【課題】 機械加工デバイスにおいて安全区画又は制限区画を確立する方法を提供する。
【解決手段】 レーザ加工デバイスで利用される切削経路の安全区画を規定する方法。この方法は、計算機支援設計モデルにおける安全区画の位置座標を識別し、マシンビジョンシステムを使ってモデル化された物理的な加工デバイスを撮像し、設計モデルの安全区画の点と撮像された点の間の位置的な差を決定し、機械切削経路プログラムに入力させるために、設計モデルの安全区画の座標系を特定装置向け座標系に変換することを備える。
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【課題】頭部あるいは鍔部を有する被検査部品を自転させて、その外周を走査して検査する際、騒音および当該被検査部品の損傷を防止する部品検査装置を提供する。
【解決手段】被検査部品Ｓを搬送手段２１から浮かせた状態で自転させて、当該被検査部品の外周を検査ユニット３０で走査する。そのため、被検査部品が自転する際、当該被検査部品と搬送手段とが擦れないので、騒音および当該被検査部品の損傷が低減されるとともに、検査ユニット３０による走査時に被検査部品が振動しないので、より正確な走査結果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 ロータリヘッドを備えた部品移載装置を移動台に交換可能に固定した電子部品実装装置において、交換した部品移載装置のロータリヘッドの各スピンドルの回転中心位置の各補正値を容易且つ正確に求める。
【解決手段】ロータリヘッドの複数のスピンドルの中、実装ポイントに割出されたスピンドルの回転中心が、校正された部品認識用カメラの光軸の座標位置に位置するように移動台を移動する。各スピンドルを第１回転角度位置および第１回転角度位置と異なる第２回転角度位置にそれぞれ位置決めした状態で各スピンドルに装着された吸着ノズルの先端を部品認識用カメラで撮像する。実装ポイントに割出された第１および第２回転角度位置での各吸着ノズルの先端画像の中心位置に基づいて各スピンドルの回転中心位置の各補正値を効率的に正確に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】平行平面板の被測定面に対して高精度な測定を行うことが可能な干渉測定方法を提供する。
【解決手段】所定の参照面６ａおよび平行平面板５の被測定面５ａに、互いに干渉しない異なる波長を有する２種類の可干渉光を照射する第１のステップと、２種類の可干渉光が照射された参照面６ａおよび被測定面５ａからの反射光に基づいて形成される干渉縞を検出する第２のステップと、検出した干渉縞の光強度分布に基づいて被測定面５ａの高さを測定する第３のステップとを有し、平行平面板５における被測定面５ａと反対側の面５ｂからの反射光の影響を排除するように２種類の可干渉光における波長の関係および、参照面６ａと被測定面５ａとの間の光学距離を調整するようになっている。 （もっと読む）

【課題】フォーカスの精度を良好に維持できる光学式測定装置を提供すること。
【解決手段】投影板にはサイズの異なる複数のパターンＰ１〜Ｐ３が形成され、小さなサイズのパターンＰ１〜Ｐ３ほど投影板を透過する光束の中心軸Ｌ近くに配置されている。そのため、低倍率の時には、光束の中心軸Ｌから離れた位置にある大きなサイズのパターンＰ３が用いられ、高倍率の時には、光束の中心軸Ｌに近接配置される小さなサイズのパターンＰ１が用いられることとなるので、ズーミングに伴うパターンＰ１〜Ｐ３のサイズの変化を抑制でき、フォーカスの精度を良好に維持できる。 （もっと読む）

【課題】近年の基板サイズの大型化傾向に従って、基板を戴置するためのステージも大きくなってきている。このため、測定装置そのものが大きくなってきているこの大きくなった装置を収容するべく、サーマルチャンバは、送風ブース内のスペースの内容積が大きくなり、従って温同調節に必要な雰囲気容量が多くなるため、そのスペース内の温度性能を保つため、温調ユニットを大くしなければならないという問題があった。
【解決手段】測定装置のステージ部架台より出された支持金具によって、サーマルチャンバの送風ブースを支持し、石定盤より上方のステージ部分のみ、一定温度に保つ構造とし、更に好ましくは、温調ユニットと送風ブースとを分離することにより、温調ユニットの機械振動を送風ブースに伝えない機能を備えたサーマルチャンバとした。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物及び該測定対象物の面上に配置された基準長を示す基準尺を含む１つの画像から前記測定対象物の各辺の寸法を測定する寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 直方体形状の測定対象物１及び該測定対象物１の面上に予め配置された基準長を示す基準尺２を含む画像を撮像する撮像手段２０と、該撮像手段２０により撮像された前記画像から前記測定対象物１の頂点及び前記基準尺２を抽出する画像処理手段と、抽出された前記頂点の前記画像平面上における２次元座標から前記測定対象物１の３次元空間における位置・姿勢及び寸法のパラメータを求め、前記基準尺２を用いて、実空間における距離と前記３次元空間における距離との比率である空間のスケールを求め、該空間のスケール及び前記パラメータに基づいて、前記測定対象物１の各辺の寸法を算出する寸法算出手段と、を備える寸法測定装置１００。 （もっと読む）

【課題】連続撮影の際の照明条件の切り替えを好適に行うこと。
【解決手段】外観画像検査システム１は、カメラ２と照明５，６とを備え、照明５，６の照明条件を切り替えつつカメラ２による連続撮影を行う外観画像検査システム１であって、カメラ２の露光終了タイミングに応じて、照明条件の切り替えを開始する。これにより、露光終了タイミングに応じて照明条件を切り替えることができるので、好適な照明条件の切り替えのために利用可能な期間をフル活用することができる。したがって、連続撮影の際の照明条件の切り替えを好適に行える。 （もっと読む）

【課題】設置費を抑えかつ簡単な検出ロジックでエッジ穴とセンター穴の判定を確実に行うことができる、溶接穴位置の検出方法を提供することを課題とする。
【解決手段】帯状材の溶接点部に穿孔された溶接穴の位置を検出する溶接穴位置の検出方法であって、溶接穴の位置を光学的に検出可能な検出器を、該検出器の検出視野が帯状材の幅方向中央部で所定量ラップするように帯状材の幅方向に並べて２台配置し、前記２台の検出器による溶接穴位置の検出結果に基づいて、溶接穴の帯状材の幅方向位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】簡易な手法により自車両の挙動を検出できる車両挙動検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】自車両の挙動を検出する車両挙動検出装置であって、自車両周辺を撮像する撮像手段と、撮像手段でそれぞれ撮像した撮像時刻の異なる複数の画像間において、移動物体の占める割合が他の領域に比べて小さい比較領域における画素情報を比較する比較手段（Ｓ３）と、その比較結果に基づいて自車両の挙動の変化を検出する検出手段（Ｓ３）とを備えることを特徴とし、比較手段は、撮像手段でそれぞれ撮像した撮像時刻の異なる複数の画像間において、比較領域における車両上下方向の輝度波形を比較し、検出手段は、比較手段での比較結果に基づいて自車両のピッチングを検出すると好適である。 （もっと読む）

【課題】被測定物の連続的かつ機械的な駆動なしに焦点面の異なる画像情報を短時間で得られる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光量センサー２はセンサー素子２ａ〜２ｄを１次元方向に備える。センサー素子２ａ〜２ｄは光学系（図示せず）によって、被測定物１の計測線１２近傍の高さＨａ，Ｈｂ，Ｈｃ，Ｈｄに焦点Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄを結ぶ。被測定物１の表面１３は黒白に塗り分けられ、センサー素子２ａ〜２ｄと光学系を被測定物１の領域Ｙ１から領域Ｙ８方向に移動走査する。時刻で各センサー素子の光量値を読み出し、その値を位置とともに記録する。各センサー素子の光量値は、被測定物１の表面１３に合焦ならば表面色の黒１３ｂまたは白１３ｗに対応し、合焦でなければ黒と白が混ざった灰色の値を持つ。この黒，白，灰色の光量値に基づき高さＨａ〜Ｈｄについて合焦評価を行うことで、各領域Ｙについての高さを同定できる。 （もっと読む）

【課題】 光学部材の変動に影響されずに被検面の面位置を高精度に検出する。
【解決手段】 第１パターンからの第１測定光および第２パターンからの第２測定光を被検面（Ｗａ）へ導いて第１パターンの中間像および第２パターンの中間像を投射する送光光学系（４〜９）と、被検面によって反射された第１測定光および第２測定光を第１観測面（２３ａ）および第２観測面（２３ａ）へ導いて第１パターンの観測像および第２パターンの観測像を形成する受光光学系（２９〜２４）と、第１パターンの観測像および第２パターンの観測像の各位置情報を検出し、各位置情報に基づいて被検面の面位置を算出する検出部（２３〜２１，ＰＲ）とを備えている。送光光学系は、第１測定光の被検面への入射面に沿った第１パターンの中間像の投射倍率と、第２測定光の被検面への入射面に沿った第２パターンの中間像の投射倍率とを異ならせる。 （もっと読む）

【解決手段】部品の物理的特徴を計測するシステムと方法であって、システムは光源、検知装置、反射装置、及び保持マウントを有している。方法は、部品が保持マウント内に配置されるように部品をシステムに連結するステップと、システムを動作させて光源が光源光路に沿って伝搬するコリメート光線を放射するようにするステップと、を有し、コリメート光線は、センサ光路に沿って伝搬するように反射され、部品の影を生成するように部品に入射し、検知装置はデータを影に対応して生成する。画像データは部品に対応して結果データを生成するために処理され、結果データは平滑化アルゴリズム、機能サイズアルゴリズム、センタリングアルゴリズムの少なくとも１つにさらに対応している。 （もっと読む）

【課題】ベースフィルムの一面側にコーティング層が設けられた光透過性フィルムにおけるコーティング層の膜厚むらによる欠陥の検出を簡易な構成且つ高精度で行うことができる光透過性フィルムＡの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】ベースフィルムの一面側にコーティング層が設けられた光透過性フィルムＡを搬送する搬送手段５を具備する。光透過性フィルムＡに一面側から光を照射する照明手段６を具備する。照明手段６から照射され、光透過性フィルムＡの一面側で反射された特定波長域の光を受光して撮像する撮像部１を具備する。前記撮像部１として、互いに異なる特定波長域の光を受光して撮像する複数の撮像部１が、前記搬送手段５による光透過性フィルムＡの経路に沿って設けられている。 （もっと読む）

【課題】 光学部材の変動の影響を抑制して被検面の面位置を高精度に検出する。
【解決手段】 面位置検出装置は、第１パターンからの第１の光と第２パターンからの第２の光とを被検面（Ｗａ）へ入射させて、被検面に対して第１パターンの中間像および第２パターンの中間像を投射する送光光学系（４〜１０）と、被検面で反射された第１の光および第２の光をそれぞれ第１観測面（２３Ａａ）および第２観測面（２３Ｂａ）へ導いて、第１パターンの観測像および第２パターンの観測像を形成する受光光学系（３０〜２４）と、第１観測面および第２観測面における第１パターンの観測像および第２パターンの観測像の各位置情報を検出し、各位置情報に基づいて被検面の面位置を算出する検出部（２３〜２１，ＰＲ）とを備えている。送光光学系は、例えば第２パターンの中間像を第１パターンの中間像に対して所定方向に反転された像として投射する。 （もっと読む）

対象物上の物理的特徴を読み取る方法は、対象物の少なくとも一部の第１の画像を第１の解像度でキャプチャするステップ（２４０、３１５、４０５）と、第１の画像に従って処理されることになる対象物の領域の位置を決定するステップ（２４５、３２０、４１５、４２０）と、処理されることになる対象物の領域の第２の画像を第１の解像度よりも高い第２の解像度でキャプチャするステップ（２５５、３３０、４３０）と、第２の画像に基づいて物理的特徴を決定するステップ（２６０、３３５、４４０）と、を含む。幾つかの実施形態において、追加として、物理的特徴の少なくとも一部を表す情報を保持するマークで対象物をマーキングするステップがある。
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【課題】運転者の運転に対する注意レベルを精度良く推定することが可能となるような顔面の覆体及び顔面部位の特定方法を提供する。
【解決手段】運転者Ｄの顔面の口及び鼻に対応する位置における外表面４ａにマーク７，８を描画する。このマーク７，８は、赤外光を発光または反射する塗料で描画されているため肉眼では確認することができず外観が損なわれることはないが、赤外領域に感度を有する顔画像撮像カメラ２で取得された顔画像中では、顔面の口及び鼻の位置を正確に特定することができる。 （もっと読む）

【課題】 干渉光学系を移動するだけで位置決めができ、迅速に精度よく膜厚を測定することができる光干渉計及びそれを用いた膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】 波長スペクトルの狭い狭波長帯域をもつ狭波長帯域の光源１１から射出された光束は、光束分岐手段２０を経て光束分割合成手段３１に入射し、参照光路３０の光束は、参照鏡３４で反射し、光束分割合成手段３１に入射し、測定光路５０に分割された光束は、被検物６０の面で反射し、光束分割合成手段３１に入射し、光束分割合成手段３１で、参照光路３０の光束と測定光路５０の光束とが合成され、合成された光束は、光束分岐手段２０を経て光電変換手段７０に入射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像情報から指針の指示角度を正確に算出できて、装置のコストダウンに貢献することを可能とする。
【解決手段】指示部１２ａとキャップ１２ｂとを有する指針１２の指示角度を、撮像手段３０が指針１２全体を撮像した画像情報に基づいて算出する指針指示角度算出装置１０において、撮像手段３０から画像情報を取得する画像情報取得手段４１ａと、画像情報取得手段４１ａが取得した画像情報における指針１２の指示部１２ａ及びキャップ１２ｂの輪郭を抽出する輪郭抽出手段４１ｂと、輪郭抽出手段４１ｂが抽出した輪郭の慣性主軸を算出する慣性主軸算出手段４１ｃと、慣性主軸算出手段４１ｃが算出した慣性主軸と予め定められた基準軸とに基づいて指針１２の指示部１２ａの指示角度を算出する指示角度算出手段４１ｄと、指示角度算出手段４１ｄが算出した指示角度を出力する指示角度出力手段４１ｅと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】、基板を照射する照明光の光量を高い精度で検出して、基板表面の検査精度を向上させることができる、表面検査装置および照明光の光量制御方法を提供する。
【解決手段】 ウェハ１０を載置保持するホルダ２０と、ホルダ２０により載置保持されたウェハ１０の表面に照明光を照射する照明光学系３０と、照明光が照射されたウェハ１０の表面からの光を検出する撮像光学系４０と、撮像光学系４０で検出された光に基づいて、ウェハ１０の表面における欠陥の有無を検査する画像処理装置５０とを有する表面検査装置１において、ホルダ２０の照明光を受ける位置に設けられた反射部６１と、照明光が照射された反射部６１からの正反射光の光量を検出する光量検出部６２と、光量検出部６２により検出された光量に基づいて照明光の光量制御を行う制御装置５５とを有する。 （もっと読む）