複数層パーツの製作中において、自動積層成形装置の位置的な積層精度を判定するための方法と装置が開示される。本方法は、一座標系内での積層成形装置（５０）の積層ヘッド（５４）の位置を測定するステップ、積層ヘッドに対するプライ端部の位置を決定するステップ、測定されたヘッドの位置に基づいてプライ端部の位置を前記座標系に変換するステップ、プライ端部の位置を、前記座標系から、製造中のパーツに関連する第２の座標系に変換するステップ、及び製造されているパーツに関連する第２座標系におけるプライ端部の実際の位置と規定されたプライ端部の予測位置とを比較することにより、装置の取り付け精度を判定するステップを含む。
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【課題】測距センサの駆動機構に阻害されずに走査範囲を走査することが可能な３次元距離測定装置及び当該装置を備えた脚車輪型ロボットを提供する。
【解決手段】３次元距離測定装置２００を、２次元距離測定装置１１２と、モータ１１６と、エンコーダ１１８と、プーリ１２０ａ及び１２０ｂと、ベルト１２１とを含んだ構成とし、モータ１１６の第１の回転軸を、プーリ１２０ａの回転軸となるように当該プーリ１２０ａと係合し、モータ１１６の回転駆動力で、プーリ１２０ａを回転駆動する。プーリ１２０ａ及びプーリ１２０ｂは、その軸心Ａ及びＢの位置が水平方向に所定の距離を開けるように配設し、プーリ１２０ａの回転駆動力は、ベルト１２１を介してプーリ１２０ｂに伝達されるようにした。また、プーリ１２０ｂと、２次元距離測定装置１１２を回転駆動する第２の回転軸とは、当該第２の回転軸がプーリ１２０ｂの回転に連動して回転するように係合した。 （もっと読む）

【課題】測定範囲外で測定に必要な主走査の位置の変更に係る時間を短縮する。
【解決手段】走査制御部２５ａは、主走査機構１１を駆動させて測定範囲を距離Ｌの間隔を置いてＮ回、前記第１方向に平行な主走査をさせるとともに、測定範囲外で主走査機構による主走査の延長線上における延長副走査と、副走査機構３による第１方向と直交する第２の方向への副走査とを、ほぼ同時に実行させて距離Ｌの間隔をＮ−１回に亘って主走査位置を変更させる構成とした。 （もっと読む）

可撓性ウェブの変位を表示するための方法及びシステムについて記載する。細長い可撓性ウェブは、目盛り構造を有する一体的な目盛りを含み、その目盛り構造は、ウェブに向けられたエネルギーを変調するように構成される。移送構造は、ウェブと変換器との相対運動をもたらす。変換器は、目盛り構造によって変調されたエネルギーを検知し、変調されたエネルギーに基づいて連続的なウェブの変位を表示する信号を生成する。
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【課題】長尺の条材を高精度でかつ短時間で測定する方法と、この測定する方法を用いて効率よく定尺長さに切断する方法との提供である。
【解決手段】ビレット２８を搬送装置１０により搬送しつつ、第一センサー１８と第二センサー２０とで搬送方向先端と後方とを検索する。第一センサー１８がビレット２８の先端を検出してから第二センサー２０がビレット２８を検出しなくなるまでのパルス数を測定する。搬送装置の１パルス当たりの搬送距離Ｐとパルス数とを乗算して通過長さＬ２を算出する。第一センサー１８と第二センサー２０とにより定まる間隔長さＬ１にこの通過長さＬ２を加算して、ビレット２８の長さを算出する。このビレット２８は、この長さ情報を基に切断装置１２で定尺に切断される。第二センサーを複数にしてビレット２８の後方を検索してビレット２８の長さを算出してもよい。 （もっと読む）

【課題】低損失で高速な折返しを行うことができる直線往復動装置、直線往復動装置の制御方法、及び測定装置を提供するこを提供する。
【解決手段】本実施の形態にかかる直線往復動装置は、移動体４０を直線方向に沿って往復運動させる直線往復動装置であって、移動体４０と、移動体４０に対して与えられる駆動力を制御する制御部と、移動体４０よりも大きい質量を有する質量体５８であって、接近する移動体４０を跳ね返して移動体４０の移動方向を反転させる反転部５０が移動体４０の両側にそれぞれ設けられている質量体５８と、移動体４０の移動方向に沿って設けられ、移動体４０、及び質量体５８を直線移動可能に保持するガイドレール３３と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】多数の画素からなる変調手段の全ての描画点の位置を示す全画素座標データを短時間で取得し、生産性の向上を図る。
【解決手段】多数の画素から一部の画素を間引いた残りの第１間引済画素の描画点の位置を測定して詳細測定座標データＰ_１を取得し、その詳細測定座標データＰ_１を補間して全ての画素の第１全画素座標データＲ_１を取得し、第１間引済画素からさらに一部の画素を間引いた残りの第２間引済画素の描画点の位置を測定して第１簡易測定座標データＱ_１を取得し、第１簡易測定座標データＱ_１と詳細測定座標データＰ_１のうち第２間引済画素の詳細測定座標データＰ_１との関係に基づいて詳細測定座標データＰ_１を補正して第１補正済詳細測定座標データＰ_１−１を取得し、その第１補正済詳細測定座標データＰ_１−１を補間して第２全画素座標データＲ_１−１を取得する。 （もっと読む）

【課題】タイヤの表面に照射したライン光の像を撮像した画像に基づいて光切断法による形状検出を行う場合に，ライン光の強度を増強することなく，十分に高い撮像レートでライン光の像の撮像を行っても，タイヤの表面に照射したライン光の明瞭な像を得ることができる。
【解決手段】タイヤ１の表面の一の線Ｌｓ上に光切断線が形成されるように，その光切断線における検出高さ方向（Ｚ軸方向）とは異なる方向から複数のライン光を連ねて照射，又は１つのライン光をそのライン長方向において集光して照射する投光装置１０と，タイヤ１の表面に一の線状に連ねて照射されたライン光の像を，複数のシート光それぞれの主光線がタイヤ１の表面に対して正反射する方向において，又は集光された１つのライン光の主光線がタイヤ１の表面に対して正反射する方向において撮像するカメラ２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】光結合素子の製造工程において使用できて、非破壊検査であって、検査精度が高く、検査タクト・設備調整時間が十分短く、検査コスト・設備コストが低くできる上に、材料コストの増大を防止でき、また、デバイスを覆う透明樹脂に使用しても、デバイスへの悪影響の発生を防止できる透明樹脂の検査方法を提供する。
【解決手段】リードフレーム２の一表面上に略半球形状の透明樹脂４を塗布形成して、略半球形状の透明樹脂４を硬化させた後、略半球形状の透明樹脂４に光を照射しながら、略半球形状の透明樹脂４からの反射光をＣＣＤラインセンサカメラ１３で受ける。ＣＣＤラインセンサカメラ１３がその反射光に基づいて作成した画像データによって、透明樹脂４の塗布量を判定する。 （もっと読む）

【課題】取得した濃度値に誤差を含む場合であっても適切に画像の位置を特定することができるようにすること。
【解決手段】所定の画像のパターンを媒体に形成するステップと、前記媒体上を所定方向に走査して、該所定方向における各位置の濃度値を取得するステップと、ある位置の所定範囲に含まれる位置の前記濃度値の平均値に基づいて、該ある位置における前記濃度値と比較されるしきい値を補正するステップと、前記各位置について補正した前記しきい値に基づいて、前記所定の画像のパターンの形成されている位置を特定するステップと、を含む位置特定方法。 （もっと読む）

【課題】 ２次反射による反射光の影響をより効果的に除外することが可能な形状測定装置および形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 レーザー光源１２からレーザー光が測定対象に照射され、照射部位における反射光が複数のイメージセンサ２４，２６の受光領域に受光される。イメージセンサ２４，２６は受光量を表す受光信号を出力し、ドライブ回路４２，４４にてデジタルデータにされて受光位置検出部４６ａ，４８ａに入力し、受光位置検出部４６ａ，４８ａは受光信号から受光量のピーク値が存在する受光位置を検出し距離算出部４６ｂ、４８ｂに出力する。距離算出部４６ｂ、４８ｂは受光位置から照射間距離の推定値を計算する。このとき複数の照射間距離の推定値を算出した場合には、これら複数の照射間距離の推定値を比較し、所定の許容範囲内で一致する値を正規の照射間距離として選択する。 （もっと読む）

【課題】 走査型露光装置のマスクステージ、あるいはウエハステージにおいて、走査方向と直交する方向の変位を測定する測定手段を含むリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】 フレーム１５に固定されたビーム源１７から発せられたビームはステージに固定された反射型の格子２６により２つのビームに分割される。さらに、それぞれのビームは透過型の第２の格子１８，１９、第３の格子２４，２５、１／４波長板２２，２３を透過後、反射型の格子２６でビームを１本にし、センサに入射させる。センサはビームの干渉の強度変動を感知し、ステージの変動量を測定する。 （もっと読む）

一実施形態において、座標測定装置は、第１の端および第２の端をそれらの間の少なくとも第１のアームセグメントおよび第２のアームセグメントとともに有する関節付きアームを含む。さらに、装置は、第１のアームセグメントを第２のアームセグメントに接続する少なくとも１つのボールソケット継ぎ手であって、ボール部材およびソケット部材を含むボールソケット継ぎ手と、上記関節付きアームの第１の端に取り付けられる測定プローブとを含むことができる。
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【課題】電源再立上げ時でも高精度な位置決め精度を発揮することができる光学要素の保持装置及びそれを備えた露光装置を提供する。
【解決手段】レンズＬＥを光軸方向に駆動させる駆動機構７１と、レンズＬＥの位置を計測するレンズ位置検出手段７２と、を有する光学要素の保持装置であって、レンズ位置検出手段７２は、レンズＬＥの光軸方向における相対位置を計測するインクリメンタル式垂直変位検出センサ７２２と、レンズＬＥの絶対位置を計測するアブソリュート式垂直変位検出センサ７２１と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非駆動方向に変位が生じても正確に補正することができる光学要素の保持装置並びにその調整方法及びそれを備えた露光装置を提供する。
【解決手段】レンズＬＥを駆動させる駆動機構７１と、レンズＬＥの位置を計測するレンズ位置検出手段７２と、を有する光学要素の保持装置であって、レンズ位置検出手段７２の位置検出パラメータ数は、駆動機構７１の駆動方向パラメータ数より多いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基準部材の基準部と電子回路部品とを撮像して部品保持具による電子回路部品の保持位置の相対的な位置決め誤差を検出し補正する装置を提供する。
【解決手段】基準マークを備えた基準マーク部材を部品吸着具７０の回転軸線のまわりに回転可能に設け、基準マーク部材回転装置１１２により回転させる。基準マーク部材は、部品吸着時には、電子回路部品と干渉せず、部品カメラにより撮像される回転位置に位置させられ、電子回路部品と共に撮像され、基準マークの中心位置等に基づいて吸着具回転軸線の位置を取得し、部品吸着具７０による電子回路部品の保持位置誤差を取得する。撮像後、電子回路部品の姿勢を変更する場合、基準マーク部材が電子回路部品と干渉するのであれば基準マーク部材を回転させ、干渉を回避する。基準マーク部材は、吸着具回転軸線を中心とする円の半径方向，吸着具回転軸線と平行な方向に移動させてもよい。 （もっと読む）

【課題】ブレードの欠陥検査工程と寸法検査工程とを連動させて自動化を図る。
【解決手段】欠陥検査装置２１および寸法検査装置３１は、ブレード１が欠陥検査装置２１および寸法検査装置３１に対して連続的に相対移動されるように取付台１１の移動方向に沿って配列されている。そして、欠陥検査装置２１は、ブレード１の内部の欠陥を検査する内部欠陥検査部２５と、ブレード１の第１の基準面３における欠陥を検査する第１の表面欠陥検査部２６と、ブレード１の第１の基準面３に直交する第２の基準面４における欠陥を検査する第２の表面欠陥検査部２７とを有する。 （もっと読む）

【課題】三角形状や円弧形状のフラップを有する封筒であっても、封緘時に糊や水を良好に塗布することができる技術を提供する。
【解決手段】ベルトコンベア２による搬送経路の途中には、エッジ位置計測用センサ２４が配置されている。エッジ位置計測用センサ２４の計測範囲をフラップＦ１が通過するとき、その遮光量に応じてエッジ位置を計測することができる。エンコーダ１８の一定パルスごとにエッジ位置を計測し、計測した位置の変化量をΔｙ、一定パルス間の封筒Ｅ１の移動量をΔｘとして、エッジの傾きΔｙ／Δｘを算出する。この傾きに合わせてスプレーノズル２６を移動させ、フラップＦ１の形状に合わせて糊又は水を塗布する。 （もっと読む）

【課題】物体把持を行うことが可能な腕部を有するロボットにおいて、把持対象物体の三次元形状認識の精度を向上させる。
【解決手段】ロボット１は、頭部１０及び胴体部１１よりなる体幹部、胴体部１１に連結された腕部１２、頭部１０に固定された頭部カメラ１０１、腕部１２に固定された手先カメラ１２５を備えている。また、ロボット１は、頭部カメラ１０１によって腕部１２を撮像した画像に基づいて、前記第２のカメラの三次元位置及び姿勢を算出し、手先カメラ１２５によって複数の位置から把持対象物体を撮像して得た画像系列と、算出した手先カメラ１２５の三次元位置及び姿勢とに基づいて把持対象物体の三次元形状を算出する。さらに、ロボット１は、算出した持対象物体の三次元形状に基づいて前記物体の把持動作を実行する。 （もっと読む）

【課題】誤差を生じにくく、多くの空間を占有しない、改良された精密測定システムを提供する。
【解決手段】測定システムに入力された第１の放射ビームが、第１の回折格子によって、１次および負の１次回折放射ビームに分割され、１次および負の１次回折放射ビームが、第２の回折格子によってさらに回折され、続いて再結合されて、第２の放射ビームを形成するように構成されており、この測定システムはさらに、１次回折放射ビームに由来する第２のビームの第１の成分と負の１次回折放射ビームに由来する第２のビームの第２の成分との間の位相差の決定から、第１の格子と第２の格子の相対変位を決定する。 （もっと読む）