判定するようにした。 （もっと読む）

【課題】 変位測定器において、スピンドルに対するスケール部材の位置決めと、本体ケースに対するスピンドルの回転規制とを、共通の基準をもって容易に調整する。
【解決手段】 スピンドル２０には、切り欠かれた平坦部にスケール部材３０が固定される。スケール部材３０は、同じくスピンドル２０に挿入された位置決めピン５０によって揺動することなく固定される。この位置決めピン５０には、スピンドル２０から突き出たばね支持部に付勢ばね６０の一端が当接される。また、位置決めピン５０の先端部は、回転規制部となって、組み立て時にベース部材１１の回転規制用案内部１７に挿入される。その結果、位置決めピン５０は、スピンドル２０に対するスケール部材３０を位置決めするとともに、本体ケース１０に対するスピンドル２０の回転規制手段としても機能する。 （もっと読む）

【課題】 動作不良の原因ともなる可動部分がないポインティングデバイスおよびポインティングデバイス用インターフェイスを提供すること。
【解決手段】 ポインティングデバイス１は、複数の赤外線センサ３Ａ、３Ｂ等が面上に配置されてなり、その上方を赤外線源９が移動する際に各赤外線センサ３Ａ等においてそれぞれ赤外線を検知して電気信号を発生する赤外線入力部２と、ここで発生した各電気信号の経時変化に基づいて赤外線源９の移動方向および移動量を検出する演算回路等の演算手段５とを備えてなることを、主たる構成とする。 （もっと読む）

【課題】 構成を簡単にすると共に耐久性を向上すること。
【解決手段】 ＮＣ加工機１は、ＮＣ制御装置９により、測定対象物４の加工時に、加工用テーブル２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動制御すると共に主軸ヘッド６をＺ軸方向に移動制御し、測定対象物４の測定時に、加工用テーブル２を加工時と同一の制御によって移動させる。光学式測定器１８は、ＮＣ制御装置９の移動制御によって変化する加工用テーブル２のＸ座標値及びＹ座標値に同期して測定対象物４からの測定用光を光検出素子で検出する。光学式測定装置の制御部は、前記光検出素子で検出した測定用光に基づいて測定対象物４の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】 真空光路筒の長さが拡張された場合でも、撓みが発生することなく、かつ、伸縮に伴う運動精度が損なわれることがない測定装置を提供する。
【解決手段】 長手方向の長さが可変でかつ一端に可動ミラー２９を設けた真空光路筒２０を有し、この真空光路筒２０内にレーザ光を入射させて反射させ、その反射レーザ光を他の光路を通ったレーザ光と干渉させる干渉計１０を備えた測定装置。真空光路筒２０は、変位方向に直列に配列された複数のベローズ２６Ａ，２６Ｂと、この隣接するベローズ間に介在されベローズ同士を連結する中間リング２７とを含んで構成され、中間リングを外側から支持するスライド筒３１と、このスライド筒３１および中間リング２７の対向面のいずれか一方に設けられた潤滑層３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】
対象物体の上にプローブを安定して保持することができるプローブ保持装置及び、それを用いた研磨装置、測定装置及び光学装置並びに、安定して測定を行うことができる表面形状測定装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかるプローブ保持装置は、対象物体３に対してオペレーションを行なうための研磨装置８において、オペレーションに供される加工プローブ１０１を対象物体の上に保持するプローブ保持装置２０１であって、対象物体３との間にエアギャップを設けるよう対象物体３に対して気体を噴出する噴出部２０３と、対象物体３との間に設けられたエアギャップから気体を吸引する吸引部２０２とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】被測定対象であるウエハなどの平板の表面と背面との形状差である厚みムラの凹凸判定を干渉縞を用いて測定することは複雑であった。
【解決手段】ウエハ５を光源１の照明光によりコリメータレンズ４を通して照明し、ウエハ５から反射した該照明光の反射光を干渉縞として撮像手段３により撮像し、該干渉縞からウエハの厚みムラ測定する際、撮像手段３により撮像して得られた画像に対し、所定サイズに区分けした複数の検査領域を対応させ、該検査領域内に存在する干渉縞の間隔が所定数を越えていると、当該被測定体の厚みムラが予め設定した許容値を越えていると判定し、また光源１と撮像手段３とが光軸中心線Ｌ_０に対する角度を等しく変化させると干渉縞の生成に変化が生じ、この変化によりウエハの凹凸を判定する。 （もっと読む）

【課題】 スペース上における基板の平面状態を保持しながら、その基板を容易に搬送することができ、迅速かつ正確な検査を行うことができる基板検査装置を提供すること。
【解決手段】 所定のスペース１５をおいて配列された第１のステージおよび第２のステージと、基板１３を浮上させる浮上手段２０と、基板１３を支持する支持部と、この支持部を移動させて前記基板１３を搬送する基板搬送機構と、前記スペース１５に沿って移動可能に設けられ、基盤１３を観察するための観察手段と、この観察手段に対向して配置され、前記スペース内を移動する照明部と、前記スペース１５を埋めるスペーサ４０と、このスペーサ４０を、前記スペース１５内において前記スペース１５の少なくとも一部を埋める閉鎖位置Ｌと、前記スペース１５から退避して前記スペース１５を開放する開放位置との間で移動させるスペーサ移動機構と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パンタグラフ周辺部の障害物を非接触で、高速、かつ、安全に画像処理にて検出する。
【解決手段】左右２台のカメラ１，２でパンタグラフ周辺部を撮像し、画像設定手段１０、検査対象範囲外削除手段２０、パンタグラフ部分削除手段３０、トロリ部分削除手段４０、背景部分を黒、それ以外を白とするマスク画像を作成するマスク画像作成手段５０と、マスク画像の黒部分の画像データを削除した左右のマスク処理画像を作成するマスク処理画像作成手段６０と、左画像又は右画像の何れか一方についての塊特徴を抽出する塊抽出手段７０と、輪郭線の三次元位置データの平均を塊特徴の三次元位置として求めるステレオ計測手段８０と、塊特徴の三次元位置とパンタグラフの特徴の三次元位置とを比較し、近接度合いの高いものを支障物として選択するパンタグラフ近接検査手段９０と、支障物の三次元データを設定する支障物検出データ設定手段１００とから構成する。 （もっと読む）

【課題】被測定物に傷をつけたり、障害物との衝突による測定プローブの破損を防止すること。
【解決手段】測定プローブによる押し込み量の設定が不適切な場合には、位置制御からフォーカス制御に切り換わらない構成とし、また、光検出器１１ａ、１１ｂの検出信号とフォーカス誤差信号のいずれかが設定範囲を超えるとＸ軸方向あるいはＹ軸方向の駆動を停止し、それまでの移動方向と逆方向に設定量駆動するので、被測定物２１に傷をつけたり、測定プローブと障害物等との衝突による測定プローブの破損を防止することが可能となる。 （もっと読む）