【課題】対象物にエネルギーを投入するために、対象物の表面に向けてエネルギーを放出するエネルギー源を備える、特に歯科医療分野において、仮想三次元模型を生成するために、対象物の表面輪郭を把握するためのシステムを提供する。
【解決手段】本発明によれば、対象物(2)から出てくるエネルギーの強度を把握するために、センサ(6)が対象物(2)のエネルギー源(1)とは反対の側に設けられている。対象物(2)へのエネルギー入射面(4)に関する高さ情報としての層厚を用いて当該表面輪郭(10)を記述するために、参照ユニット(9)において、対象物(2)の層厚が、エネルギー差モジュール(8)で決定される、対象物で吸収されたエネルギーと関係付けられる。 （もっと読む）

【課題】歪みを有する薄膜結晶層と前記薄膜結晶層を支持する支持層を有する試料において前記薄膜結晶層の歪みを測定する歪み測定装置を提供する。
【解決手段】本発明による薄膜結晶層の歪みを測定する装置は、可視光と紫外光を励起光として共通光軸で発生できる励起光源（１〜５）を備えている。顕微鏡室７には試料１１を支持するステージ１２が設けられている。投射光学系８，９，１０は、ステージ１２に支持された試料１１に前記励起光を投射する。分光器１８に設けられた分光手段は試料１１からの各ラマン散乱光をそれぞれ分光する。演算手段は、前記分光手段の出力から前記歪みと支持層の状態を演算する。 （もっと読む）

【課題】ｎｍオーダーの複数の円柱体の直径、屈折率及び中心軸間距離を効率よく同時に測定する測定方法およびその測定方法を用いた装置を提供する。
【解決手段】中心軸が平行関係を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して垂直に偏向された垂直偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法である。 （もっと読む）

概括すると、第１の態様では、本発明は一つの方法を特徴とし、本方法は、干渉計アセンブリ（１００）を使用して３つの異なる出力ビーム（１８１〜１８３，１９１〜１９３）を供給するステップであって、各出力ビームは、対応する第１ビームと対応する第２ビームとの光路長差に関連付けられる干渉位相を含み、各第１ビームが測定オブジェクト（１２０）に少なくとも１回は接触する、前記供給するステップと、３つの異なる出力ビームの各ビームに対応する干渉位相をモニタリングするステップと、そして第１ビーム経路におけるガスの光学特性の変化に関する情報を、モニタリングされる３つの位相に基づいて生成するステップと、を含む。
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【課題】光量調節を容易に行うことができ、スペースの制約を受けない干渉光学系、計測装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】第２偏光板４２に入射する出力光Ｌが第１偏光板４１によって所定方向に偏光された状態になっているので、当該所定方向に対して第２偏光板４２の偏光方向を調整することにより、出力光Ｌの光量を調整することができる。これにより、出力光Ｌの光量の調整を容易に行うことができる。また、第１偏光板４１と第２偏光板４２と集光部４３とが一体的に構成されているので、これらの部材をコンパクトに配置することができる。 （もっと読む）

【課題】コリメータレンズの歪曲収差の影響を除去して、その検出精度を高めたエッジ検出装置を提供する。
【解決手段】検出対象物のエッジにて生じた単色光の回折パターンまたは前記検出対象物の像をラインセンサにて受光し、該ラインセンサによる受光分布パターンを解析して前記検出対象物のエッジ位置を検出するエッジ検出装置であって、特に計測基準位置から前記検出対象物までの距離情報を設定する検出距離設定手段と、設定された距離情報に従って前記受光分布パターンの解析結果を補正する誤差補正手段とを設けた。 （もっと読む）

【課題】 計測対象物の計測対象領域における位相情報を再生することにより、対象物の形状を計測する方法および形状計測装置の提供。
【解決手段】 位相情報を再生するのに必要な回折条件の異なる複数の回折像を得て、それらの回折像を解析することにより、対象物の形状を計測する方法および装置であって、対象物に、互いに異なる複数の波長の単色光を照射する単色光照射工程と、各単色光を照射されたときの対象物の回折像を撮像する回折像撮像工程と、前記回折像撮像工程により撮像した複数の回折像を、位相再生法により解析する解析工程とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 計測対象物の計測対象領域における位相情報を再生することにより、対象物の形状を計測する方法および形状計測装置の提供。
【解決手段】 位相情報を再生するのに必要な回折条件の異なる複数の回折像を得て、それらの回折像を解析することにより、対象物の形状を計測する方法および装置であって、対象物に、単色光を照射する単色光照射工程と、前記単色光を照射したときの対象物の回折像を、撮像手段により撮像する回折像撮像工程と、前記撮像手段と対象物の間の光路長を変更する、光路長変更工程と、前記回折像撮像工程により撮像した複数の回折像を、位相再生法により解析する解析工程とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 交流磁界内に磁気歪等が生じて正確に測定ができなくなったり、ステレオ視による測定ができなくなったりしたときにも、頭部位置を、精度よく算出することができる補助機構を備えたヘッドモーショントラッカ装置を提供する。
【解決手段】 モーショントラッカにより、第一相対頭部情報を算出する主頭部情報算出部２２と、第一相対頭部情報を記憶する第一相対頭部情報記憶部４２とを備えたヘッドモーショントラッカ装置１において、加速度を検出する移動体センサ４と、加速度を検出する頭部センサ６と、第一相対頭部情報に基づいて、頭部速度情報を算出する頭部速度情報算出部２４と、移動体センサ４及び頭部センサ６から検出された加速度と、頭部速度情報及び第一相対頭部情報とに基づいて、第二相対頭部情報を算出する副頭部情報算出部２３と、主頭部情報算出部２２による第一相対頭部情報が不適当であるときに、副頭部情報算出部２３により第二相対頭部情報を算出させる切替部２９とを備える。 （もっと読む）

【課題】被加工物に形成された加工孔の深さを効率よく検出する。
【解決手段】チャックテーブルに保持された被加工物に形成されている加工穴の深さを検出する加工穴の深さ検出装置であって、所定波長の第１の検査用レーザー光線を発振する第１の検査用レーザー光線発振手段を備え第１の検査用レーザー光線の反射光に基づいて被加工物における照射部の高さ位置を検出する第１の表面位置検出手段と、第１の検査用レーザー光線の波長と異なる波長の第２の検査用レーザー光線を発振する第２の検査用レーザー光線発振手段を備え第２の検査用レーザー光線の反射光に基づいて被加工物における照射部の高さ位置を検出する第２の表面位置検出手段と、第１の表面位置検出手段によって検出された検出値と第２の表面位置検出手段によって検出された検出値に基づいて被加工物に形成された加工孔の深さを求める制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】波長２００ｎｍ近傍の次世代マスク検査光源として、小型で低消費電力のマスク検査光源及びそのマスク検査光源を用いたマスク検査装置を提供する。
【解決手段】発振波長の異なる複数の半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄと、複数の半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄそれぞれに対応する波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄとを有する深紫外光源１１であって、深紫外光源１１は、半導体レーザ１１１ａ〜１１１ｄそれぞれから発振されるレーザ光を波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄで波長変換し、波長変換結晶１１２ａ〜１１２ｄで波長変換されたレーザ光を合成したレーザ光を出射することを特徴とする深紫外光源。 （もっと読む）

【課題】被検査面の傷の検出を効率良く行うことができる軸受用ころの外観検査装置を提供する。
【解決手段】赤色光源３は、軸受用ころ２の径方向側から、カラーカメラ５の撮像方向に対して斜めに光が照射されるように配置され、青色光源４は、軸受用ころ２の軸方向側から、カラーカメラ５の撮像方向に対して斜めに光が照射されるように配置される。このため、軸受用ころ２の軸方向の傷によって乱反射した赤色の光がカラーカメラ５に入射し、軸受用ころ２の周方向の傷によって乱反射した青色の光がカラーカメラ５に入射する。カラーカメラ５はこれらの反射光の様子を１枚のカラー画像として撮像し、画像処理部６はカラー画像の各色を抽出して濃淡画像を生成する。生成された赤色抽出画像及び青色抽出画像から軸方向及び周方向の傷の状態を個別に把握することができる。 （もっと読む）

【課題】３次元形状をもつ被測定物の表面高さを高速かつ高精度に、信頼性高く測定する。
【解決手段】互いに波長の異なる第１の光束と第２の光束とが対象物に関して異なる集光位置をもつように生成し、両光束を合成して対象物を照射する。その反射光を第１の光束の一部を成す第１の反射光と、第２の光束の一部を成す第２の反射光とに分離して検出し、両反射光の画像強度の比率に基づいて対象物の高さを求める。 （もっと読む）

【課題】光強度分布が均一な、波長２００ｎｍ以下の光を照射する光を出射することができる照明装置、及びその均一な光強度分布を有する光を用いた高感度のマスク検査装置を提供する。
【解決手段】波長２００ｎｍ以下の光源１１１と、光源１１１からの光が入射され、光が伝播する矩形の光導波部１１３ａと、光導波部１１３ａを、光導波部１１３ａの対向する側面から挟持した１組のクラッド部１１３ｂとから構成された光導波路１１３とを有する照明装置であって、クラッド部１１３ｂは、光導波部１１３ａと当接する面と垂直な２組の側面を有し、側面は、光導波部１１３ａのクラッド部１１３ｂと当接する面と垂直な側面と同一の平面上に配設され、光導波部１１３ａとクラッド部１１３ｂはフッ化物によって作成されることを特徴とする照明装置。 （もっと読む）

【課題】被測定物体の反射率の影響を受けず、縞パターン光の各縞が分離しやすく、かつ計算誤差の小さい三次元形状測定装置及びその方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の三次元形状測定装置は、高輝縞３０１と、高輝縞３０１より輝度の低い低輝縞３０２とが交互に位置する縞パターン光を被測定物体２に投影する投影手段３と、被測定物体２にあたった縞パターン光の反射を受像し画像データを出力するカメラ４と、画像データから三次元座標データを生成する計算機５と、を有する三次元形状測定装置１において、投影手段３は、レーザー光３０を出力する光源３１と、レーザー光３０を所定の大きさに広げる拡大手段３２と、拡大手段３２で広げられたレーザー光３０を縞パターン光に成形する縞パターン成形手段３３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、
− コヒーレント光源（２４）を使用して、コヒーレント放射光ビーム（９）を形成するステップと、
− オブジェクトに直接接触してまたはオブジェクトに非常に近接した位置に配置された合焦手段（４）を用いて、合焦されたコヒーレント放射光ビーム（９）でオブジェクトを照明するステップと、
− 検出手段（１４）を使用して、オブジェクトによって回折された光の光学フーリエ変換イメージ（ＦＴ）を形成するステップと、
を含むユニークオブジェクト（１）の検査方法に関する。
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【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 撮影された入力装置の像が、手及び足のいずれに装着されたものであるかを区別できる検出装置を提供することである。
【解決手段】 手に装着された入力装置３及び足に装着された入力装置５が赤外線フィルタ９の背面側に配置されたイメージセンサ２６により撮影される。イメージセンサ２６が生成する画像を上半分の領域３０と下半分の領域３２とに分割する。上半分の領域３０に写り込んだ像を手に装着された入力装置３であるとみなし、下半分の領域３２に写り込んだ像を足に装着された入力装置５であるとみなす。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は大きい寸法の物体の表面を、ナノあるいはサブナノメータの感度で測定しながら走引し、該物体の形状を求めることである。
【解決手段】 物体の表面の原子と探針の原子の間に働く力が、クーロン力より強い引力であることを探針を保持する片持梁を共振させ、探針を保持する片持梁の振動を干渉計で測定し、干渉計の測定波に含まれる共振周波数の２次の高調波およびさらに高次の高調波のスペクトルの強度の変化から知り、該高調波のスペクトルの強度が一定の値になるよう片持梁その他を移動させ物体の表面の走引をおこなう。 （もっと読む）

窓ガラスによって発生した一次像と二次像との間の逸脱角の決定方法を開示する。第１方法においては、窓ガラスを光源で照射し、画像取込装置を用いて、窓ガラスによって発生した光源の一次像と二次像を取り込む。一次像と二次像との間の距離を決定し、この距離から逸脱角を決定する。第２方法においては、一次像および二次像を、逸脱角を示す目盛りで表示したターゲット上に映す。逸脱角を、一次像と二次像の目盛りおよび位置から読み取る。この第２方法において、光源をターゲットの中心に設置する。両方の方法において、光源は少なくとも１個の発光ダイオードを備える。かかる方法を用いて窓ガラスのエッジ領域を検査するのが好ましい。
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