【課題】被検物の表面の性質の違いによる形状の測定誤差を低減させる。
【解決手段】形状測定装置は、投影系相対合焦位置および撮像撮像系相対合焦位置を調整でき、投影系相対合焦位置を独立して調整できる。感度比算出部６６は、投影系相対合焦位置の変化に対する合焦測度の変化量と、撮像系相対合焦位置の変化に対する合焦測度の変化量との比である感度比を算出する。校正データ生成部６７は、投影系校正データ、撮像系校正データおよび全体校正データのうち２つの校正データを、感度比に基づいて重み付けて加算することにより適用校正データを生成する。点群データ生成部６９は、適用校正データを用いて、合焦位置検出部６５により検出された合焦位置を補正する。本発明は、例えば、三次元形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】立体画像のデータ量を削減出来る画像処理方法を提供すること。
【解決手段】二次元画像において、視点からの距離が既知である基準点につき、法線方向を求めるステップＳ１１と、前記二次元画像において、視点からの距離が未知である非基準点につき、前記基準点を基準にした照度差に基づいて、視点からの距離及び法線方向を求めるステップＳ１２とを具備し、前記二次元画像と、前記基準点における前記距離及び法線方向、並びに前記非基準点における前記距離及び法線方向とにより、該二次元画像の立体画像情報が表現される。 （もっと読む）

【課題】照明光が照明された撮影対象物を撮影した画像により、撮影対象物の形状を明確に捉えることのできる画像表示装置及び画像表示方法を提供する。
【解決手段】撮影対象物２のまわりをかこむ周囲の複数の位置のそれぞれから順次照明光Ｌを撮影対象物２に照明したときの撮影対象物２の画像がカメラ３によって撮影される。そして該撮影により得られた複数の撮影画像にわたって対応する画素の明度の平均値が撮影画像の画素ごとに算出され、該算出された各平均値が、表示装置６に表示させる撮影対象物２の画像における対応画素の明度として設定される。 （もっと読む）

【課題】被観察物の端面が，面取り加工された光沢性の強い端面であっても，その端面の広い範囲を一望できる撮像画像を得ること。
【解決手段】光を透過させて透過光を拡散させる拡散板が，被観察物１の端面からその端面に連なる表裏両側の面に渡る範囲に対して内側の面が対向する屈曲形状又は湾曲形状に形成され，その外側に配置されたカメラ３０の位置から被観察物の端面１ａが見える覗き窓１４が設けられた光拡散部材１１と，その光拡散部材１１の外側に配列され，光拡散部材１１を介して端面１ａを照明する複数のＬＥＤ１２と，前記覗き窓１４に向かうカメラ３０の光軸方向に交差する方向へ光を照射するＬＥＤ２１及びレンズ２２と，カメラ３０と前記覗き窓１４との間においてＬＥＤ２１からの光を反射して前記覗き窓１４を通じて端面１ａに照射するとともにその端面１ａからの反射光をカメラ３０側へ通過させるハーフミラー２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】路面の勾配角度をより精度良く推定することが可能な路面勾配推定装置を提供する。
【解決手段】カメラ１による複数のカメラ画像に基づいて、自車両Ｃが位置する路面の勾配角度を推定する路面勾配推定装置１０であって、各カメラ画像に共通する静止物を特徴点として抽出する抽出部３１と、抽出部３１によって抽出された特徴点が複数のカメラ画像にわたって移動する移動量を検出する検出部３２と、検出部３２によって検出された移動量に基づいて自車両Ｃのピッチ角を算出する算出部３３と、自車両Ｃの上下方向の加速度を示すセンサ値を取得するＧセンサ２と、Ｇセンサ２によって取得されたセンサ値と算出部３３によって算出されたピッチ角とに基づいて勾配角度を演算する補正部３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物体の異なる部位を描写する複数のＯＣＴ画像を基に被測定物体の物理量を高い確度で計測可能な技術を提供する。
【解決手段】光画像計測装置１は、低コヒーレンス光Ｌ０を信号光ＬＳと参照光ＬＲとに分割し、参照光ＬＲの光路を光路長の異なる二つの光路に分割することで参照光ＬＲを二つの参照光ＬＲａ、ＬＲｂに分割する。更に、光画像計測装置１は、これら二つの光路をそれぞれ経由した参照光ＬＲａ、ＬＲｂと被検眼Ｅを経由した信号光ＬＳとを干渉させて、被検眼Ｅの二つの深度位置（眼底Ｅｆ、角膜Ｅｃ）のそれぞれにおける形態を反映した干渉光ＬＣを生成し、この干渉光ＬＣを検出して検出信号を生成する。そして、光画像計測装置１は、この検出信号に基づいて眼底断層画像と角膜断層画像を形成し、これら断層画像を解析して被検眼Ｅの角膜網膜間距離を求める。 （もっと読む）

【課題】検査対象の搬送速度に変動が生じても、欠陥を確実に検出する。
【解決手段】搬送中のフイルムを受光器により撮像する。撮像により得られるフレーム画像６０にハフ変換を施し、直線６２を検出する。直線６２のうち、フレーム画像の中心Ｃ１に最も近い中心直線６２ａを特定する。中心直線６２ａと交差する直線の交点６７を求める。求めた交点６７の座標を用いて、Ｘ軸方向の隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＹ軸方向の隣接交点間距離Ｑ１〜Ｑ１５を求める。隣接交点間距離Ｐ１〜Ｐ１５及びＱ１〜Ｑ１５に基づいて、比較ピッチＸｐ，Ｙｐを求める。フレーム画像６０上の指定画素とその指定画素から比較ピッチ分Ｘｐ，Ｙｐだけ離れた比較画素を特定する。指定画素及び比較画素の濃度値に基づき、指定画素について差分処理を行う。フレーム画像６０の画素の全てに対して差分処理を行うことにより、フレーム画像６０からメッシュ部６３が除去される。 （もっと読む）

【課題】、基板を照射する照明光の光量を高い精度で検出して、基板表面の検査精度を向上させることができる、表面検査装置および照明光の光量制御方法を提供する。
【解決手段】 ウェハ１０を載置保持するホルダ２０と、ホルダ２０により載置保持されたウェハ１０の表面に照明光を照射する照明光学系３０と、照明光が照射されたウェハ１０の表面からの光を検出する撮像光学系４０と、撮像光学系４０で検出された光に基づいて、ウェハ１０の表面における欠陥の有無を検査する画像処理装置５０とを有する表面検査装置１において、ホルダ２０の照明光を受ける位置に設けられた反射部６１と、照明光が照射された反射部６１からの正反射光の光量を検出する光量検出部６２と、光量検出部６２により検出された光量に基づいて照明光の光量制御を行う制御装置５５とを有する。 （もっと読む）

【課題】誤検出を低減して欠陥検出の精度を高め、しかも検査時間の短縮とコスト低減とを同時に図る。
【解決手段】照明光学系は、光を焦点面上に集光して被検査物１００に照射するとともに前記焦点面上の集光点を走査させる。光分割部２０は、被検査物１００から得られる光を分割する。第１の光検出部２１Ａは、集光レンズ３１Ａ、光制限部３２Ａ及び光検出器３３Ａを有し、分割後の一方の光を検出する。第２の光検出部２１Ｂは、集光レンズ３１Ｂ、光制限部３２Ｂ及び光検出器３３Ｂを有し、分割後の他方の光を検出する。光制限部３２Ａと共役な平面と光制限部３２Ｂと共役な平面とは、前記焦点面の付近において、互いに光軸方向にずれている。 （もっと読む）

【課題】１台のカメラのみを用いて障害物を検出する場合、車両が低速走行しているときでも、車両の動きベクトルを正確に算出することを可能にする「動きベクトル算出装置、障害物検出装置および動きベクトル算出方法」を提供する。
【解決手段】車載カメラ１４０によって撮像された車両周囲画像内の予め定めた位置の部分画像をトラッキング対象画像として抽出するトラッキング対象画像抽出部３４０と、当該複数の車両周囲画像のそれぞれにおいて位置検出部３６０が検出したトラッキング対象画像の位置の変化に基づいて車両の動きベクトルを算出する動きベクトル算出部３８０とを備え、車速センサの検出結果を使用しなくても、画像処理によって車両の動きベクトルを算出することができるようにする。 （もっと読む）

【課題】システム構成が簡素で運用が容易となるように、１台の機構に既存の小型のセンサを少数組込み、形状計測、点検、補修をオペレータが効率的に遠隔操縦できる遠隔点検補修システムを提供する。
【解決手段】補修施工用のレーザ発射部４ａを有し、施工対象の構造物を監視して補修箇所を検知するテレビカメラ１７が取付けられたヘッド部４と、構造物の３次元形状を計測する形状計測センサ６と、形状計測センサ６及びヘッド部４の駆動機構１と、形状計測センサ６からの信号により構造物の補修箇所の３次元形状位置データを得て、ヘッド部４の施工経路に基づいた駆動機構１の駆動データを生成し、駆動機構１を遠隔で制御する制御装置１１と、を備える。 （もっと読む）

本発明は光源、光学素子およびセンサを含む測定システムを較正する方法に関する。光源は光平面を生成するようにされ、光学素子は光平面とセンサとの間に位置する。本方法は、センサ上の少なくとも１つの点から光平面内の少なくとも１つの点への写像を得るために実行される。本方法は、光平面が生成されるように光源をオンにする工程と、光平面内の第１の写像位置に写像較正プロファイルを導入する工程と、を含み、写像較正プロファイルは直線を形成する少なくとも３つの点を含む。本発明はまた、このような較正方法に使用可能な較正物体に関する。
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【課題】
レチクルとウェハ（ウェハステージ）との位置合わせ計測に用いる手順を状況に応じて変更させるようにした露光装置及びデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】
原板（レチクル）ステージに保持された原板を基板（ウェハ）ステージに保持された基板に位置合わせして原板のパターンを基板に投影し基板を露光する露光装置であって、原板に付されたマークと基板ステージに付されたマークとの位置関係を計測する計測部と、原板に付されたマークと基板ステージに付されたマークとを計測部の視野内に入れて計測部に計測を実行させる制御部とを具備し、制御部は、第１の手順（第１の手順は、第２の手順よりも計測部による原板に付されたマークの計測回数が少ない）及び第２の手順を少なくとも含む複数の手順のいずれかにしたがって計測部に計測を実行させ、当該実行した計測により得られた結果に応じて位置合わせを行なうように構成される。 （もっと読む）

【課題】短時間のうちに光沢面の表面形状を正確に測定できる形状測定装置およびその形状測定方法を提供する。
【解決手段】形状測定装置１は、顕微鏡用試料台１６に載置された試料１５の表面像を撮像する撮像部２５と、撮像部２５の撮像光学系の光軸に沿って、撮像光学系を試料１５に対して周期的に相対移動させ、移動量を記憶して出力するピエゾ駆動制御装置と、表面像に試料１５の表面の凹凸を反映した試料１５の表面からの反射光の強度ムラを重ねる二光束干渉対物レンズ１４と、ピエゾ駆動制御装置から出力される撮像部２５の移動距離値の中、二光束干渉対物レンズ１４により反射光の強度ムラが重ねられた表面像を撮像する撮像部２５により撮像される複数の表面像の合焦度が最大となる移動距離値に基づいて、試料１５の表面の相対高さを演算して試料１５の表面形状を求める制御用プロセッサ２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】真直度を効率よく測定することができる真直度測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の真直度測定装置１０は、被測定物Ｍ上を自走可能であり反射ミラーを載置した筐体１１と、筐体１１とは別に設置されたオートコリメータ１２と、筐体１１の走行距離データ、及びオートコリメータ１２からの傾斜データを処理し被測定物Ｍの真直度を算出する解析用コンピュータ１３とを備えている。筐体１１は、その底面側にタイヤ８ａ、８ｂを有し、タイヤ８ｂの回転によって筐体１１の走行距離が求められ、その走行距離は解析用コンピュータ１３に入力されて被測定物Ｍ上における筐体１１の位置が算出される。 （もっと読む）

【課題】センサの空間位置を決定するための改善された方法及び改善された装置を提案する。
【解決手段】この装置及び方法は、センサの空間位置を決定するための方法及び装置であり、まず、センサの位置を大まかに検出することによって大まかな位置情報を決定し、次に、センサに搭載された少なくとも３つの反射器をレーザ追跡装置によって測定することによってセンサのより精確な位置を取得する。レーザ追跡装置のレーザが反射器を探索する探索領域は、大まかな位置情報を基準として制限される。 （もっと読む）

【課題】 バンドパスフィルタを用いて制限した光を被検物の表面に当てて、その反射光により被検物の表面を安定的に観察する。
【解決手段】 被検物を照射する光の光源と、該光源の光から所定の波長成分を抽出する第１のフィルタと、記第１のフィルタを通過した光のうち前記所定の波長成分の範囲内であり前記第１のフィルタよりも狭い帯域の抽出特性を有する第２のフィルタと、前記第１のフィルタと前記第２のフィルタとで抽出された前記光で前記被検物を照明する照明光学系と、前記照明された前記被検物の観察を行う観察光学系とを用いる。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの検査において、ソルダレジストが塗布された部分は画像データの輝度が低くなるため、画像処理を利用した欠陥検査では回路パターンを取得しにくかった。ソルダレジストが塗布された部分の回路パターンを得るためには、照射する光を強くする必要があるが、ソルダレジストを塗布しなかった部分は白飛びになってしまい、ソルダレジストがある部分と無い部分を検査するための検査装置が必要であった。
【解決手段】回路パターンに光を照射する照明手段と、前記回路パターンの画像データを取得する撮像手段と、撮像手段によって得られた画像データ中の反射光強度分布が異なる領域の画素値を各々１箇所以上測定する画素値測定手段と、測定された画素値に基づいて回路パターンに照射する光の照射角度を調整する光照射角度調整手段と、撮像手段によって得られた画像データに基づいて欠点を検出する欠点検出手段を有する回路パターンの検査装置。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でラインセンサの仰角を高精度に計測することができる画像処理によるラインセンサ仰角測定装置を提供する。
【解決手段】ラインセンサ仰角測定装置を、表面に直線状の境界線１１を挟んで黒色部分１２と白色部分１３とが配され、表面が鉛直方向に平行になるように且つ境界線１１が水平方向に平行であって基準面から所定の高さｈに位置するように設置されるターゲット１と、焦点距離ｆ及びターゲット１との水平方向の距離ｄが既知であって、走査線方向が境界線１１に直交するように基準面に設置されて境界線１１を撮像するラインセンサ２と、ラインセンサ２によって撮像した画像を処理して境界線１１の画像上の位置を求めるとともに、得られた境界線１１の画像上の位置に基づいてラインセンサ２の仰角θを算出する画像処理部３とから構成した。 （もっと読む）

【課題】 光に対する測定対象物毎の反射率が異なることにも関らずに、三次元形状を計測することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】 形状測定装置は、第１波長帯域の光と該第１波長帯域とは異なる第２波長帯域の光を射出する光射出手段と、第１波長帯域の光に対する反射率と第２波長帯域の光に対する反射率が異なる参照面を有する参照ミラーと、第１波長帯域及び第２波長帯域の光を測定対象物に照射する測定光と参照面に照射する参照光とに分割すると共に、参照面で反射した参照光と測定対象物で反射した測定光を合成して合成光とする光分割合成部材と、合成光により形成される干渉縞画像を撮像する撮像部と、干渉縞画像を解析して測定対象物の形状を算出する形状算出部とを備える。 （もっと読む）