放射線エミッタの位置を測定するタッチパッドのような方法及びシステムであり、放射線エミッタはスタイラス、ペン、ポインタ等の能動的に放射線を放射するものでも、受動的な放射線を散乱／反射／拡散する要素でもよい。放射線はバーコード要素で変調され、少なくとも１次元のセンサ上に供給される。検出器の出力から、放射線エミッタの位置が測定される。このシステムは、標準的なタッチパッド、壁ないしは黒板やホイワイトボード上で使用するマーカのような外部のエミッタの位置の検出用、又はタッチパッド等の「内部」位置について使用できる。
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【目的】 ２次元の補正が可能なレチクル検査装置を提供することを目的とする。
【構成】 レチクル１０１上のＸ座標位置を測定するＸ軸レーザ干渉計２０１とＸ軸レーザスケール２０２と、前記レチクル１０１上のＹ座標位置を測定するＹ軸レーザ干渉計２１１とＹ軸レーザスケール２１２と、前記レチクル１０１上の光学画像を取得する光学画像取得部となるレーザ光学装置１０３、及び透過光検出部１０５等と、前記レチクル１０１上の複数の所定の位置における設計上のＸＹ座標と前記Ｘ軸レーザ干渉計２０１とＸ軸レーザスケール２０２と前記Ｙ軸レーザ干渉計２１１とＹ軸レーザスケール２１２とにより測定される前記複数の所定の位置のＸＹ座標とに基づいて、前記光学画像取得部により取得された前記光学画像の位置を補正する光学画像補正部１４０と、補正された位置で前記光学画像と所定の参照画像とを比較する画像比較部１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
光切断法によりギャップ又は段差を測定する際に、測定対象面上に二次元的に分布する多数の測定点のデータをどこでも迅速且つ正確に測定できるようにする。
【解決手段】
測定対象面（Ｓ）に対してスリット光を照射する光源装置（１０）と、測定対象面（Ｓ）に形成されたスリット光の輝線像をその照射光軸と異なる方向から撮像する撮像カメラ（１１）が内蔵されたハンドセット（２）に、スリット光による輝線像と直交する方向に回転する走行ローラ（７Ｒ，７Ｌ）が配され、走行ローラ（７Ｒ，７Ｌ）の回転によりハンドセット（２）の移動距離を検知するセンサ（１２）が配され、該センサ（１２）の検出距離に基づきハンドセット（２）が予め設定された一定距離移動するごとに前記撮像カメラに（１１）で撮像された画像データを取り込んで、その画像データと予め設定された基準長さデータとを比較することによりギャップ又は段差を測定する画像処理装置（４）を備えた。 （もっと読む）

【課題】 移動体の位置検出ポイントが広い間隔をあけて複数存在する場合でも、移動体を高い精度で位置決めすることができる駆動装置を提供する。
【解決手段】 磁界を発生させる磁界発生部材７と、磁界を検出する第１，第２，第３の磁界検出素子６Ａ，６Ｂ，６Ｃから成る磁界検出手段６と、磁界発生部材７を移動させる圧電アクチュエータＰとを備える。磁界検出手段６での検出結果に基づいて磁界発生部材７と磁界検出手段６との相対的な位置決めを行う際、磁界発生部材７が移動する可動範囲において、所定領域では第１，第２の磁界検出素子６Ａ，６Ｂの検出結果に基づいて第１の位置決めを行い、所定領域から離れた所定ポイントでは第３の磁界検出素子６Ｃの検出結果に基づいて第２の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】レーザー光源のモードジャンプの問題を簡単な方法で防止した位置測定システムを提示することである。
【解決手段】二つの物体の相対位置を測定する位置測定システムが、レーザー光源（３）に対する可変動作電流を生成するための電流供給ユニット（１，２）を有する。少なくとも一つの光検出器（１３．１，１３．２，１３．３）が、レーザー光源（３）から受けた光より位置に依存する出力信号（−１２０°，０°，＋１２０°）を生成する。測定動作では、電流供給ユニット（１，２）からレーザー光源（３）に、交流電流成分と重畳した直流電流を供給する。 （もっと読む）

増分干渉計を使用することなく、移動外部再帰反射器またはそのほかの移動目標表面の１またはそれを超える次元の絶対距離測定および／または表面走査および／または座標測定が可能なレーザ・デバイスおよび方法。
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【課題】発光ダイオードを用いて移動する対象物上の所定領域の画像を精度よく取得する。
【解決手段】画像取得装置１は、対象物９を連続的に移動するコンベア２、および、コンベア２の上方に設けられたヘッド部３を備える。ヘッド部３は、フラッシュ光を出射するＬＥＤ３１、対象物９にフラッシュ光を導くとともに対象物９からの光が入射する顕微鏡３２、および、顕微鏡３２により所定の倍率で結像された対象物９の像を電気信号に変換する撮像デバイス３３を有する。画像取得装置１では、連続点灯時の許容電流を超える電流がＬＥＤ３１に入力されて、コンベア２により移動する対象物９に対してフラッシュ光が照射され、対象物９上の検査領域の画像が取得される。これにより、ＬＥＤ３１を用いて移動する対象物９上の検査領域の画像を精度よく取得することができる。 （もっと読む）

【課題】 高精度に被検光学系の光学特性を測定する測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】 上記課題を解決するため、本発明に係る被検光学系の光学特性を干渉を用いて測定する測定装置は、光源からの光により照明され、球面波を生成する球面波生成手段と、前記光源からの光を分割する光分割手段と、前記球面波生成手段と前記光分割手段とを通過し、２つの球面波となって前記被検光学系に入射した光のうち一方の光が集光する位置にスリットが配置されたスリットを有するマスクと、前記スリットを通過した光と、前記被検光学系を経てスリットを通過しない光とで形成される干渉縞を受光する受光手段とを有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】画像測定機において、被検物の輪郭形状を測定する場合の測定時間を短縮させる。
【解決手段】画像測定機にステージ５上に載置された被検物６を撮像して撮像した画像を出力する撮像部４と、ステージ５上に載置された被検物６を撮像部４が撮像する撮像位置に対して相対移動させる移動装置と、制御ユニット２とを設け、制御ユニット２に、移動装置を制御して、予め設定された被検物の測定点の位置を撮像部４に相対移動させ、かつ撮像部４に撮像位置における被検物６の画像を撮像させて出力させる撮像制御部と、撮像部４が出力する画像内の複数の測定点の座標値を求める画像処理部と、被検物６の測定点の位置を撮像位置に移動させる際の複数の候補位置を求めて、複数の候補位置のうち、測定点が最も多く含まれる候補位置を次に移動する位置に決定する位置決定部とを設ける。 （もっと読む）

【課題】基板テーブル及びこの基板テーブルの移動を制御する移動制御システムを含むリソグラフィ機器を提供すること。
【解決手段】移動制御システムは、基板テーブルＷＴの位置を検出するように構築された少なくとも３つの位置検出器Ｐ１〜Ｐ５を含む。基板テーブルＷＴの位置及び向きを測定するために、各位置検出器Ｐ１〜Ｐ５は、１次元又は多次元のタイプの光学式エンコーダを備える。これらの光学式エンコーダは、合わせて少なくとも６つの位置の値を提供するように配置され、３次元の各次元ごとに少なくとも１つの位置の値が提供される。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で小型化ができ、機構的に柔軟性を有する位置検出装置および位置制御装置を安価に提供する。
【解決手段】 位置検出装置は、線条体１と光学式センサ４を備える。線条体１はこれより細い２本の線条体１ａ、１ｂを撚り合わせて形成してあり、表面に２色の繰り返しパターンとしてのらせん状パターンを形成している。光学式センサ４は線条体１に対向して配置され、受光素子２ａ、２ｂ、発光素子３を備える。発光素子３から射出された光は、線条体１ａ、１ｂの表面で反射するので、受光素子２ａは線条体１ａから反射した入射光を検出し、受光素子２ｂは線条体１ｂから反射した入射光を検出する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高いエンコーダ信号の発信と走査量以外の多岐な情報を提供できる高機能なエンコーダを備えたインクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】 キャリッジ１を主走査方向に移動させるとともに、記録媒体２を副走査方向に搬送して記録を行うインクジェットプリンタであって、キャリッジ１及び記録媒体２の走査量をエンコーダスケール４、６に記載されたスケールパターンを検知して制御するインクジェットプリンタにおいて、スケールパターンを検知するエンコーダセンサ５、８は、スケールパターンを形成するマークの形状を認識できる撮像手段を有し、この撮像手段を用いて走査量を検知する。 （もっと読む）

［課題］ 本発明は、測量装置と撮像装置とにより３次元座標データを演算するための３次元測量装置等に係わり、特に、測量装置により対応点の位置を決定し、ステレオ表示が可能な３次元測量装置を提供することを目的とする。
［解決手段］ 本発明は、測量装置により計測された少なくとも３点の基準点の位置と撮像装置による画像とから、撮像装置の傾き等を算出し、測量装置により計測された視準点の位置から、撮像装置の傾き等を算出し、視準点を対応点として撮像装置の画像のマッチングを行い、測量装置が測定した視準点の位置と、マッチングを行った画像にある視準点とを関連付け、その関連付けに基づき測定対象物の３次元座標データを演算することができる。 （もっと読む）

カメラ（３２）は、光源ポジショナ（２８）により配置された光カーテン（１８）により物体上に投射された光ストライプ（２２）の連続画像を取り込む。これから背景画像を差し引き（６１６）、得られた画像をビニング（６１８）により強調し、閾値アルゴリズム（６２０）により２値化し、細線化し（６２２）、補間し（６２４）、そして格納する（６２６）。補間画像は、複数の光ストライプ（２２）について取り込む。プロセッサ（３０）は、非ゼロカメラピクセルについて計算した直交座標から３Ｄ表面モデルを生成する（１６０４）。容量表示は、近接表面、例えば着座表面（２４）のモデルに対する、物体表面のオフセットから決定する（１６１０）。物体は、例えば訓練可能パターン認識システムによって、３Ｄ表面モデルの３Ｄ形状デスクリプタ（１６０６）および容量表示（１６１０）またはその一部（１６１２）に応答して分類される（１６１４）。車両（１２）内の乗員（１４）の検出は、安全拘束システム（３６）の制御に用いることができる。

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制御システム（７）によってカメラ（５）を備えた機器（４）を所望位置（１０）へ動かす方法。カメラ（５）は、制御システム（７）に接続されている。動かしている間、カメラによって写真が撮影される。制御システム（７）によって単位時間あたりに処理される写真の枚数は、機器（４）と所望位置（１０）の間隔が短くなると、増加される。

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【課題】 一般的なタイプの測定装置を、カラー測定に適するように改良すること。
【解決手段】 二次元の測定対象物をピクセル毎に光電測定するための装置は、測定対象物（Ｍ）を二次元ＣＣＤイメージセンサ２２上に結像するための投影手段３，２１と、イメージング光路に設けられ且つイメージセンサ上に衝突する測定光の波長選択フィルタリングを行なうフィルタ手段６６と、イメージセンサによって形成された電気信号を処理するとともに、その電気信号を対応する生のデジタル測定データ７１に変換する信号処理手段２３と、生の測定データを、測定対象物の各画像要素の色を示す画像データ７２に処理するためのデータ処理手段７とを有している。 （もっと読む）