【課題】ノイズの少ない方法で、容易には測定できない位相特性を測定し、また、振幅特性を強調された方法で
測定する。
【解決手段】振幅及び位相を有する分析対象波面に対して、フーリエ変換処理を行い、該分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、該複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、該複数の強度マップを用いて該分析対象の三次元画像形成波面の振幅及び位相を表示する出力を取得する。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。
【請求項２】
表面から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する工程と、
前記分析対象表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表む面写像波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の表面写像波面を分析する工程から構成される表面写像方法。
【請求項３】
対象物を通して放射を伝搬させることによって振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する工程と、
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化を受けた変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することにより前記分析対象の対象物検査波面を分析する工程とから構成される対象物検査方法。
【請求項４】
対象物へ放射を衝突させることによって振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する工程と、
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化を受けた変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象のスペクトル分析波面を分析する工程と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する工程から構成されるスペクトル分析方法。
【請求項５】
振幅及び位相を有する分析対象の位相変化分析波面を取得する工程と、
前記分析対象の位相変化分析波面を変換処理して変換波面を取得する工程と、
前記変換波面へ複数の異なる位相変化を処理することにより複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、及び、
前記複数の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記複数の異なる位相変化間の差を表示する出力を取得する工程から構成される位相変化分析方法。
【請求項６】
媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって情報が該媒体中に符号化されている該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する工程と、
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて分析対象の保存データ検索波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の保存データ検索波面を分析する工程と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記情報を取得する工程から構成される保存データ検索方法。
【請求項７】
見られる対象物から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する工程と、
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の三次元画像形成波面を分析する工程から構成される三次元画像形成方法。
【請求項８】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、該複数の強度マップをそれらよりも少ない第二の複数の併合強度マップへ併合することによって前記分析対象波面の少なくとも位相を表示する出力を取得し、前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の位相を表示する出力を取得し、及び前記出力を併合して少なくとも前記分析対象波面の位相についての強調表示を与える工程から構成される波面分析方法。
【請求項９】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、該複数の強度マップをそれらよりも少ない第二の複数の併合強度マップへ併合することによって前記分析対象波面の少なくとも振幅を表示する出力を取得し、前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の振幅を表示する出力を取得し、及び前記出力を併合して少なくとも前記分析対象波面の振幅についての強調表示を与える工程から構成される波面分析方法。
【請求項１０】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、
前記複数の強度マップを前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる位相変化された変換波面を特徴づける位相変化関数の関数として表し、
前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる位相変化された変換波面を特徴づける前記位相変化関数の複素関数を限定し（ここで前記複素関数は、前記複数の強度マップの各位置における強度が前記位置における前記複素関数数値、及び前記位置における前記分析対象波面の前記振幅及び位相を支配する関数であることを特徴とする）、
前記複素関数を前記複数の強度マップの関数として表し、及び
前記複数の強度マップの関数として表された前記複素関数を用いることにより前記位相に関する数値を取得することによって前記分析対象波面の少なくとも位相を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。
【請求項１１】
振幅及び位相を有する分析対象波面をフーリエ変換処理して変換波面を取得する工程と、
前記変換波面の一部へ空間的に均質な時変性空間位相変化を処理して少なくとも３つの異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
第二のフーリエ変換処理を行って前記少なくとも３つの位相変化された変換波面の少なくとも３つの強度マップを取得する工程と、
前記少なくとも３つの強度マップを用い、前記分析対象波面を該分析対象波面の振幅及び位相と同一な振幅及び位相を有する第一複素関数として表し、前記複数の強度マップを前記第一複素関数の及び前記空間的に均質な時変性空間位相変化を決定する空間関数の関数として表し、絶対値及び位相を有する第二関数を前記第一関数の及び前記空間的に均質な時変性空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定し、前記複数の強度マップのそれぞれを前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれ前記少なくとも３つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも３つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされる既知の位相遅延の第三関数として表し、前記第三関数を解いて前記分析対象波面の振幅、前記第二複素関数の絶対値及び前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差を取得し、前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の位相を取得し、及び前記第二複素関数の位相を前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差へ加えることによって前記分析対象波面の位相を取得することによって前記分析対象波面の位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。
【請求項１２】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用いて少なくとも前記分析対象波面の位相についての第二階級表示の出力を取得する工程から構成される波面分析方法。
【請求項１３】
表面から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する工程と、
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得することによって前記分析対象の表面写像波面を分析する工程から構成される表面写像方法。
【請求項１４】
対象物を通して放射を伝搬させることによって振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する工程と、
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得することによって前記分析対象の対象物検査波面を分析する工程から構成される対象物検査方法。
【請求項１５】
放射を対象物へ衝突させることによって振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する工程と、
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得することによって前記分析対象のスペクトル分析波面を分析する工程と、
前記位相についての少なくとも第二階級表示の出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する工程から構成されるスペクトル分析方法。
【請求項１６】
媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって情報が該媒体中に符号化されている該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する工程と、
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得することによって前記分析対象の保存データ検索波面を分析する工程と、
前記位相についての少なくとも第二階級表示の出力を用いて前記情報を取得する工程から構成される保存データ検索方法。
【請求項１７】
見られる対象物から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する工程と、
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得することによって前記分析対象の三次元画像形成波面を分析する工程から構成される三次元画像形成方法。
【請求項１８】
少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。
【請求項１９】
表面から放射を反射させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する工程と、
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の少なくとも位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の表面写像波面を分析する工程から構成される表面写像方法。
【請求項２０】
放射を対象物を通して伝搬させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する工程と、
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面少なくとも位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の対象物検査波面を分析する工程から構成される対象物検査方法。
【請求項２１】
放射を対象物へ衝突させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する工程と、
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象のスペクトル分析波面を分析する工程と、
前記少なくとも位相を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力取得する工程から構成されるスペクトル分析方法。
【請求項２２】
媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって該媒体中に情報が符号化された該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する工程と、
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の保存データ検索波面を分析する工程と、
少なくとも前記位相を表示する出力を用いて前記情報を取得する工程から構成される保存データ検索方法。
【請求項２３】
見られる対象物から放射を反射することによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する工程と、
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の三次元画像形成波面を分析する工程から構成される三次元画像形成方法。
【請求項２４】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。
【請求項２５】
表面から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する工程と、
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得することによって前記分析対象の表面写像波面を分析する工程から構成される表面写像方法。
【請求項２６】
放射を対象物を通して伝搬させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する工程と、
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得することによって前記分析対象の対象物検査波面を分析する工程から構成される対象物検査方法。
【請求項２７】
放射を対象物へ衝突させることによって、振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する工程と、
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得することによって前記分析対象のスペクトル分析波面を分析する工程と、
前記少なくとも振幅を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する工程から構成されるスペクトル分析方法。
【請求項２８】
前記複数の強度マップを用いて前記振幅及び位相を表示する分析出力を与えることを特徴とする前記請求項１−４項、６項及び７項のいずれかに記載の方法。
【請求項２９】
前記複数の強度マップを用いて前記位相を表示する少なくとも第二階級分析出力を与えることを特徴とする前記請求項１２−１７項のいずれかに記載の方法。
【請求項３０】
前記複数の強度マップを用いて少なくとも前記位相を表示する分析出力を与えることを特徴とする前記請求項８項、１０項及び１８−２３項のいずれかに記載の方法。
【請求項３１】
前記複数の強度マップを用いて前記振幅を表示する少なくとも第二階級分析出力を与えることを特徴とする前記請求項９項及び２４−２７項のいずれかに記載の方法。
【請求項３２】
前記異なる位相変化された変換波面が共通の光路に沿った前記分析対象波面の干渉によって取得されることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項３３】
前記異なる位相変化された変換波面が、分析対象波面の変換後に該分析対象波面へデルタ関数位相変化を行うこととは実質的に異なる方法で実現されることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項３４】
前記複数の強度マップを用いて、ハロー及びシェージングオフ歪みのほぼない前記位相を表示する出力を取得することを特徴とする前記請求項１−４項、６−８項、１０項、１２−２３項、２８−３０項、３２項及び３３項のいずれかに記載の方法。
【請求項３５】
前記複数の異なる位相変化された変換波面が、変換波面への空間位相変化処理及び該変換波面への空間位相変化処理後の波面の変換の少なくとも一方に起因して生ずる複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項１−４項、６−１０項及び１２−３４項のいずれかに記載の方法。
【請求項３６】
複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程が、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する工程と、
前記変換波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程から成ることを特徴とする前記請求項１−４項、６−１０項及び１２−３４項のいずれかに記載の方法。
【請求項３７】
複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程が、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程から成ることを特徴とする特徴とする前記請求項１−４項、６−１０項及び１２−３４項のいずれかに記載の方法。
【請求項３８】
複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程が、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する工程と、
前記変換波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程の少なくとも一方の工程と、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された波面を取得する工程と、
前記複数の異なる位相変化された波面を変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程から成ることを特徴とする前記請求項１−４項、６−１０項及び１２−３４項のいずれかに記載の方法。
【請求項３９】
前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれることを特徴とする前記請求項３８項記載の方法。
【請求項４０】
前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれ、前記複数の異なる空間位相変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性空間位相変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項３８項記載の方法。
【請求項４１】
前記複数の異なる空間位相変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性空間位相変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項３９項記載の方法。
【請求項４２】
前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換はフーリエ変換であり、前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程には前記複数の異なる位相変化された変換波面をフーリエ変換処理する工程が含まれることを特徴とする前記請求項４１項記載の方法。
【請求項４３】
複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程には、
前記分析対象波面をフーリエ変換処理することにより変換波面を取得する工程と、
前記変換された波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程の少なくとも一方と、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された波面を取得する工程と、
前記複数の異なる位相変化された波面をフーリエ変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程が含まれ、
前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれ、
前記複数の異なる空間位相変化は、前記変換波面の一部と前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性の空間位相変化を処理することによって遂行され、
前記複数の異なる空間位相変化は少なくとも３つの異なる位相変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも３つの強度マップから成り、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一な振幅及び位相を有する第一複素関数として表す工程と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数の関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する空間関数の関数として表す工程と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する工程と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも３つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも３つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされる既知の位相遅延の第三関数として表す工程と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の前記差を取得する工程と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する工程と、
前記第二複素関数の前記位相を前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の前記差へ加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項１−４項、６−９項及び１２−３４項のいずれかに記載の方法。
【請求項４４】
前記第二複素関数の前記絶対値が該絶対値を一定次数の多項式へ近づけることによって得られることを特徴とする前記請求項４３項記載の方法。
【請求項４５】
前記第二複素関数の前記位相が、該第二複素関数が反復処理によって得られる固有ベクトルである場合に該第二複素関数を固有値問題として表すことによって得られることを特徴とする前記請求項４３項記載の方法。
【請求項４６】
前記第二複素関数の前記位相は、前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換を多項式へ近づけること及び前記第二複素関数を多項式へ近づけることを含む機能によって取得されることを特徴とする前記請求項４３項記載の方法。
【請求項４７】
前記分析対象波面の振幅、前記第二複素関数の絶対値、及び前記第二複素関数の位相と前記分析対象波面の位相間の差が、前記複数の強度マップの数が増えるに従って正確性が増す最小二乗法によって取得されることを特徴とする前記請求項４３項記載の方法。
【請求項４８】
前記複数の異なる位相変化は少なくとも４つの異なる位相変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも４つの強度マップから成り、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、それぞれが前記少なくとも４つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも４つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされた既知の位相遅延、及び前記波面分析に関連するその数によって前記複数の強度マップが３を超える該数以下である少なくとも１の付加的未知数の第三関数として表す工程と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差、及び前記少なくとも１の付加的未知数を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項４３項記載の方法。
【請求項４９】
前記位相変化が前記強度マップ中のコントラストが最大となり及び前記分析対象波面の位相上におけるノイズの影響が最小となるように選択されることを特徴とする前記請求項４３項記載の方法。
【請求項５０】
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも３つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも３つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされた既知の位相遅延の第三関数として表す工程が、
いずれもが前記複数の強度マップのいずれかの関数でもなくあるいは前記時変性の空間位相変化の関数でもないが、それぞれが前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の関数である第４、第５及び第６複素関数を限定する工程と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記第４複素関数、前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の位相遅延のサインによって掛け算された第５複素関数、及び前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の位相遅延のコサインによって掛け算された第６複素関数の総和として表す工程から成ることを特徴とする前記請求項４３項記載の方法。
【請求項５１】
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差を取得する工程には、
前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差のそれぞれについて数値の高い解と数値の低い解の二つの解を得る工程と、
各空間位置において、強調絶対値解が前記第二複素関数を満たす方法で前記二つの解の数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記第二複素関数の前記絶対値についての強調絶対値解へ前記二つの解を併合し、及び各空間位置において、前記数値の高い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記振幅解について前記数値の高い解が選択され、及び前記数値の低い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記数値の低い解が前記振幅解について選択される方法で前記振幅の二つの解のうちの数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記分析対象波面の前記振幅の前記二つの解を強調振幅解へ併合する工程と、
各空間位置において、前記数値の高い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差の解について前記数値の高い解が選択され、及び前記数値の低い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記数値の低い解が前記差の解について選択される方法で前記差の二つの解のうちの数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記差の前記二つの解を強調差解へ併合する工程が含まれることを特徴とする前記請求項４３項記載の方法。
【請求項５２】
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項４１−５１項のいずれかに記載の方法。
【請求項５３】
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的に中心となる全体として円形な領域へ処理されることを特徴とする前記請求項４１−５１項のいずれかに記載の方法。
【請求項５４】
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び分析対象波面の少なくとも一方のおよそ半分へ処理されることを特徴とする前記請求項４１−５１項のいずれかに記載の方法。
【請求項５５】
前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方にはＤＣ領域及び非ＤＣ領域が含まれ、及び
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記ＤＣ領域及び非ＤＣ領域双方の少なくとも一部へ処理されることを特徴とする前記請求項４１−５１項のいずれかに記載の方法。
【請求項５６】
前記複数の異なる位相変化された変換波面の高周波成分を増加させるため、前記分析対象波面へ相対的に高周波成分から成る位相成分を加える工程をさらに含むことを特徴とする前記請求項３６−５５項のいずれかに記載の方法。
【請求項５７】
前記情報が前記媒体上に符号化されることにより、
強度値が前記媒体上の各位置からの反射によって前記位置に保存された前記情報の成分に対応する所定の数値範囲内に収まることが実現され、及び
前記複数の強度マップを用いることにより、多重強度値が各位置について実現され及び前記媒体上の各位置について情報の多重成分が与えられることを特徴とする前記請求項６項記載の方法。
【請求項５８】
前記複数の異なる位相変化された変換波面が、それらの位相が少なくとも時変性の位相変化関数を用いることによって変化している複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項１−１０項及び１２−３５項のいずれかに記載の方法。
【請求項５９】
前記複数の異なる位相変化された変換波面が、それらの位相が少なくとも時変性の位相変化関数を前記分析対象波面へ処理することによって変化している複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項１−１０項、１２−３５項及び５７項のいずれかに記載の方法。
【請求項６０】
前記少なくとも時変性の位相変化関数が前記分析対象波面の変換前に該分析対象波面へ処理されることを特徴とする前記請求項５９項記載の方法。
【請求項６１】
前記少なくとも時変性の位相変化関数が前記分析対象波面の変換後に該分析対象波面に対して処理されることを特徴とする前記請求項５９項記載の方法。
【請求項６２】
前記少なくとも時変性の位相変化関数が空間的に均質な空間関数であることを特徴とする前記請求項６０項記載の方法。
【請求項６３】
前記少なくとも時変性の位相変化関数が前記分析対象波面の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項６２項記載の方法。
【請求項６４】
前記分析対象波面が複数の異なる波長成分から成り、
前記複数の異なる位相変化された変換波面が、前記分析対象波面及び前記分析対象波面を変換処理することによって得られた変換波面の少なくとも一方の複数の異なる波長成分へ位相変化処理を行うことによって取得されることを特徴とする前記請求項１−４項、６−１０項及び１２−５７項のいずれかに記載の方法。
【請求項６５】
前記位相変化が前記分析対象波面の前記複数の異なる波長成分へ処理されることを特徴とする前記請求項６４項記載の方法。
【請求項６６】
前記複数の異なる波長成分へ処理された前記位相変化が、その厚さと屈折率の少なくとも一方が空間的に変化する対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項６４項記載の方法。
【請求項６７】
前記複数の異なる波長成分へ処理された前記位相変化が、前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を空間的に変化する表面から反射させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項６４項記載の方法。
【請求項６８】
前記複数の異なる波長成分へ処理された前記位相変化が前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて所定程度まで異なるように選択されることを特徴とする前記請求項６４項記載の方法。
【請求項６９】
前記複数の異なる波長成分へ処理された前記位相変化が前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項６４項記載の方法。
【請求項７０】
前記複数の異なる波長成分へ処理された前記位相変化が、それぞれがその厚さ及び屈折率の少なくとも一方が空間的に変化することを特徴とする複数の対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項６４項、６８項及び６９項のいずれかに記載の方法。
【請求項７１】
前記複数の強度マップの取得が前記複数の異なる波長成分のすべてについて同時に行われ、及び
前記複数の強度マップを取得する工程には前記複数の異なる位相変化された変換波面を別個の波長成分へ分離する工程が含まれることを特徴とする前記請求項６４−７０項のいずれかに記載の方法。
【請求項７２】
前記複数の異なる位相変化された変換波面を分離する工程が分散素子を通して前記複数の異なる位相変化された変換波面を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項７１項記載の方法。
【請求項７３】
前記分析対象波面は複数の異なる分極成分から成り、及び
前記複数の異なる位相変化された変換波面は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理して得られた変換波面の少なくとも一方の複数の異なる分極成分へ位相変化処理を行うことによって取得されることを特徴とする前記請求項１−４項、６−１０項、１２−５７項及び６１項のいずれかに記載の方法。
【請求項７４】
前記複数の異なる分極成分へ処理された前記位相変化が前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて異なることを特徴とする前記請求項７３項記載の方法。
【請求項７５】
前記複数の異なる分極成分へ処理された前記位相変化が前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項７３項記載の方法。
【請求項７６】
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程には、
前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理する工程が含まれることを特徴とする前記請求項１−１０項、１２−４１項及び４３−７５項のいずれかに記載の方法。
【請求項７７】
前記複数の強度マップが、前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換するように反射面から前記複数の異なる位相変化された変換波面を反射させることによって取得されることを特徴とする前記請求項１−１０項、１２−４１項及び４３−７５項のいずれかに記載の方法。
【請求項７８】
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程には前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理する工程が含まれ、及び
前記複数の異なる位相変化された変換波面へ処理された前記変換が前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換と同一となるように、前記複数の異なる位相変化された変換波面が反射面から反射されることを特徴とする前記請求項３６−５７項のいずれかに記載の方法。
【請求項７９】
前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換がフーリエ変換であることを特徴とする前記請求項３６−５７項及び７５項のいずれかに記載の方法。
【請求項８０】
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、少なくとも一方が未知数である前記分析対象波面の前記位相及び振幅の少なくとも一方の数理的関数として表す工程と、
前記少なくとも１の数理的関数を用いて前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項１−４項、６項、７項、１２−４２項及び５８−７９項のいずれかに記載の方法。
【請求項８１】
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の少なくとも一方が未知数である前記位相及び振幅と、既知である前記複数の異なる位相変化の少なくとも１の数理的関数として表す工程と、
前記少なくとも１の数理的関数を用いて前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項３６−５６項及び７８−７９項のいずれかに記載の方法。
【請求項８２】
前記複数の強度マップは少なくとも４つの強度マップから成り、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、各組合せが前記複数の強度マップのうちの少なくとも３つから成る複数の組合せを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての複数の表示を与える工程が含まれることを特徴とする前記請求項１−４項、６項、７項、１２−４２項及び５８−７９項のいずれかに記載の方法。
【請求項８３】
前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示を用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての強調表示を与える工程がさらに含まれることを特徴とする前記請求項８２項記載の方法。
【請求項８４】
前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示の少なくともいくつかが前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての少なくとも第二階級強調表示であることを特徴とする前記請求項８２項記載の方法。
【請求項８５】
複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程が、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する工程と複数の異なる位相及び振幅変化を前記変換波面へ処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された変換波面を取得する工程の少なくとも一方の工程と、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相及び振幅変化を処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された波面を取得する工程と、
前記複数の異なる位相及び振幅変化された波面を変換処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された変換波面を取得する工程から構成されることを特徴とする前記請求項１−４項、６−１０項、１２−３４項、３９−４２項及び６４−７７項のいずれかに記載の方法。
【請求項８６】
前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相及び振幅変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変化はフーリエ変換であり、
前記複数の異なる位相及び振幅変化は少なくとも３つの位相及び振幅変化から成り、
前記複数の異なる位相及び振幅変化は、空間的に均質な時変性の空間位相変化と空間的に均質な時変性の空間振幅変化の少なくとも一方を、前記変換波面の少なくとも一部と前記分析対象波面の少なくとも一部の少なくとも一方へ処理することによって遂行され、
前記複数の強度マップは少なくとも３つの強度マップから成り、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す工程と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数及び空間的に均質な時変性の空間位相変化と空間的に均質な時変性の空間振幅変化の少なくとも一方を決定する空間関数の関数として表す工程と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する工程と、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及び空間的に均質な時変性の空間位相変化と空間的に均質な時変性空間振幅変化の少なくとも一方を決定する前記空間関数の第三関数として表し、
いずれもが前記複数の強度マップのいずれかの関数でもなくあるいは前記時変性の空間位相変化の関数でもないが、それぞれが前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差のうちの少なくとも一つの関数である第４、第５、第６及び第７複素関数を限定する工程と、
前記スキンクリーム製剤３つの強度マップに対応する前記少なくとも３つの異なる位相及び振幅変化の一つによってひき起こされた位相遅延及び振幅変化の第８関数を限定する工程、及び
前記複数の強度マップを、前記第４複素関数、前記第８関数を二乗した絶対値で掛け算された前記第５複素関数、前記第８関数で掛け算された前記第６複素関数、及び前記第８関数の複合共役で掛け算された前記第７複素関数の総和として表す工程から構成される工程と、
前記第三関数を解いて、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差を取得する工程と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する工程、及び
前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差へ前記第二複素関数の前記位相を加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項８５項記載の方法。
【請求項８７】
前記分析対象波面は少なくとも２つの波長成分から成り、
複数の強度マップを取得する前記工程にはさらに、前記位相変化された変換波面の少なくとも２つの波長成分を取得するため、及び各組が前記位相変化された変換波面の前記少なくとも２つの波長成分の異なる一方に対応する少なくとも２組の強度マップを取得するため、前記少なくとも２つの波長成分に従って前記位相変化された変換波面を分離する工程が含まれ、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する工程には、前記少なくとも２組の強度マップのそれぞれから前記分析対象波面の前記位相を表示する出力を取得する工程と、前記出力を併合して表示中に２π曖昧性のない前記分析対象波面の位相についての強調表示を与える工程が含まれることを特徴とする前記請求項１−８項、１０項、１２−２３項、２８−４１項及び４３−８６項のいずれかに記載の方法。
【請求項８８】
前記分析対象波面は少なくとも１の一次元成分から成り、
前記複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程には、
前記分析対象波面を前記分析対象波面の伝搬方向に対して直交する次元において一次元フーリエ変換処理を行うことによって前記伝搬方向に対して直交する前記次元において変換波面の少なくとも１の一次元成分を取得する工程、及び
前記少なくとも１の一次元成分のそれぞれへ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面の少なくとも１の一次元成分を取得する工程が含まれ、及び
前記複数の強度マップが用いられて前記分析対象波面の前記少なくとも１の一次元成分の振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力が取得されることを特徴とする前記請求項１−４項、６−１０項、１２−３４項、３９−５６項、６４−７５項、８５項及び８７項のいずれかに記載の方法。
【請求項８９】
前記分析対象波面と空間的に変化する時定性の位相変化を発生する素子間へ前記伝搬方向及び前記伝搬方向に対して直交する次元の双方に対して直交する付加的次元内の相対運動を与えることによって前記複数の異なる位相変化が前記少なくとも１の一次元成分へ処理されることを特徴とする前記請求項８８項記載の方法。
【請求項９０】
前記分析対象波面は複数の異なる波長成分から成り、
前記複数の異なる位相変化が前記分析対象波面の前記複数の一次元成分のそれぞれの前記複数の異なる波長成分へ処理され、及び
複数の強度マップを取得する前記工程には前記複数の位相変化された変換波面の前記複数の一次元成分を別個の波長成分へと分離する工程が含まれることを特徴とする前記請求項８８項及び８９項のいずれかに記載の方法。
【請求項９１】
前記分析対象波面へ処理された前記一次元フーリエ変換には前記分析対象波面の異なる一次元成分間のクロストークを最小化する付加的フーリエ変換が含まれることを特徴とする前記請求項８８−９０項のいずれかに記載の方法。
【請求項９２】
前記分析対象波面が音響放射波面であることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項９３】
前記表面から反射された放射は一定の波長を中心とする狭い帯域を有して、前記分析対象波面の前記位相を前記表面中の構造変化と前記波面長の逆一次関数である比をもって比例させることを特徴とする前記請求項２項、１３項、１９項及び２５項のいずれかに記載の方法。
【請求項９４】
前記放射はそれぞれが異なる波長を中心とする少なくとも２つの狭い帯域を有し、前記分析対象波面中に少なくとも２つの波長成分と前記分析対象波面の前記位相についての少なくとも２つの表示を与えて、前記２つの狭い帯域が中心とする前記異なる波長のうちの長い波長を超える写像における曖昧性を回避することによって、その上へ前記放射が衝突する被衝突素子における表面の構造変化、厚さ及び構造変化の少なくともいずれか一つを含む特徴の強調表示を可能とすることを特徴とする前記請求項２項、３項、７項、１３項、１４項、１７項、１９項、２０項、２３項、２５項及び２６項のいずれかに記載の方法。
【請求項９５】
前記対象物は材質上及び他の光学特性において均質であり、前記分析対象波面の前記位相は前記対象物の厚さに比例することを特徴とする前記請求項３項、１４項、２０項及び２６項のいずれかに記載の方法。
【請求項９６】
前記対象物は厚さにおいてほぼ均質であり、前記分析対象の対象物検査波面の位相は前記対象物の光学特性に比例することを特徴とする前記請求項３項、１４項、２０項及び２６項のいずれかに記載の方法。
【請求項９７】
前記分析対象波面を取得する工程が前記対象物から前記放射を反射させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項４項、１５項、２１項及び２７項のいずれかに記載の方法。
【請求項９８】
前記分析対象波面を取得する工程が前記対象物を通して前記放射を伝搬させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項４項、１５項、２１項及び２７項のいずれかに記載の方法。
【請求項９９】
前記放射が実質的に単一波長から成る場合、前記分析対象波面の位相が前記単一波長に逆比例し、かつ前記被衝突対象物の表面特性と厚さの少なくとも一方と関連することを特徴とする前記請求項４項、１５項、２１項、２７項、９７項及び９８項のいずれかに記載の方法。
【請求項１００】
前記複数の異なる位相変化中に横方向のズレが生じる場合、対応する変化が前記複数の強度マップ中に生じ、かかる強度マップを用いることにより結果として前記横方向のズレについての表示が取得されることを特徴とする前記請求項５項記載の方法。
【請求項１０１】
前記複数の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記複数の異なる位相変化間の差を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、少なくともいずれか一方が既知である前記分析対象波面の位相及び振幅の、及び未知である前記複数の異なる位相変化の少なくとも１の数理的関数として表す工程、及び
前記少なくとも一方の数理的関数を用いて前記複数の異なる位相変化間の前記差を表示する出力を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項５項及び１００項のいずれかに記載の方法。
【請求項１０２】
振幅及び位相を有する分析対象の位相変化分析波面を取得し、
前記分析対象の位相変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得し、
前記変換波面へ少なくとも１の位相変化を処理することによって少なくとも１の位相変化された変換波面を取得し、
前記少なくとも１の位相変化された変換波面の少なくとも１の強度マップを取得し、及び
前記少なくとも１の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記少なくとも１の位相変化についての出力表示を取得する各工程から構成されることを特徴とする位相変化分析方法。
【請求項１０３】
前記少なくとも１の位相変化が複数の所定の数値から選択された数値を有する位相遅延であり、前記少なくとも１の位相変化についての前記出力表示には前記位相遅延の前記数値が含まれることを特徴とする前記請求項１０２項記載の方法。
【請求項１０４】
前記媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報が、該媒体上の複数の異なる位置のそれぞれにおける該媒体の反射性を選択することによっても符号化され、及び
前記振幅及び位相についての表示を用いて前記情報を取得する工程には、前記位相についての表示を用いて前記媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報を取得する工程と前記振幅についての表示を用いて前記媒体の反射性を選択することによって符号化された情報を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項６項及び５７項のいずれかに記載の方法。
【請求項１０５】
前記対象物から反射された放射は一定の波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の位相を前記対象物中の構造変化に前記波長の逆一次関数である比をもって比例させることを特徴とする前記請求項７項、１７項及び２３項のいずれかに記載の方法。
【請求項１０６】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を取得し、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する各工程から構成されることを特徴とする波面分析方法。
【請求項１０７】
表面から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する工程と、
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を取得し、前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の表面写像波面を分析する工程から構成されることを特徴とする表面写像方法。
【請求項１０８】
対象物を通して放射を伝搬させることによって振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する工程と、
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を取得し、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することにより前記分析対象の対象物検査波面を分析する工程とから構成される対象物検査方法。
【請求項１０９】
対象物へ放射を衝突させることによって振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する工程と、
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を取得し、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象のスペクトル分析波面を分析する工程と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する工程から構成されるスペクトル分析方法。
【請求項１１０】
振幅及び位相を有する分析対象の振幅変化分析波面を取得する工程と、
前記分析対象の振幅変化分析波面を変換処理して変換波面を取得する工程と、
前記変換波面へ複数の異なる振幅変化を処理することにより複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、及び、
前記複数の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記複数の異なる振幅変化間の差を表示する出力を取得する工程から構成される振幅変化分析方法。
【請求項１１１】
媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって情報が該媒体中に符号化されている該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する工程と、
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を取得し、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて分析対象の保存データ検索波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の保存データ検索波面を分析する工程と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記情報を取得する工程から構成される保存データ検索方法。
【請求項１１２】
見られる対象物から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する工程と、
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を取得し、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の三次元画像形成波面を分析する工程から構成される三次元画像形成方法。
【請求項１１３】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、該複数の強度マップをそれらよりも少ない第二の複数の併合強度マップへ併合することによって前記分析対象波面の少なくとも位相を表示する出力を取得し、前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の位相を表示する出力を取得し、及び前記出力を併合して少なくとも前記分析対象波面の位相についての強調表示を与える工程から構成される波面分析方法。
【請求項１１４】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、該複数の強度マップをそれらよりも少ない第二の複数の併合強度マップへ併合することによって前記分析対象波面の少なくとも振幅を表示する出力を取得し、前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の振幅を表示する出力を取得し、及び前記出力を併合して少なくとも前記分析対象波面の振幅についての強調表示を与える工程から構成される波面分析方法。
【請求項１１５】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の振幅変化変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、
前記複数の強度マップを前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる振幅変化された変換波面を特徴づける振幅変化関数の関数として表し、
前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる振幅変化された変換波面を特徴づける前記振幅変化関数の複素関数を限定し（ここで前記複素関数は、前記複数の強度マップの各位置における強度が前記位置における前記複素関数数値、及び前記位置における前記分析対象波面の前記振幅及び位相を支配する関数であることを特徴とする）、
前記複素関数を前記複数の強度マップの関数として表し、及び
前記複数の強度マップの関数として表された前記複素関数を用いることにより前記位相に関する数値を取得することによって前記分析対象波面の少なくとも位相を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。
【請求項１１６】
振幅及び位相を有する分析対象波面をフーリエ変換処理して変換波面を取得する工程と、
前記変換波面の一部へ空間的に均質な時変性空間振幅変化を処理して少なくとも３つの異なる振幅変化された変換波面を取得する工程と、
第二のフーリエ変換処理を行って前記少なくとも３つの振幅変化された変換波面の少なくとも３つの強度マップを取得する工程と、
前記少なくとも３つの強度マップを用い、前記分析対象波面を該分析対象波面の振幅及び位相と同一な振幅及び位相を有する第一複素関数として表し、前記複数の強度マップを前記第一複素関数の及び前記空間的に均質な時変性空間位相変化を決定する空間関数の関数として表し、絶対値及び位相を有する第二関数を前記第一関数の及び前記空間的に均質な時変性空間振幅変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定し、前記複数の強度マップのそれぞれを前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれ前記少なくとも３つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも３つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の位相遅延の第三関数として表し、前記第三関数を解いて前記分析対象波面の振幅、前記第二複素関数の絶対値及び前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差を取得し、前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の位相を取得し、及び前記第二複素関数の位相を前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差へ加えることによって前記分析対象波面の位相を取得することによって前記分析対象波面の位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。
【請求項１１７】
前記複数の異なる振幅変化された変換波面が共通の光路に沿った前記分析対象波面の干渉によって取得されることを特徴とする前記請求項１０６−１１６項のいずれかに記載の方法。
【請求項１１８】
複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程が、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する工程と、
前記変換波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程の少なくとも一方の工程と、
前記複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された波面を取得する工程と、
前記複数の異なる振幅変化された波面を変換処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程から成ることを特徴とする前記請求項１０６−１０９項、１１１−１１５項及び１１７項のいずれかに記載の方法。
【請求項１１９】
前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれることを特徴とする前記請求項１１８項記載の方法。
【請求項１２０】
前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれ、前記複数の異なる空間振幅変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性空間振幅変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項１１８項記載の方法。
【請求項１２１】
前記複数の異なる空間振幅変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性空間振幅変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項１１９項記載の方法。
【請求項１２２】
前記分析対象波面及び前記複数の異なる振幅変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換はフーリエ変換であり、前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程には前記複数の異なる振幅変化された変換波面をフーリエ変換処理する工程が含まれることを特徴とする前記請求項１２１項記載の方法。
【請求項１２３】
複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程には、
前記分析対象波面をフーリエ変換処理することにより変換波面を取得する工程と、
前記変換された波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程の少なくとも一方と、
前記分析対象波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された波面を取得する工程と、
前記複数の異なる振幅変化された波面をフーリエ変換処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程が含まれ、
前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれ、
前記複数の異なる空間振幅変化は、前記変換波面の一部と前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性の空間振幅変化を処理することによって遂行され、
前記複数の異なる空間振幅変化は少なくとも３つの異なる振幅変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも３つの強度マップから成り、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一な振幅及び位相を有する第一複素関数として表す工程と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数の関数及び前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化を決定する空間関数の関数として表す工程と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する工程と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも３つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも３つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の振幅減衰の第三関数として表す工程と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の前記差を取得する工程と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する工程と、
前記第二複素関数の前記位相を前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の前記差へ加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項１０６−１０９項、１１１−１１５項及び１１７項のいずれかに記載の方法。
【請求項１２４】
前記複数の異なる振幅変化は少なくとも４つの異なる振幅変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも４つの強度マップから成り、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、それぞれが前記少なくとも４つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも４つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の振幅減衰、及び前記波面分析に関連するその数によって前記複数の強度マップが３を超える該数以下である少なくとも１の付加的未知数の第三関数として表す工程と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差、及び前記少なくとも１の付加的未知数を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項１２３項記載の方法。
【請求項１２５】
前記振幅変化が前記強度マップ中のコントラストが最大となり及び前記分析対象波面の位相上におけるノイズの影響が最小となるように選択されることを特徴とする前記請求項１２３項記載の方法。
【請求項１２６】
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも３つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも３つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の振幅減衰の第三関数として表す工程が、
いずれもが前記複数の強度マップのいずれかの関数でもなくあるいは前記時変性の空間振幅変化の関数でもないが、それぞれが前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の関数である第４、第５及び第６複素関数を限定する工程と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記第４複素関数、前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の振幅減衰によって掛け算された第５複素関数、及び前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の二乗された振幅減衰によって掛け算された第６複素関数の総和として表す工程から成ることを特徴とする前記請求項１２３項記載の方法。
【請求項１２７】
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差を取得する工程には、
前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差のそれぞれについて数値の高い解と数値の低い解の二つの解を得る工程と、
各空間位置において、強調絶対値解が前記第二複素関数を満たす方法で前記二つの解の数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記第二複素関数の前記絶対値についての強調絶対値解へ前記二つの解を併合し、及び各空間位置において、前記数値の高い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記振幅解について前記数値の高い解が選択され、及び前記数値の低い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記数値の低い解が前記振幅解について選択される方法で前記振幅の二つの解のうちの数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記分析対象波面の前記振幅の前記二つの解を強調振幅解へ併合する工程と、
各空間位置において、前記数値の高い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差の解について前記数値の高い解が選択され、及び前記数値の低い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記数値の低い解が前記差の解について選択される方法で前記差の二つの解のうちの数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記差の前記二つの解を強調差解へ併合する工程が含まれることを特徴とする前記請求項１２３項記載の方法。
【請求項１２８】
前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項１２１−１２７項のいずれかに記載の方法。
【請求項１２９】
前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化が前記変換波面及び分析対象波面の少なくとも一方のおよそ半分へ処理されることを特徴とする前記請求項１２１−１２７項のいずれかに記載の方法。
【請求項１３０】
前記複数の異なる振幅変化された変換波面の高周波成分を増加させるため、前記分析対象波面へ相対的に高周波成分から成る位相成分を加える工程をさらに含むことを特徴とする前記請求項１１８−１２８項のいずれかに記載の方法。
【請求項１３１】
前記情報が前記媒体上に符号化されることにより、
強度値が前記媒体上の各位置からの反射によって前記位置に保存された前記情報の成分に対応する所定の数値範囲内に収まることが実現され、及び
前記複数の強度マップを用いることにより、多重強度値が各位置について実現され及び前記媒体上の各位置について情報の多重成分が与えられることを特徴とする前記請求項１１１項記載の方法。
【請求項１３２】
前記複数の異なる振幅変化された変換波面が、それらの振幅が少なくとも時変性の振幅変化関数を前記分析対象波面へ処理することによって変化している複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項１０６−１１５項、１１７項及び１３１項のいずれかに記載の方法。
【請求項１３３】
前記分析対象波面が複数の異なる波長成分から成り、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面が、前記分析対象波面及び前記分析対象波面を変換処理することによって得られた変換波面の少なくとも一方の複数の異なる波長成分へ振幅変化処理を行うことによって取得されることを特徴とする前記請求項１０６−１０９項、１１１−１１５項及び１１７−１３１項のいずれかに記載の方法。
【請求項１３４】
前記振幅変化が前記分析対象波面の前記複数の異なる波長成分へ処理されることを特徴とする前記請求項１３３項記載の方法。
【請求項１３５】
前記複数の異なる波長成分へ処理された前記振幅変化が、前記波成分のそれによる伝搬が空間的に変化する対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項１３３項記載の方法。
【請求項１３６】
前記複数の異なる波長成分へ処理された前記振幅変化が、前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方をその表面による前記波成分の反射が空間的に変化する該表面から反射させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項１３３項記載の方法。
【請求項１３７】
前記複数の異なる波長成分へ処理された前記振幅変化が前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて所定程度まで異なるように選択されることを特徴とする前記請求項１３３項記載の方法。
【請求項１３８】
前記複数の異なる波長成分へ処理された前記振幅変化が前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて同一となるように選択されることを特徴とする前記請求項１３３項記載の方法。
【請求項１３９】
前記複数の異なる波長成分へ処理された前記振幅変化が、それぞれによる前記波成分の伝搬が空間的に変化することを特徴とする複数の対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項１３３項、１３７項及び１３８項のいずれかに記載の方法。
【請求項１４０】
前記複数の強度マップの取得が前記複数の異なる波長成分のすべてについて同時に行われ、及び
前記複数の強度マップを取得する工程には前記複数の異なる振幅変化された変換波面を別個の波長成分へ分離する工程が含まれることを特徴とする前記請求項１３３−１３９項のいずれかに記載の方法。
【請求項１４１】
前記複数の異なる振幅変化された変換波面を分離する工程が分散素子を通して前記複数の異なる振幅変化された変換波面を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項１４０項記載の方法。
【請求項１４２】
前記分析対象波面は複数の異なる分極成分から成り、及び
前記複数の異なる振幅変化された変換波面は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理して得られた変換波面の少なくとも一方の複数の異なる分極成分へ振幅変化処理を行うことによって取得されることを特徴とする前記請求項１０６−１０９項、１１１−１１５項、１１７−１３１項及び１３３項のいずれかに記載の方法。
【請求項１４３】
前記複数の異なる分極成分へ処理された前記振幅変化が前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて異なることを特徴とする前記請求項１４２項記載の方法。
【請求項１４４】
前記複数の異なる分極成分へ処理された前記振幅変化が前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項１４２項記載の方法。
【請求項１４５】
前記複数の異なる振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程には、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面を変換処理する工程が含まれることを特徴とする前記請求項１０６−１１５項、１１７−１２１項及び１２３−１４４項のいずれかに記載の方法。
【請求項１４６】
前記複数の強度マップが、前記複数の異なる振幅変化された変換波面を変換するように反射面から前記複数の異なる振幅変化された変換波面を反射させることによって取得されることを特徴とする前記請求項１０６−１１５項、１１７−１２１項及び１２３−１４４項のいずれかに記載の方法。
【請求項１４７】
前記分析対象波面及び前記複数の異なる振幅変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換がフーリエ変換であることを特徴とする前記請求項１１８−１３１項記載の方法。
【請求項１４８】
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、少なくとも一方が未知数である前記分析対象波面の前記位相及び振幅の少なくとも１の数理的関数として表す工程と、
前記少なくとも１の数理的関数を用いて前記分析対象波面の前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項１０６−１０９項、１１１項、１１２項、１１７−１２２項及び１３２−１４７項のいずれかに記載の方法。
【請求項１４９】
前記複数の強度マップは少なくとも４つの強度マップから成り、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、各組合せが前記複数の強度マップのうちの少なくとも３つから成る複数の組合せを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての複数の表示を与える工程が含まれることを特徴とする前記請求項１０６−１０９項、１１１項、１１２項、１１７−１２２項及び１３２−１４７項のいずれかに記載の方法。
【請求項１５０】
前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示を用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての強調表示を与える工程がさらに含まれることを特徴とする前記請求項１４９項記載の方法。
【請求項１５１】
前記分析対象波面は少なくとも１の一次元成分から成り、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程には、
前記分析対象波面を前記分析対象波面の伝搬方向に対して直交する次元において一次元フーリエ変換処理を行うことによって前記伝搬方向に対して直交する前記次元において変換波面の少なくとも１の一次元成分を取得する工程、及び
前記少なくとも１の一次元成分のそれぞれへ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面の少なくとも１の一次元成分を取得する工程が含まれ、及び
前記複数の強度マップが用いられて前記分析対象波面の前記少なくとも１の一次元成分の振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力が取得されることを特徴とする前記請求項１０６−１０９項、１１１−１１５項、１１７項、１１９−１３０項及び１３３−１４４項のいずれかに記載の方法。
【請求項１５２】
前記分析対象波面と空間的に変化する時定性の振幅変化を発生する成分間へ前記伝搬方向及び前記伝搬方向に対して直交する次元に対して直交する次元内にある相対運動を与えることによって前記複数の異なる振幅変化が前記少なくとも１の一次元成分へ処理されることを特徴とする前記請求項１５１項記載の方法。
【請求項１５３】
前記分析対象波面へ処理された前記一次元フーリエ変換には前記分析対象波面の異なる一次元成分間のクロストークを最小化する付加的フーリエ変換が含まれることを特徴とする前記請求項１５１項あるいは１５２項のいずれかに記載の方法。
【請求項１５４】
前記分析対象波面が音響放射波面であることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１５５】
前記表面から反射された放射は一定の波長を中心とする狭い帯域を有して、前記分析対象波面の前記位相を前記表面中の構造変化と前記波面長の逆一次関数である比をもって比例させることを特徴とする前記請求項１０７項記載の方法。
【請求項１５６】
前記放射はそれぞれが異なる波長を中心とする少なくとも２つの狭い帯域を有し、前記分析対象波面中に少なくとも２つの波長成分と前記分析対象波面の前記位相についての少なくとも２つの表示を与えて、前記２つの狭い帯域が中心とする前記異なる波長のうちの長い波長を超える写像における曖昧性を回避することによって、その上へ前記放射が衝突する被衝突素子における表面の構造変化、厚さ及び構造変化の少なくともいずれか一つを含む特徴の強調表示を可能とすることを特徴とする前記請求項１０７項、１０８項及び１１２項のいずれかに記載の方法。
【請求項１５７】
前記複数の異なる振幅変化中に横方向のズレが生じる場合、対応する変化が前記複数の強度マップ中に生じ、かかる強度マップを用いることにより結果として前記横方向のズレについての表示が取得されることを特徴とする前記請求項１１０項記載の方法。
【請求項１５８】
振幅及び位相を有する分析対象の振幅変化分析波面を取得し、
前記分析対象の振幅変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得し、
前記変換波面へ少なくとも１の振幅変化を処理することによって少なくとも１の振幅変化された変換波面を取得し、
前記少なくとも１の振幅変化された変換波面の少なくとも１の強度マップを取得し、及び
前記少なくとも１の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記少なくとも１の振幅変化についての出力表示を取得する各工程から構成されることを特徴とする振幅変化分析方法。
【請求項１５９】
前記媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報が、該媒体上の複数の異なる位置のそれぞれにおける該媒体の反射性を選択することによっても符号化され、及び
前記振幅及び位相についての少なくとも一方の表示を用いて前記情報を取得する工程には、前記位相についての表示を用いて前記媒体の高さを選択にすることによって符号化された前記情報を取得する工程と前記振幅についての表示を用いて前記媒体の反射性を選択することによって符号化された情報を取得する工程の少なくとも一方が含まれることを特徴とする前記請求項１１１項及び１３１項のいずれかに記載の方法。
【請求項１６０】
前記対象物から反射された放射は一定の波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の位相を前記対象物中の構造変化に前記波長の逆一次関数である比をもって比例させることを特徴とする前記請求項１１２項記載の方法。
【請求項１６１】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを与える強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相を表示する出力を与える強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項１６２】
表面から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の表面写像波面を分析し、及び
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される表面写像装置。
【請求項１６３】
放射を対象物を通して伝搬させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される対象物検査装置。
【請求項１６４】
放射を対象物へ衝突させることによって、振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象のスペクトル分析波面を分析し、及び
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置から構成されるスペクトル分析装置。
【請求項１６５】
振幅及び位相を有する分析対象の位相変化分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の位相変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と、
前記変換波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記複数の異なる位相変化間の差についての出力表示を取得する強度マップ利用装置から構成される位相変化分析装置。
【請求項１６６】
媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおいて該媒体の高さを選択することによってその中に情報が符号化されている該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の保存データ検索波面を分析し、及び
前記分析対象の保存デー複数の検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する波面分析装置と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記情報を取得する位相振幅利用装置から構成される保存データ検索装置。
【請求項１６７】
見られる対象物から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の三次元画像形成波面を分析し、及び
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される三次元画像形成装置。
【請求項１６８】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、該第一の複数の強度マップより少ない第二の複数の併合強度マップへ併合する強度併合装置と、
前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の前記位相を表示する出力を与える表示付与装置と、
前記出力を併合して前記分析対象波面の位相についての少なくとも強調表示を与える強調表示付与装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項１６９】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
請求項複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、該第一の複数の強度マップより少ない第二の複数の併合強度マップへ併合する強度併合装置と、
前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の前記振幅を表示する出力を与える表示付与装置と、
前記出力を併合して前記分析対象波面の振幅についての少なくとも強調表示を与える強調表示付与装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項１７０】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる位相変化された変換波面を特徴づける位相変化関数の関数として表す強度マップ表示装置と、
前記複数の強度マップ中の各位置における強度が前記位置における前記複素関数の数値及び前記位置における前記分析対象波面の前記振幅及び位相を支配する関数であることを特徴とする複素関数であって、かつ前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる位相変化された変換波面を特徴づける前記位相変化関数の複素関数である該複素関数を限定する複素関数限定装置と、
前記複素関数を前記複数の強度マップの関数として表す複素関数表示装置と、
前記複数の強度マップの関数として表された前記複素関数を用いて前記位相についての数値を取得する位相取得装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項１７１】
振幅及び位相を有する分析対象波面をフーリエ変換処理することによって変換波面を取得する第一変換処理装置と、
前記変換波面の一部へ空間的に均質な時変性の空間位相変化を処理することによって少なくとも３つの異なる位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置と、
前記少なくとも３つの異なる位相変化された変換波面を第二のフーリエ変換処理することによって少なくとも３つの強度マップを取得する第二変換処理装置と、
前記少なくとも３つの強度マップを用いて前記分析対象波面の前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得し、及び
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す波面表示装置と、
前記複数の強度マップを前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する空間関数の関数として表す第一強度マップ表示装置と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する複素関数限定装置と、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも３つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも３つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされた既知の位相遅延の第三関数として表す第二強度マップ表示装置と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差を取得する第一関数解装置と、
前記第二関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する第二関数解装置と、
前記第二複素関数の前記位相を前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差へ加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する位相取得装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項１７２】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の位相の少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項１７３】
表面から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の表面写像波面を分析し、及び
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される表面写像装置。
【請求項１７４】
対象物を通して放射を伝搬させることによって振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される対象物検査装置。
【請求項１７５】
放射を対象物へ衝突させることによって振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象のスペクトル分析波面を分析し、及び
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
前記位相についての少なくとも第二階級表示の出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置から構成されるスペクトル分析装置。
【請求項１７６】
媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによってその中に情報が符号化される該媒体から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の保存データ検索波面を分析し、及び
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
前記位相についての少なくとも第二階級表示の出力を用いて前記情報を取得する位相振幅利用装置から構成される保存データ検索装置。
【請求項１７７】
見られる対象物から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の三次元画像形成波面を分析し、及び
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される三次元画像形成装置。
【請求項１７８】
少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項１７９】
表面から放射を反射させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない前記振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する波面首都装置と、
前記分析対象の表面写像波面を分析し、及び
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される表面写像装置。
【請求項１８０】
放射を対象物を通して伝搬させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない前記振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される対象物検査装置。
【請求項１８１】
放射を対象物へ衝突させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない該振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象のスペクトル分析波面を分析し、及び
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
少なくとも前記位相を表示する前記出力を用いて前記放射の少なくともペクト内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置から構成されるスペクトル分析装置。
【請求項１８２】
媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによってその中に情報が符号化される該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の保存データ検索波面を分析し、及び
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
少なくとも前記位相を表示する前記出力を用いて前記情報を取得する位相振幅利用装置から構成される保存データ検索装置。
【請求項１８３】
見られる対象物から放射を反射させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない該振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の三次元画像形成波面を分析し、及び
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される三次元画像形成装置。
【請求項１８４】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得する強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項１８５】
表面から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の表面写像波面を分析し、及び
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される表面写像装置。
【請求項１８６】
放射を対象物を通して伝搬させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される対象物検査装置。
【請求項１８７】
放射を対象物へ衝突させることによって振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象のスペクトル分析波面を分析し、及び
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
前記少なくとも振幅を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置から構成されるスペクトル分析装置。
【請求項１８８】
前記強度マップ利用装置が前記複数の強度マップを用いて前記振幅及び位相を表示する分析出力を与えることを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６項及び１６７項のいずれかに記載の装置。
【請求項１８９】
前記強度マップ利用装置が前記複数の強度マップを用いて前記位相を表示する少なくとも第二階級分析出力を与えることを特徴とする前記請求項１７２−１７７項のいずれかに記載の装置。
【請求項１９０】
前記強度マップ利用装置が前記複数の強度マップを用いて少なくとも前記位相を表示する分析出力を与えることを特徴とする前記請求項１６８項、１７０項及び１７８−１８３項のいずれかに記載の装置。
【請求項１９１】
前記強度マップ利用装置が前記複数の強度マップを用いて前記振幅を表示する少なくとも第二階級分析出力を与えることを特徴とする前記請求項１６９項及び１８４−１８７項のいずれかに記載の装置。
【請求項１９２】
前記波面変換装置が共通の光路に沿った前記分析対象波面の干渉によって前記異なる位相変化された変換波面を与えることを特徴とする前記請求項１６１−１９１項のいずれかに記載の装置。
【請求項１９３】
前記異なる位相変化された変換波面が、前記分析対象波面の変換後に該波面へデルタ関数位相変化を行う方法とは異なる方法で実現されることを特徴とする前記請求項１６１−１９２項のいずれかに記載の装置。
【請求項１９４】
前記強度マップ利用装置が前記複数の強度マップを用いてハロー及びシェージングオフ歪みが実質的にない前記位相を表示する出力を与えることを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６項、１６８項、１７０項、１２２−１８３項、１８８−１９０項、１９２項及び１９３項のいずれかに記載の装置。
【請求項１９５】
前記複数の異なる位相変化された変換波面が、変換波面への空間位相変化の処理及び変換波面への空間位相変化処理後の波面の変換の少なくとも一方の結果として生じた複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６−１７０項及び１７２−１９４項のいずれかに記載の装置。
【請求項１９６】
前記波面変換装置が、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と、
複数の異なる位相変化を前記変換波面へ処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置から構成されることを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６−１７０項及び１７２−１９４項のいずれかに記載の装置。
【請求項１９７】
前記波面変換装置が、
複数の異なる位相変化を前記分析対象波面へ処理することによって複数の異なる位相変化された波面を取得する位相変化処理装置と、
前記複数の異なる位相変化された波面を変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する変換処理から構成されることを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６−１７０項及び１７２−１９４項のいずれかに記載の装置。
【請求項１９８】
前記波面変換装置は、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置の少なくとも一方、あるいは、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された波面を取得する位相変化処理装置、及び
前記複数の異なる位相変化された波面を変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する変換処理装置から構成されることを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６−１７０項及び１７２−１９４項のいずれかに記載の装置。
【請求項１９９】
前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれることを特徴とする前記請求項１９８項記載の装置。
【請求項２００】
前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれ、前記複数の異なる空間位相変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性の空間位相変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項１９８項記載の装置。
【請求項２０１】
前記複数の異なる位相変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性の空間位相変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項１９９項記載の装置。
【請求項２０２】
前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換がフーリエ変換であり、前記強度マップ発生装置には前記複数の異なる位相変化された変換波面をフーリエ変換処理するフーリエ変換処理装置が含まれることを特徴とする前記請求項２０１項記載の装置。
【請求項２０３】
前記波面変換装置は、
前記分析対象波面をフーリエ変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置の少なくとも一方、あるいは、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された波面を取得する位相変化処理装置、及び
前記複数の異なる位相変化された波面をフーリエ変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する変換処理装置から構成され、
前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれ、
前記複数の異なる空間位相変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性の空間位相変化を処理することによって遂行され、
前記複数の異なる空間位相変化は少なくとも３つの異なる位相変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも３つの強度マップから成り、及び
前記強度マップ利用装置には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す波面表示装置と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する空間関数の関数として表す第一強度マップ表示装置と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する複素関数限定装置と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも３つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも３つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされる既知の位相遅延の第三関数として表す第二強度マップ表示装置と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差を取得する第一関数解装置と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する第二関数解装置と、
前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差へ前記第二複素関数の前記位相を加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する位相取得装置が含まれることを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６−１６９項及び１７２−１９４項のいずれかに記載の装置。
【請求項２０４】
前記第一関数解装置は前記絶対値を一定次数の多項式へ近づけることによって前記第二複素関数の前記絶対値を取得することを特徴とする前記請求項２０３項記載の装置。
【請求項２０５】
前記位相取得装置は、前記第二複素関数が反復処理によって得られる固有ベクトルである場合、前記第二複素関数を固有値問題として表すことによって前記第二複素関数の前記位相を取得することを特徴とする前記請求項２０３項記載の装置。
【請求項２０６】
前記第二関数解装置は、
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数の前記フーリエ変換を多項式へ近づける第一近似機能と、
前記第二複素関数を多項式へ近づける第二近似機能を含む機能を用いることによって前記第二複素関数の前記位相を取得することを特徴とする前記請求項２０３項記載の装置。
【請求項２０７】
前記第一関数解装置は、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記第二複素関数の前記位相と前記分析対象波面の前記位相間の前記差を強度マップの数が増える程正確性が増す最小二乗法によって取得することを特徴とする前記請求項２０３項記載の装置。
【請求項２０８】
前記複数の異なる位相変化は少なくとも４つの異なる位相変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも４つの強度マップから成り、
前記強度マップ利用装置は、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、それぞれが前記少なくとも４つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも４つの異なる位相変化のいずれか一つによってひき起こされる既知の位相遅延、及び少なくとも１の付加的未知数の数がその数によって前記複数の強度マップが３をこえる該数以下である場合に前記波面分析に関連する少なくとも１の未知数の第三関数として表す強度マップ表示機能、及び
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差、及び前記少なくとも１の付加的未知数を取得する関数解装置を備えることを特徴とする前記請求項２０３項記載の装置。
【請求項２０９】
前記位相変化は、前記強度マップ中のコントラストが最大となるように、かつ前記分析対象波面の前記位相上におけるノイズによる影響が最小となるように選択されることを特徴とする前記請求項２０３項記載の装置。
【請求項２１０】
前記第二強度マップ表示装置が、
いずれもが前記複数の強度マップのいずれの関数でもなく、あるいは前記時変性の空間位相変化の関数でもないが、それぞれが前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差の関数である第４、第５及び第６複素関数を限定する第二複素関数限定装置、及び
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記第４複素関数、前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の位相遅延のサインで掛け算された前記第５複素関数、及び前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の位相遅延のコサインで掛け算された前記第６複素関数の総和として表す第三強度マップ表示装置から構成されることを特徴とする前記請求項２０３項記載の装置。
【請求項２１１】
前記第一関数解装置には、
前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差のそれぞれについて数値の高い解と数値の低い解の二つの解を取得する解関数機能、
各空間位置において、前記強調絶対値解が前記第二複素関数を満たす方法で、前記二つの解のうちの前記数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれか一方を選択することによって前記二つの解を前記第二複素関数の前記絶対値についての強調絶対値解へ併合する第一併合機能、
各空間位置において、前記絶対値解について前記数値の高い解が選択される各位置では前記振幅解について前記数値の高い解が選択され、前記絶対値解について前記数値の低い解が選択される各位置では前記振幅解について前記数値の低い解が選択される方法で、前記振幅についての前記二つの解のうちの数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれかを選択することによって前記分析対象波面の前記振幅についての前記二つの解を強調振幅解へ併合する第二併合機能、及び、
各空間位置において、前記絶対値解について前記数値の高い解が選択される各位置では前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の解については前記数値の高い解が選択され、前記絶対値解について前記数値の低い解が選択される各位置では前記差の解について前記数値の低い解が選択される方法で、前記差についての二つの解のうちの前記数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれかを選択することによって前記差についての前記二つの解を強調差の解へ併合する第三併合機能が備えられていることを特徴とする前記請求項２０３項記載の装置。
【請求項２１２】
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項２０１−２１１項のいずれかに記載の装置。
【請求項２１３】
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的に中心へ置かれた全体として円形な領域へ処理されることを特徴とする前記請求項２０１−２１１項のいずれかに記載の装置。
【請求項２１４】
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方のおよそ半分へ処理されることを特徴とする前記請求項２０１−２１１項のいずれかに記載の装置。
【請求項２１５】
前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方にＤＣ領域及び非ＤＣ領域が含まれ、及び
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記ＤＣ領域及び非ＤＣ領域双方の少なくとも一部へ処理されることを特徴とする前記請求項２１０−２１１項のいずれかに記載の装置。
【請求項２１６】
前記複数の異なる位相変化された変換波面の高周波容量を増加させるために相対的に高周波成分から成る位相成分を前記分析対象波面へ加える位相付加装置を含んで構成されることを特徴とする前記請求項１９６−２１５項のいずれかに記載の装置。
【請求項２１７】
前記情報が前記媒体上へ符号化され、これにより、
強度値が前記媒体上の各位置からの光の反射によって該位置に保存されている前記情報の成分に対応する所定の数値範囲内に収まるように実現され、及び
前記強度マップ利用装置は前記複数の強度マップを用いて各位置について多重強度値を実現し、前記媒体上の各位置について情報の多重成分を与えることを特徴とする前記請求項１６６項記載の装置。
【請求項２１８】
前記波面変換装置は、少なくとも時変性の位相変化関数を用いることによって複数の波面の位相を変化させる位相変化装置を含むことを特徴とする前記請求項１６１−１７０項及び１７２−１９５項記載の装置。
【請求項２１９】
前記複数の異なる位相変化された変換波面は、それら波面の位相が前記分析対象波面へ少なくとも時変性の位相変化関数を処理する位相変化装置によって変化されている複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項１６１−１７０項、１７２−１９５項及び２１７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２２０】
前記位相変化装置は前記分析対象波面の変換前に該分析対象波面へ少なくとも時変性の位相変化関数を与えるように作用すること特徴とする前記請求項２１９項記載の装置。
【請求項２２１】
前記位相変化装置は、前記分析対象波面の変換後に続いて該分析対象波面へ少なくとも時変性の位相変化関数与えるように作用することを特徴とする前記請求項２１９項記載の装置。
【請求項２２２】
前記少なくとも時変性の位相変化関数は空間的に均質な空間関数であることを特徴とする前記請求項２２０項記載の装置。
【請求項２２３】
前記少なくとも時変性の位相変化関数が前記分析対象波面の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項２２２項記載の装置。
【請求項２２４】
前記分析対象波面は複数の異なる波長成分から成り、及び、
前記波面変換装置は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理する変換処理装置によって取得された変換波面の少なくとも一方の複数の異なる波長成分へ位相変化を処理することによって前記複数の異なる位相変化された変換波面を取得するように作用することを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６−１７０項及び１７２−２１７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２２５】
前記波面変換装置は前記分析対象波面の前記複数の異なる波長成分へ前記位相変化を処理するように作用することを特徴とする前記請求項２２４項記載の装置。
【請求項２２６】
前記複数の異なる波長成分へ処理される前記位相変化は、対象物の厚さ及び屈折率の少なくとも一方が空間的に変化する該対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項２２４項記載の装置。
【請求項２２７】
前記複数の異なる波長成分へ処理される前記位相変化は空間的に変化する表面から前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を反射させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項２２４項記載の装置。
【請求項２２８】
前記複数の異なる波長成分へ処理される前記位相変化は前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて所定程度まで相違するように選択されることを特徴とする前記請求項２２４項記載の装置。
【請求項２２９】
前記複数の異なる波長成分へ処理される前記位相変化は前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項２２４項記載の装置。
【請求項２３０】
前記複数の異なる波長成分へ処理される前記位相変化は、複数の対象物のそれぞれの厚さ及び屈折率の少なくとも一方が空間的に変化することを特徴とする該複数の対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項２２４項、２２８項及び２２９項のいずれかに記載の装置。
【請求項２３１】
前記強度マップ発生装置は前記複数の異なる波長成分のすべてについて前記複数の強度マップを同時に取得するように作用し、及び、
前記強度マップ発生装置には前記複数の位相変化された変換波面を別個の波長成分へと分離する波長分離装置が含まれることを特徴とする前記請求項２２４−２３０項のいずれかに記載の装置。
【請求項２３２】
前記波長分離装置には、分散素子を通して前記複数の位相変化された変換波面を別個の波長成分へ分離する該分散素子が含まれることを特徴とする前記請求項２３１項記載の装置。
【請求項２３３】
前記分析対象波面は複数の異なる分極成分から成り、及び、
前記波面変換装置は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理する変換処理装置によって取得された変換波面の少なくとも一方の複数の異なる分極成分へ位相変化を処理することによって前記複数の異なる位相変化された変換波面を取得するように作用することを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６−１７０項及び１７２−２１７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２３４】
前記複数の異なる分極成分へ処理される前記位相変化は前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて相違することを特徴とする前記請求項２３３項記載の装置。
【請求項２３５】
前記複数の異なる分極成分へ処理される前記位相変化は前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項２３３項記載の装置。
【請求項２３６】
前記強度マップ発生装置には、
前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理する第二変換処理装置が含まれることを特徴とする前記請求項１６１−１７０項、１７２−２０１項及び２０３−２３５項のいずれかに記載の装置。
【請求項２３７】
前記強度マップ発生装置には、前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換するように前記複数の異なる位相変化された変換波面を反射する反射面が含まれることを特徴とする前記請求項１６１−１７０項、１７２−２０１項及び２０３−２３５項のいずれかに記載の装置。
【請求項２３８】
前記強度マップ発生装置には前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理する第二変換処理装置が含まれ、及び、
前記複数の位相変化された変換波面は、前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方を変換処理する前記変換処理装置と前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理する前記第二変換処理装置が同じ素子であるように反射面から反射されることを特徴とする前記請求項１９６−２１７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２３９】
前記変換処理装置は前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方をフーリエ変換処理することを特徴とする前記請求項１９６−２１７項及び２３８項のいずれかに記載の装置。
【請求項２４０】
前記強度マップ利用装置には、
前記複数の強度マップを前記分析対象波面の少なくとも一方が未知である前記位相及び振幅の少なくとも１の数理的関数として表す強度マップ表示装置、及び、
前記少なくとも１の数理的関数を用いて前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する関数解装置が含まれることを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６項、１６７項、１７２−２０２項及び２１８−２３９項のいずれかに記載の装置。
【請求項２４１】
前記強度マップ利用装置には、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の少なくとも一方が未知である前記位相及び振幅、及び既知である前記複数の異なる位相変化の少なくとも１の数理的関数として表す強度マップ表示装置、及び、
前記少なくとも１の数理的関数を用いて前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する関数解装置が含まれることを特徴とする前記請求項１９６−２１６項、２３８項及び２３９項のいずれかに記載の装置。
【請求項２４２】
前記複数の強度マップは少なくとも４つの強度マップから成り、及び、
前記強度マップ利用装置には、それぞれが前記複数の強度マップのうちの少なくとも３つの組合せである複数の該組合せを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての複数の表示を与える表示付与装置が含まれることを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６項、１６７項、１７２−２０２項及び２１８−２３９項のいずれかに記載の装置。
【請求項２４３】
前記表示付与装置にはさらに、前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示を用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての強調表示を与える強調表示付与装置が含まれることを特徴とする前記請求項２４２項記載の装置。
【請求項２４４】
前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示の少なくともいくつかが前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての少なくとも第二階級表示であることを特徴とする前記請求項２４２項記載の装置。
【請求項２４５】
前記波面変換装置は、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と、前記変換波面へ複数の異なる位相及び振幅変化を処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された変換波面を取得する位相振幅変化処理装置の少なくとも一方か、あるいは、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相及び振幅変化を処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された波面を取得する位相振幅変化処理装置、及び、
前記複数の異なる位相及び振幅変化された波面を変換処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された変換波面を取得する変換処理装置から構成されることを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６−１７０項、１７２−１９４項、１９９−２０２項及び２２４−２３７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２４６】
前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相及び振幅変化された波面の少なくとも一方へ処理される前記変換はフーリエ変換であり、
前記複数の異なる位相及び振幅変化は少なくとも３つの異なる位相及び振幅変化から成り、
前記位相振幅変化処理装置は、空間的に均質な時変性の空間位相変化及び空間的に均質な時変性空間振幅変化の少なくとも一方を、前記変換波面の少なくとも一部及び前記分析対象波面の少なくとも一部の少なくとも一方へ処理することによって作用し、
前記複数の強度マップは少なくとも３つの強度マップから成り、及び、
前記強度マップ利用装置には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す波面表示装置と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数及び、空間的に均質な時変性の空間位相変化及び空間的に均質な時変性の空間振幅変化の少なくとも一方を決定する空間関数の関数として表す第一強度マップ表示装置と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する複素関数限定装置と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の第三関数として表す第二強度マップ表示装置、及び、
空間的に均質な時変性の空間位相変化及び空間的に均質な時変性の空間振幅変化の少なくとも一方を決定する前記空間関数が含まれ、
いずれもが前記複数の強度マップあるいは前記時変性の空間位相変化のいずれの関数でもないが、各々が前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の少なくとも１の関数である第４、第５、第６及び第７複素関数を限定する第二複素関数限定装置と、
前記少なくとも３つの強度マップに対応する前記少なくとも３つの異なる位相及び振幅変化のいずれかによって双方ともひき起こされる位相遅延及び振幅変化の第８関数を限定する第三関数限定装置、及び、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記第４複素関数、前記第８関数の二乗された前記絶対値によって掛け算された前記第５複素関数、前記第８関数で掛け算された前記第６複素関数及び前記第８関数の複合共役で掛け算された前記第７複素関数の総和として表す第三強度マップ表示装置と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差を取得する第一関数解装置と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する第二関数解装置、及び、
前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差へ前記第二複素関数の前記位相を加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する位相取得装置から構成されることを特徴とする前記請求項２４５項記載の装置。
【請求項２４７】
前記分析対象波面は少なくとも２つの波長成分から成り、
前記強度マップ発生装置にはさらに、前記少なくとも２つの波長成分に従って前記位相変化された変換波面を分離することによって前記位相変化された変換波面の少なくとも２つの波長成分を取得し、続いて各組が前記位相変化された変換波面の前記少なくとも２つの波長成分の異なる一方に対応する少なくとも２組の強度マップを取得する波面分離装置が含まれ、及び、
前記強度マップ利用装置には、前記少なくとも２組の強度マップのそれぞれから前記分析対象波面の前記位相を表示する出力を取得し、及び前記出力を併合して前記分析対象波面の位相についての強調表示の中に２π曖昧性がない該強調表示を与える位相取得装置が含まれることを特徴とする前記請求項１６１−１６８項、１７０項、１７２−１８３項、１８８−２０１項及び２０３−２４６項のいずれかに記載の装置。
【請求項２４８】
前記分析対象波面は少なくとも１の一次元成分から成り、
前記波面変換装置は、
前記分析対象波面を、前記分析対象波面の伝搬方向に対して直交する次元において実施される一次元フーリエ変換処理を行うことによって前記伝搬方向に対して直交する次元において変換波面の少なくとも１の一次元成分を取得する変換処理装置、及び、
前記少なくとも１の一次元成分のそれぞれへ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面の少なくとも１の一次元成分を取得する位相変化処理装置を含んで構成され、及び
前記強度マップ利用装置は前記分析対象波面の前記少なくとも１の一次元成分の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得するように作用することを特徴とする前記請求項１６１−１６４項、１６６−１７０項、１７２−１９４項、１９９−２１６項、２２４−２３５項、２４５項及び２４７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２４９】
前記位相変化処理装置は、前記分析対象波面と空間的に変化する時定性の位相変化を起こす素子間に生じて前記伝搬方向及び該伝搬方向に対して直交する前記次元の双方に対して直行する付加的次元中に存在する相対運動を与える運動発生装置を含んで構成される前記請求項２４８項記載の装置。
【請求項２５０】
前記分析対象波面は複数の異なる波長成分から成り、
前記位相変化処理装置は前記分析対象波面の前記複数の一次元成分のそれぞれの前記複数の異なる波長成分へ複数の異なる位相変化を処理するように作用し、及び、
前記強度マップ発生装置には前記複数の位相変化された変換波面の前記複数の一次元成分を別個の波長成分へ分離する波長分離装置が含まれていることを特徴とする前記請求項２４８項及び２４９項のいずれかに記載の装置。
【請求項２５１】
前記変換処理装置には前記分析対象波面の異なる一次元成分間のクロストークを最小化するために付加的フーリエ変換処理を行う付加変換処理装置が含まれていることを特徴とする前記請求項２４８−２５０項のいずれかに記載の装置。
【請求項２５２】
前記分析対象波面が音響放射波面であることを特徴とする先行するいずれかの請求項に記載の装置。
【請求項２５３】
前記表面から反射された前記放射は一定波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の前記位相を前記表面の構造変化に前記波長の逆一次関数である比をもって比例させていることを特徴とする前記請求項１６２項、１７３項、１７９項及び１８５項のいずれかに記載の装置。
【請求項２５４】
前記放射はそれぞれが異なる波長を中心とする少なくとも２つの狭い帯域を有し、前記分析対象波面中の少なくとも２つの波長成分及び前記分析対象波面の前記位相についての少なくとも２つの表示を与えることにより、前記２つの狭い帯域が中心を置いている前記異なる波長のうちの大きな波長を超える写像における曖昧性を回避して前記放射の衝突を受けた素子の少なくとも表面の構造変化、厚さ及び前記素子中の構造変化を含む特徴の強調写像を可能としていることを特徴とする前記請求項１６２項、１６３項、１６７項、１７３項、１７４項、１７７項、１７９項、１８０項、１８３項、１８５項及び１８６項のいずれかに記載の装置。
【請求項２５５】
前記対象物が材質及び対象物の光学的特性においてほぼ均質である場合、前記分析対象波面の前記位相が前記対象物の厚さに比例することを特徴とする前記請求項１６３項、１７４項、１８０項及び１８６項のいずれかに記載の装置。
【請求項２５６】
前記対象物が厚さにおいてほぼ均質である場合、前記分析対象波面の前記位相が前記対象物の光学特性に比例することを特徴とする前記請求項１６３項、１７４項、１８０項及び１８６項のいずれかに記載の装置。
【請求項２５７】
前記波面取得装置は前記対象物から前記放射を反射させることによって前記分析対象波面を取得することを特徴とする前記請求項１６４項、１７５項、１８１項及び１８７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２５８】
前記波面取得装置は前記放射を前記対象物を通して伝搬させることによって前記分析対象波面を取得することを特徴とする前記請求項１６４項、１７５項、１８１項及び１８７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２５９】
前記放射は実質的に単一波長であり、前記分析対象波面の前記位相は前記単一波長に逆比例し、及び前記衝突を受けた対象物の表面特性及び厚さの少なくとも一方と関連していることを特徴とする前記請求項１６４項、１７５項、１８１項、１８７項、２５７項及び２５８項のいずれかに記載の装置。
【請求項２６０】
前記複数の異なる位相変化に横方向のズレが生じた場合には対応する変化が前記複数の強度マップ中にも生じ、前記強度マップ利用装置が前記横方向のズレについての表示を取得することを特徴とする前記請求項１６５項記載の装置。
【請求項２６１】
前記強度マップ利用装置には、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の少なくとも一方が既知である前記位相及び振幅、及び未知である前記複数の異なる位相変化の少なくとも１の数理的関数として表す強度マップ表示装置と、
前記少なくとも１の数理的関数を用いて前記複数の異なる位相変化間の前記差を表示する出力を取得する関数解装置が含まれることを特徴とする前記請求項１６５項及び２６０項のいずれかに記載の装置。
【請求項２６２】
振幅及び位相を有する分析対象の位相変化分析波面を取得する波面取得装置、
前記分析対象の位相変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置、
前記変換波面へ少なくとも１の位相変化を処理することによって少なくとも１の位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置、
前記少なくとも１の位相変化された変換波面の少なくとも１の強度マップを取得する強度マップ発生装置、及び、
前記少なくとも１の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記少なくとも１の位相変化についての出力表示を取得する強度マップ利用装置から構成されることを特徴とする位相変化分析装置。
【請求項２６３】
前記少なくとも１の位相変化が複数の所定数値から選択された数値を有する位相遅延であり、前記少なくとも１の位相変化についての出力表示には前記位相遅延の前記数値が含まれることを特徴とする前記請求項２６２項記載の装置。
【請求項２６４】
媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報が該媒体上の複数の異なる位置のそれぞれにおける該媒体の反射性を選択することによっても符号化され、及び、
前記位相振幅利用装置には前記位相についての前記表示を用いて前記媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報を取得する位相利用装置と、前記振幅についての前記表示を用いて前記媒体の反射性を選択することによって符号化された前記情報を取得する振幅利用装置が含まれていることを特徴とする前記請求項１６６項及び２１７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２６５】
前記対象物から反射された前記放射は一定波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の前記位相を前記波長の逆一次関数である比をもって前記対象物中の構造変化へ比例させていることを特徴とする前記請求項１６７項、１７７項及び１８３項のいずれかに記載の装置。
【請求項２６６】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを与える強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を与える強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項２６７】
表面から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の表面写像波面を分析し、及び
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される表面写像装置。
【請求項２６８】
放射を対象物を通して伝搬させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される対象物検査装置。
【請求項２６９】
放射を対象物へ衝突させることによって、振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象のスペクトル分析波面を分析し、及び
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置から構成されるスペクトル分析装置。
【請求項２７０】
振幅及び位相を有する分析対象の振幅変化分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の振幅変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と、
前記変換波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する振幅変化処理装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記複数の異なる振幅変化間の差についての出力表示を取得する強度マップ利用装置から構成される振幅変化分析装置。
【請求項２７１】
媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおいて該媒体の高さを選択することによってその中に情報が符号化されている該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の保存データ検索波面を分析し、及び
前記分析対象の保存デー複数の検索波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する波面分析装置と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記情報を取得する位相振幅利用装置から構成される保存データ検索装置。
【請求項２７２】
見られる対象物から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の三次元画像形成波面を分析し、及び
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される三次元画像形成装置。
【請求項２７３】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、該第一の複数の強度マップより少ない第二の複数の併合強度マップへ併合する強度併合装置と、
前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の前記位相を表示する出力を与える表示付与装置と、
前記出力を併合して前記分析対象波面の位相についての少なくとも強調表示を与える強調表示付与装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項２７４】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、該第一の複数の強度マップより少ない第二の複数の併合強度マップへ併合する強度併合装置と、
前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の前記振幅を表示する出力を与える表示付与装置と、
前記出力を併合して前記分析対象波面の振幅についての少なくとも強調表示を与える強調表示付与装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項２７５】
振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる振幅変化された変換波面を特徴付ける振幅変化関数の関数として表す強度マップ表示装置と、
前記複数の強度マップ中の各位置における強度が前記位置における前記複素関数の数値及び前記位置における前記分析対象波面の前記振幅及び位相を支配する関数であることを特徴とする複素関数であって、かつ前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる振幅変化された変換波面を特徴づける前記振幅変化関数の複素関数である該複素関数を限定する複素関数限定装置と、
前記複素関数を前記複数の強度マップの関数として表す複素関数表示装置と、
前記複数の強度マップの関数として表された前記複素関数を用いて前記位相についての数値を取得する位相取得装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項２７６】
振幅及び位相を有する分析対象波面をフーリエ変換処理することによって変換波面を取得する第一変換処理装置と、
前記変換波面の一部へ空間的に均質な時変性の空間振幅変化を処理することによって少なくとも３つの異なる振幅変化された変換波面を取得する振幅変化処理装置と、
前記少なくとも３つの異なる振幅変化された変換波面を第二のフーリエ変換処理することによって少なくとも３つの強度マップを取得する第二変換処理装置と、
前記少なくとも３つの強度マップを用いて前記分析対象波面の前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得し、及び
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す波面表示装置と、
前記複数の強度マップを前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する空間関数の関数として表す第一強度マップ表示装置と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する複素関数限定装置と、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも３つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも３つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の位相遅延の第三関数として表す第二強度マップ表示装置と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差を取得する第一関数解装置と、
前記第二関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する第二関数解装置と、
前記第二複素関数の前記位相を前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差へ加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する位相取得装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。
【請求項２７７】
前記波面変換装置が共通の光路に沿った前記分析対象波面の干渉によって前記異なる振幅変化された変換波面を与えることを特徴とする前記請求項２６６−２７６項のいずれかに記載の装置。
【請求項２７８】
前記波面変換装置は、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と前記分析対象波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する振幅変化処理装置の少なくとも一方、あるいは、
前記分析対象波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された波面を取得する振幅変化処理装置、及び
前記複数の異なる振幅変化された波面を変換処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する変換処理装置から構成されることを特徴とする前記請求項２６６−２６９項、２７１−２７５項及び２７７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２７９】
前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれることを特徴とする前記請求項２７８項記載の装置。
【請求項２８０】
前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれ、前記複数の異なる空間振幅変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性の空間振幅変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項２７８項記載の装置。
【請求項２８１】
前記複数の異なる振幅変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性の空間振幅変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項２７９項記載の装置。
【請求項２８２】
前記分析対象波面及び前記複数の異なる振幅変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換がフーリエ変換であり、前記強度マップ発生装置には前記複数の異なる振幅変化された変換波面をフーリエ変換処理するフーリエ変換処理装置が含まれることを特徴とする前記請求項２８１項記載の装置。
【請求項２８３】
前記波面変換装置は、
前記分析対象波面をフーリエ変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と前記分析対象波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する振幅変化処理装置の少なくとも一方、あるいは、
前記分析対象波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された波面を取得する振幅変化処理装置、及び
前記複数の異なる振幅変化された波面をフーリエ変換処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する変換処理装置から構成され、
前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれ、
前記複数の異なる空間振幅変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性の空間振幅変化を処理することによって遂行され、
前記複数の異なる空間振幅変化は少なくとも３つの異なる振幅変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも３つの強度マップから成り、及び
前記強度マップ利用装置には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す波面表示装置と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化を決定する空間関数の関数として表す第一強度マップ表示装置と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する複素関数限定装置と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも３つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも３つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の振幅減衰の第三関数として表す第二強度マップ表示装置と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差を取得する第一関数解装置と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する第二関数解装置と、
前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差へ前記第二複素関数の前記位相を加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する位相取得装置が含まれることを特徴とする前記請求項２６６−２６９項、２７１−２７５項及び２７７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２８４】
前記複数の異なる振幅変化は少なくとも４つの異なる振幅変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも４つの強度マップから成り、
前記強度マップ利用装置は、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、それぞれが前記少なくとも４つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも４つの異なる振幅変化のいずれか一つによってひき起こされる既知の振幅減衰、及び少なくとも１の付加的未知数の数がその数によって前記複数の強度マップが３を超える該数以下である場合に前記波面分析に関連する少なくとも１の未知数の第三関数として表す強度マップ表示機能、及び
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差、及び前記少なくとも１の付加的未知数を取得する関数解装置を備えることを特徴とする前記請求項２８３項記載の装置。
【請求項２８５】
前記振幅変化は、前記強度マップ中のコントラストが最大となるように、かつ前記分析対象波面の前記位相上におけるノイズによる影響が最小となるように選択されることを特徴とする前記請求項２８３項記載の装置。
【請求項２８６】
前記第二強度マップ表示装置が、
いずれもが前記複数の強度マップのいずれの関数でもなく、あるいは前記時変性の空間振幅変化の関数でもないが、それぞれが前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差の関数である第４、第５及び第６複素関数を限定する第二複素関数限定装置、及び
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記第４複素関数、前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の振幅減衰のサインで掛け算された前記第５複素関数、及び前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の振幅減衰のコサインで掛け算された前記第６複素関数の総和として表す第三強度マップ表示装置から構成されることを特徴とする前記請求項２８３項記載の装置。
【請求項２８７】
前記第一関数解装置には、
前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差のそれぞれについて数値の高い解と数値の低い解の二つの解を取得する解関数機能、
各空間位置において、前記強調絶対値解が前記第二複素関数を満たす方法で、前記二つの解のうちの前記数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれか一方を選択することによって前記二つの解を前記第二複素関数の前記絶対値についての強調絶対値解へ併合する第一併合機能、
各空間位置において、前記絶対値解について前記数値の高い解が選択される各位置では前記振幅解について前記数値の高い解が選択され、前記絶対値解について前記数値の低い解が選択される各位置では前記振幅解について前記数値の低い解が選択される方法で、前記振幅についての前記二つの解のうちの数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれかを選択することによって前記分析対象波面の前記振幅についての前記二つの解を強調振幅解へ併合する第二併合機能、及び、
各空間位置において、前記絶対値解について前記数値の高い解が選択される各位置では前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の解については前記数値の高い解が選択され、前記絶対値解について前記数値の低い解が選択される各位置では前記差の解について前記数値の低い解が選択される方法で、前記差についての二つの解のうちの前記数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれかを選択することによって前記差についての前記二つの解を強調差の解へ併合する第三併合機能が備えられていることを特徴とする前記請求項２８３項記載の装置。
【請求項２８８】
前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項２８１−２８７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２８９】
前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方のおよそ半分へ処理されることを特徴とする前記請求項２８１−２８７項のいずれかに記載の装置。
【請求項２９０】
前記複数の異なる振幅変化された変換波面の高周波容量を増加させるために相対的に高周波成分から成る位相成分を前記分析対象波面へ加える位相付加装置を含んで構成されることを特徴とする前記請求項２７８−２８８項のいずれかに記載の装置。
【請求項２９１】
前記情報が前記媒体上へ符号化され、これにより、
強度値が前記媒体上の各位置からの光の反射によって該位置に保存されている前記情報の成分に対応する所定の数値範囲内に収まるように実現され、及び
前記強度マップ利用装置は前記複数の強度マップを用いて各位置について多重強度値を実現し、前記媒体上の各位置について情報の多重成分を与えることを特徴とする前記請求項２７１項記載の装置。
【請求項２９２】
前記複数の異なる振幅変化された変換波面は、それら波面の位相が前記分析対象波面へ少なくとも時変性の振幅変化関数を処理する振幅変化装置によって変化されている複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項２６６−２７５項、２７７項及び２９１項のいずれかに記載の装置。
【請求項２９３】
前記分析対象波面は複数の異なる波長成分から成り、及び、
前記波面変換装置は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理する変換処理装置によって取得された変換波面の少なくとも一方の複数の異なる波長成分へ振幅変化を処理することによって前記複数の異なる振幅変化された変換波面を取得するように作用することを特徴とする前記請求項２６６−２６９項、２７１−２７５項及び２７７−２９１項のいずれかに記載の装置。
【請求項２９４】
前記波面変換装置は前記分析対象波面の前記複数の異なる波長成分へ前記振幅変化を処理するように作用することを特徴とする前記請求項２９３項記載の装置。
【請求項２９５】
前記複数の異なる波長成分へ処理される前記振幅変化は、対象物による前記波面長成分の伝搬が空間的に変化する該対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項２９３項記載の装置。
【請求項２９６】
前記複数の異なる波長成分へ処理される前記振幅変化は、その表面による前記波面長成分の反射が空間的に変化する該表面から前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を反射させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項２９３項記載の装置。
【請求項２９７】
前記複数の異なる波長成分へ処理される前記振幅変化は前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて所定程度まで相違するように選択されることを特徴とする前記請求項２９３項記載の装置。
【請求項２９８】
前記複数の異なる波長成分へ処理される前記振幅変化は前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項２９３項記載の装置。
【請求項２９９】
前記複数の異なる波長成分へ処理される前記振幅変化は、それぞれの対象物による前記波長成分の伝搬が空間的に変化することを特徴とする該複数の対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項２９３項、２９７項及び２９８項のいずれかに記載の装置。
【請求項３００】
前記強度マップ発生装置は前記複数の異なる波長成分のすべてについて前記複数の強度マップを同時に取得するように作用し、及び、
前記強度マップ発生装置には前記複数の振幅変化された変換波面を別個の波長成分へと分離する波長分離装置が含まれることを特徴とする前記請求項２９３−２９９項のいずれかに記載の装置。
【請求項３０１】
前記波長分離装置には、分散素子を通して前記複数の振幅変化された変換波面を別個の波長成分へ分離する該分散素子が含まれることを特徴とする前記請求項３００項記載の装置。
【請求項３０２】
前記分析対象波面は複数の異なる分極成分から成り、及び、
前記波面変換装置は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理する変換処理装置によって取得された変換波面の少なくとも一方の複数の異なる分極成分へ振幅変化を処理することによって前記複数の異なる振幅変化された変換波面を取得するように作用することを特徴とする前記請求項２６６−２６９項、２７１−２７５項、２７７−２９１項及び２９３項のいずれかに記載の装置。
【請求項３０３】
前記複数の異なる分極成分へ処理される前記振幅変化は前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて相違することを特徴とする前記請求項３０２項記載の装置。
【請求項３０４】
前記複数の異なる分極成分へ処理される前記振幅変化は前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項３０２項記載の装置。
【請求項３０５】
前記強度マップ発生装置には、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面を変換処理する第二変換処理装置が含まれることを特徴とする前記請求項２６６−２７５項、２７７−２８１項及び２８３−３０４項のいずれかに記載の装置。
【請求項３０６】
前記強度マップ発生装置には、前記複数の異なる振幅変化された変換波面を変換するように前記複数の異なる振幅変化された変換波面を反射する反射面が含まれることを特徴とする前記請求項２６６−２７５項、２７７−２８１項及び２８３−３０４項のいずれかに記載の装置。
【請求項３０７】
前記変換処理装置は前記分析対象波面及び前記複数の異なる振幅変化された波面の少なくとも一方をフーリエ変換処理することを特徴とする前記請求項２７８−２９１項のいずれかに記載の装置。
【請求項３０８】
前記強度マップ利用装置には、
前記複数の強度マップを前記分析対象波面の少なくとも一方が未知である前記位相及び振幅の少なくとも１の数理的関数として表す強度マップ表示装置、及び、
前記少なくとも１の数理的関数を用いて前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する関数解装置が含まれることを特徴とする前記請求項２６６−２６９項、２７１項、２７２項、２７７−２８２項及び２９２−３０７項のいずれかに記載の装置。
【請求項３０９】
前記複数の強度マップは少なくとも４つの強度マップから成り、及び、
前記強度マップ利用装置には、それぞれが前記複数の強度マップのうちの少なくとも３つの組合せである複数の該組合せを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての複数の表示を与える表示付与装置が含まれることを特徴とする前記請求項２６６−２６９項、２７１項、２７２項、２７７−２８２項及び２９２−３０７項のいずれかに記載の装置。
【請求項３１０】
前記表示付与装置にはさらに、前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示を用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての強調表示を与える強調表示付与装置が含まれることを特徴とする前記請求項３０９項記載の装置。
【請求項３１１】
前記分析対象波面は少なくとも１の一次元成分から成り、
前記波面変換装置は、
前記分析対象波面を、前記分析対象波面の伝搬方向に対して直交する次元において実施される一次元フーリエ変換処理を行うことによって前記伝搬方向に対して直交する次元において変換波面の少なくとも１の一次元成分を取得する変換処理装置、及び、
前記少なくとも１の一次元成分のそれぞれへ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面の少なくとも１の一次元成分を取得する振幅変化処理装置を含んで構成され、及び
前記強度マップ利用装置は前記分析対象波面の前記少なくとも１の一次元成分の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得するように作用することを特徴とする前記請求項２６６−２６９項、２７１−２７５項、２７７項、２７９−２９０項及び２９３−３０４項のいずれかに記載の装置。
【請求項３１２】
前記振幅変化処理装置は、前記分析対象波面と空間的に変化する時定性の振幅変化を起こす素子間に生じて前記伝搬方向及び該伝搬方向に対して直交する前記次元の双方に対して直行する付加的次元中に存在する相対運動を与える運動発生装置を含んで構成される前記請求項３１１項記載の装置。
【請求項３１３】
前記変換処理装置には前記分析対象波面の異なる一次元成分間のクロストークを最小化するために付加的フーリエ変換処理を行う付加変換処理装置が含まれていることを特徴とする前記請求項３１１項あるいは３１２項のいずれかに記載の装置。
【請求項３１４】
前記分析対象波面が音響放射波面であることを特徴とする先行するいずれかの請求項に記載の装置。
【請求項３１５】
前記表面から反射された前記放射は一定波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の前記位相を前記表面の構造変化に前記波面長の逆一次関数である比をもって比例させていることを特徴とする前記請求項２６７項記載の装置。
【請求項３１６】
前記放射はそれぞれが異なる波長を中心とする少なくとも２つの狭い帯域を有し、前記分析対象波面中の少なくとも２つの波長成分及び前記分析対象波面の前記位相についての少なくとも２つの表示を与えることにより、前記２つの狭い帯域が中心を置いている前記異なる波長のうちの大きな波長を超える写像における曖昧性を回避して前記放射の衝突を受けた素子の少なくとも表面の構造変化、厚さ及び前記素子中の構造変化を含む特徴の強調写像を可能としていることを特徴とする前記請求項２６７項、２６８項及び２７２項のいずれかに記載の装置。
【請求項３１７】
前記複数の異なる振幅変化に横方向のズレが生じた場合には対応する変化が前記複数の強度マップ中にも生じ、前記強度マップ利用装置が前記横方向のズレについての表示を取得することを特徴とする前記請求項２７０項記載の装置。
【請求項３１８】
振幅及び位相を有する分析対象の振幅変化分析波面を取得する波面取得装置、
前記分析対象の振幅変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置、
前記変換波面へ少なくとも１の振幅変化を処理することによって少なくとも１の振幅変化された変換波面を取得する振幅変化処理装置、
前記少なくとも１の振幅変化された変換波面の少なくとも１の強度マップを取得する強度マップ発生装置、及び、
前記少なくとも１の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記少なくとも１の振幅変化についての出力表示を取得する強度マップ利用装置から構成されることを特徴とする振幅変化分析装置。
【請求項３１９】
媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報が該媒体上の複数の異なる位置のそれぞれにおける該媒体の反射性を選択することによっても符号化され、及び、
前記位相振幅利用装置には前記位相についての前記表示を用いて前記媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報を取得する位相利用装置と、前記振幅についての前記表示を用いて前記媒体の反射性を選択することによって符号化された前記情報を取得する振幅利用装置が含まれていることを特徴とする前記請求項２７１項及び２０１項のいずれかに記載の装置。
【請求項３２０】
前記対象物から反射された前記放射は一定波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の前記位相を前記波長の逆一次関数である比をもって前記対象物中の構造変化へ比例させていることを特徴とする前記請求項２７２項記載の装置。

【図１Ａ】

【図１Ｂ】

【図２】

【図３】

【図４】

【図５】

【図６】

【図７】

【図８】

【図９】

【図１０Ａ】

【図１０Ｂ】

【図１１】

【図１２】

【図１３】

【図１４】

【図１５】

【図１６】

【図１７】

【図１８】

【図１９】

【図２０】

【図２１Ａ】

【図２１Ｂ】

【図２２】

【公開番号】特開２０１３−６４７４１（Ｐ２０１３−６４７４１Ａ）
【公開日】平成２５年４月１１日（２０１３．４．１１）
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願２０１２−２３０２０９（Ｐ２０１２−２３０２０９）
【出願日】平成２４年１０月１７日（２０１２．１０．１７）
【分割の表示】特願２００１−５７４８３９（Ｐ２００１−５７４８３９）の分割
【原出願日】平成１３年４月１１日（２００１．４．１１）
【出願人】（５０７１５４７２３）アイコス・ビジョン・システムズ・ナムローゼ・フェンノートシャップ (3)
【Ｆターム（参考）】