【課題】段差候補となる期間を検出してから、ベルトコンベア等の搬送装置の振動等による変位量の変動、時間方向の変位量の変動の影響を低減し、より確実に段差を検出することができる光学式変位センサ及び該光学式変位センサにおける段差検出方法を提供する。
【解決手段】受光器の出力に基づいて検出対象物の変位量を算出し、所定のタイミングでサンプリングする。前回サンプリングした変位量と今回サンプリングした変位量との差分値を算出し、算出した差分値に基づいて段差期間と非段差期間とを判別する。段差期間と判別された期間における差分値の積算値を算出し、段差期間と判別された期間ごとに算出した積算値の最大値と第一の閾値とを比較して段差であるか否かを判別する。 （もっと読む）

【課題】１つのカメラの視野に入らない計測対象物の裏側の形状まで精度良く計測する装置および方法を提供する。
【解決手段】計測対象物に格子模様を投影する格子模様投影部と、計測対象物の周囲に配置された少なくとも１つの鏡と、計測対象物および鏡に映る計測対象物の鏡像の画像を撮影する少なくとも１つの撮影部と、計測対象物の画像と鏡像の画像の各々に対して位相解析処理を施して計測対象物の形状を算出するとともに撮影された前記計測対象物の画像と前記鏡像の画像とを合成する解析処理部とを備え、撮影部の各々は、計測対象物の少なくとも一部の領域と該少なくとも一部の領域の鏡像とを同時に撮影可能に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】変位計と測定対象物との間の相対移動に起因する誤差を適切に補正すること。
【解決手段】測定対象物の一次元形状を測定する変位計と測定対象物との間の相対位置をずらしながら測定対象物の平面度を測定する平面度測定装置は、第１方向の第１測定ラインに沿って被測定面の一次元形状を測る第１測定と、第１測定ラインと第１交差点Ｐ２で交差する第２方向の第２測定ラインに沿って被測定面の一次元形状を測る第２測定と、第２測定ラインおよび第１測定ラインとそれぞれ第２交差点Ｐ３および第３交差点Ｐ１で交差する第３方向の第３測定ラインに沿って被測定面の一次元形状を測る第３測定と、第１測定による第１の一次元形状を示す第１の測定値列ＤＬ１、第２測定による第２の一次元形状を示す第２の測定値列ＤＬ２、および第３測定による第３の一次元形状を示す第３の測定値列ＤＬ３を第１交差点Ｐ２乃至第３交差点Ｐ１においてそれぞれ一致させるように第１の測定値列ＤＬ１乃至第３の測定値列ＤＬ３を補正する補正処理と、を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、単レンズ又は多レンズ光学系の光学面の間隔が確実かつ高精度に測定され得る装置及び方法を指定することである。
【解決手段】多レンズ光学系（３８）の光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の間隔を測定する方法の場合に、光学系のセンタリング状態は、光学系（３８）の少なくとも２つの光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）を考慮することにより記録される。光学系（３８）は、センタリング状態を考慮して、光学系（３８）の光軸（４０）が参照軸（３４）とできる限り揃うように調節される。次のステップでは、光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の間隔が、短コヒーレンス干渉計（２４）を用いて決定される。この目的のために光学系（３８）に向けられる測定光線（５０）は、参照軸（３４）に沿っている。試験片（３８）の事前の調節により、光学系の少なくとも２つの光学面を考慮して、高精度の測定が得られる。 （もっと読む）

【課題】 高価な位置検出器を取り付けることなく、シート材端部の観察画像が常に最適状態にある観察装置及び方法、並びに、観察画像を用いた評価結果にばらつきが生じることを防ぐことができる観察評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】 連続搬送されるシート材端部を第１及び第２の観察手段を用いて観察評価する装置及び方法において、
第１の観察手段は、シート材の幅方向端部を視野に含み、厚み方向にシート材端部との距離が変更可能な第１の観察手段位置変更機構に取り付けられ、
第２の観察手段は、シート材の厚み方向端部を視野に含み、幅方向にシート材端部との距離が変更可能な第２の観察手段位置変更機構に取り付けられており、
第１及び第２の観察手段での観察情報に基づき、シート材の幅及び厚み方向端部の位置を検出し、第１及び第２の観察手段位置変更機構を制御することを特徴とするシート材端部の観察評価装置及び方法である。 （もっと読む）

【課題】表面形状測定機の測定視野以上の測定領域の測定をするに際して、複数の測定結果の繋ぎ合せを簡易に行うことを可能とし、オーバーラップ領域を低減して全体の測定時間を削減し、さらに一定の累積誤差の発生を低減することが可能な表面形状測定方法を提供すること。
【解決手段】面測定データの繋ぎ合せ時に回転方向の補正を行わず、面測定データの平行移動のみを行い面測定データを合成して合成面測定データを取得するようにする。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させてガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３９で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からのサーボ用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させて、ガラス管Ｇにおける測定用レーザ光の照射位置又はその近傍位置にＺ軸方向から照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからのサーボ用レーザ光の反射光を受光し、Ｙ軸方向エラー信号生成回路１１９、Ｙ軸方向サーボ回路１２０及びＹ軸方向ドライブ回路１２１が、モータ３６を駆動制御することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するようにガルバノミラー３５のＸ軸線周りの回転をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】凸レンズの周縁の形状を簡易な構成で精度良く検出することができるエッジ検出方法およびエッジ検出装置を提供すること。
【解決手段】凸レンズ１００を撮像する撮像部２を用いて凸レンズ１００の周縁の形状を検出させるためのエッジ検出方法であって、出射開口１１ａが形成されたマスク１１の出射開口１１ａを通じて撮像部２へ向けて拡散光を発し、出射開口１１ａと撮像部２との間の撮像光学系３の被写界深度内に凸レンズ１００を配置し、撮像部２の撮像面４ａに、拡散光が凸レンズ１００を透過して撮像部２へ入射した第一拡散光Ｌ１と、拡散光が凸レンズ１００の外部を通って撮像部２へ入射した第二拡散光Ｌ２とによってマスク１１の像を投影させ、第二拡散光Ｌ２による明部とマスク１１の像による暗部との境界の形状に基づいて凸レンズ１００の周縁の形状を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
微小な欠陥を検出すること、検出した欠陥の寸法を高精度に計測することなどが求められる。
【解決手段】
光源から出射した光を、調整する照明光調整工程と、前記照明光調整工程により得られる光束を所望の照明強度分布に形成する照明強度分布制御工程と、前記照明強度分布の長手方向に対して実質的に垂直な方向に試料を変位させる試料走査工程と、照明光が照射される領域内の複数の小領域各々から出射される散乱光の光子数を計数して対応する複数の散乱光検出信号を出力する散乱光検出工程と、複数の散乱光検出信号を処理して欠陥の存在を判定する欠陥判定工程と、欠陥と判定される箇所各々について欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定工程と、前記欠陥と判定される箇所各々について、前記試料表面上における位置および前記欠陥の寸法を表示する表示工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】断面外径が円形の計測対象物の真円度をリアルタイムで計測できる真円度計測システムを提供すること。
【解決手段】 断面外形が円形の連続的に移動する計測対象物Ｔの表面に、移動方向Ｐに対して直角な方向に線状の光を照射する光源Ｕ１ａ〜Ｕ４ａと、前記測定対象物Ｔにおける前記光の照射領域を、前記搬送方向Ｐに対して直角で無い角度方向から撮像する撮像手段とＵ１ｂ〜Ｕ４ｂ、前記各撮像手段Ｕ１ｂ〜Ｕ４ｂからの画像情報に基づいて、前記計測対象物Ｔの断面外形の真円度を計算する計算手段Ｃを備え、前記光源Ｕ１ａ〜Ｕ４ａと撮像手段Ｕ１ｂ〜Ｕ４ｂとが少なくとも２組設けられ、これら２組の光源Ｕ１ａ〜Ｕ４ａと撮像手段Ｕ１ｂ〜Ｕ４ｂは前記計測対象物Ｔの移動方向Ｐの上流から下流に向かう方向から見た場合に、前記測定対象物Ｔの中心軸に関して相互に等角度間隔に配置されている。 （もっと読む）

【課題】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置において、膜厚の違いなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度なパターン検査を実現する。また、多種多様な欠陥を顕在化でき，広範囲な工程への適用が可能なパターン検査装置を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成された２つのパターンの対応する領域の画像を比較して画像の不一致部を欠陥と判定するパターン検査装置を、複数の検出系とそれに対応する複数の画像比較処理方式を備えて構成し、又、異なる複数の処理単位で比較画像間の画像信号の階調を変換する手段を備えて構成し、画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても、正しく欠陥を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】少ない投影パターン数で、形状変化が急激な計測対象や不連続な計測対象の高精度な形状計測を可能とする。
【解決手段】三次元形状計測装置は、明るさ変化を有するパターンを計測空間に投影するパターン投影手段と、パターンが投影された計測空間を撮影する撮像手段とを備え、計測空間に存在する計測対象の三次元形状を計測する三次元形状計測装置であって、撮影手段により得られた撮影画像のパターンの明るさ変化からパターンの局所的な配置情報を算出する局所配置情報算出手段と、撮影画像におけるパターンのボケ量を算出するボケ量算出手段と、局所配置情報とボケ量とに基づき、計測対象の三次元形状を算出する三次元形状算出手段とをさらに備える。 （もっと読む）

【課題】光格子の解像度を改良すること。
【解決手段】相互に平行な監視ビーム１８の場２０を互いの間に形成する複数の光送信器１４及び受光器２６を備え、光送信器１４及び受光器２６にビーム成形光学系１６、２４が割り当てられる、光電センサ１０の光学系１６、２４は、場２０に対して斜め方向、特に垂直方向における該光学系１６、２４の相互重複をもたらす幾何学形状及び配置を含む。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の特徴である可干渉性を利用しながら、光学系に機械的手段を用いずに被測定物に関する測距を高精度に行う測距方法及びレーザ測距装置を提供する。
【解決手段】反射部１４を所定の角度θだけ傾けて設置することで、参照光の光路長を光路内で連続的に変化させることができる。これにより、受光部１８が受光する測定光と参照光による干渉光には干渉縞が形成され、この受光部１８の各受光器の光強度データに基づいて明暗データを作成することができる。そして、この明暗データに基づいて測距を行うため、光学系に機械的手段を用いずに被測定物に関する測距を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】位置や形状を測定するに際しての校正の簡素化をはかったシートに形成されたパターンの位置および形状測定装置を提供する。
【解決手段】パターンが形成されたシートと、
該シートの搬送方向に直交して配置されたカメラ保持機構と、
該カメラ保持機構の長手方向に沿って移動可能に配置されたカメラと、
該カメラで撮像した画像を処理する画像処理コンピュータと、
を備え、校正に際しては、前記塗工パターンと、校正用基準体の撮像画像に基づいて校正を行う。 （もっと読む）

【課題】高さの異なる第一物面および第二物面の位置合わせマーク像を同時に倍率を変えることなく取り込むことができる結像型の観察装置および観察方法を提供する。
【解決手段】観察装置１Ａは、同軸上に配置された部分反射ミラー２，３と、部分反射ミラー２，３を経由して、ホログラム面２１ａおよび光検出器面２２ａ上の物点から発せられた光線を検出する光学顕微鏡１９とを備える。光学顕微鏡１９は、光検出器面２２ａ（第一物面）については部分反射ミラー２，３の透過光により観察し、ホログラム面２１ａ（第二物面）については部分反射ミラー２と部分反射ミラー３との間を往復後の透過光により観察する。これにより、観察装置１Ａは、同軸上に配置された高さの異なる光検出器面２２ａ（第一物面）およびホログラム面２１ａ（第二物面）を光学的に同時に観察することができる。 （もっと読む）

【課題】基準点に対する像内の構造の位置を決定する方法、更に、この方法を実施するための位置測定装置を提供する。
【解決手段】対称中心を有する構造の基準点に対する像内の位置を決定する方法を提供し、本方法は、構造を含み、かつ基準点を有する像を準備する段階と、基準点に対する像の少なくとも１つの対称操作を実施し、それによって構造に対して合同である鏡像反転構造を有する少なくとも１つの鏡像が得られる段階と、構造と１つの鏡像反転構造又は２つの鏡像反転構造との間の少なくとも１つの変位ベクトルを決定する段階と、構造の位置を少なくとも１つの変位ベクトルから基準点に対する構造の対称中心の位置として計算する段階とを含む。更に、基準点に対する像内の構造の位置を決定するための位置測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ上の欠陥分布を検査する表面検査装置において、欠陥検査と同時進行でウェーハの厚さとフラットネスを測定できるようにする。
【解決手段】本発明は、ウェーハを固定し、回転及び直線移動を行う搬送系と、前記直線移動の経路上に配置されたウェーハ上の欠陥の位置とサイズを特定する散乱光学系と、前記直線移動の経路であって、前記散乱光学系よりも前に配置されたフラットネス測定系と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で容易に撮像面の傾斜状態を検出可能な傾斜検出方法を提供する。
【解決手段】２つの撮像装置のそれぞれについて、撮像装置の傾斜状態を検出する傾斜検出工程と、撮像装置の傾斜を調整する傾斜調整工程と、撮像装置の位置を検出する位置検出工程と、撮像装置の位置を調整する位置調整工程と、を有し、傾斜検出工程は、均等間隔で設けられたパターンを、撮像装置の焦点位置を順次変化させて撮像し、撮像画像におけるパターン位置を検出してパターン領域を設定し、パターン領域における各画素の輝度値を検出し、検査方向に沿って画素間の輝度変化量を算出し、各パターン領域における輝度変化量の積算値を算出し、積算値が最大となる撮像画像に対応した焦点一致位置を検出し、焦点一致位置に基づいて、撮像装置の傾斜状態を検出することを特徴とする調整方法。 （もっと読む）

【課題】エッジ（段差）近傍の表面プロファイルの測定結果を正確に取得することができる、物体の表面プロファイルを測定する方法を提供する。
【解決手段】物体の表面プロファイルを測定する方法であって、物体の表面の段差が走査方向に対して延在する第１の方向の情報を取得するステップと、前記情報に応じて、照射ビームに与える位相分布を設定するステップと、前記照射ビームで前記物体を前記走査方向に走査するステップと、を有する。 （もっと読む）