【課題】対物レンズの被計測体側に配設された光学素子によりスポット位置を光軸に垂直な面内方向に走査することができるとともにこの光学素子による光学系全体の結像性能の劣化を抑えることができる三次元画像取得装置および三次元画像取得方法を提供する。
【解決手段】三次元画像取得装置１０は、共焦点光学系を用いた三次元画像取得装置であって、対物レンズ１３の被計測体１５側の光軸と交差するよう配設された平行平板形の部材を有し、光軸と垂直な面に対する平行平板形の部材の傾きを異ならせることで、傾きに応じて屈折作用により被計測体側共役点の位置を光軸方向に垂直な面内で変更するＸＹ方向焦点位置変更部１４を備え、平行平板形の部材の傾きは、対物レンズ１３の被計測体側共役点に集光される光の直径が、エアリーディスク直径の半分となる所定の傾き以下である。 （もっと読む）

【課題】顔部が非検出となったり、顔部の検出の精度が低下したりした場合であっても、以後のフレームにおける追尾精度を落とすことの無い追尾装置及び追尾方法を提供すること。
【解決手段】追尾対象の顔部を、顔検出回路１３０７を用いた追尾処理と、追尾処理回路１３０５による輝度情報を用いた追尾処理と、追尾処理回路１３０６による色情報を用いた追尾処理とによって追尾する。また、追尾対象の顔周辺部を、顔検出回路１３０７を用いた追尾処理によって検出された顔部の位置から推定して追尾するとともに、追尾処理回路１３０５による輝度情報を用いた追尾処理と、追尾処理回路１３０６による色情報を用いた追尾処理とによって追尾する。次フレームの追尾処理の開始の位置を顔検出回路１３０７における顔検出の結果と顔部信頼性向き判定回路１３０８における顔部の向きの判定結果に応じて変更する。 （もっと読む）

【課題】透過率の再現性が高い分光素子を用いながら、適正にレーザ光源の光量制御が可能な情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、発光装置１０と、受光装置２０と、を備える。発光装置１０は、レーザ光源１１０と、コリメータレンズ１２０と、リーケージミラー１３０と、リーケージミラー１３０によって反射されたレーザ光をドットパターンを有するレーザ光に変換するＤＯＥ１４０と、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光を受光して受光量に応じた検出信号を出力するＦＭＤ１６０と、リーケージミラー１３０とＦＭＤ１６０との間に配置され、リーケージミラー１３０を透過したレーザ光の光量を減衰させるフィルタ１５０と、ＦＭＤ１６０の検出信号に基づいて、レーザ光源１１０の発光量を制御するＡＰＣ制御部２１ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定範囲を拡大できるとともに機器の簡略化が可能な斜入射干渉計を提供すること。
【解決手段】光源４１と、光源４１からの原光を分割する光束分割部と、測定光を被測定物Ｗに照射する照射部４３と、測定光と参照光とを合成する光束合成部４４と、合成された光束を受光する受光部４５とを有する斜入射干渉計１において、干渉計本体３０と、被測定物Ｗを保持する基台１０と、干渉計本体３０を被測定物Ｗに沿って移動可能な移動機構２０と、干渉計本体３０の移動軸線の延長上に配置された補助反射鏡５１と、光源４１からの原光から補助光を分割して補助反射鏡５１に照射する補助光束分割部５２と、干渉計本体に設置されかつ補助反射鏡５１で反射された補助光を受光する補助受光部５５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光の左右比の検出精度の低下が抑制された光センサ、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板（１０）に受光素子（２０）が形成され、受光素子（２０）の形成面（１０ａ）上に、透光膜（３０）を介して遮光膜（４０）が形成され、遮光膜（４０）に透光用の開口部（５０）が形成された光センサであって、仮想直線（ＶＬ）を介して線対称の関係にある一対の受光素子（２１，２２）及び一対の開口部（５１，５２）を有し、形成面（１０ａ）に直交する高さ方向に沿う光を、開口部（５１，５２）を介して受光素子（２１，２２）に照射した際に、一対の受光素子（２１，２２）から出力される出力信号に基づいて、高さ方向に沿う光が開口部（５１，５２）を介して受光素子（２１，２２）に入射した際に出力される一対の受光素子（２１，２２）の出力信号が互いに一致するように、各出力信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】凹部の内側の情報に関する測定精度を向上させる。
【解決手段】形状測定装置は、撮像素子５と、複数の光学素子を含み、撮像素子５と共役な共役面１０を、複数の光学素子の配列方向に対して鋭角または鈍角の関係となるように形成する結像光学系６と、測定対象面に対して結像光学系６の少なくとも一部を移動可能な走査部と、走査部の位置情報及び撮像素子５の画像情報に基づいて、測定対象面の位置情報を取得する位置情報取得部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シャック−ハルトマンの波面センサを用いた平面度測定装置において、測定精度及び領域分解能を向上させる。
【解決手段】平行化が可能な光束である一次光束Ｂ１を射出する光源１と、前記光源１から射出された一次光束Ｂ１を前記測定対象領域ＡＲに導いて反射させ、その反射した光束である二次光束Ｂ２を、平面状の波頭を有する光束として出力する導光手段２と、前記導光手段２から出力された二次光束Ｂ２と直交するように設けられたレンズアレイ３と、前記レンズアレイ３を構成する各レンズの入射側光軸上に設けられて、各レンズに入射する光径をレンズの径よりもそれぞれ小さくするアパーチャ部材４と、前記レンズアレイ３を通ってレンズ毎に分離された光である分離光Ｄを検出する光検出手段５と、前記光検出手段５で得られた各分離光Ｄの位置又は傾きに基づいて、前記測定対象領域ＡＲの平面度に係る値を算出する平面度算出部６とを設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】１つまたは複数の物体の画像から得ることができる、距離測定の予測精度を反映している信号を提供する。
【解決手段】物体１４までの距離１２を測定するためのシステム１０が、ある位置に配置されたカメラ１６と、カメラ１６の設定を反映した信号３０，３２，３４とを備える。カメラ１６に作動可能に接続された制御装置１８が、信号を受信し、信号に基づいて精度信号３６を生成する。精度信号３６は、距離測定の予測精度を反映している。制御装置１８に作動可能に接続された表示器３８，４２が、精度信号３６を反映している表示を提供する。距離測定の方法は、カメラを配置するステップ、距離測定の予測精度を反映している信号を生成するステップ、信号を反映している表示を提供するステップ、その位置で物体の１つまたは複数の画像を撮影するステップと、その１つまたは複数の画像に基づいて、物体までの距離を計算するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】被検物が撮像画像上を移動した場合でも、良好な検波処理画像を得ることができるカメラシステムを提供する。
【解決手段】パルス光を被検物に照射する投光手段３０と、前記パルス光が照射される領域を含む領域を繰り返し撮像する撮像手段２０と、前記撮像手段で撮像された画像の画像信号を記憶する記憶手段４０と、前記記憶手段に記憶された画像信号に対して、同期検波処理を行なって、前記投光手段から照射される前記パルス光の点灯消灯のタイミングに同期した検波処理画像を生成する同期検波処理手段と、前記被検物の移動速度を算出する移動速度算出手段と、前記移動速度算出手段により算出された前記被検物の移動速度に基づいて、前記被検物が撮像画像上を移動することにより前記検波処理画像内に発生するノイズ成分を低減するための補正を行なう補正手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被検物（例えば、基板の裏面と表面とに形成されたマーク）の位置を高精度に検出することができる技術を提供する。
【解決手段】被検体の位置を検出する検出装置であって、前記被検体を第１波長帯域及び前記第１波長帯域とは異なる第２波長帯域を含む光で照明する照明系と、前記被検体からの光により前記被検体の像を形成する結像系と、前記被検体の像を撮像する撮像素子と、前記照明系又は前記結像系の光路における前記第１波長帯域の光に対する透過率と前記第２波長帯域の光に対する透過率とを異ならせることで、前記撮像素子で撮像される前記被検体の像を形成する前記第１波長帯域の光の強度と前記撮像素子で撮像される前記被検体の像を形成する前記第２波長帯域の光の強度との強度差を低減する光学部材と、を有することを特徴とする検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】被検物が撮像画像上を移動した場合でも、良好な検波処理画像を得ることができるカメラシステムを提供すること。
【解決手段】所定周期で点灯消灯するパルス光を被検物に照射し、前記パルス光が照射される領域を含む領域を繰り返し撮像し、撮像された画像の画像信号に対して、画素ごとに同期検波処理を行なって、照射される前記パルス光の点灯消灯のタイミングに同期した検波処理画像を生成する際において、撮像画像上における前記被検物の移動速度に基づいて、画像信号の読出し画素位置を変更するとともに、単位画素未満の移動量が検出された場合には、検出した単位画素未満の移動量に基づいて、読出し画素位置を変更した画像信号の信号出力を補正するカメラシステム。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンの上部及び下部の寸法を明確に区別して測定する。
【解決手段】基板５上に形成された凹凸パターンを拡大観察する顕微鏡１と、前記顕微鏡１を通して観察される前記凹凸パターンを撮像する撮像カメラ２と、前記顕微鏡１の対物レンズ７の視野外からその視野内に散乱光を照射する照明光学系３と、前記撮像カメラ２の画像を入力して表示部１７の画面１７ａ上に表示し、入力手段１６により入力して前記表示画面１７ａ上に指定された範囲内の前記凹凸パターンの上部及び下部のいずれか一方、又は両方の寸法を測定する制御手段４と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 すき入れ及び紙端を鮮明に撮像し、すき入れが施された位置をばらつきが生じることなく高い精度で測定する検査方法を提供する。
【解決手段】
あらかじめ紙端撮像ラインカメラの撮像条件を紙端が鮮明に撮れる撮像条件に設定し、すき入れ撮像ラインカメラの撮像条件をすき入れが鮮明に撮れる撮像条件に設定した後、各ラインカメラにおいて紙端画像とすき入れ画像とをそれぞれ取得し、紙端画像から紙端を示す座標を検出し、すき入れ画像からすき入れを示す座標を検出し、紙端の座標からすき入れの座標までの距離を算出した後、算出した各座標間の距離が許容範囲か否かを判定してすき入れが形成された位置の合否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】カメラパラメータを用いることなく簡単に高精度の「pixel→高さ」換算式を求めることを可能とする。
【解決手段】長方形状に形成されその表面に白色領域１ｗと黒色領域１ｂとを交互に配されてなるキャリブレーション用機材１と、キャリブレーション用機材１の長手方向を撮影するように配設されたラインセンサカメラ２と、ラインセンサカメラ２から出力される画像信号に基づいてラインセンサカメラ２のキャリブレーションを行う処理用コンピュータ３とを備え、白色領域１ｗと黒色領域１ｂの幅がそれぞれ同一幅であるとともに白色領域１ｗと黒色領域１ｂとの境界線がキャリブレーション用機材１本体の長手方向に対して所定の角度θだけ傾斜するように構成した。 （もっと読む）

【課題】取得された複数の画像間の位置ずれを抑えることができる内視鏡装置を提供すること。
【解決手段】第一光源からの照明光の出射が開始されてから照明光の光量が安定するまでの時間ｗａと、第二光源からの投影光の出射が開始されてから投影光の光量が安定するまでの時間ｗｂとに基づいて、照明部と縞投影部とのうち光量が安定するまでの時間が長い方を先に動作させて被検物の第一の画像を撮像部に取得させ、照明部と縞投影部とのうち光量が安定するまでの時間が短い方を第一の画像の取得後に動作させて被検物の第二の画像を撮像部に取得させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】計測に適した条件であるかを短時間で判定できる内視鏡装置および計測方法を提供する。
【解決手段】本発明の内視鏡装置１は、第一光源４１からの照明光の出射状態を所定の周期で変化させ、第一光源４１から照明光が出射されている状態では第二光源５１からの投影光の出射を停止させ、第一光源４１からの照明光の出射が停止されている状態では第二光源５１から投影光を出射させ、照明光により被検物が照明された明視野画像を第一光源４１から照明光が出射されている状態で撮像部３０に取得させ、被検物に縞パターンが投影されたパターン投影画像を投影光が出射されている状態で撮像部３０に取得させ、撮像部３０が取得したパターン投影画像を用いて被検物の三次元形状を計測し、パターン画像を用いた計測によって得られた情報を明視野画像とともにモニター２８に表示させるメイン制御部２２を備える。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定機の被測定体保持位置補正方法において、曲率半径測定機に発生する被測定体保持位置のずれを精度よく迅速に補正することができるようにする。
【解決手段】曲率半径測定機の被測定体保持位置補正方法であって、保持工程と、校正用光学部材の校正面の面頂を測定光束の集光位置に位置合わせし、位置合わせ後の干渉縞画像に基づく干渉縞画像情報を記憶する基準調整工程（ステップＳ３）と、この位置を基準位置として、基準位置から位置ずれ測定位置に被測定体を相対移動して干渉縞画像を記憶する位置移動工程と、各位置での干渉縞画像に基づいて干渉計の光軸に対する位置ずれ量を測定する位置ずれ算出工程（ステップＳ６、Ｓ１３）と、この位置ずれ量に基づいて、位置補正量を算出する位置補正工程（ステップＳ１５）と、を備え、被測定面の曲率半径の測定を行う際に、位置補正量に基づいて保持台の位置補正を行う。 （もっと読む）

【課題】 被検者に負荷をかけることなく角膜眼鏡間距離等の測定を行う眼鏡用測定装置を提供する。
【解決手段】 眼鏡用測定装置（１０）は、指標マーク（ＳＣ）が眼鏡フレーム（２３）に取り付けられた眼鏡（２０）をかけた被検者を撮影する撮影部（１２）と、撮影部で撮影された被検者の眼球の頂点を求めるとともに、指標マーク（ＳＣ）に基づいて眼鏡の眼鏡レンズ（２１）と被検者の眼球の頂点（ＫＰ）との角膜眼鏡間距離（ＫＧ）を演算する演算部（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ラインイメージセンサーと同等の機能を有する比較的安価な受光装置を提供する。
【解決手段】検出領域における光を検出するための受光装置であって、ホトデテクターと、ホトデテクターに入光する光を規制する開孔を有するマスクを備えた受光手段と、受光手段を検出領域に渡り移送せしめる移動手段と、受光手段の移動位置を検出する位置検出手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】計測期間における計測部の温度安定化に有利な露光装置を提供する。
【解決手段】光源６３から射出される光で前記基板の上のマークＷＭを照明し、前記マークで反射した光により前記マークの像を形成する光学系と、前記マークの像を検出する検出部１１とを含み、前記マークの位置を計測する計測部と、前記光学系の所定面における光量を制御する制御部９０と、を有し、前記マークの位置を計測しない非計測期間に前記光源から射出される光の光量は、前記マークの位置を計測する計測期間に前記光源から射出される光の光量よりも低く、前記光源と前記所定面との間の光路における透過率を前記非計測期間で、前記計測期間における透過率よりも高くすることにより、前記非計測期間と前記計測期間の前記所定面における光量の差を低減する。 （もっと読む）