【課題】ノイズの少ない方法で、容易には測定できない位相特性を測定し、また、振幅特性を強調された方法で
測定する。
【解決手段】振幅及び位相を有する分析対象波面に対して、フーリエ変換処理を行い、該分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、該複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、該複数の強度マップを用いて該分析対象の三次元画像形成波面の振幅及び位相を表示する出力を取得する。 （もっと読む）

【課題】計測対象面の凹凸に起因する面位置センサの計測誤差の補正データを作成し、該補正データを用いて計測精度が改善される面位置センサを用いて、移動体を高精度に２次元駆動する。
【解決手段】 Ｘ干渉計１２７、Ｙ干渉計１６を用いて位置を監視しながらウエハステージＷＳＴを移動させ、センサ７２ａ〜７２ｄを用いてウエハステージ上面に設けられたＹスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２のＺ位置を計測する。ここで、例えば、２つの面位置センサ７２ａ，７２ｂの計測結果の差より、Ｙスケール３９Ｙ_２のＹ軸方向の傾きが得られる。Ｙスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２の全面について傾きを計測することにより、それらの２次元凹凸データが作成される。この凹凸データを用いてセンサの計測結果を補正し、該補正済みの計測結果を用いることにより、高精度にウエハステージを２次元駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】回折格子を用いて計測する際に、干渉用の光学系をコンパクトに配置可能として、かつ格子パターン面の高さ変化に対する干渉光強度の低下を抑制する。
【解決手段】エンコーダ１０Ｘは、第１部材６に設けられたＸ軸の回折格子１２Ｘと、計測光ＭＸ１，ＭＸ２を回折格子１２Ｘの格子パターン面１２Ｘｂにほぼ垂直に入射させるレーザ光源１６と、第２部材７に設けられて、回折格子１２Ｘから計測光ＭＸ１によって発生する回折光ＤＸ１を回折格子１２Ｘに再度入射させる直角プリズム２６Ａと、回折光ＤＸ１によって発生する回折光ＤＸ２と他の回折光ＥＸ２との干渉光を検出する光電センサ４０Ｘと、を備える。 （もっと読む）

【課題】透過率の再現性が高い分光素子を用いながら、適正にレーザ光源の光量制御が可能な情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、発光装置１０と、受光装置２０と、を備える。発光装置１０は、レーザ光源１１０と、コリメータレンズ１２０と、リーケージミラー１３０と、リーケージミラー１３０によって反射されたレーザ光をドットパターンを有するレーザ光に変換するＤＯＥ１４０と、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光を受光して受光量に応じた検出信号を出力するＦＭＤ１６０と、リーケージミラー１３０とＦＭＤ１６０との間に配置され、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光の光量を減衰させるフィルタ１５０と、ＦＭＤ１６０の検出信号に基づいて、レーザ光源１１０の発光量を制御するＡＰＣ制御部２１ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】光軸方向に交差する方向に配列した複数の発光素子から光軸方向と配列方向とによって規定される仮想面に沿って光を出射した場合でも、発光素子の配列方向で光強度が急激に変化しない光源装置、光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０に用いた光源部１２（光源装置）では、複数の発光素子１２０を発光素子１２０の光軸に交差する方向に配列したため、光軸方向と配列方向とによって規定されるＸＹ面（仮想面）に沿う広い範囲にわたって検出光Ｌ２を十分な強度をもって出射することができる。複数の発光素子１２０の光軸方向の出射側には、レンズフィルム１９０（シート状光学部材）が配置されており、かかるレンズフィルム１９０は、ＸＹ面内方向における発光素子１２０からの出射光Ｌ１の発散角を拡大させるパワーを備え、Ｚ軸方向には光を拡散させるパワーを有していない。 （もっと読む）

【課題】検出対象物が近距離にある場合においても、大きな目標物の距離情報を取得できる情報取得装置、投射装置および物体検出装置を提供する。
【解決手段】投射光学系１１は、レーザ光源１１１と、コリメータレンズ１１２と、レーザ光を分離させるハーフミラー１１３と、分離されたレーザ光をドットパターン光Ｄｐ１に変換して目標領域に投射するＤＯＥ１１４と、分離されたレーザ光をドットパターン光Ｄｐ２に変換して目標領域に投射するＤＯＥ１１５と、を備える。複数のＤＯＥ１１４、１１５を用いることにより、広い角度範囲で、目標領域にドットパターンを照射できる。これにより、情報取得装置は、検出対象物が近距離にあるような場合においても、検出対象物の距離情報を適正に取得することができる。 （もっと読む）

【課題】光学試験表面の誤差と適合光学系の誤差とを分離することを可能にする方法及び装置を提供する。
【解決手段】光学試験表面１４の形状を判定する方法は、測定ビーム３０の波面を適合光学系２０により光学試験表面１４の所望の形状に適合させ、光学試験表面１４の形状を適合済測定ビームにより干渉測定するステップと、適合済測定ビームを光学試験表面に種々の入射角で照射し、測定ビームの波面を光学試験表面１４との相互作用後にそれぞれ測定するステップと、個々の入射角ごとに測定された波面からの干渉測定結果に対する適合光学系２０の影響を確定するステップと、光学試験表面の形状を、適合光学系２０の確定された影響を干渉測定結果から除去することにより判定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】対象物の相対的な位置情報を短時間で精度良く検出することができる光学センサを提供する。
【解決手段】 面発光レーザアレイを含む光源１１、非平行透明部材１２、コリメートレンズ１３、対物レンズ１４、及び処理装置などを備えている。面発光レーザアレイの複数の発光部から射出された複数の光束は、Ｚ軸方向に関して互いに異なる位置に集光される。そして、処理装置は、面発光レーザアレイの複数の発光部に一定の電圧を印加するとともに、発光部毎にセルフミキシング信号をプリンタ制御装置に出力する。プリンタ制御装置は、各発光部のセルフミキシング信号に基づいて、Ｚ軸方向に関する記録紙との距離を求める。 （もっと読む）

【課題】生体細胞のような位相物体の観察に用いられてきた従来の位相差顕微鏡に代わって、広くて深い測定視界を持ち、位相差の干渉画像が鮮明に得られる、単純で簡便な位相物体画像の識別、検査の方法と装置を提供する。
【解決手段】可干渉性平行レーザ光束中に設置されたフーリエ変換レンズで構成される広い測定視界中に置かれた位相物体から得られるフーリエ変換像(光回折パターン)の零次光だけを高次の回折光と異なる位相差参照光として、高次光回折パターンで得られる位相物体像と干渉させて鮮明な位相差画像を得る。また、位相物体の位相差を含めて異なる形状の複数形状粒子群を形状ごとに数や挙動や位置を自動計測するために、多重マッチトフィルタ法を含んだ位相差画像を検査する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成にて、回折光学素子の劣化を検出可能な情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、波長８３０ｎｍ程度のレーザ光を出射するレーザ光源１１１と、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１１３と、１／４波長板１１４と、ＤＯＥ１１６と、ＰＤ１１７を備えている。ＤＯＥ１１６は、レーザ光を所定のドットパターンにて目標領域に照射する。ＰＤ１１７は、ＤＯＥ１１６によって回折および反射されたレーザ光の一部を受光する。 （もっと読む）

【課題】三次元の物体の画像を生成する三次元撮像装置を提供する。
【解決手段】３Ｄ撮像装置１０１は、２組１０３ａ，１０３ｂの反射素子１０５と、撮像素子１０７と、プロセッサとを有する。撮像素子１０７は、物体１１１から発せられ、かつ２組１０３ａ，１０３ｂの反射素子１０５のそれぞれから反射された光線を用いて、２つの画像を取得する。プロセッサは、取得した画像のそれぞれにおける複数組のマッチングポイントを特定するように構成される。マッチングポイントの各組は、物体１１１の対応する単一の要素により発せられた個々の光線により生じたものである。また、プロセッサは、取得した画像のそれぞれにおける複数組のマッチングポイントの各組ごとに、物体１１１の対応する要素の位置を決定するように構成される。したがって、プロセッサは、物体１１１の複数の要素の決定された位置を用いて、物体１１１の３次元画像を生成することができる。 （もっと読む）

試験対象物（１２）の光学表面（１４）の形状を測定する方法が提供される。本方法は、測定波（１８）を発生させる干渉測定デバイス（１６）を設けるステップと、干渉測定デバイス（１６）及び試験対象物（１２）を相互に対して種々の測定位置に連続して配置し、光学表面（１４）の種々の領域（２０）が測定波（１８）により照明されるようにするステップと、測定デバイス（１６）の位置座標を試験対象物（１２）に対して種々の測定位置で測定するステップと、測定位置のそれぞれで測定デバイス（１６）を用いて、光学表面（１４）の各領域（２０）との相互作用後の測定波（１８）の波面を干渉測定することにより、表面領域測定値を得るステップと、測定位置のそれぞれにおける干渉測定デバイス（１６）の測定された位置座標に基づきサブ表面測定値を計算合成することにより、光学表面（１４）の実際の形状を判定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】計測物体の変位分布を高速に計測するとともに小型化が可能な変位分布計測方法、装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】本発明による変位分布計測装置（１）は、所定の波長の光を照射するレーザ光源（１１）と、照射された光を物体光と参照光とに分離するビームスプリッタ（１４）と、参照光の位相を所定量だけシフトさせるミラー付きＰＺＴステージ（２０）と、位相シフトされた参照光を複数に分岐するペリクルビームスプリッタ（１７，１８）と、計測物体（２３）により散乱された物体光と、分岐された参照光との干渉縞を撮影するＣＣＤセンサ（１５，１６）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ビームスポット中心の検出が容易に行え、設置作業時間を従来に比べて短縮可能な基準線発生装置、及び該基準線発生装置を備えた芯出し装置を提供する。
【解決手段】コリメートしたラゲールガウスビーム１２を発生させるラゲールガウスビーム生成部１０１と、上記ラゲールガウスビームを所定方向へ照射するために上位機ラゲールガウスビーム生成部を吊下げる吊下げ部２０と、ラゲールガウスビームの照射方向を微調整する方向調整部３０と、ラゲールガウスビーム生成部の揺動を抑えるダンパ部４０を備えた。 （もっと読む）

可視光干渉パターンの様々な使用が提供される。適した干渉パターンは、絞りのパターンからの回折により形成されるパターンである。本明細書中で開示される典型的な使用は、並進及び／又は角度位置決定システムなどの空間計測学に関連する。更なる使用は、光自体の特性の解析（例えば、電磁放射線の波長の決定）を含む。更なる他の使用は、光が通過する物質の１つ以上の特性（例えば屈折率）の解析を含む。干渉パターンの一部がＣＣＤチップなどの画素化された検出器で捕らえられ、捕らえられたパターンが計算されたパターンと比較される。最大値間の間隔の非常に正確な測定が可能であり、したがって、干渉パターン中における検出器の位置の非常に正確な測定を行なうことができる。
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【課題】輪郭測定装置及び動作方法を提供する。
【解決手段】輪郭測定装置（１２）は、対象物（２２）上に縞パターンを投影するように構成されている縞投影デバイス（３２）と、対象物（２２）によって変調された歪み縞パターンの画像を取得するように構成されている光学ユニット（３４）とを含む。輪郭測定装置（１２）はまた、光学ユニット（３４）からの取得した画像を処理して、該画像からノイズをフィルタリングし且つ対象物（２２）の製造又は修理に関連したパラメータについての実時間推定値を求めるように構成されている信号処理ユニット（６０）を含む。 （もっと読む）

【課題】レンズを使用することなく立体形状を計測する装置を提供する。
【解決手段】立体形状計測装置は、波長λの光を発する光源１１０と、第１のピッチｐ_１を有する第１の格子２１０と、第１の格子２１０から第１の距離Ｌ_１だけ離れて配置される第２のピッチｐ_２を有する第２の格子２２０と、画像センサ１２０とを備える。第１の距離と第１のピッチと波長との関係は、Ｌ_１≒ν（ｐ_１）^２／λ（νは整数）である。 （もっと読む）

【課題】通常の感度のカメラを用いながら、他の装置との干渉を効果的に回避するようにした環境認識装置および方法を提供する。
【解決手段】環境空間に存在する被測定物に向けて１フレームを規定するパルス列のデューティファクタτ／Ｔに従って間欠的に光パターンを照射する照射器、光パターンが照射されたときの露光で撮影して得た画像と照射されないときの露光で撮影して得た画像の差分画像を出力するカメラ、および差分画像に基づいて被測定物を認識する認識手段を備えた環境認識装置において、１フレーム内においてパルス列のパルス繰り返し周期Ｔをランダムに変化させて前記光パターンを照射するタイミングを制御するタイミング制御器を備える。 （もっと読む）

【課題】３線テンソルを使用して、ローカル３Ｄ表面形状を再構築する。
【解決手段】システムは、３ビュー光学ヘッドと、機械式マニピュレータと、ローカル３Ｄ表面形状再構築ユニットと、表面形状スティッチユニットとを含む。３ビュー光学ヘッドは、物体の少なくとも一部分の少なくとも３つのビューを生成するように動作可能である。機械式マニピュレータは、物体の第１の部分が見える第１の相対的向きから、第１の部分とオーバラップする部分が見える第２の相対的向きまで、物体と光学ヘッドとの向きを変更するように動作可能である。ローカル３Ｄ表面形状再構築ユニットは、光学ヘッドによって生成された第１および第２の部分の３つのビューのうちの少なくとも２つに基づいて、表面形状のローカル再構築を生成するように動作可能である。表面形状スティッチユニットは、物体の第１および第２の部分の相対位置を決定するように動作可能である。 （もっと読む）

【課題】物体の面内・面外変位を同時に計測することができる、位相シフトデジタルホログラフィを用いた変位計測方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】２光束を異なった方向から同じ入射角度で順番に変位前後の物体に投影し、参照光の位相を所定量だけ順次シフトさせながらＣＣＤカメラで撮影し、それぞれの入射光で変位によって生じた位相分布を求め、その位相分布の差を求めることで面内変位を表す位相分布を得て、和を求めることで面外変位を表す位相分布を得る。 （もっと読む）