【課題】 プローブの試料への衝突による破損を防ぎ、確実かつ短時間でプローブを試料に対して接近させることが可能な近接場光顕微鏡を提供する。
【解決手段】 近接場光プローブ２先端から試料までの距離を検出する距離検出手段３１と、近接場光プローブ２の基準面位置情報に基づいて近接場光プローブ２と試料２０を近接場光領域もしくはその近傍まで接近させる距離制御手段１５とを備えた近接場光顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 樹脂シートに生じることのある皺などの影響を受けて検出精度が低下する、等の問題の生じない光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】 ２枚の樹脂シート２、３を、平面配置の光ファイバ１を挟んで互いに接着剤で貼り合わせた光ファイバシートからなる光ファイバセンサであり、前記光ファイバ１が、前記樹脂シート２、３間に局所的に固定されていることを特徴とする。光ファイバセンサとしての光ファイバシート１５は例えば曲げセンサとして検出対象物に貼り付けられる。光ファイバ１が樹脂シート２、３にがっちり固定されていると、樹脂シートに生じることのある皺などの影響を受けて、光ファイバ１に無用な歪みが生じ、検出誤差となるが、光ファイバ１が２枚の樹脂シート間で局所的に固定されているだけなので、光ファイバが樹脂シートの皺などの影響を受けることが少なく、検出精度の低下は少ない。 （もっと読む）

【課題】 侵入検知に伴う検知用光ファイバの損傷の恐れが少なく、長い距離のフェンスでも要する光ファイバ長を低減でき、侵入者を検知し進入箇所を特定できる侵入者検知装置付きフェンス。
【解決手段】 侵入者検知機能付きフェンスを、フェンスの枠体に張られて固定された網と、フェンスの延設方向に亘って延設された光ファイバと、光ファイバの端部に接続された投光受光解析装置とを備え、網は複数の区画毎に枠体を区画の内側に向かって弾性変形させて張られるとともに、光ファイバは、複数の区間に順次配設され少なくともフェンスの上縁側に位置する枠体に沿って取り付けられ、投光受光解析装置は、光ファイバにその一端から投光し、光ファイバにおいて損傷に至らない変形を受けた箇所で発生する散乱光を一端側から受光して光ファイバが変形を受けたことを検出し、且つ、その箇所までの距離を算出するように構成されてなるようにした。 （もっと読む）

【課題】 走査型電子顕微鏡を用いることなく、簡易な構成によりコア先端の直径を測定、評価することのできる、光ファイバプローブの評価方法を提供すること。
【解決手段】 光ファイバプローブ先端のテーパー形状を評価するためのものであって、加工前の光ファイバの端面におけるニアフィールドパターンを測定し（過程Ｐ１０）、一方、別途、エッチングその他の加工によりコア先端を先鋭に加工した光ファイバプローブの端面におけるニアフィールドパターンを測定し（過程Ｐ２０）、これらの過程において得られる各ビーム幅の比率に基づいて、先鋭化加工した光ファイバプローブのコア先端の直径を求める（過程Ｐ３０）。 （もっと読む）

【課題】 耐環境性に優れ、ひずみ伝達率が安定的に高く、外部要因である磁界、電界、温度の影響を受けない溶接型光ひずみゲージを提供する。
【解決手段】 この溶接型光ひずみゲージ１は、両端が開口された極小径の金属シースチューブ３と、この金属シースチューブ３にライン状に溶接６された薄板状のフランジ板２と、金属シースチューブ３の内空に挿通され且つ接着剤５によって固着されたファイバブラッググレーティング部（ＦＢＧ）４ａを含む光ファイバ４から構成されている。
この溶接型光ファイバ１は、被測定対象物７上において、フランジ部２ａ、２ｂをスポット溶接することにより、確実に固着される。ＦＢＧ４ａは、光ファイバに書き込まれたグレーティングのピッチがひずみや温度によって変化する。その変化に応じてグレーティングからブラッグ反射する光のピーク波長が変化することを利用してひずみ等を計測する。 （もっと読む）

【課題】 トンネル断面の巨視的な内空変位を常時実用上十分な計測精度で得ることを可能とすると共に、簡単な機構でメンテナンスフリーを可能とする。
【解決手段】 トンネル内空変位計測システムは、覆工４１に植設された支柱４２_１〜４２_９の各基端部に棒状変位計４_１１，４_１６，４_２１，４_２６，４_３１，４_３６，４_４１，４_４６の各端部、支柱４２_１〜４２_９の各先端部に棒状変位計４_１３，４_１４，４_２３，４_２４，４_３３，４_３４，４_４３，４_４４の各端部、支柱４２_１〜４２_９の各基端部と各先端部に棒状変位計４_１２，４_１５，４_２２，４_２５，４_３２，４_３５，４_４２，４_４５の各端部をそれぞれピン結合する。棒状変位計４_１１〜４_１６，４_２１〜４_２６，４_３１〜４_３６，４_４１〜４_４６からの軸方向変位に応じた信号に基づきトンネルの下端部の既知の２節点を基点として順次、３つの棒状変位計の交点座標を連続的に算出してトンネルの変状を測定する。 （もっと読む）

【課題】 内部に設置する供試体の位置に制限を受けず、真空チャンバの外側にセオドライトを置くスペースが不要で、作業者等がセオドライトを不用意に動かすおそれもない真空チャンバを提供する。
【解決手段】 内部に配設された供試体４に対して熱真空試験を行う際に、熱真空試験による供試体４のアライメントの変化を測定するセオドライト２を、外壁に組み込んだ真空チャンバ１。セオドライト２からの照射光の方向を可変とする光路変換機構を、セオドライト２からの照射光を、その光軸に対して直角に反射する第１の反射鏡９Ａと、第１の反射鏡９Ａで反射された光を、その光軸に対して直角かつ供試体４の方向に反射する、移動可能な第２の反射鏡９Ｂとで構成することができる。セオドライト２及び設置台６を回転させることにより、セオドライト２の測定範囲を広げ、供試体４の設置位置の自由度がさらに大きくなる。 （もっと読む）

【課題】 測定回数による測定精度の劣化がなく、繁雑な取付作業が不要で、誘導サージ等のノイズによる誤作動がなく、日照や天候による影響がなく、あらゆる長さのストロークに対応可能な、高精度の可搬式運動計測システムと運動計測方法を提供する。
【解決手段】 撮影範囲とその方向を画定するように、光を受光する感光部が１列に配置された高速度ラインカメラ１１は、雲台１２により角度調整される。照明装置２０は、高輝度均一の光を測定対象物であるガス絶縁開閉装置１０１の操作ロッド１０７に照射する。画像取込み装置３０は、画像データをデジタルデータに変換する。画像処理表示装置４０は、演算部４２によりデジタルデータを処理し、数値データ抽出やグラフ化などを行い、抽出した数値データおよび入力したデータを記憶部４３に記憶すると共に、抽出した数値データおよびグラフをデジタルデータ処理結果としてモニタ部４４で表示する。 （もっと読む）

光ファイバコア２ａとクラッド２ｂと被覆層２ｃとを有する光ファイバー芯線２と、この光ファイバー芯線２を保持する基材３と、この基材３を構造物１に取り付けるための取り合い部材４とを備えた。
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【課題】ミキシングコンソールのフェーダなどのスライドボリューム装置において、スライド操作子への加圧力に対して、磁気式センサ２３での検出精度を確保する。
【解決手段】移動ブロック２を、互いに平行な主移動ガイド体１１と副移動ガイド体１２で摺動自在に保持する。主移動ガイド体１１を棒状のステンレスシャフトとする。副移動ガイド１２を非磁性ステンレスのシャフト１２ａと磁性部材１２ｂでインサート成型する。磁気式センサ２３で磁性部材１２ｂの磁極パターンを検出する。移動ブロック２の副ガイド孔２２の上下方向のクリアランスを主ガイド孔２１の上下方向のクリアランスより大きくする。主移動ガイド体１１でスライド方向にガイドし、副移動ガイド体１２で移動ブロック２の横揺れを防止する。 （もっと読む）

【課題】 故障や動作不良等が少なく生産性の良い簡素な構造でもって、狂いが生じ難く、かつ高精度に任意の位置の検出が可能な位置検出装置及び該位置検出装置を備えた開閉装置を提供する。
【解決手段】 回転体４１の外面に、所定位置から視た場合の形状が該回転体４１の回転に伴って変化する模様４１ａを設け、この模様４１ａを前記所定位置に設けられた読取装置４３によって読取り、その読取データから前記回転体４１の回転量を認識するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

容器（３４）の傾斜度を検査する装置は、容器の下に位置決めされていて、容器を定位置に保持しているとき及び容器を軸線（Ａ）回りに回転させているときに光エネルギー（６０）を容器底（６２）に差し向ける光源（５０）を有する。容器（３４）の下方に位置決めされた光センサ（５４）が、容器底（６２）から反射した源（５０）からの光エネルギーを部分的に受け取る。情報プロセッサ（５６）が、反射光エネルギーと容器の回転の組合せ関数として軸線（Ａ）に垂直な平面からの要素底（６２）のずれを求めるために光センサ（５４）に結合されている。容器（３４）は好ましくは、定位置に保持され、駆動ローラ（２４）によって軸線回りに回転し、この駆動ローラは、容器（３４）を軸方向に間隔を置いたバックアップローラ（２６，２８）に押し付けて容器（３４）の幾何学的形状及びバックアップローラ（２６，２８）の間隔の関数として平均回転軸線を定める。
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本発明は、半導体ウェハ（１００）上に堆積または形成された膜（１０４）の光学特性を測定するためのシステム（２０１）および方法を提供する。膜の試験領域（２０６）内にあって、互いに重なり合わない複数の位置（２１６）において、上記膜の化学線照射量よりも低い放射線照射量で光学特性を測定する。この結果、上記測定によって上記膜内に化学変化が引き起こされることはない。従来技術による方法に対して上記測定を較正して、その結果を調整係数または較正係数によって調節してもよい。
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本発明は金型、特に捲締機のチャックとロールの特性を測定する光学装置を提供する。前記光学装置は、放射を生成するように適用された放射ソース、放射が金型のプロファイルを通過するようにそらすための、そらす手段、プロファイルを通り抜けてきた放射を受信する検出手段から構成される。前記チャックと前記ロール間のギャップのプロファイルのような金型の特性は、プロファイルを通過し検出された放射から処理されて求められる。
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本発明は、自動車の可動のフード状部（２）と該自動車の残りのボディ（３）との間の隙間寸法およびオフセットの少なくとも一方を調整するための方法および装置（１）に関する。フード状部（２）はまず粗調整された組付け位置で前記ボディ（３）に対してできるだけ同一平面となるようはめ込まれかつ保持される。さらに前記フード状部は、隙間寸法および／またはオフセットについてのあらかじめ定義された値ができるだけ正確に守られるように微調整される。隙間寸法および／またはオフセットをできるだけ非接触で、できるだけ簡単かつ迅速に、かつ柔軟に調整することができるようするために、微調整のために、フード状部（２）と残りのボディ（３）との間の隙間寸法および／またはオフセットについての実測値（２１＿ｉｓｔ）が光学的に検知される。隙間寸法および／またはオフセットについての検知された実測値（２１＿ｉｓｔ）とあらかじめ設定された目標値（２１＿ｓｏｌｌ）に従って、少なくとも１つのアクチュエータ（１２）のための制御信号（２４）が求められる。
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放射散乱／反射要素の位置を判定するための方法及びシステムであって、放射透過性要素面で放射入射する面に放射エミッタが設けられる。この入射放射は散乱／反射要素により散乱／拡散／反射され、透過性要素により、この要素位置を判定できる検出器に向けてガイドされる。
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試料特に（製薬）錠剤を調査するための方法及び装置である。放射体及び/又は試料は、最初は、放射体が所定の距離にあり、試料表面の最初に照射した点の法線方向に位置する。放射体は25GHz〜100THzの範囲で複数の周波数を持つ光を試料の複数の点に照射する。放射体と試料とは相対的に位置を変えることが可能である。ただし、その位置の変更は、放射体と試料との間では所定の距離（試料表面と放射体との）を保存し、放射体は各照射点の法線と一致させ、透過又は反射した光を各点で検出することが可能になるようにする。この特徴的な応用として（製薬）錠剤のコーティングの形状及び組成を画像化するというのがある。
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【課題】機械部品の存在を検出するための装置、より具体的には、長尺工具の完全性を検査するための装置を提供する。
【解決手段】工具の完全性を検査するための装置は、レーザ光線（２１）を用いる光電子検査機構（７）と、工具と光電子検査機構との間の相対的な移動を可能とする長手方向（Ｘ）に沿って移動可能な載置台（６）と、例えば送受波器（９、１０）を含む前記相対的な位置を検査するための装置と、を備えている。光電子検査機構のセンサ（２２）は、光線の遮光を検出する。この遮光時の送受波器の信号に基づき、これを既知の値と比較することによって、工具の完全性が検査される。載置台に連結された光電子検査機構の連結機構（２４）は、横方向基準面に沿って光電子検査機構を振動させることができ、この振動により感知可能な画定領域（３３）が画成される。振動はモータ（２６）により制御され、光線の遮光はセンサにより検出されて、該センサにより工具の端部が感知可能な画定領域に干渉する瞬間が示される。
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