【課題】スペックルパターンの明暗模様の時間変化の測定に基づくひび割れの検出方法において、その検出感度を向上する。
【解決手段】検査対象物Ｍの表面で反射されて位相変調された信号光２と、この検査対象物Ｍの表面で位相変調されていない参照光３との干渉によってフォトリフラクティブ結晶４中に生じたダイナミックホログラムで参照光３を回折し、この回折した参照光３を複数の検出チャンネル５を備えたマルチチャンネル検出器６で受光する。複数の検出チャンネル５のうち受光強度が最も高い受光強度を検出した検出チャンネル５から、予め決めた順番に相当する受光強度を検出した検出チャンネル５をディスクリミネータ７で弁別し、この弁別された検出チャンネル５の受光強度をマルチプレクサ８で積分してノイズを除去する。このノイズ除去によって位相変調を明確にとらえることができ、深いひび割れを高感度に検出できる。 （もっと読む）

【課題】ノイズの少ない方法で、容易には測定できない位相特性を測定し、また、振幅特性を強調された方法で
測定する。
【解決手段】振幅及び位相を有する分析対象波面に対して、フーリエ変換処理を行い、該分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、該複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、該複数の強度マップを用いて該分析対象の三次元画像形成波面の振幅及び位相を表示する出力を取得する。 （もっと読む）

【課題】サイズや凹凸が大きい被検物体であっても光干渉計測法により表面形状を検査することが可能な形状検査装置及び形状検査方法を提供する。
【解決手段】形状検査装置１は、ホログラム原器３及び結像手段を備える。ホログラム原器３は、被検物体Ｏの理想形状に対応する再生光を再生する。結像手段は、前記被検物体Ｏに所要の入射角で斜め方向に光Ｌ１を入射する一方、前記ホログラム原器３に光を入射することによって、前記被検物体Ｏに反射した反射光Ｌ３又は前記被検物体Ｏを経由した透過光と前記ホログラム原器３からの前記再生光との干渉光による干渉画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】安価で小型の変位・ひずみ分布計測光学系と計測手段を提供すること。
【解決手段】複数の撮像素子を使用することで、光学素子の数を減らし、２次元の変位・ひずみ分布計測を行うことができる装置を小型にすることができる。さらに、計測対象物の近傍に鏡を設置することにより、撮像素子の数を減らし、さらに小型の装置とすることができる。 （もっと読む）

【課題】生体細胞のような位相物体の観察に用いられてきた従来の位相差顕微鏡に代わって、広くて深い測定視界を持ち、位相差の干渉画像が鮮明に得られる、単純で簡便な位相物体画像の識別、検査の方法と装置を提供する。
【解決手段】可干渉性平行レーザ光束中に設置されたフーリエ変換レンズで構成される広い測定視界中に置かれた位相物体から得られるフーリエ変換像(光回折パターン)の零次光だけを高次の回折光と異なる位相差参照光として、高次光回折パターンで得られる位相物体像と干渉させて鮮明な位相差画像を得る。また、位相物体の位相差を含めて異なる形状の複数形状粒子群を形状ごとに数や挙動や位置を自動計測するために、多重マッチトフィルタ法を含んだ位相差画像を検査する。 （もっと読む）

【課題】コヒーレント光源を用いて線状パターンの投影を行いつつ、投影面でのスペックルの発生を抑制する
【解決手段】レーザビームＬ５０を、光ビーム走査装置６０によって反射させ、ホログラム記録媒体４５に照射する。ホログラム記録媒体４５には、走査基点Ｂに収束する参照光を用いて線状散乱体の像３５がホログラムとして記録されている。光ビーム走査装置６０は、レーザビームＬ５０を走査基点Ｂで屈曲させてホログラム記録媒体４５に照射する。このとき、レーザビームの屈曲態様を時間的に変化させ、屈曲されたレーザビームＬ６０のホログラム記録媒体４５に対する照射位置を時間的に変化させる。ホログラム記録媒体４５からの回折光Ｌ４５は、ステージ２１０の受光面Ｒ上に線状散乱体の再生像３５を生成する。受光面Ｒに物体を載置すると、ホログラム再生光により線状パターンが投影されるので、その投影像を撮影して物体の三次元形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】光路長シフト法を用いたデジタルホログラフィにおいて、高精度計測を行うことができるデジタルホログラフィ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るデジタルホログラフィ装置は、被写体からの物体光と物体光に対してコヒーレントな参照光とが干渉して形成される干渉パターンを示すデータから、物体光の複素振幅分布を求めるコンピュータ４を備え、コンピュータ４は、上記被写体からの光路長が異なる２つの干渉パターンを示すデータを取得するデータ入力部１０と、上記２つの干渉パターンのデータを用いて、０次回折光の物体光成分を求め、上記０次回折光の物体光成分を用いて物体光の複素振幅分布を求める物体光算出部１１とを備える。そのため、被写体の高精度な再生像を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】計測物体の変位分布を高速に計測するとともに小型化が可能な変位分布計測方法、装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】本発明による変位分布計測装置（１）は、所定の波長の光を照射するレーザ光源（１１）と、照射された光を物体光と参照光とに分離するビームスプリッタ（１４）と、参照光の位相を所定量だけシフトさせるミラー付きＰＺＴステージ（２０）と、位相シフトされた参照光を複数に分岐するペリクルビームスプリッタ（１７，１８）と、計測物体（２３）により散乱された物体光と、分岐された参照光との干渉縞を撮影するＣＣＤセンサ（１５，１６）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

二次元光路分布の絶対測定を行う装置であって、本装置は、複数の波長を有する光を物体（２６）に照射する光源（４）と、物体の少なくとも一部分の画像を形成する干渉計（１２）であって、この少なくとも一部分の画像は広帯域干渉図形を含む、干渉計（１２）と、干渉計と光通信を行い、広帯域干渉図形を複数の狭帯域二次元干渉図形（７２、７４、７６）にスペクトル的に分離するハイパースペクトル撮像装置（３０）と、狭帯域干渉図形を空間的に位置合わせする位置合わせ装置（３８）と、各狭帯域干渉図形内の対応する画素から一次元強度信号を抽出する抽出装置と、物体上の各点における周波数を、各点に関連付けられた一次元強度信号から計算する計算装置（１００）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】物体が拡散媒質内に配置されているときに物体の位置および／または形状を遠隔測定する比較的簡単なセンサを提供する。
【解決手段】センサと物体との間の距離に対して短いコヒーレンス長を有する光源１１０と、送られたビームを入射ビーム１２６と基準ビーム１２３とに分割するビームスプリッタ１１２と、基準ビーム１２３と、入射ビーム１２６により照射された物体１２０から反射されたビーム１２７との干渉受光時にホログラムを生成し、基準ビーム１２３の作用による異方性回折によりクリスタルガラスから送り返される回折ビーム１２４でホログラムを再生する光屈折クリスタルガラス１１４と、回折ビーム１２４の受光時に情報を生成する検出装置１１６とを含み、それによって、検出装置１１６は、クリスタルガラスから回折ビーム１２４だけを受け取る。 （もっと読む）

本発明により、両面微細構造化製品を製造する方法、及びこの方法のために使用することができる位置決め構造が提供される。この方法には、基板シート５０の第１の表面に一次製品フィーチャ８０を提供するステップ８００と、反対側の表面に二次製品フィーチャ９０を提供するステップ８１０と、位置合わせパラメータを推定するために、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０の相互位置合わせを表示するステップ８２０と、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０の準備を位置合わせさせるステップ８３０が含まれている。位置決め構造は、第１の表面に集束エレメント２０の位置決めアレイを備えており、また、反対側の表面に、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０と位置合わせされた、製品フィーチャの８０、９０の位置合わせを推定するために基準オブジェクト３０のホログラフィ表現１０を提供する、基準オブジェクト３０の位置決めアレイを備えている。
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【課題】物体上の複数のマークを効率的に、かつ高精度に検出する。
【解決手段】ウエハマークを検出するアライメント装置であって、互いに異なる位置に配置された複数の検出領域ＡＬ１ｆ〜ＡＬ２₄ｆの像を撮像素子上に形成し、その撮像素子上に形成されたその像に関する情報を検出する複数のアライメント系と、複数の検出領域ＡＬ１ｆ〜ＡＬ２₄ｆの位置関係を求める装置と、そのアライメント系の撮像信号のうち、その位置関係に基づいてそれぞれ定められる積算領域１５１Ｘ，１５１Ｙの撮像信号を積算し、該積算結果に基づいてそのマークの位置情報を求める検出信号処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】撮像手段と被検査体の距離を変えたときに、撮像した画像中の被検査体の位置がずれることによって、位相再生法による被検査体の元形状再生像がぼやけたり擬似像が発生したりする現象に対処する方法および装置に関する。
【解決手段】被検査体の形状の光学的測定方法であって、被検査体への照明光照射段階と、被検査体と撮像手段の間の距離検知段階と、被検査体からの反射光の撮像段階と、予め取得済み基準画像との比較から撮像した画像の面内方向のずれ量を算出するずれ量算出段階と、そのずれ量相当だけ撮像手段の位置補正を行う位置補正段階と、その後に形状計測用の画像を取得する画像取得段階と、被検査体との撮像手段の間の距離調節段階と、これら手順を所定回数繰り返して画像群を取得する画像群取得段階と、画像群から被検査体の元形状画像の再生計算を行う元形状再生段階とを備えることを特徴とする形状測定方法。 （もっと読む）

【課題】効率よくマーカを検索することができ、マーカが欠損した場合であっても、ホログラム再生像（ホログラム画像）からデータ領域（ホログラムデータ領域）を精度よく特定することができるホログラムデータ領域特定装置及びホログラムデータ領域特定プログラムを提供する。
【解決手段】ホログラムデータ領域特定装置１は、光検出器から入力されたホログラム画像からホログラムが占めている領域であるホログラムデータ領域を特定するものであって、フレームバッファメモリ３と、エッジ検出手段５と、テンプレート比較手段７と、テンプレート画像蓄積手段９と、重心検出手段１１と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 粒径および３次元位置を計測する。パラメータの校正のための作業の簡易化。
【解決手段】 レーザビームＬを出射するレーザ光源１０；レーザビームＬを、第１ビームＬ１（Ｌ１ｓ），第２ビームＬ２および第３ビームＬ３に分岐するビームスプリッタＢＳ１，ＢＳ２；第１ビームＬ１ｓを計測対象領域に照射する第１光学手段Ｍ１，Ｍ２，ＳＬ；計測対象領域を照射する第１ビームＬ１ｓに対して、第１ビームが当たった粒子の０次反射光と１次屈折光の光強度が同等となる散乱角θとなる受光角で計測対象領域を撮影する第１電子カメラ２０；第２ビームＬ２を、第１参照光として第１電子カメラ２０に投射する第２光学手段Ｍ３，Ｍ４；および、第１電子カメラ２０の光軸に対してステレオ角φをなし、かつ第３ビームＬ３が第２参照光として投射される第２電子カメラ２１；を備える粒子計測装置。 （もっと読む）

【課題】高密度の被計測物群を精度良く計測することができるディジタルホログラフィ計測装置を提供する。
【解決手段】ディジタルホログラム像再生を用いて、３次元空間内での微小な被計測物の物理量を計測するディジタルホログラフィ計測装置において、光源からの再生光の照射方向に対して垂直な撮像面を備えた撮像手段により生成されたホログラム画像に対して再生光を数値的に照射しつつ、該ホログラム画像に対して垂直な奥行き方向におけるそれぞれ異なる位置での各再生面上での光振幅分布を算出し、算出された各光振幅分布の位相を、上記各再生面上での基準位相に対する相対位相として算出し、算出された各相対位相の分布に基づき、上記被計測物の物理量を計測する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ＯＶＤ箔上の少なくとも一部の領域に印刷された印刷模様の検査方法及び検査装置に関するものである。
【解決手段】 第１の照明手段から少なくとも前記印刷模様を含む領域に対し、撮影手段の観測方向と同軸方向からの可視光源を照射し、前記撮影手段によって可視光領域の波長を対象に少なくとも前記印刷模様を含む領域の印刷模様画像データを取得し、記憶手段で基準となる印刷模様の基準印刷模様画像データ、又は前記基準印刷模様画像データ及び前記基準となる印刷模様の基準位置を示す基準位置データをあらかじめ記憶し、画像処理手段により、前記印刷模様画像データと前記基準印刷模様画像データを比較し、あるいは、前記印刷模様画像データと前記基準印刷模様画像データ及び前記基準位置データとを比較し、比較結果に基づいて前記印刷模様の形状、面積及び位置の少なくとも一つの良否を判定する。 （もっと読む）

本願のマッピング方法は、形状が共通的特性を共有しつつ、パターン内のスポットの位置が無相関状態となるように、個々の位置及び個々の形状を有する複数のスポット（５２、５４、８０、８２）のパターンを物体（２８）上に投射する段階を含む。上記物体上のスポットの画像は、キャプチャされ、及び上記物体の三次元（３Ｄ）マップを導出するように処理される。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現することができ、かつ、変位検出装置の継続的な使用によっても信頼性の高い変位検出装置、これに搭載される偏光ビームスプリッタ及び回折格子を提供すること。
【解決手段】回折格子１２として反射型の回折格子が用いられているので、回折格子１２で生成される各回折光を折り返らせることができ、変位検出装置１の小型化が実現される。しかも、各１／４波長板２３、４３、１２３及び１４３、ミラー２４、４４、１２４及び１４４等がメインＰＢＳ２２に一体的に設けられる構成とすることで、組み立て精度を高く維持することができ、変位検出装置１の信頼性を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】記録媒体の重合による体積収縮を高い分解能で測定・解析できるとともに、記録媒体の面方向の収縮や、記録媒体内の微小領域の歪みも高い分解能で測定・解析できる記録媒体変形測定装置を提供する。
【解決手段】記録媒体収縮測定装置（記録媒体変形測定装置）１は、記録媒体（ホログラフィックメモリ記録媒体）Ｄの光重合による変形を測定するものであって、記録媒体Ｄに物体光を照射する物体光照射手段と、記録媒体Ｄに参照光を照射する参照光照射手段と、物体光及び参照光が照射されて記録媒体Ｄに記録された干渉縞に対して参照光が照射された際に生成される再生光と、この干渉縞に対して照射された物体光とを検出する受光素子が２次元状に配列されたＣＣＤ（２次元センサ）１４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）