【課題】測定装置が傾斜した場合でも、管内面を正確に測定することができる管内面形状測定装置を提供する。
【解決手段】トンネル１に沿って鉛直方向にレーザビーム２を走査させて、トンネル１内面に照射したレーザビーム２の方位毎の測距データを出力する測域センサ１１と、鉛直方向に対して所定の角度θに傾けた方向にレーザビーム３を走査させて、トンネル１に照射したレーザビーム３の方位毎の測距データを出力する測域センサ１２と、測域センサ１１、１２をトンネル１の軸方向に移動する車両５と、車両５により測域センサ１１、１２を移動させた時のそれぞれの位置座標を検知するエンコーダ８と、測域センサ１１、１２により検出された測距データに基づいて車両５と管軸との傾き角度を算出し、エンコーダ８により検知された位置座標を、算出した傾き角度に基づいて補正して管内面の三次元表面形状を生成するＰＣ１０と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】非球面形状を高精度に測定する際に、被測定物の着脱が正確な位置に作業性よく行える測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物１０を保持する被測定物保持機構Ａと、測定光を照射して光干渉測定を行う干渉光学系２を有する干渉光学機構Ｂとは、それぞれ相対的に移動可能に設置されてなり、被測定物保持機構Ａに被測定物１０を先端に保持しエアスピンドルによる回転機構７０で回転駆動されるサンプルステージ６と一体に回転する回転体６４を設けるとともに、該回転体に形成された凹状の係合部６４ａに係合してその回転を規制する規制機構６５を設け、被測定物の着脱時にはサンプルステージの回転を規制する。 （もっと読む）

【課題】 角度情報を使用せずに、距離情報のみでターゲットの空間座標を精度良く特定することができる空間座標測定システムおよび空間座標測定方法を提供する。
【解決手段】 この空間座標測定システムは、測定物Ｗ上に設けられた一つのターゲットＴｇの空間座標を求める空間座標測定システムである。空間座標がそれぞれ特定された少なくとも３個以上のレーザートラッカー１と、前記３個以上のレーザートラッカー１のうちの３個のレーザートラッカー１から、前記一つのターゲットＴｇに対しレーザー光Ｌｂをそれぞれ照射させて測定した３箇所の距離の測定値と、前記３個のレーザートラッカー１の空間座標とから、前記ターゲットＴｇの空間座標を求める演算手段３とを有する。 （もっと読む）

【課題】エッジ検出動作（装置の稼動）を中断することなく、貼り合わせウエハの製造プロセス全体にわたって必要とされるエッジ検出精度を確保することが可能なウエハアライメント装置を提供する。
【解決手段】このウエハアライメント装置１００は、シリコンウエハ１１１とウエハ支持ガラス基板１１２とを含む貼り合わせウエハ１１０のエッジを検出するとともに、開始端２１ａが貼り合わせウエハ１１０の中心側に設定されたラインセンサ２１と、ラインセンサ２１に対向する光源２２と、貼り合わせウエハ１１０のエッジの検出時に、ラインセンサ２１を貼り合わせウエハ１１０の中心側からエッジ側に向かって走査するとともに、所定の場合に、シリコンウエハ１１１のエッジ検出と、ウエハ支持ガラス基板１１２のエッジ検出とを切り替えるように制御するコントローラ４０とを備える。 （もっと読む）

光学測定装置は、固定された主軸台（５７）が取り付けられた基準支持体（４０）、ならびに、固定された主軸台に対向し、および測定される部品を主軸台（５７）と心押し台（６０）との間で維持するために主軸台（５７）に近づいてくる、またはそこから離れて移動するための線形軸（ｘ）に沿って移動可能である、移動可能な心押し台（６０）、ならびに線形軸（ｘ）に沿って移動可能な可動式往復台（１００）を含むものであって、往復台は、コリメート光束が測定中の部品によって遮られるようにｘ軸を横切って方向付けるための光源（１１０）を担持し、往復台は、光源（１１０）に配列され、および測定中の部品によって遮られなかったコリメート光束の残留光を受けるように配置されている光学検出器（１２０）を、さらに担持する。測定装置は、光学往復台（１００）および心押し台（６０）が摺動可能に係合されている基準支持体（４０）上に固定されている直線状ガイド（４７）を有するのに対し、主軸台（５７）は、基準表面上に固定され、少なくとも一部が前記直線状ガイド（４７）上に懸下している主軸台担持部（５０）上に設置されている。
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【課題】位置計測系の周期誤差が発生しても、精度良く周期パターンの位置を検出する。
【解決手段】可動ステージの位置を位置計測系を用いて計測し、その計測情報を用いて可動ステージを駆動するとともに、可動ステージ外の周期パターンから成る計測用マークを可動ステージに一部が配置された検出器を用いて検出する。ここで、位置計測系の計測周期（図１０（Ｂ）及び１０（Ｃ）に示される例では０．２５μｍ）の自然数倍と異なるピッチ（図１０（Ｃ）の例では２．０３１２５μｍ（なお、図１０（Ｂ）の例では２μｍ））の周期パターンを計測用マークとして用いることにより、計測周期に等しい位置計測系の周期誤差が発生しても、検出精度を損なうことなく、計測用マークの位置情報を計測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】短時間で且つ容易にワークの変位量を検出可能な非接触変位計測装置を提供する。
【解決手段】非接触変位計測装置は、ワーク１２を載置可能に構成された測定テーブル１３と、ワーク１２の変位量を計測する第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃと、Ｙ軸に沿って測定テーブル１３から相対移動可能に構成され、Ｚ軸方向に広がり且つＸ軸方向の測定テーブル１３の両端に端部を有するゲート形状を有する第１ゲート状駆動部１４Ａとを備える。第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃは、ワーク１２に光を照射すると共にその光に基づく反射光を受光し且つその反射光に基づきワーク１２の変位量を計測する。第１ゲート状駆動部１４Ａは、ワーク１２に対して少なくとも２方向からの光を照射させるように第１〜第３レーザプローブ３５ａ〜３５ｃを配置可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】被検物の形状測定において、測定プローブと被検物との位置合わせ作業を簡単に
行うことが可能な構成の形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物に対して光プローブ２０を相対移動させて、光プローブ２０により得
られた情報から被検物の三次元形状を非接触で測定するように構成された形状測定装置に
おいて、光プローブ２０を被検物に対して所定の位置となるように移動させる門型構造体
１０と、被検物を少なくとも２つの回転軸方向に回転させる支持装置３０とを有して構成
される。 （もっと読む）

【課題】回折格子回折格子全面からの回折光波面を短時間に計測し、得られた波面情報に演算処理を施すことで、従来技術が持つコストと評価時間に関する課題を解決することを目的としている。
【解決手段】１軸回折格子１０または２軸回折格子の全面に光を照射し、＋１次回折光と−１次回折光のそれぞれの波面情報をフィゾー型干渉計１１などの形状計測用干渉計で評価する。回折格子からの＋１次回折光または−１次回折光と、フィゾー型干渉計１２の内部に搭載されている参照用オプティカルフラット１２からの参照光が重なり合うように、形状計測用干渉計に対して回折格子を相対的に傾ける。フィゾー型干渉計１２により、回折光全面からの波面を一括に、且つ短時間に計測できる。得られた＋１次回折光または−１次回折光の波面を減算処理することで、回折格子全面にわたるピッチばらつきを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】凹凸マーク上に重なるように凹凸欠陥が存在する場合にも、本来の凹凸マークの高さ分だけを差し引いて凹凸欠陥のみの高さを算出・取得する。
【解決手段】サンプルタイヤのサイドウォール面の二次元画像であるサンプル原画像において、凹凸マークの輪郭である境界線を検出し、境界線の位置を示すマスク画像を生成するマスク画像生成工程と、サンプル原画像において、マスク画像に示された境界線の位置に対応する領域を除き、残りの領域の高さを離散的な複数の高さ閾値を用いて分類することで得られる高さオフセット画像を生成する高さオフセット画像生成工程と、検査タイヤのサイドウォール面の二次元画像である検査画像から、高さオフセット画像を差し引くと共に、マスク画像が表す境界領域を除去する差分処理工程とを経て、差分処理工程の結果として得られた凹凸除去画像に基づいて、検査タイヤのサイドウォール面の形状欠陥を検査する。 （もっと読む）

【課題】校正用ターゲットを用いることなく、カメラ校正を実施することができるコークス炉壁観察装置のカメラ校正方法およびプログラムを提供する。
【解決手段】カメラ３０をコークス炉１０内に挿入し、炉壁画像ＯＩを撮影し、炉壁画像ＯＩを視点変換処理して視点変換画像ＴＩを生成するコークス炉壁観察装置における、カメラ３０の取り付けを校正するために、コークス炉１０の形状を指標としてカメラ校正を行う。カメラ３０の取り付け誤差の影響のない視点変換画像ＴＩを生成することができ、炉壁全体画像ＷＩの合成を行っても視点変換画像ＴＩの繋ぎ目で不一致が生じることがない。校正用ターゲットを高温となるコークス炉内に設置する必要がない。 （もっと読む）

【課題】 エンコーダシステムを用いた位置計測装置において、計測誤差による影響を低減させることを目的とする。
【解決手段】 対象物を搭載して移動可能な移動体と、前記移動体の位置を計測可能なエンコーダ型の第１の計測手段と、前記第１の計測手段による計測と同時に、前記移動体の位置を計測可能、あるいは前記対象物または前記移動体に形成されたマークの位置を検出可能な第２の計測手段と、前記第１および第２の計測手段の計測結果にもとづいて、前記第１の計測手段の計測誤差を算出し、該計測誤差にもとづいて前記第１の計測手段を補正する補正手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一つの測定方向で互いに可動自在で配置されている二つの対象物の、位置を検出するための位置測定装置を提供する。
【解決手段】位置測定装置には光源および、光源から送られた光線を二つ以上の分光光束に分割する分光手段を含んでいる。分光光束は、少なくとも二つの分光光路を通過する。分光光路からの干渉分光光束が、多数の光電式検知要素に当たるので、変位に従う位置信号を検知要素を介して検出することができる。光源は、ファイバ格子逆カップリング手段付き半導体レーザとして構成されている。 （もっと読む）

【課題】測定者に被測定物体に対するプローブの位置やライン光の照射角度をアシスト（支援）することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光学式センサにより被測定物体５１の形状を測定して測定情報を出力するプローブ１２と、複数のアーム部１１ａ及びプローブ１２を回転可能に接続する２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部１１と、関節部１１ｂに設けられ、当該関節部１１ｂが接続するアーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、表示部３０と、測定情報及び角度情報から、被測定物体５１の形状情報を算出するとともに、形状情報を表示部３０に出力する制御部２０と、を有する形状測定装置１００において、制御部２０は、プローブ１２の操作を支援するアシスト表示を表示部３０に表示するように構成される。 （もっと読む）

【課題】測定者の操作に応じて関節部の回転動作を補助するように構成された形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００は、光学式センサ４０により被測定物体５１を非接触で走査して当該被測定物体５１の形状の測定情報を出力するプローブ１２と、アーム部１１ａ及び２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部１１と、関節部１１ｂの各々に設けられ、当該関節部１１ｂが接続するアーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、関節部１１ｂに設けられ、当該関節部１１ｂにより接続された一方のアーム部１１ａ若しくはプローブ１２を他方のアーム部１１ａに対して回転駆動させる駆動部１５と、角度情報からプローブ１２の移動を検出して駆動部１５を作動させる制御部２０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定者の位置や姿勢に関わらず、常に、被測定物体の測定結果を目視で確認することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物体５１の形状を測定して測定情報を出力するプローブ１２と、アーム部１１ａ及び２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部と、関節部１１ｂに設けられ、当該関節部１１ｂが接続するアーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、表示部３０と、測定情報及び角度情報から、被測定物体５１の形状情報を算出するとともに、この形状情報を表示部３０に出力する制御部２０と、を有する形状測定装置１００において、表示部３０を、測定者の頭部に装着され、この測定者の少なくとも一方の眼前に形状情報を投影する投影部３５を有するヘッドマウントディスプレイで構成する。 （もっと読む）

【課題】形状測定中は移動機構部を固定することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光学式センサ４０により、静止した状態で被測定物体５１の表面を測定して測定情報を出力するプローブ１２と、アーム部１１ａ及び少なくとも２以上の関節部１１ｂを有し、所定の空間内でプローブ１２を移動可能に支持する移動機構部１１と、関節部１１ｂに設けられ、アーム部１１ａ間、若しくは、アーム部１１ａとプローブ１２との角度情報を検出するエンコーダ２１と、関節部１１ｂを被測定物体５１に対して静止させるロック機構部１５と、光学式センサ４０により測定情報を取得し、エンコーダ２１から角度情報を取得して、被測定物体５１の形状情報を算出する制御部２０と、を有する形状測定装置１００において、制御部２０は、光学式センサ４０により被測定物体５１を測定するときに、ロック機構部１５を作動させて関節部１１ｂを静止させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】自己位置推定機能と足元の障害物検出機能とを良好に両立させること。
【解決手段】非接触式の距離センサ１７と、移動状況に関する所定の条件に基づいて、足元の障害物検出処理か自己位置推定処理のいずれの処理を実行するか判定する判定部５８と、足元の障害物検出処理を実行する場合に、距離センサ１７からの測定信号の方向を足元付近に向けて変化させ、自己位置推定処理を実行する場合に、測定信号の方向を遠方の対象物を測定可能となる向きに変化させる反射部１９と、距離情報に基づいて足元の障害物を検出する足元障害物検出部５７と、距離情報に基づいて自己位置を推定し、移動量から求めた自己位置を、推定した自己位置を用いて補正する自己位置推定部５５と、検出した障害物情報と、補正した自己位置とに基づいて、移動装置２３の制御を行う走行制御部５９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定精度が可動物体の動作によって実質的にほとんど影響されない、可動物体の位置依存信号を測定するように構成された好ましくはエンコーダ型高精度測定システムを提供する。
【解決手段】エンコーダ型測定システムは可動物体の位置依存信号を測定するように構成され、可動物体の上に取付け可能な少なくとも１つのセンサと、実質的に静止したフレームの上に取付け可能なセンサターゲットと、実質的に静止したフレームの上にセンサターゲットを取付けるように構成された取付けデバイスとを含む。実質的に静止したフレームに対するセンサターゲット物体の移動および／または変形を補償するように構成された補償デバイスをさらに含む。補償デバイスは受動型または能動型制振デバイスおよび／またはフィードバック位置制御システムを含むことができる。代替の実施形態において、補償デバイスは、センサターゲット物体の位置を固定する把持デバイスを含む。 （もっと読む）

【課題】高い精度を有して良好に操作でき且つ安定な長さ測定装置を創作すること。
【解決手段】長さ測定装置は、支持体（１２）とその支持体に摩擦の乏しく固定された物差し（１１）とを包含する構成ユニット（１）を有する。支持体（１２）は位置測定するために、測定すべき物体（１３）に固定式に固定できる。さらに、保持体（３）が設けられていて、この保持体により物差し（１１）が固定点（Ｐ）に支持体（１２）を避けて測定すべき物体（１３）に固定できる。 （もっと読む）