【課題】信頼性の高い精度を有する測定システムを備えたリソグラフィ装置を提供すること。
【解決手段】リソグラフィ装置は、基板支持体の基準システムに対する位置および／または移動を測定するための測定システムを備える。この測定システムは、基板支持体および基準フレームのうち一方に設けられたターゲットと、他方に設けられた放射源と、ターゲットから伝播した、基板支持体の位置または移動を示す放射のパターンを検出するように構成されたセンサと、を備える。基板支持体は、放射ビームがターゲットに伝播する際に通過する空間体積を封じ込めるようにガス流を供給するように構成された、１つ以上のガス出口を備える。 （もっと読む）

半導体製造で用いられる既存の技術を改良した幾つかのウェハ中心検出方法及びシステムが本書で開示される。 （もっと読む）

【課題】櫛歯より形成が容易な単純な位置合わせマークを用いて、アライメントずれを容易に、且つ、定量的、高精度に評価する。
【解決手段】位置合わせ対象の一方（２４）に、位置合わせ方向に垂直な一対のエッジを持つ位置合わせマーク（４６）を設けると共に、位置合わせ対象の他方（２８）に、前記エッジによって一部が遮蔽される一対の受光素子（４２ａ、４２ｂ）（４２ｃ、４２ｄ）を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被測定対象の表面性状が検出プローブに適さない場合であっても、被測定対象のエッジを検出可能な非接触変位計測装置を提供する。
【解決手段】光源からの光を被測定対象１２に照射してその反射若しくは透過光を光検出器で受光することにより光軸方向の被測定対象１２の変位を検出するレーザプローブ３５を移動させながら、前記光検出器の出力及び所定の閾値に基づいて前記被測定対象のエッジを検出するようにし、移動した位置情報（Ｘ_１，Ｘ_２，…，Ｘ_Ｎ）、（Ｙ_１，Ｙ_２，…，Ｙ_Ｎ）とともに、得られた出力信号から距離の情報（Ｚ_１，Ｚ_２，…，Ｚ_Ｎ）及び表面性状の情報（ＳＮＲ_１，ＳＮＲ_２，…，ＳＮＲ_Ｎ）を取得し、それら情報に基づき、エッジの位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】照明光と光学ユニットとの相対的な角度関係を計測する。
【解決手段】光源から射出される照明光と、第１の回折格子１２７ａと第２の回折格子１２７ｂとが設けられた光学ユニット２６と、の相対的な角度変化に応じて、光学ユニット２６の第１の回折格子１２７ａと第２の回折格子１２７ｂの両方で干渉する光の状態が変化するので、その干渉光を受光素子で受光することにより、照明光と光学ユニットとの相対的な角度関係を計測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】カメラの搭載個数の低減による生産性の向上と装置の小型化を図る。
【解決手段】 撮像により画像データを取得する撮像手段２０と、アーム先端部に撮像手段を保持するロボット３０とを備える物体位置認識装置１００による物体位置認識方法であって、少なくとも二以上の撮像位置に順番に撮像手段を位置合わせして目標物の目標点の撮像を行う工程と、各撮像位置の画像データから撮像座標系における目標位置の位置座標を求める工程と、各撮像位置での撮像座標系における目標位置の位置座標と、ロボット座標系における各撮像位置の位置座標とにより、目標位置の前記ロボット座標系における位置座標を算出する工程とを備える、という構成を採っている。 （もっと読む）

【課題】円筒体の内面の溝幅を決定可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】投／受光部３０を有し且つ被検査物たる円筒体２の内部に挿入される検査部３備え、検査部３を円筒体２の軸線Ｃを中心に回転させると共に軸線方向に相対的に進退させ、投／受光部３０より円筒体２の内面に光Ｌを投光し、反射光を受光し、受光された光に基づいて内面に対応した二次元画像を生成する表面検査装置１において、その二次元画像を溝Ｇの長さ方向座標と溝Ｇの幅方向座標とで表し、長さ方向座標を固定し、幅方向座標に沿って移動しながら、受光量が特定の閾値を超えて変化する、溝Ｇの一側縁部に対応する一点ｇ１と溝Ｇの他側縁部に対応する他点ｇ２との幅方向座標を求め、一点の幅方向座標と他点の幅方向座標とから区間の溝幅を求めるアルゴリズムを有する溝幅決定手段４６を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 回転体の回転速度の検出のための構成を簡略化する。
【解決手段】 回転体１の回転中心にモータ２の回転軸３が、回転軸３には回転体１とモータ２との間に円盤状のエンコーダ４がそれぞれ設けられており、モータ２の回転によって回転体１とエンコーダ４とを同時に同速度で回転させる。エンコーダ４上には、複数のスケール５が回転軸３を中心に環状に配設されており、検出部６がエンコーダ４の回転時にエンコーダ４上の各スケール５に対して光源から光を照射し、各スケール５を透過した透過光をセンサによって検出したときの検出信号を制御部７へ出力し、制御部７は、回転体１の回転中は検出部６からの検出信号に基づいてエンコーダ４の取り付け偏心量を検出し、その検出した取り付け偏心量を補正することによって回転体１を所定の回転速度で回転させ、モータ２の回転数を調整して回転体１の回転速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は簡易な構成で高精度・高安定・高分解能な相対位置計測装置、回転体走行検出装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】本発明は所定の反射率あるいは透過率の変化による光学マークが略一定間隔で形成されたスケールの像を一定サンプリング周期ごとにイメージセンサにより読み取り、読み取られた光学マークがイメージセンサ上を移動することを検知してスケールの相対的な位置を検出し、イメージセンサによって取得された画像データに基づいてイメージセンサ上に投影された光学マークの、イメージセンサによって読み取られた画像上に設けられた基準位置に基づく座標位置を算出する信号処理手段と、光学マークがイメージセンサ上の基準位置を通過する個数と光学マークのイメージセンサ上での座標位置の和に基づいてスケールの絶対移動距離を演算する位置演算手段とを有している。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、低損失で、かつ信号のＳ／Ｎが向上する相対位置検出装置、回転体走行検出装置及び画像形成層値を提供する。
【解決手段】 本発明の相対位置検出装置は、光源（１１）と、光源から照射された光ビームをビームパターンのライン状ビームに整形する光整形手段（１２）とを含む光学系ヘッド部と、所定の反射率あるいは透過率の変化によるマークパターンが一定周期で形成されたスケール（１４）と、光整形手段によって整形されたライン状ビームを前記スケールに照射し、スケールからの反射光あるいは透過光を受光し、光学系ヘッド部と移動するスケールとの相対位置の変化に伴って生じる反射光あるいは透過光の光強度を検出する光検出器（１５）とを具備している。よって、エネルギー損失を少なくで、かつ光信号のＳ／Ｎを向上することができる。 （もっと読む）

【課題】タクトタイムを大幅に向上させて正確な高さを測定することが可能な高さデータ処理方法を提供する。
【解決手段】ライン光によって切断される突出物を撮像して光切断法により得られる突出物の高さデータを処理する。まず、突出物の像を画素ごとに階調データとして取り出し、各画素ごとにその周辺の画素の階調の平坦度を調べ、平坦でない場合には対象画素にフィルタ処理を行うような階調処理を行ない、前記階調処理の行なわれた階調データに対して二値化を行ない突出物の像を二値化データに変換する（ステップＳ１７、Ｓ２７）。このような構成では、撮像された画素の階調データに対して平坦化処理がなされたあと二値化されるので、安定した高さデータが得られる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料の微小平面の角度を光学顕微鏡の接眼レンズ及び対物レンズの中間に２個のビームスプリッタを設置した光学系を用いて測定することにより、数十μm程度 (マイクロビッカース試験の領域に対応) の測定面に対し、高い精度で角度測定が行える装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の微小平面の角度測定装置は、試料テーブルに裁置される試料の微小平面の角度を光学系を用いて測定する装置において、光学系の光軸を通る参照光と試料の微小平面で反射した測定光とを撮像素子に入射させ、撮像素子における参照光と測定光の位置のずれから試料の微小平面の角度を測定するようにしたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】レーザー距離センサ及びカメラを有する画像入力装置において、特殊な機器を用いずに、適切なタイミングで、レーザー距離センサとカメラとを自動校正可能にする。
【解決手段】レーザー距離センサとカメラとの校正誤差を検出するため、２種類のレンズ２０１,２０２の切り替え動作によって、可視光を遮断して不可視光を通過させる不可視用フィルタ２０２が、カメラのレンズ２３に自動装着される。不可視用フィルタ装着中のカメラ６０４によって、レーザー距離センサ６０２から物体上に投影された不可視光のパターンが可視画像として撮影される。得られた不可視光のパターン画像と基準画像との比較により、レーザー距離センサ６０２とカメラ６０４との校正誤差が算出され、その校正誤差があらかじめ定めた値を超えた場合に、雲台２０７等の制御によってレーザー距離センサと前記カメラとの相対的な位置及び姿勢が自動校正される。 （もっと読む）

【課題】 エンコーダからの出力信号の変化を確実に検出して原点を検出すると共に、原点付近での位置検出精度の低下を防止することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】 被検出物の位置を検出する位置検出装置であって、光学的特性が周期的に変化するパターンと、光学的特性が不連続な不連続部分とを有する光学スケールと、前記光学スケールに対して相対移動可能に配置され、前記光学スケールを介して光を受光する受光素子とを有し、前記光学スケール及び前記受光素子は、前記光学スケールと前記受光素子との相対運動に応じたエンコーダ信号を出力する光学式エンコーダを構成し、前記光学式エンコーダが前記不連続部分を通過するときに発生する前記エンコーダ信号の変化に基づいて、前記被検出物の位置検出の原点となる原点位置を検出する原点検出手段を有することを特徴とする位置検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップ表面のバンプ端子の頂点の高さを精度良く検査する方法と装置の提供をする。
【解決手段】反射率の異なる領域を有する被検査物の表面に、所定の強度の入射光を走査し、その表面からの反射光を光点位置検出手段に結像させ、その結像した光点位置を検出することにより前記表面の高さを検知する高さ検査方法において、反射率の高い第一の領域４１を囲みその周辺の反射率の低い第二の領域４５では、当該高い反射率でも前記光点位置検出手段が飽和しない程度の低い第一の入射光強度で走査を行う工程と、該反射光の結像光の光量が所定の閾値を越えたことを検知したら、前回の走査時の該検知光量と入射光強度から求めた適切な第二の入射光強度で走査を行う工程とを有することを特徴とする。上記の第二の入射光強度は、前回の走査時の入射光強度とその時の検知光量から、演算により求められる。 （もっと読む）

【課題】微小部品の高さを安価な光電センサを用いて精確に検出することができる電子部品の実装装置を提供することを目的とする。
【解決手段】投光スポットからレーザ光を投光する投光器２１と、投光器２１と対向して配置され、投光器２１から投光されるレーザ光を受光スポットに受光する受光器２２と、この受光器の受光感度を調整するセンサ制御部２３からなるセンサにおいて、レーザ光の光軸２４を狭めるためのオリフィス２１ａを投光器２１に設けるとともに、受光スポットを狭めるためのオリフィス２２ａを受光器２２に設け、さらに受光器２２の受光感度を向上させた。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、フィルムの製造時に発生するフィッシュアイを検査する検査装置および検査方法を提供することにある。
【解決手段】 フィルム検査装置１０は、フィルムに透過させる光を発光する光源および受光部が並んだセンサを有し、センサでフィルムをスキャンするカメラ１２と、センサでスキャンして得た電荷信号を電圧信号に変換し、電圧信号からフィルムの不良部分を分析する分析手段１４と、分析された電圧信号と複数の大きさ閾値を比較し、電圧信号がいずれの大きさ閾値に一致するかを求めるコンパレータ１８とを含む。 （もっと読む）

【課題】 汎用性があり、レーザービーム走査位置を正確に測定できるビーム位置測定装置を提供する。
【解決手段】 本体２と、この本体２に沿って摺動可能なスライダ３と、スライダ３に設けられレーザービームの光量を検出するビーム受光器６と、レーザービームの光量からレーザービームの位置を測定する演算手段１５とを備えたビーム位置測定装置。 （もっと読む）

【課題】裏面反射があるような対象物であっても、精度良く面位置を検出する。
【解決手段】光源１１からの光を被検物に照射する投光光学系１３、１４、３と、投光光学系に設けられ、光源からの光束の一部を遮蔽し、被検物からの光を反射する第１光路分割部材１２と、第１光路分割部材で反射された被検物からの光を２つの光路に分割する第２光路分割部材１５と、複数の受光部を有し、第２光路分割部材により分割された一方の光を受光する第１受光手段１６と、第１受光手段により検出された複数の受光部で受光された光量を基に、被検物の面位置を検出する第１位置検出部１７、７と、第２光路分割部材により分割された他方の光の光路中に設けられたピンホール１８を透過した光を受光する第２受光手段１９と、第２受光手段により受光された光量を基に被検物の面位置を検出する第２位置検出部２０、７と、投光光学系と被検物との相対位置を変更する移動手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 雰囲気温湿度が変化するような場合でも、高精度の位置測定を行うことができる位置測定装置を提供する。
【解決手段】 コリメートレンズ２を透過した光のうち、ビームスプリッタ３で反射された光は、集光レンズ８により、ＣＣＤ９の受光面に集光される。図から明らかなように、光源１が振動して光ビームの位置が変われば、ＣＣＤ９に入射する光ビームの位置が変化するので、ＣＣＤ９の出力変動から、光ビームの振動中心を知ることができる。制御装置１０は、この振動中心を検出し、振動中心が予め定められた位置となるように、光源１を加振しているピエゾ素子１１に印加する電圧を制御する。このようにして、位置計測の基準となる光ビームの振動中心位置が、検出ヘッドに対して常に一定に保たれるので、雰囲気温湿度が変化したような場合でも、光ビームの振動中心位置変動に伴う測定誤差が発生することが無くなり、精度が悪化することがない。 （もっと読む）