【課題】 基準面に載った流動体が占める面積を測定する技術を提供する。
【解決手段】 流動体(20)が広がった所定の基準面(10)および前記流動体(20)の境目に対してポイント照射光を照射する照射ポインタ(70)と、 その照射ポインタ(70)によって照射される前記基準面(10)および前記流動体(20)の境目を連続撮影する連続撮影用カメラ(48)と、 その連続撮影用カメラ(48)の撮影領域に入るように固定された面積算出の基準となる面積基準体(80)と、 前記の連続撮影用カメラ(48)にて連続撮影された画像データにおける前記の面積基準体(80)および前記のポイント照射光がなぞった軌跡にて囲われた流動体(20)の面積を算出する面積算出手段と、を備える。 前記の照射ポインタ(70)が照射するポイント照射光は、前記の流動体(20)および前記の基準面(10)と明確に区別可能な色彩とする。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の歪曲を適切に補償した検査領域の設定方法を提供する。
【解決手段】ステージに測定対象物を配置し、測定対象物に対する第１特徴オブジェクトを含む基準データを呼び出しＳ１２０、測定対象物に対する測定データを獲得しＳ１３０、測定データのうち、第１特徴オブジェクトと対応する第２特徴オブジェクトを抽出し、第１特徴オブジェクトの平面的形状と前記抽出された第２特徴オブジェクトの平面的形状とを比較して幾何学的変形を確認しＳ１４０、Ｓ１５０、幾何学的変形を定量化して前記測定対象物の垂直方向の変化量を算出しＳ１６０、変化量に基づいて検査領域を設定するＳ１７０。 （もっと読む）

【課題】 被測定物や測定装置の測定していない点の変位を推定することで、推定量の誤差を少なくできる物体の変位推定方法を提供する。
【解決手段】 ｎ個の部材ｒがピンｌを回転支点としてＸ軸方向に連結している物体において、各部材ｒにマーカー１０を貼り付け、Ｘ軸方向位置ｘにおける各マーカー１０のＹ軸方向（Ｘ軸に交差する方向）の変位ｙを一次元センサで計測する。そして、各部材ｒの両端のピンｌ通る直線を一次式で表わすとともに、各ピンｌの座標を求め、さらに、ｎ−１本目の直線とｎ本目の直線が交差する条件を表わす。これらの式から、部材ｒごとの、その両端のピンｌを通る直線式を求める。この式から、部材ｒ内の任意の点の変位や、各部材ｒの傾きを正確に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】幅広いシート材種に対してシート材のしわ発生の余裕度を評価し、しわの発生を予防する技術を提供する。
【解決手段】波打ち形状算出手段が、ニップ部におけるシート材の搬送方向と直行する方向の搬送速度分布を記憶手段から読み出して（Ｓ１）、搬送速度分布からシート材の波打ち形状を算出し（Ｓ２）、しわ発生判別手段が、波打ち形状算出手段により算出された波打ち形状に基づいてシート材にしわが発生するか否かを判断する（Ｓ３、Ｓ６、Ｓ７）。 （もっと読む）

【課題】対象物の３次元座標を決定する改良された装置、および改良された方法を提供する。
【解決手段】対象物１の３次元座標を決定するための改良された装置は、対象物１にパターンを投影するプロジェクタ１０と、上記プロジェクタ１０に結合され、対象物１を撮影するカメラ１１と、上記プロジェクタ１０、およびカメラ１１に結合され、リファレンスマーク６のフィールド２５の１つ以上のリファレンスマーク６，２４を撮影するリファレンスカメラ１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 加工工具や工具保持機構の寸法を安価且つ簡便な装置構成で測定できる工具形状測定装置を提供する。
【解決手段】 本発明の工具形状測定装置は、中心軸４ａの周りに回転可能な加工工具１及び加工工具１を保持する工具保持機構を撮像して撮像画像を得るカメラ５と、撮像画像から加工工具１及び／又は工具保持機構の寸法を示す寸法データを生成する寸法データ生成部１３とを具備する。カメラ５は、その光軸５ａが前記中心軸４ａと垂直に交わるように位置している。寸法データ生成部１３には、光軸５ａと垂直であり且つ中心軸４ａを含むように規定された基準平面Ｓからカメラ５までの距離である基準距離Ｌと、撮像画像の上における単位長さと基準平面Ｓの上の長さとの対応を表す対応データとが設定され、寸法データ生成部１３は、撮像画像と、基準距離Ｌと、対応データとを用いて前記撮像画像の遠近誤差を補正して寸法データを生成する。 （もっと読む）

【課題】撮像装置に対する撮像指示を発生してから実際に撮像が行われるまでにタイムラグが存在する場合であっても、正確にトラッキング処理を行うことのできる視覚センサを提供する。
【解決手段】画像処理装置は、搬送装置の搬送経路における移動量を示す信号を受付けるインターフェイスと、搬送経路において撮像部の撮像範囲より下流側に配置されるとともにワークを取り扱う移動機械、を制御するための制御装置と通信するためのインターフェイスと、撮像部の撮像によって得られた画像に対して計測処理を行うことで、画像中の予め登録されたワークに対応する領域の位置情報を取得する手段と、制御装置との間で搬送経路における移動量を同期して保持する手段と、撮像指示に応答して撮像部による撮像を開始する手段と、位置情報と当該位置情報の取得に用いた画像を撮像したときの移動量とを制御装置へ送信する手段とを含む。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板や透明な樹脂基板等を含む透明基板の検査を効率化できる透明基板の検査装置、透明基板の検査方法、及び前記透明基板の検査方法でガラス基板を検査する検査工程を有するガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】検査装置１０は、透明基板７２の断面及びその周辺部に、斜め方向から光を照射する照明手段１１ａと、前記照明手段１１ａから照射された光の透過光を受光し、前記断面の画像を撮像する撮像手段１２ａと、前記撮像手段１２ａが撮像した前記断面の画像に基づいて、前記断面の面積を算出する画像処理手段１３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】微小な円筒形部品においても円筒形部品の傾きを容易かつ正確に測定する。
【解決手段】円形挿入穴１０１および段付部１０２を有する円筒形部品１００の傾き測定方法において、照明部より撮像部へ拡散光を発し、撮像部のピント位置と円形挿入穴の撮像部側の端部１０１ａとを合わせ、当該端部における円形挿入穴の内外のコントラストが所定値以上となるように円筒形部品と照明部との相対位置を調整して円筒形部品の第一画像を撮像し、ピント位置と段付部の撮像部側の端部１０２ａとを合わせ、当該端部における段付部の内部空間の内外のコントラストが所定値以上となるように相対位置を調整して円筒形部品の第二画像を撮像し、第一画像における円形挿入穴の第一中心座標および第二画像における段付部の内部空間の第二中心座標を算出し、第一中心座標および第二中心座標に基づき円筒形部品の傾きを検出する。 （もっと読む）

【課題】受光素子の種類に依存したアルゴリズムを検討することなく、スポット像位置検出を高精度に行うことができるスポット像位置検出装置を提供する。
【解決手段】本発明のスポット像位置検出装置５０は、レーザー光３を結像するレンズ（光学系）６、及び受光素子７から構成されるカメラ１０と、カメラ１０に対してレーザー光３を照射するレーザー光源（発光手段）１と、レーザー光源１の射出ビーム径２よりもカメラ１０のレンズ６に入射する際のビーム径５が細くなる位置に配置されたレンズ（ビームウエスト光学系）４と、受光素子７上の輝度情報に基づいて光スポット像位置を算出する画像処理装置（画像処理手段）８と、画像処理装置８により画像処理された画像データを表示するディスプレイ９と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】３次元形状測定装置の撮像装置や接触子のように、３次元形状の測定に必要であり、かつ、その位置や姿勢が測定データに大きく影響する器具等の位置や姿勢を正確かつ簡便に測定できるようにする。
【解決手段】位置姿勢測定装置は、例えば、互いに直角をなす線状の第１、第２の像１９Ａ、１９Ｂをそれぞれ結ぶレーザー光を利用するものであり、第１、第２の像１９Ａ、１９Ｂと交差することで、レーザー光を反射して特定の方向に向かわせる反射具１１を備える。また、反射具１１は、再帰性反射材により設けられた３つの反射部２３ａ〜２３ｃを有し、反射部２３ａ〜２３ｃは、３角形の頂点を占めるように、かつ、反射されるレーザー光の光量が互いに異なるように設けられている。これにより、球面座標系を利用して撮像装置等の位置および姿勢を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】段差部毎に撮像部を設置しなくても、各段差部の三次元形状を精度良く計測する。
【解決手段】受光素子２１Ｐは、サンプルＳＰからの反射光を受光する。レンズ２２Ｌは、中心線側の段差部ＷＡ１からの反射光（光軸がＲ１）を結像して受光素子２１Ｐに導く。また、レンズ２２Ｌは、段差部ＷＡ１よりも外側の段差部ＷＡ２からの反射光（光軸がＲ２）を、ミラー２３１，２３２を介して結像して受光素子２１Ｐに導く。撮像部２１の光軸ＬＡは、段差部ＷＡ１からの反射光の光軸Ｒ１の受光素子２１Ｐまでの光学距離と、段差部ＷＡ２からの反射光の光軸Ｒ２の受光素子２１Ｐまでの光学距離とが等しくなるように、サンプルＳＰに対する仰角及び方位角が設定されている。 （もっと読む）

【課題】観察対象物の表面の断面曲線を正確でかつ高速に検出することが可能な共焦点顕微鏡システム、画像処理方法および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】使用者が観察対象物Ｓの断面曲線データの取得範囲を指示する。ＣＰＵ２１０は、その指示に基づいてＸ方向に沿って連続的に並ぶ複数の帯状領域を設定するとともに、各帯状領域においてＸ方向に平行な複数の測定ライン上でレーザ光を走査することにより、複数の測定ラインに基づく画素データを制御部３００から取得する。ＣＰＵ２１０は、取得した複数の測定ラインの画素データに基づいて帯状領域の複数の断面曲線データを生成し、作業用メモリ２３０に記憶する。ＣＰＵ２１０は、複数の帯状領域の複数の測定ラインについて生成された断面曲線データをＸ方向に沿って連続する測定ラインごとに連結することにより、連結された複数の断面曲線データを得る。 （もっと読む）

【課題】高精度なオートフォーカス処理が可能な画像測定装置を提供する。
【解決手段】画像測定装置は、ワーク３を撮像する、露光時間が可変の撮像装置１４１と、所定の発光周波数で発光制御されてワーク３に対して照明光を照射する照明装置１４２と、撮像装置１４１の合焦位置を制御して合焦位置を合焦軸方向の位置情報として出力する位置制御システム１５１と、位置制御システム１５１による合焦位置の制御に際して室内光の点灯周波数が第１の周波数及び第２の周波数のいずれであるかに基づいて撮像装置１４１の露光時間を室内光の点灯周期の整数倍となるように設定する制御装置１５２とを備え、照明装置１４２の発光周波数は、第１の周波数及び第２の周波数の公倍数に設定される。 （もっと読む）

【課題】
検査装置の感度設定にかかる処理時間とユーザ負担を低減すると共に、ＬＳＩテスタによる電気的特性検査にかかるコストの増加、及び、電気特性検査が困難な領域の発生に対処する。
【解決手段】
パターンが形成された試料に光源から発射された光を照射し、この光が照射された試料からの反射光を検出器で検出して画像を取得し、この取得した画像を処理して該画像の特徴量を抽出し、この抽出した画像の特徴量を予め設定した基準値と比較して試料上の欠陥を検出する欠陥検査方法において、予め設定した基準値をパターンが形成された試料を別の検査装置で検査して得た試料の検査結果を用いて作成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 赤外光の周波数帯域の画像を撮像することで、対象物の像を適切に撮像し、対
象物の位置検出精度を向上させる位置検出システム、表示システム及び情報処理システム
等を提供すること。
【解決手段】 位置検出システム４００は、撮像画像を撮像する撮像部５００と、撮像部
５００からの撮像画像に基づいて、対象面に設定された検出エリアでの対象物の座標情報
を求める座標演算部４３０と、を含み、検出エリアには、赤外光の周波数帯域の照射光が
出射され、撮像部５００は、撮像画像として赤外光の周波数帯域の画像である赤外光帯域
画像を撮像し、座標演算部４３０は、赤外光帯域画像に基づいて、対象物の座標情報を求
める。 （もっと読む）

【課題】より高精度の作業内容の測定を実現すると同時に、低コストかつ環境負荷の少ない作業内容測定装置及び作業管理装置を提供する。
【解決手段】作業者及び当該作業者により作業される作業対象の画像に基づいて作業者及び作業対象に係る情報を取得し、かつ、作業対象または当該作業対象とつながった物体に設けられた第１センサーにて自己検出された、当該第１センサーの空間的位置に係る情報を取得し、作業者及び作業対象に係る情報と、第１センサーの空間的位置に係る情報とを統合することで、作業内容の測定結果を示す第１統合情報を生成する作業内容測定装置であって、作業者の一部に設けられた第２センサーにて自己検出された、当該第２センサーの空間的位置に係る情報を取得し、第１統合情報に対し、第２センサーの空間的位置に係る情報をさらに統合することで第２統合情報を生成し、第２統合情報を作業内容の測定結果として出力する。 （もっと読む）

【課題】従来よりもガラス基板の欠陥の検査感度を向上可能であり、かつ、欠陥を検査する時間を短縮できるガラス基板の欠陥検査方法及び欠陥検査装置、並びに、前記欠陥検査方法又は前記欠陥検査装置を用いたガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本ガラス基板の欠陥検査方法の一形態は、第１主平面及びその対向面である第２主平面を有するガラス基板に、複数方向から光を順次照射し、前記ガラス基板の画像を順次撮像する順次撮像工程と、前記順次撮像工程で順次撮像した各ガラス基板の画像に基づいて、前記ガラス基板の前記第１主平面及び前記第２主平面の欠陥の有無を検査する欠陥検査工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検査精度を保ちつつスループットを向上させることができる検査装置、検査方法および検査プログラムを提供すること。
【解決手段】高倍率で基板の検査測定を行うミクロ検査部と、基板の全体画像をもとに各画素の輝度を算出して全体画像内のムラを検査するマクロ検査部と、全体画像に対して測定を行う測定点を、仮測定点として割り付ける設定部と、各画素の輝度をもとに全体画像を構成する画素をグループ化する分類部と、分類部がグループ化した領域において存在する仮測定点から少なくとも１つの仮測定点を選択して、選択された仮測定点を実測定点として決定する決定部と、実測定点の測定乃至検査をミクロ検査部に行わせるとともに、各実測定点における検査結果を同一の領域における仮測定点にそれぞれ割り付けて検査結果の出力制御を行う制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】同じ領域を連続して三次元計測する場合に、事前に得た情報を有効に活用することにより、迅速に計測を行う装置を提供する。
【解決手段】測定対象１００にパターン光を照射する光照射部１０１と、測定対象１００を撮像する撮像部１０２と、撮像された画像に基づいて測定対象１００の三次元形状を計測する計測部と、を備える三次元計測装置であって、撮像された画像のうち、撮像部１０２により予め撮像された画像の状態から変化した変化領域を抽出する変化領域抽出部１０７と、変化領域抽出部１０７により抽出された変化領域に基づいて、光照射部１０１により照射されるパターン光の特性を設定する光特性設定部１０９と、備え、計測部は、光特性設定部により設定された特性のパターン光が照射され、撮像部により撮像された画像の変化領域に対して、測定対象の三次元形状を計測する。 （もっと読む）