【課題】コークス炉の炭化室の炉壁を従来よりも効率的に補修することができるようにする。
【解決手段】複数のコークス炉１００の複数の炭化室１１で実際に生じた押出負荷と、その炭化室１１について導出した抵抗指数ｋとを用いて、押出負荷と抵抗指数ｋとの関係を示すグラフ１４０１を求めておく。その後、炉壁３次元プロフィールデータ１５０１、１５０２に対して、補修対象領域１５０３、１５０４が指定されると、その補修対象領域１５０３、１５０４を補修した場合の抵抗指数ｋを計算し、計算した抵抗指数ｋに対応する押出負荷を、グラフ１４０１から推定する。抵抗指数ｋと押出負荷とは明瞭な相関関係があるので、推定した押出負荷の信頼性は、極めて高いものとなる。したがって、ユーザは、押出負荷の推定値（計算値）に基づいて、補修箇所の判断を、容易に且つ正確に行える。 （もっと読む）

【課題】欠陥を漏れなく精度良く検査するとともに、検査結果を分かりやすく正確に表示し、検査に必要な各装置を自在に増設して、効率良く外観検査を行うシステムを安価に提供する。
【解決手段】外観検査システム１０で扱うレンズ１７は、検査トレイ１６に配列され、外観検査装置２２で良，不良，再検査の何れかに各々評価される。レンズ１７の評価や検査に用いた画像は、サーバ２１のデータベース２８に登録される。レンズ１７を配置した検査トレイ１６がトレイ保管庫２６に保管されている間に、再検査装置２３でサーバ２１から検査時の画像等が読み出され、再検査のレンズ１７は良又は不良に分類される。検査結果表示装置２４には検査時のままレンズが配列された検査トレイ１６が配置され、サーバ２１から取得した各々のレンズ１７の評価が各々のレンズ１７に直接的に表示され、レンズ１７は選別される。 （もっと読む）

【課題】 、基板に溶液を塗布するに際し、今後予想される要望に対応すべく、液滴の吐出量を算出する速度、精度の更なる向上を図ること。
【解決手段】 基板１に溶液を塗布する溶液の塗布方法において、基板１に塗布された液滴Ｌの厚さと、該液滴Ｌを透過する光を該液滴Ｌが吸収する吸光度との厚さ／吸光度関係を予め定め、基板１に塗布された液滴Ｌに対して照射した光の吸光度を測定し、上記液滴Ｌの厚さ／吸光度関係に基づいてこの測定した吸光度に対応する液滴Ｌの厚さを算出し、この算出した液滴Ｌの厚さに基づいて該液滴Ｌの吐出量を算出するもの。 （もっと読む）

【課題】 油膜厚さが実測でき、金属接触と放電を混同せずに、油の物性を実軸受と同じ状態で、油膜の絶縁破壊が評価できる油膜絶縁破壊評価装置を提供する。
【解決手段】 本発明の油膜絶縁破壊評価装置は、ガラスディスク１と、これに油膜を介して接触させるボール４と、ガラスディスク１とボール４との間の絶縁抵抗を測定する抵抗測定回路とを備えたもので、ガラスディスクを透明体とし、ボールとの接触面側に可視光を透過する膜電極２を設け、この膜電極２とボール４との間の電圧、もしくは流れる電流を測定するとともに、油膜の状況を高速度カメラ１５で撮影するものである。 （もっと読む）

【課題】テーパ状光ファイバを用いることなく、高い測定分解能を与え、光学ペンに接続された光ファイバの互換性を与える。
【解決手段】検出器アパーチャ要素１９０、４９０が、クロマティック共焦点センサ３００、６００に接続される光ファイバ１１２の光伝達コア１１６の直径Ｄ１より小さなアパーチャ１９５、４９５を与える、クロマティック共焦点センサ用のファイバ・インターフェース構造１００、４００が与えられる。検出器アパーチャ要素１９０、４９０は、クロマティック共焦点センサ３００、６００の色分散光学系３５０、６５０に対して固定され、光ファイバ１１２はアパーチャ要素１９０、４９０に接し、光ファイバコア１１６はアパーチャ１９５、４９５に整列される。アパーチャ要素１９０、４９０とファイバ端部は、ファイバ軸に対して傾けられ、偽の反射を光信号通路から逸らせることができる。 （もっと読む）

【課題】測定空間内の測定対象物の位置に依らず、測定対象物を確実に検出することができるエッジ検出装置を提供する。
【解決手段】光源６からの単色光をその光軸に対し平行から所定の範囲で収束させた単色光束としてラインセンサ８に投光する。 （もっと読む）

【課題】 接続用の端子がパッケージの実装面内に複数設けられているＩＣチップやコネクタ等を測定の対象とした場合であっても、前記各端子と、この端子以外のパッケージの樹脂面とを的確に判別し、前記端子に対する水平基準面からの正確な浮き上がり度を正確に測定することのできる端子平坦度測定装置及び端子平坦度測定方法を提供することである。
【解決手段】 測定対象であるワーク２２のピン２３を載置するガラス基板２４と、このガラス基板２４に沿って光センサ２５を走査する走査手段３２と、この走査手段３２によって前記光センサ２５から各ピン２３に向けて照射されたレーザ光の反射光量の変化に基づいて各ピン２３の位置を検出する端子位置検出手段３３と、前記各ピン２３に向けて照射されたレーザ光の焦点調整に基づいて各ピン２３の前記ガラス基板２４面からの浮き上がり度を測定する端子高さ検出手段３４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】成形体の表面の凹凸欠陥および平滑性不良の双方を、同じ光学系を用いて、効率良くかつ精度良く検出する。
【解決手段】検査対象のワークＷに定められた撮像対象領域Ｒ毎に、その領域Ｒ内の検査対象領域全体を照明できる大きさの拡散光を照射するとともに、ワークＷからの正反射光を撮像できるように、カメラ１および光源２を位置合わせする。この位置合わせが行われる都度、光源２の点灯範囲をその出射面の一部にあたるＡ領域のみに限定して、検査対象領域の一部分を照明するスポット照明と、点灯範囲を限定せずに検査対象領域全体を照明する全体照明とを順に実行し、照明毎にカメラ１に撮像を実行させる。そして、スポット照明下の撮像で生成された画像を用いて平滑性不良検査用の処理を実行し、全体照明下の撮像で生成された画像を用いて凹凸欠陥検査用の処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】ハーフミラーにより照明光を照射し、かつ被検査体からの光を透過光として観測する装置において、観測したい透過光以外のノイズを効率的に除去する。
【解決手段】被検査体の形状を光学的に測定する装置であって、被検査体に照明光を照射する照明光源と、前記照明光のうち所定の偏光成分のみを取り出す第１の偏光素子と、前記照明光を反射して被検査体に照射するハーフミラーと、前記ハーフミラーと被検査体との間に設置された第２の偏光素子と、被検査体からの光を撮像する撮像手段と、撮像手段により得られた被検査体の画像データを記憶および画像処理する処理手段とを備えることを特徴とする形状測定装置。 （もっと読む）

【課題】膜厚の計測誤差を低減すること。
【解決手段】薄膜の膜厚計測に用いられる波長を選択する波長選択方法であって、膜質状態及び膜厚が異なる薄膜が基板上に製膜された複数のサンプルに対して異なる波長の照明光を照射し、各波長の照明光を照射したときの透過光の光量に関する評価値をそれぞれ計測し、該計測結果に基づいて、波長毎に、各膜質状態における膜厚と評価値との相関関係を示す膜厚特性を作成し、各膜厚特性において、膜質状態による評価値の計測差が所定範囲内にある波長を選択する波長選択方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】反りや撓みが生じたウェハであってもそのエッジ位置を正確に検出して予め定められた位置に精度良く位置決めするに好適なウェハの位置決め方法を提供する。
【解決手段】レーザ平行光エッジセンサと結像光学系エッジセンサとを用い、各エッジセンサによりテーブルに載置したウェハの同一部位におけるエッジ位置を複数箇所に亘ってそれぞれ検出し、検出したエッジ位置において前記レーザ平行光エッジセンサにて求められた受光パターンの傾きからその検出距離ＷＤそれぞれ求めることで前記ウェハの反りおよび／または撓みを検出し、検出した反りおよび／または撓みに従って前記結像光学系エッジセンサにて検出したエッジ位置を補正して前記ウェハの位置合わせに用いる。 （もっと読む）

【課題】使用しようとする薄膜状材料のポアソン比を正確に測定することができる測定方法と測定装置とを提供することを目的とする。
【解決手段】ポアソン比を求めようとする薄膜状材料１の表面上にオプティカルフラット１１を配置し、この状態において、該薄膜状材料１に曲げ応力のみが作用するように加重し、この加重した状態において前記オプティカルフラット１１を通して視認される双曲線状の干渉縞の該双曲線が薄膜状材料の幅方向の仮想軸Ｙとなす角θを計測し、このθと（１）式とを用いて、該薄膜状材料１のポアソン比を得る。
【数１】
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本発明は、移動中のスレッドラインの表面凸凹のレベルをモニターするための方法および装置であって、（ａ）スレッドラインに対して０度超および９０度未満の照射角でスレッドラインに付随して置かれた光源によってスレッドラインを照明して分光反射エネルギーおよび拡散反射エネルギーを生成する工程と、（ｂ）スレッドラインからの分光反射エネルギーの量を、照射角に実質的に等しい反射角でスレッドラインに付随して置かれた第１受信器で測定する工程と、（ｃ）スレッドラインからの拡散反射エネルギーの量を、照射角および反射角とは異なる角度で置かれた第２受信器で測定する工程と、（ｄ）拡散反射エネルギーの量対分光反射エネルギーの量の比を測定する工程と、（ｅ）前記比を表面凸凹のレベルと関係づける工程とを含む方法および装置に関する。
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【課題】検査精度が高いフォトマスクの検査方法及びフォトマスクの検査装置を提供する。
【解決手段】フォトマスクの検査装置１には、撮像手段２、記憶手段３及び演算手段４が設けられている。記憶手段３には、エッジの画像に設定された複数の画素列であって、エッジ部分を跨ぎ、画素に対するエッジ部分の相対的な位置が相互に異なる画素列の各画素の明るさを示すエッジデータが記憶されている。また、演算手段４は、フォトマスクのセンサ画像及び参照画像におけるエッジ部分をエッジデータにマッチングして、画素に対するエッジ部分の相対的な位置をそれぞれ検出し、これらの検出結果及びエッジデータに基づいて、参照画像から補正画像を作成する。補正画像においては、フォトマスク部分の位置をセンサ画像と等しくする。そして、センサ画像を補正画像と比較することにより、フォトマスクの検査を行う。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、共焦点撮像系によりZスキャン機構無しで物体の表面形状計測を可能とした焦点面傾斜型共焦点表面形状計測装置において、高速計測時に著しく露光時間が短くなることから三次元形状計測で異常をきたす問題が生じる為、露光時間を多く確保して適度な光量を得た画像を取得し、正常に三次元形状計測を可能とすることを目的とする。
【解決手段】
焦点面傾斜型共焦点表面形状計測装置の移動機構による物体の移動と微小シフト機構によるスポットの移動とを等速とすることにより、共焦点撮像系が物体に対して同じ箇所を長時間露光可能なように構成し、三次元形状計測を行う。 （もっと読む）

広範囲に及ぶ対象物の材料強度は、第１の距離測定装置が対象物の第１の主表面までの距離を決定し、第２の距離測定装置が第１の主表面に対向する対象物の第２の主表面前の距離を決定する、２つの距離測定手段を使用することによって効率的に決定することができる。Ｘ線によって参照手段に基づいて第１の距離測定手段と第２の距離測定手段の間の参照距離を決定することによって、規模が大きいことによる潜在的な測定誤差が回避されるならば、第１の主表面と第２の主表面の間の対象物の厚みは、高い精度と速度をもって決定することができる。 （もっと読む）

広範囲に及ぶ対象物の材料強度は、第１の距離測定装置が対象物の第１の主表面までの距離を決定し、第２の距離測定装置が第１の主表面に対向する対象物の第２の主表面前の距離を決定する、２つの距離測定手段を使用することによって効率的に決定することができる。Ｘ線によって参照手段に基づいて第１の距離測定手段と第２の距離測定手段の間の参照距離を決定することによって、規模が大きいことによる潜在的な測定誤差が回避されるならば、第１の主表面と第２の主表面の間の対象物の厚みは、高い精度と速度をもって決定することができる。 （もっと読む）

【課題】熱間丸棒体の断面形状を計測するに際し、該熱間丸棒体の正確な回転角度を知ることができなくても、当該断面形状を精度よく計測する。
【解決手段】軸心廻りに回転可能な熱間丸棒体Ｗの断面計測位置に向けて軸心に垂直なスリット光を投光し、スリット光を撮像して断面計測位置での熱間丸棒体Ｗの部分断面パターンを撮像し、このときの熱間丸棒体Ｗの外周面を撮像して部分断面パターンとセットとなる濃淡画像を取得し、その後に熱間丸棒体Ｗを軸心廻りに所定量回転させ、これらを繰り返し行って熱間丸棒体一周分の部分断面パターンと濃淡画像のデータセットを取得し、各濃淡画像に基づいて部分断面パターンを繋ぎ合わせる。 （もっと読む）

【課題】面内測定に好適な条件と高さ測定に好適な条件とを簡単に切り換えられる測定顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】測定顕微鏡装置は、被検体Ｓを載置するＸＹステージ１０と、被検体Ｓを光学的に観察するための観察光学系２０と、被検体Ｓに二つの指標像をそれぞれ異なる方向から投影する指標投影光学系３０と、被検体Ｓを照明する落射照明光学系４０と、指標投影光学系３０と落射照明光学系４０の光量の比率を連動して切り換える光量調節部５０とを有している。 （もっと読む）

【課題】対象物にエネルギーを投入するために、対象物の表面に向けてエネルギーを放出するエネルギー源を備える、特に歯科医療分野において、仮想三次元模型を生成するために、対象物の表面輪郭を把握するためのシステムを提供する。
【解決手段】本発明によれば、対象物(2)から出てくるエネルギーの強度を把握するために、センサ(6)が対象物(2)のエネルギー源(1)とは反対の側に設けられている。対象物(2)へのエネルギー入射面(4)に関する高さ情報としての層厚を用いて当該表面輪郭(10)を記述するために、参照ユニット(9)において、対象物(2)の層厚が、エネルギー差モジュール(8)で決定される、対象物で吸収されたエネルギーと関係付けられる。 （もっと読む）