【課題】時間経過に伴う計測装置の姿勢変化やステージ移動に伴う被計測体の表面の傾き角の変化を除いた、高精度な角度計測方法および角度計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】計測ステージ上に設置する剛性を備えた被計測体ホルダに被計測体をセットし、被計測体ホルダは光学窓を備え、被計測体は計測基準部を有し、光学窓を通して被計測体に計測用光を照射し、被計測体表面と光学窓表面の傾き角とを計測する光学計測ユニットの計測視野内で第１の位置の被計測体と光学窓表面の傾き角とを計測してその差分Δθ_１を算出し、被計測体の可動範囲内であってかつ計測視野内の第２の位置における計測基準部表面と光学窓表面の傾き角とを計測してその差分Δθ_２を算出し、Δθ_１とΔθ_２の差分値から光学窓及び計測基準部表面の傾きを基準とした第１の位置における被計測体表面の傾き角Δθを求める。 （もっと読む）

【課題】微小機械-電気構造から構成された振動型発電装置の開発や保守管理に用いるのに適した振動変位計測装置を提供する。
【解決手段】先端にレンズなどの集光機能が付加され、振動緩衝のため粘弾性材料が使用されている、最大群遅延差が1ナノ秒／メートル以下のマルチモードファイバーを用いた光ファイバーケーブルによるプローブ部１と、連続発振するレーザー光源２−１による光源部２と、フォトダイオードによる光電変換部３と、光干渉ビート信号を配送する光サーキュレータ１０と、発電電圧又は発電電流値、及び振動変位情報を含む干渉ビート信号をディジタル信号に変換する信号収集部４と、電子計算機による解析部５と、記憶部６とを構成要素として有し、振動の瞬時変位量検出に光ホモダイン干渉計の原理を用いている。 （もっと読む）

【課題】
簡易な構成で信頼性の高い絶対位置の計測装置を提供する。
【解決手段】
絶対位置の計測装置は、被測定物の位置に応じて位相が変化する複数の第一の信号と、複数の第一の信号のそれぞれに、第一の信号とは周期が異なる複数の第二の信号のそれぞれを重畳させた複数の重畳信号とを出力する出力手段と、第一の期間に第一の信号の位相を算出し、第二の期間に第二の信号の位相を算出する位相演算器と、第一の期間に位相演算器で算出された第一の信号の位相の回帰係数を算出する回帰演算器と、回帰係数を用いて算出された第一の信号の位相と第二の期間に位相演算器で算出された第二の信号の位相との位相差を算出する減算器と、減算器から出力された位相差の符号が反転する位置から被測定物の原点位置を求める位相差演算手段と、位相差演算手段で求めた原点位置から被測定物の絶対位置を算出する絶対位置算出手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 処理基板上の規則的な構造を有するパターンに光を入射し、回折して得られる回折光の測定結果から、より正確にパターンの寸法や形状の評価を行う。
【解決手段】 複数の層が積層された基板の光学的な検査方法であって、予測される複数の構造を含む基板構造を複数作成し（301）、複数の基板構造からなる基板構造ライブラリＡを作成し（302）、基板構造について計算された光強度が収められた光強度ライブラリＢを作成し（304）、構造が決定されている層の構造を含む複数の構造を新たに作成する工程と（401）、光強度ライブラリＢの基板構造の中から光強度ライブラリＣを作成し（404）、基板に特定の角度で光を入射し、回折もしくは反射して得られる光強度を検出し（501）、検出した光強度と光強度ライブラリＣに収められた光強度と比較して、前記基板の構造を求める（503）。 （もっと読む）

【課題】物体のエッジ位置を簡易に、しかも確実に検出することのできるエッジ位置検出装置を提供する。
【解決手段】物体のエッジにおけるフレネル回折によって生じた光量分布パターンから前記物体のエッジ位置を検出するに際して、前記フレネル回折により生じた光量変化領域（エッジ近傍の部分）に含まれる１つの受光セルの位置（１点）と当該受光セルでの受光量Ｙnとを求め、上記配列位置と受光量とから前記フレネル回折の光量分布パターンに従って前記物体のエッジ位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】例えば帯状ワークをその長手方向に沿って走行させる際の蛇行修正制御に用いるに好適なエッジ検出装置を提供する。
【解決手段】物体のエッジ位置を検出するエッジセンサと、このエッジセンサにて検出されたエッジ位置が予め設定された読み飛ばし条件を満たすとき、検出したエッジ位置の情報の出力を禁止して、先に検出されたエッジ位置の情報を継続して出力する出力制御手段とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吸光性膜の厚さを広範囲にわたって干渉の影響を受けることなく解析可能な方法を提供する。
【解決手段】ガラスからなる透明基材９０にアモルファスシリコンからなる吸光性膜９１が被膜されている。この吸光性膜９１に照射部１０Ｘから検査光Ｌ１を照射し、反射検出部１０Ｙで反射率（Ｒ）を検出するとともに、透過検出部２０Ｘで透過率（Ｔ）を検出する。これら検出結果からＸ＝Ｔ／（１−Ｒ）を算出し、その算出値と、記憶部３３に格納した膜厚とＸとの関係データとに基づいて、吸光性膜９１の膜厚を解析する。 （もっと読む）

【課題】歪みゲージの配線を不要とし、且つ従来の光学的手法により、従来技術より遙かに高精度に歪みを測定でき、また特定の方向の歪みにのみ感度を有するようにしたことで歪みの方向が特定できることを可能にする光学的歪測定素子および光学的歪測定装置などを提供すること。
【解決手段】入射光の波長以下の大きさの金属微小体を複数用いて前記金属微小体の大きさよりも小さい間隔で並べた金属微小構造体が配列された光学式歪測定素子。 （もっと読む）

【課題】隠れ点を考慮して簡易に精度良くマッピング画像を取得できるようにする。
【解決手段】同期制御部２０により距離画像を取得するための撮像部２Ａおよび撮像部２Ｂの駆動を同期させて距離画像および２次元画像を取得する。対応関係算出部３０により、距離画像上における画素と、２次元画像上における画素との対応関係を算出する。この際、隠れ点検出部３１において、撮像部２Ａからは臨むことができるが撮像部２Ｂからは臨むことができない被写体上の隠れ点を距離画像および２次元画像上において検出する。マッピング部３２により、対応関係に基づいて、隠れ点を視認可能に２次元画像を距離画像にマッピングしてマッピング画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】被験者をできるだけ拘束せず、ハーフミラーの持つ欠点を低減しつつも、所定の向きの顔の三次元形状のデータを求めることができるようにする。
【解決手段】レンジファインダ１００のカメラ１１０の上方に鏡１３０を設ける。被験者が顔を鏡１３０に映すと、その顔の向きはカメラ１１０に対して所定の向きを向いた状態となる。カメラ１１０は、鏡１３０を向いた顔を、幾分下方から見上げる角度（例えば１２度）で撮影する。これにより、鼻の下部や顎の下面など顔の特徴的な部位の三次元形状を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の振動の影響を受けず，また，干渉光の乱れや揺らぎを生じさせることなく，被測定物の厚みを簡易に高精度で測定できること。
【解決手段】電流変調電源１０により，半導体レーザ２に対する注入電流を一定周期で所定の電流値範囲において線形変化（ノコギリ状に変化）させ，その半導体レーザ２から出射される測定光を分岐させた測定光Ｐ１，Ｐ２を被測定物１の表裏相対する測定部位１ａ，１ｂへ導き，表裏の干渉計ａ２０，ｂ２０各々によって各測定光Ｐ１，Ｐ２を測定部位１ａ，１ｂに照射する物体光及び参照板に照射する参照光に分岐して干渉させ，各干渉計ａ２０，ｂ２０のビート信号の位相差を検出し，その検出信号を被測定物１の厚みに相当する測定値として出力する。 （もっと読む）

【課題】測定媒体がフィルムのような薄い透明体でも、挿入状況に影響されることなく、また測定空間内の周囲温度が変動する条件下においても、正確なエッジ部分の検出ができるや構成する各部品の製造ばらつきによらず、容易に遮蔽物のエッジ誤検知を回避できるエッジ検出装置を得る。
【解決手段】単色光を発生するレーザ光源と、レーザ光源からの単色光を単色平行光に変換する投光レンズと、単色平行光を放射する投光窓を有する投光器と単色平行光を受光する受光窓と、複数の受光セルを長手方向に配列したラインセンサと、受光窓から侵入した単色平行光を受光セルに対して垂直方向の複数の光路に変更する光路変更部と、光路変更部を介して発生した投光窓と受光窓の光路に存在する遮蔽物のエッジ部における単色平行光のフレネル回折によるラインセンサの光強度分布から遮蔽物のエッジ位置を検知する検知部を備える。 （もっと読む）

【課題】外観検査を高精度で行うことのできる長尺物の外観検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】各照射装置１０に対してホースＨを長手方向に移動させながら、照射線Ｌを所定時間おきに撮像し、各撮像データからホースＨの各幅方向位置と照射線Ｌの高さ方向位置とを対応させた高さ方向位置データをそれぞれ抽出し、各高さ方向位置データを基準データによって減算処理するとともに、減算処理された各高さ方向位置データを所定の色調基準に基づき撮像順に並べて検査用画像を作成する上で、減算処理対象の高さ方向位置データ及びその高さ方向位置データと撮像順が近い所定回数分の減算処理前の高さ方向位置データをホースＨの各幅方向位置ごとに平均化して基準データを作成する。これにより、ホースＨがうねりを伴っている場合でも、高さ方向位置データからうねり分がキャンセルされる。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール３９Ｙ₂に対して検出装置ＰＤＹ₁の照射系６９Ａからの検出ビームを照射し、スケール３９Ｙ₂を介した検出ビームを受光系６９Ｂで検出することにより、スケールの表面状態（異物の存在状態）を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】光学系を用いて中空糸口金の紡糸孔および注入液孔の画像を取得し、定量的な管理基準により検査・判定を自動で行うことで、正確且つ短時間に行える中空糸口金検査方法を提供すること。
【解決手段】
下記（Ａ）〜（Ｃ）の検査用照明手段およびその撮像手段を有し、支持固定された中空糸口金の中空糸吐出側に対する位置に（Ａ）の手段が設置され、前記中空糸口金の中空糸吐出側からの照射光の透過が可能となる位置に（Ｂ）および（Ｃ）の手段が設置され、（Ａ）の手段より照射された光の前記中空糸吐出側の紡糸孔表面からの反射光並びに（Ｂ）および（Ｃ）の手段より照射された透過光を前記撮像手段が撮像可能であることを特徴とする中空糸口金検査装置。
（Ａ）紡糸孔および注入液ノズルの同心度検査・判定用の照明
（Ｂ）紡糸孔表面および内部検査・判定用の照明
（Ｃ）注入液孔検査・判定用の照明 （もっと読む）

【課題】特別な測定用冶具及び測定装置を必要とせず、正確に液滴量を測定することができる測定装置を提供する。また、この測定装置の測定結果に基づいて、液滴量を調整する装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する液滴吐出ノズルと、前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する基板と、前記集合液滴の量を測定する液滴量測定手段とを備える。前記液滴量測定手段の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 共焦点レーザ走査型顕微鏡における全焦点画像と顕微干渉計測法における高さ画像を効率よく取得することで、試料の３次元形状画像を短時間に取得することができる３次元形状観察装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、試料１７を載置するステージ２００と、試料１７の上方に配置される干渉対物レンズ３００と、共焦点レーザ走査型顕微鏡における光学系４００ａと、顕微干渉計測法における光学系４００ｂと、ステージ２００と、干渉対物レンズ３００を搭載する顕微鏡本体４００と、試料１７の３次元形状を観察する際に画像処理や顕微鏡本体４００を制御する制御部５００と、を有し、例えば干渉対物レンズ３００を連続して光軸に沿って移動させ、相対距離を連続的に変え、レーザ用受光素子１１と撮像素子１６から出力される出力信号を最適なタイミングで取得する。 （もっと読む）

本発明は、サンプル（５）を検査する撮像光学検査装置に関する。前記検査装置は、照射面内でサンプル表面の指定の部分を非平行光（４）で照射する光源（３）と、前記部分から反射される反射光（４’）の経路及び／又は前記サンプル部分内のサンプル（５）の厚さ全体を通って進む透過光（４”）の経路内に配置された、少なくとも照射面内に延びる少なくとも１つのピンホール（７）と、前記ピンホール（７）を通過する光（４’、４”）の経路内に配置されて前記光（４’、４”）を遮断するように構成された、少なくとも１つの線に沿って光強度分布を感知することが可能な少なくとも１つのスクリーン及び／又は少なくとも１つの位置敏感型検出器システム（８）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 測定空間内の周囲温度の変動や構成する各部品に製造時の特性ばらつきがある場合でも、正確に遮蔽物のエッジ部分を検出できるエッジ検出装置を得ることを目的とする。
【解決手段】 単色光を発生するレーザ光源と、該レーザ光源からの単色光を単色平行光に変換する投光レンズと、該単色平行光を放射する投光窓とからなる投光部と、前記投光窓に対向して設けられた受光窓と、該受光窓から侵入する前記単色平行光を所定の範囲で拡散する光拡散素子と、該拡散させた単色光を受光する複数の受光セルを一方向に所定のピッチで配列したラインセンサとからなる受光部と、前記ラインセンサの受光量分布を解析して前記単色平行光の光路に存在する遮蔽物の前記受光セルの配列方向におけるエッジ位置を検出する検出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットプリンタ内の回転画像部材上の剥離剤を光学的に検出し、測定するシステムを提供する。
【解決手段】 システム１０は、生成された光ビームを回転画像部材２８に方向づけるように配されたコリメート光源又はコヒーレント光源１４と、回転画像部材２８によって反射された光ビームの一部から回転画像部材２８の一部の画像を生成する画像センサ１８と、画像センサ１８によって生成された第１の画像と画像センサ１８によって生成された第２の画像との差分を測定する画像差分器２０と、画像差分器２０に結合されており、２つの画像の差分を受け取って回転画像部材２８上の剥離剤の測定値を生成する剥離剤測定値発生器２４と、を含む。 （もっと読む）