【課題】加熱炉内で加熱されながら搬送されている被加熱材の蛇行量を高精度に測定することを目的とする。
【解決手段】ウォーキング式加熱炉２の装入口２ａから抽出口に向けて搬送される被加熱材Ｓの蛇行量を測定する方法である。加熱炉２の炉心Ｐ１に対して平行であって被加熱材Ｓの搬送方向を向くように画像計測用カメラ１６を設置する。そして、被加熱材Ｓの上に耐火レンガＢＬを載置し、被加熱材Ｓとともに装入口２ａから抽出口に移動する耐火レンガＢＬを画像計測用カメラ１６で撮影し、その撮影した映像を画像処理して耐火レンガＢＬの位置変化を演算する。そして、その位置変化に基づいて被加熱材Ｓの搬送時に発生する蛇行量を求める。 （もっと読む）

【課題】撮像に要する処理時間を短縮し、検査効率を大幅に高める。
【解決手段】各部品には、あらかじめ、サイズに応じて３段階の分解能レベルのいずれかが設定されている。これらの部品を分解能の高いものから順に順序づけ、１番目の部品（Ｎｏ．３）から順に各部品に着目し、設定された分解能ラベルに応じた撮像対象領域Ｂ１，Ｂ２・・・を設定する。ただし、設定した領域に他の近傍の部品を含むことができる場合には、その部品を、設定されている分解能レベルを考慮することなく、前記撮像対象領域に割り付ける。 （もっと読む）

【課題】検出感度や異物座標検出誤差の機差が小さく、異物等の欠陥の高い位置座標精度が得られるウェハ表面欠陥検査装置およびその方法を提供することである。
【解決手段】第１の光源からの射出ビームを回転するウェハの表面上に照明してビームスポットを形成してウェハ表面上の異物等の欠陥による散乱光を複数方向で検出して信号として出力し、第２の光源からの白色光または広帯域の光を用いてウェハ面の上下動を検出してその情報に基づいてウェハ面上のビームスポット位置を補正してウェハ面上下動に伴う座標誤差を抑制するとともに、第1の光源における光の射出方向および射出位置を補正して第1の光源の変動による座標誤差を抑制することで検出する異物等の欠陥の座標精度を向上する。さらに照明ビームスポット径を補正し、検出感度や異物座標検出誤差の機差を抑制する。 （もっと読む）

【課題】光学式異物検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡で詳細に観察する方法およびその装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ、装置規模を小さくできる方法およびその装置を提供する。
【解決手段】光学式欠陥検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡５において、欠陥を再検出する光学式顕微鏡６を搭載し、この光学式顕微鏡６の焦点合わせを行う時に、試料１に対して光学式顕微鏡６の照明位置と検出位置を変化させない構成とする。 （もっと読む）

【課題】製品検査等に好適なＬＥＤ照明装置を備えた自動撮影装置を提供すること。
【解決手段】自動撮影装置は、ＣＣＤカメラユニット１４、３次元ロボットアーム１５〜２１、照明装置１２、カメラと照明装置との距離を変化させる移動手段１３、撮影対象物の複数の撮影箇所と対応して位置、角度、照明パラメータを記憶し、記憶内容に基づいて複数の撮影箇所を順に撮影する制御手段を備える。照明装置は、ＬＥＤを使用したそれぞれ照射方向の異なる複数の照明装置を内蔵し、照射方向および色を選択可能である。制御手段は、撮影された画像が目的とする被検査領域の画像か否かを判定する判定手段、撮影された画像から欠陥を検出する欠陥検出手段を備えていてもよい。任意の位置にある任意の表面状態のチェック箇所の欠陥やラベルの文字などを最良の照明状態で撮影することができ、製品検査の精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】 適切な眼鏡調整ができるように、被検者の使用環境に応じた状態で被検者の眼の位置を正確に測定できる眼位置測定装置を提供する。
【解決手段】 被検者眼を注視させるための注視目標を持ち該注視目標の呈示距離を光学的に変化させる注視目標呈示光学系と、被検者の両眼を含む前眼部を撮像するための撮像手段を持ち該撮像手段による撮影距離を光学的に変化させて前記注視目標と略同一位置から撮像する撮像光学系と、前記撮像手段により撮像された画像に基づいて被検者の眼位置を測定する測定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】所定マークの投影像の位置ずれ量を計測する際に、実際のデバイスパターンの像の位置ずれ量に近い計測値を得る。
【解決手段】第１マーク上に第２マークの像を重ねて露光し、第１マークと第２マークの像との位置ずれ量を計測する計測方法において、その第２マークは、透過率が周囲の部分より低い複数のラインマーク３６Ｄ，３６Ｅを備え、所定のエッジ部３８Ａに対して内側のラインマーク３６Ｄの幅がそのエッジ部３８Ａの外側のラインマーク３６Ｅの幅よりも広く設定されている。 （もっと読む）

【課題】対象物の寸法を簡易かつ効率的に提示することが可能な投写装置等を提供すること。
【解決手段】投写装置１０が、対象物に対するフォーカスが調整された状態におけるフォーカス調整値に基づき、寸法を示すものさし画像を投写するための画像情報を生成する画像情報生成部１７０と、前記画像情報に基づき、前記ものさし画像を前記対象物へ向け投写する投写部１９０とを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】基準レンズがなくても被検光学素子の面形状誤差、面間偏心誤差、屈折率分布等を一度の測定で検知し、被検光学素子の合否を判定できる検査装置。
【解決手段】光源１１と、光源１１からの光束を被検光束Ｍと参照光束Ｒに分割する光束分割手段１８と、被検光学素子２２が配置される被検光束Ｍ中に配置され、設計値に基づく被検光学素子２２の透過波面を略平面に変換する補正光学系２３と、補正光学系２３を透過した被検光束Ｍと被検光束Ｍとは異なる光路を経て平行光束とされた参照光束Ｒとを合成する光束合成手段２６と、光束合成手段２６を透過した光束を撮像する撮像手段２８と、撮像手段２８によって形成された干渉縞に基づいて被検光学素子２２を透過した波面に係るパラメータを算出するパラメータ算出手段３１と、パラメータに基づいて被検光学素子２２の評価値を算出する評価値演算手段３１とを備えた光学素子検査装置。 （もっと読む）

【課題】 投射装置と画像センサとの間の距離が変化した場合でも使い勝手のよい位置および指示方向計測を実現することができる位置および指示方向計測システムを提供する。
【解決手段】 本位置および指示方向計測システムは、同心円状の縞模様光１１を投射する投射装置１２と、投射装置１２から投射された縞模様光を撮像する撮像装置１３，１４と、撮像装置１３，１４から得られた縞画像に基づいて投射装置１２の位置および指示方向を求める演算装置１５とを備える。投射装置１２は、縞模様光１１の投射範囲を変化させる投射範囲可変機構を有する。投射範囲可変機構としては例えばバリフォーカルレンズやズーム式ＣＣＴＶレンズを用いることができる。 （もっと読む）

【課題】 被測定物による影を安価に低減させることができるとともに、測定の精度の向上を可能にした格子パターン投影法による３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】 光源装置８からの光が照射される格子パターン６０４を有する光学変調素子６０５により形成される格子パターン像を標本３に対し所定角度傾けて投影するとともに、投影角度切換え部６１５により格子パターン像の傾き角度を変更可能にした。 （もっと読む）

【課題】 変曲点を境に、異なる光電変換特性を有する撮像素子を搭載した撮像装置を複数台備えた撮像システムにおいて、複数台の撮像装置間の画像の各種バラツキを的確に補正し、高速かつ正確なステレオ画像処理に適した撮像システムを提供すること。
【解決手段】 複数台の撮像装置の画像の撮像タイミング、光電変換特性の変曲点、感度、温度特性等を合わせ込むことで、複数台の撮像装置間の画像の各種バラツキを的確に補正し、高速かつ正確なステレオ画像処理に適した撮像システムを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、映像を用いた液体高さ測定システム及び方法に係り、さらに具体的には、測定しようとする液体などから一定の距離離れて位置する、カメラなどの映像取込み装置を用いて、量水標が設けられた液体の近傍を撮影して、その撮影映像を分析することで、液体の高さを正確にかつ自動的に測定することができる、映像を用いた液体高さ測定システム及び装置に関する。
【解決手段】本発明による液体高さ測定システムは、測定対象となる液体に設けられる量水標と、前記量水標が設けられたところから一定の間隔離れて取り付けられ、前記量水標が設けられた前記液体の近傍を撮影して、映像を取り込む映像取込部と、前記映像取込部の映像取込みを制御する高さ認識部であって、前記映像取込部が取り込んだ映像を受信して、前記液体の高さを決定する高さ認識部とを含む。 （もっと読む）

【課題】単一のセンサにより距離画像（距離を測定するための画像）と表示のための画像との両方を入力することができる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】３次元計測装置は、フィルタ８０ｃと、単一のモノクロ（またはカラー）ＣＣＤセンサ５３ｃとを備える。測定対象物の３次元形状を算出するための画像を単一のＣＣＤセンサ５３ｃで取込み、取込まれた３次元形状を算出するための画像から、測定対象物を表示するための画像を作成する。これにより、３次元形状の算出を可能とするとともに、表示画像の取得を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 板状体の検査面の傾き角度の大きさにかかわらず正確な外観検査を行うことを可能にする欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 板状体１２の検査面１２ａを撮像する撮像装置１３およびレンズ１４と、検査面１２ａに照明光を照射する投光装置１５とを、投光装置１５から検査面１２ａに入射される照明光の光軸と、検査面１２ａで反射してレンズ１４および撮像装置１３に入射する反射光の光軸とを含む平面が、検査面１２ａの法線方向に対して所定の角度αを成すように位置決め配置する。 （もっと読む）

【課題】 樹脂等の液体を非貫通開口部内に塗布し、その塗布量を測定する場合において、簡単かつ高精度に測定可能で、汎用性が高い液体塗布物の画像処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】 撮像装置１と、撮像装置１の周囲又は撮像装置１への入射光を囲む位置関係に設けられたリング状照明２とを用い、対象物１０の凹部１２内の液体塗布物２０の量を測定する場合に、前記液体塗布物２０の表面で反射されたリング状照明２の像を撮像装置１で撮像し、撮像されたリング状照明２の像の寸法によって前記凹部１２内の液体塗布物２０の量を測定する。 （もっと読む）

【課題】適応型テンプレート分解による高速テンプレートマッチング法が提供される。
【解決手段】前記テンプレート分解技法はテンプレートを多数の水平および／または垂直細分割に細分割し、前記細分割について一次元特徴づけが決定される。前記テンプレート分解は、対応するユーザインタフェースの支援のもと、汎用精密マシンビジョン検査システムの学習モード操作の間に適合させることができる。一つ以上のテンプレート分解設定に対するマッチング結果は、ユーザによりまたは自動分解設定評価ルーチンによって評価でき、速度とマッチング位置精度間に所望のトレードオフを提供する設定が決定される。自動測定物検査命令は、前記検査システムのランモード操作の間に最適の速度対精度のトレードオフを繰り返して提供する設定を実行することができる。 （もっと読む）

【課題】 被検査物の分布形状及び位置を特定可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】 基板上のペーストを画像として撮影し、第１の画像データを得る工程（Ｓ１１）、基板の重心位置を算出する工程（Ｓ１２）、ノイズ除去（Ｓ１３）、第１の画像データを２値化する工程（Ｓ１４）、２値化された第２の画像データの塊の面積、最大及び最小のフィレ径、及び重心を算出する工程（Ｓ１５）、面積最大の塊を抽出（Ｓ１６）、この塊が第１の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ１７）、この塊のフィレ径比が第２の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ１８）、最大の塊の重心位置を算出する工程（Ｓ１９）、最大の塊の重心位置と基板の重心位置との距離が第３の基準値に適合するかを判定する工程（Ｓ２０）、及び最大の塊の重心位置を後続の工程に送出する工程（Ｓ２１）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 撮影画像にスケールを写し込むカメラと、撮影時の被写体との距離を特定するための装置とを別体として構成する。
【解決手段】
撮影レンズを備えたカメラ１００と、カメラ１００に着脱自在の画像投影装置２００とを備える。画像投影装置２００は、所定の撮影距離だけ離れた面で焦点が合うように、所定の画像を投影する画像投影手段と、撮影距離を示す情報を前記カメラへ送信する送信手段と、を備える。カメラ１００は、像撮影装置２００から撮影距離を示す情報を受信する受信手段と、撮影レンズの焦点距離及び前記撮影距離により決定される撮影倍率に基づいて定まるスケール画像と、撮影した撮影画像とを重ね合わせた合成画像を記録媒体に記録する記録手段と、を備える。
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【課題】半透明物質などに覆われた被検物であってもその内部の所望の被検部位の計測ができる共焦点光学系を有した測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置は、共焦点光学系を備え、共焦点光学系の焦点面を被検物に対してその高さ方向に相対移動させながら異なる高さ位置ごとに、順次、前記被検物の光量データを取得し、記憶する装置であり、被検物の被検部位を指定すると共に、その指定した被検部位の高さ方向の光量データ分布グラフ上において、所望の測定範囲を任意に指定することで、その記憶した光量データに基づき被検部位の高さなどの測定が可能である。 （もっと読む）